JPH0949921A - カラーフィルタ製造装置および方法ならびにカラーフィルタ - Google Patents
カラーフィルタ製造装置および方法ならびにカラーフィルタInfo
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- JPH0949921A JPH0949921A JP21827195A JP21827195A JPH0949921A JP H0949921 A JPH0949921 A JP H0949921A JP 21827195 A JP21827195 A JP 21827195A JP 21827195 A JP21827195 A JP 21827195A JP H0949921 A JPH0949921 A JP H0949921A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 解像性等の特性が良好なカラーフィルタを安
価に信頼性よく製造する。 【解決手段】 Ｒ，Ｇ，Ｂ３色のインクジェットをそれ
ぞれ生じさせる少なくとも１組の描画ヘッドと、前記イ
ンクジェットによる描画によってカラーフィルタが形成
される基板を搭載して移動する移動手段と、前記基板と
描画ヘッドを位置合せする位置合せ手段とを具備するカ
ラーフィルタ製造装置において、前記描画ヘッドを冷却
する手段６１，６２を設ける。
価に信頼性よく製造する。 【解決手段】 Ｒ，Ｇ，Ｂ３色のインクジェットをそれ
ぞれ生じさせる少なくとも１組の描画ヘッドと、前記イ
ンクジェットによる描画によってカラーフィルタが形成
される基板を搭載して移動する移動手段と、前記基板と
描画ヘッドを位置合せする位置合せ手段とを具備するカ
ラーフィルタ製造装置において、前記描画ヘッドを冷却
する手段６１，６２を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラーテレビ、パーソ
ナルコンピュータ等に使用されるカラー液晶ディスプレ
イのカラーフィルタを製造する技術に関し、特にインク
ジェット記録技術を利用したものに関する。
ナルコンピュータ等に使用されるカラー液晶ディスプレ
イのカラーフィルタを製造する技術に関し、特にインク
ジェット記録技術を利用したものに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、カラーフィルタの製造方法として
は、染色法、顔料分散法、電着法、印刷法等がある。
は、染色法、顔料分散法、電着法、印刷法等がある。
【０００３】染色法とは、ガラス基板上に染色用の材料
である水溶性の高分子材料の層を形成し、これをフォト
リソグラフィにより所望のパターンに成形し、そしてこ
のガラス基板を染色漕に浸漬して着色されたパターンを
得る工程をＲ，Ｇ，Ｂ３色につき３回繰り返すことによ
りカラーフィルタを形成するものである。
である水溶性の高分子材料の層を形成し、これをフォト
リソグラフィにより所望のパターンに成形し、そしてこ
のガラス基板を染色漕に浸漬して着色されたパターンを
得る工程をＲ，Ｇ，Ｂ３色につき３回繰り返すことによ
りカラーフィルタを形成するものである。
【０００４】顔料分散法とは、ガラス基板上に顔料を分
散した感光性樹脂層を形成し、これをパターニングする
ことにより単色のパターンを得る工程をＲ，Ｇ，Ｂ３色
につき３回繰り返すことによりカラーフィルタを形成す
るものである。
散した感光性樹脂層を形成し、これをパターニングする
ことにより単色のパターンを得る工程をＲ，Ｇ，Ｂ３色
につき３回繰り返すことによりカラーフィルタを形成す
るものである。
【０００５】電着法とは、ガラス基板上に透明電極パタ
ーンを形成し、このガラス基板を顔料、樹脂、電解液等
の入った電着塗装液に浸漬して単色を電着させる工程を
Ｒ，Ｇ，Ｂ３色につき３回繰り返し、そして焼成するこ
とによりカラーフィルタを形成するものである。
ーンを形成し、このガラス基板を顔料、樹脂、電解液等
の入った電着塗装液に浸漬して単色を電着させる工程を
Ｒ，Ｇ，Ｂ３色につき３回繰り返し、そして焼成するこ
とによりカラーフィルタを形成するものである。
【０００６】そして印刷法とは、熱硬化型の樹脂に顔料
を分散させたものを用いた印刷を３回繰り返すことによ
りＲ，Ｇ，Ｂ各色を塗り分け、その後、樹脂を熱硬化さ
せるものである。
を分散させたものを用いた印刷を３回繰り返すことによ
りＲ，Ｇ，Ｂ各色を塗り分け、その後、樹脂を熱硬化さ
せるものである。
【０００７】この４種の方法に共通しているのは、Ｒ，
Ｇ，Ｂ３色を着色するために同一工程を３回繰り返す必
要があり、工程数が多いために、歩留が低下し、コスト
が高くなる、等の欠点を有するということである。
Ｇ，Ｂ３色を着色するために同一工程を３回繰り返す必
要があり、工程数が多いために、歩留が低下し、コスト
が高くなる、等の欠点を有するということである。
【０００８】さらに、電着法は、形成可能なパターンの
形状が限定されるため、ＴＦＴへの適用が困難である。
また印刷法は、解像性が悪く、パターン微細化への対応
が困難である等の欠点を有する。
形状が限定されるため、ＴＦＴへの適用が困難である。
また印刷法は、解像性が悪く、パターン微細化への対応
が困難である等の欠点を有する。
【０００９】そこで、これらの欠点を補うべく、ガラス
基板上にインクジェットを吐出させてフィルタのパター
ンを形成する技術が提案されている（特開昭５９−７５
２０５、特開昭６３−２３５９０１、特開平１−２１７
３２０等）。
基板上にインクジェットを吐出させてフィルタのパター
ンを形成する技術が提案されている（特開昭５９−７５
２０５、特開昭６３−２３５９０１、特開平１−２１７
３２０等）。
【００１０】しかしながら、このインクジェットを用い
る技術においては、生産を行なっていくための機能が不
十分である。すなわち、インクの着弾位置を予め測定し
ておき、製造装置にガラス基板を装着する際にはガラス
基板を描画ヘッドに対して（あるいは、描画ヘッドをガ
ラス基板に対して）６自由度方向のアライメントを行な
い、その後、描画ヘッドとガラス基板間の隙間を一定に
保ちながら描画する、といったような機能がないため、
高精度な描画を行なうことができない。また、生産性に
ついても考慮が払われていない。
る技術においては、生産を行なっていくための機能が不
十分である。すなわち、インクの着弾位置を予め測定し
ておき、製造装置にガラス基板を装着する際にはガラス
基板を描画ヘッドに対して（あるいは、描画ヘッドをガ
ラス基板に対して）６自由度方向のアライメントを行な
い、その後、描画ヘッドとガラス基板間の隙間を一定に
保ちながら描画する、といったような機能がないため、
高精度な描画を行なうことができない。また、生産性に
ついても考慮が払われていない。
【００１１】そこで、本発明者等は、先にＲ，Ｇ，Ｂ３
色のインクジェットをそれぞれ生じさせる少なくとも１
組の描画ヘッドと、インクジェットによる描画によって
カラーフィルタが形成される基板を搭載して移動する移
動手段と、基板と描画ヘッド間の相対変位を検出する変
位検出手段と、描画ヘッドから吐出されたインクジェッ
トの基板上における着弾位置を検出する手段とを用い、
着弾位置の検出結果および相対変位検出結果に基づいて
基板および描画ヘッド間の位置合わせを行なうカラーフ
ィルタ製造装置および方法を案出し、特願平７−１１８
９４０号（以下、先願という）として出願した。
色のインクジェットをそれぞれ生じさせる少なくとも１
組の描画ヘッドと、インクジェットによる描画によって
カラーフィルタが形成される基板を搭載して移動する移
動手段と、基板と描画ヘッド間の相対変位を検出する変
位検出手段と、描画ヘッドから吐出されたインクジェッ
トの基板上における着弾位置を検出する手段とを用い、
着弾位置の検出結果および相対変位検出結果に基づいて
基板および描画ヘッド間の位置合わせを行なうカラーフ
ィルタ製造装置および方法を案出し、特願平７−１１８
９４０号（以下、先願という）として出願した。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この先
願の装置および方法も、カラーフィルタを安定に生産し
ていくには装置の性能等の点で未だ不十分であった。例
えば、３色のインクジェットによりパターンを形成中に
インクジェットの着弾位置が徐々にずれてくる場合があ
るという問題があった。
願の装置および方法も、カラーフィルタを安定に生産し
ていくには装置の性能等の点で未だ不十分であった。例
えば、３色のインクジェットによりパターンを形成中に
インクジェットの着弾位置が徐々にずれてくる場合があ
るという問題があった。
【００１３】本発明の目的は、かかる問題点を改善する
とともに、従来法の有する解像性等の特性を満足し、か
つインクジェット方式の特性を生かした、安価で信頼性
の高いカラーフィルタ製造装置および方法ならびにカラ
ーフィルタを提供することにある。より具体的には、３
色のインクジェットの着弾位置をより安定に維持するこ
とにある。
とともに、従来法の有する解像性等の特性を満足し、か
つインクジェット方式の特性を生かした、安価で信頼性
の高いカラーフィルタ製造装置および方法ならびにカラ
ーフィルタを提供することにある。より具体的には、３
色のインクジェットの着弾位置をより安定に維持するこ
とにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明では、Ｒ，Ｇ，Ｂ３色のインクジェットをそ
れぞれ生じさせる少なくとも１組の描画ヘッドと、前記
インクジェットによる描画によってカラーフィルタが形
成される基板を搭載して移動する移動手段と、前記基板
と描画ヘッドを位置合せする位置合せ手段とを具備する
カラーフィルタ製造装置において、前記描画ヘッドを冷
却する手段を設けたことを特徴とする。
め、本発明では、Ｒ，Ｇ，Ｂ３色のインクジェットをそ
れぞれ生じさせる少なくとも１組の描画ヘッドと、前記
インクジェットによる描画によってカラーフィルタが形
成される基板を搭載して移動する移動手段と、前記基板
と描画ヘッドを位置合せする位置合せ手段とを具備する
カラーフィルタ製造装置において、前記描画ヘッドを冷
却する手段を設けたことを特徴とする。
【００１５】本発明の好ましい実施例において、前記描
画ヘッドを冷却する手段は、前記描画ヘッドに取り付け
られて熱媒体を通過させる管と、該熱媒体を冷却する手
段とからなる。あるいは、前記描画ヘッドの温度を検出
する手段と、前記描画ヘッドに取り付けられて熱媒体を
通過させる管と、該熱媒体の温度および流量の少なくと
も一方を前記検出温度に応じて制御する温度調節手段と
からなる。また、前記基板と描画ヘッドを位置合せする
位置合せ手段は、前記基板と描画ヘッド間の相対変位を
検出する変位検出手段と前記描画ヘッドから吐出された
インクジェットの前記基板上における着弾位置を検出す
る手段とを備え、前記着弾位置の検出結果および相対変
位の検出結果に基づいて前記基板および描画ヘッド間の
位置合せを行なう。さらに、前記描画ヘッドはＲ，Ｇ，
Ｂ３色のインクジェットをそれぞれ別個独立して生じさ
せるものであり、前記移動手段は前記描画ヘッドと所定
距離を有する平面内を移動するものであり、前記相対変
位検出および位置合せは６自由度方向のものである。
画ヘッドを冷却する手段は、前記描画ヘッドに取り付け
られて熱媒体を通過させる管と、該熱媒体を冷却する手
段とからなる。あるいは、前記描画ヘッドの温度を検出
する手段と、前記描画ヘッドに取り付けられて熱媒体を
通過させる管と、該熱媒体の温度および流量の少なくと
も一方を前記検出温度に応じて制御する温度調節手段と
からなる。また、前記基板と描画ヘッドを位置合せする
位置合せ手段は、前記基板と描画ヘッド間の相対変位を
検出する変位検出手段と前記描画ヘッドから吐出された
インクジェットの前記基板上における着弾位置を検出す
る手段とを備え、前記着弾位置の検出結果および相対変
位の検出結果に基づいて前記基板および描画ヘッド間の
位置合せを行なう。さらに、前記描画ヘッドはＲ，Ｇ，
Ｂ３色のインクジェットをそれぞれ別個独立して生じさ
せるものであり、前記移動手段は前記描画ヘッドと所定
距離を有する平面内を移動するものであり、前記相対変
位検出および位置合せは６自由度方向のものである。
【００１６】また、本発明のカラーフィルタの製造方法
は、このようなカラーフィルタ製造装置を用い、前記基
板を移動させながら前記描画ヘッドによって前記基板上
に描画を行なうことによりカラーフィルタを形成する
際、前記描画ヘッドを一定の温度にすべく冷却すること
を特徴とする。
は、このようなカラーフィルタ製造装置を用い、前記基
板を移動させながら前記描画ヘッドによって前記基板上
に描画を行なうことによりカラーフィルタを形成する
際、前記描画ヘッドを一定の温度にすべく冷却すること
を特徴とする。
【００１７】
【作用】インクジェットを生じさせる手法として、例え
ば米国特許第４７２３１２９号および第４７４０７９６
号に開示されているような、インクを核沸騰させて気泡
を形成しインクを吐出させるいわゆるバブルジェット方
式を採用した場合、インクを核沸騰させるためのヒータ
の熱により描画ヘッド自体が熱膨張し、インクジェット
の吐出間隔やガラス基板と描画ヘッドの隙間が変化し着
弾位置が変化するため、希望する吐出パターンを形成す
ることができないという問題が生じた。
ば米国特許第４７２３１２９号および第４７４０７９６
号に開示されているような、インクを核沸騰させて気泡
を形成しインクを吐出させるいわゆるバブルジェット方
式を採用した場合、インクを核沸騰させるためのヒータ
の熱により描画ヘッド自体が熱膨張し、インクジェット
の吐出間隔やガラス基板と描画ヘッドの隙間が変化し着
弾位置が変化するため、希望する吐出パターンを形成す
ることができないという問題が生じた。
【００１８】本発明によれば、各描画ヘッドを冷却して
温度を一定に保つようにしたため、着弾位置およびイン
ク吐出量を安定に維持することができ、解像性等の特性
が良好なカラーフィルタを安価に信頼性よく製造するこ
とができる。
温度を一定に保つようにしたため、着弾位置およびイン
ク吐出量を安定に維持することができ、解像性等の特性
が良好なカラーフィルタを安価に信頼性よく製造するこ
とができる。
【００１９】描画ヘッドを冷却するためには、例えば描
画ヘッドの裏面または表面に冷却管を取り付け、その冷
却管に温度調節または流量調節された冷媒を流す。これ
により、描画ヘッドの発熱を抑えることができる。
画ヘッドの裏面または表面に冷却管を取り付け、その冷
却管に温度調節または流量調節された冷媒を流す。これ
により、描画ヘッドの発熱を抑えることができる。
【００２０】
【実施例１】図１〜図４は本発明の第１の実施例に係る
カラーフィルタ製造装置を示す。図１は装置外観図（斜
視図）、図２はステージ周辺の詳細図、図３は描画ヘッ
ドおよび光学系の配置図、図４はインクの吐出のイメー
ジを示す図である。
カラーフィルタ製造装置を示す。図１は装置外観図（斜
視図）、図２はステージ周辺の詳細図、図３は描画ヘッ
ドおよび光学系の配置図、図４はインクの吐出のイメー
ジを示す図である。
【００２１】これらの図において、１は装置搭載用の定
盤、２は定盤１を支持し、外部振動を遮断するための除
振台、３は定盤１上に設けられ、大ストローク移動を行
なうＸＹステージ、４はＸＹステージ３上に搭載された
θ，Ｚ−チルトアライメント合わせ用のＺ−チルトステ
ージ、５はθ，Ｚ−チルトステージ４に搭載されたガラ
ス基板、６ａ〜６ｃはそれぞれインクジェット複数個を
一列に吐出する描画ヘッド、６はＲ，Ｇ，Ｂ描画ヘッド
６ａ〜６ｃを相互に位置合わせし固定してなる描画ヘッ
ドユニット、７は基板５のＸ，Ｙ，θ方向のアライメン
ト検出用光学系、８（８ａ〜８ｃ）はＺ検出用光学系、
９は描画ヘッド６ａ〜６ｃが吐出するインクの着弾位置
検出用の光学系である。
盤、２は定盤１を支持し、外部振動を遮断するための除
振台、３は定盤１上に設けられ、大ストローク移動を行
なうＸＹステージ、４はＸＹステージ３上に搭載された
θ，Ｚ−チルトアライメント合わせ用のＺ−チルトステ
ージ、５はθ，Ｚ−チルトステージ４に搭載されたガラ
ス基板、６ａ〜６ｃはそれぞれインクジェット複数個を
一列に吐出する描画ヘッド、６はＲ，Ｇ，Ｂ描画ヘッド
６ａ〜６ｃを相互に位置合わせし固定してなる描画ヘッ
ドユニット、７は基板５のＸ，Ｙ，θ方向のアライメン
ト検出用光学系、８（８ａ〜８ｃ）はＺ検出用光学系、
９は描画ヘッド６ａ〜６ｃが吐出するインクの着弾位置
検出用の光学系である。
【００２２】図５は上記描画ヘッドユニット６の上面
図、図６および図７は、そのＡ−ＡおよびＢ−Ｂ断面図
である。Ｒ，Ｇ，Ｂの各描画ヘッド６ａ〜６ｃはアーム
５１ａ〜５１ｃに固定され、アーム５１ａ〜５１ｃはそ
れぞれ調整板５２ａ〜５２ｃに固定され、調整板５２ａ
〜５２ｃは固定ブロック５３ａ，５３ｃを介して相互に
固定されている。５４ａは描画ヘッド６ｂを基準とし
て、描画ヘッド６ａ〜６ｃの描画方向（Ｘ方向）と直交
する方向（Ｙ方向）の位置合わせを行なうためのマイク
ロメータ、５５ａ，５５ｃは描画ヘッド６ｂを基準とし
て、描画面（Ｘ−Ｙ面）と平行な平面内の回転方向の位
置合わせを行なうためのマイクロメータ、５６ａ，５６
ｃは前記Ｙ方向の位置合わせを行なった後描画ヘッド６
ｂに対する描画ヘッド６ａ，６ｃの位置を固定するため
のロックネジ、５７ａ，５７ｃは前記回転方向の位置合
わせを行なった後描画ヘッド６ｂに対する描画ヘッド６
ａ，６ｃの回転方向の相対位置を固定するためのロック
ネジである。
図、図６および図７は、そのＡ−ＡおよびＢ−Ｂ断面図
である。Ｒ，Ｇ，Ｂの各描画ヘッド６ａ〜６ｃはアーム
５１ａ〜５１ｃに固定され、アーム５１ａ〜５１ｃはそ
れぞれ調整板５２ａ〜５２ｃに固定され、調整板５２ａ
〜５２ｃは固定ブロック５３ａ，５３ｃを介して相互に
固定されている。５４ａは描画ヘッド６ｂを基準とし
て、描画ヘッド６ａ〜６ｃの描画方向（Ｘ方向）と直交
する方向（Ｙ方向）の位置合わせを行なうためのマイク
ロメータ、５５ａ，５５ｃは描画ヘッド６ｂを基準とし
て、描画面（Ｘ−Ｙ面）と平行な平面内の回転方向の位
置合わせを行なうためのマイクロメータ、５６ａ，５６
ｃは前記Ｙ方向の位置合わせを行なった後描画ヘッド６
ｂに対する描画ヘッド６ａ，６ｃの位置を固定するため
のロックネジ、５７ａ，５７ｃは前記回転方向の位置合
わせを行なった後描画ヘッド６ｂに対する描画ヘッド６
ａ，６ｃの回転方向の相対位置を固定するためのロック
ネジである。
【００２３】上述の構成からなる描画ヘッドユニット６
は、図１〜図４に示すカラーフィルタ製造装置のヘッド
ステージ１０に、固定ブロック５３ａ，５３ｃや調整板
５２ｂをネジ止めされ、吊り下げ固定される。ヘッドス
テージ１０は４本の柱１１により定盤１上にリジッドに
取り付けられている。
は、図１〜図４に示すカラーフィルタ製造装置のヘッド
ステージ１０に、固定ブロック５３ａ，５３ｃや調整板
５２ｂをネジ止めされ、吊り下げ固定される。ヘッドス
テージ１０は４本の柱１１により定盤１上にリジッドに
取り付けられている。
【００２４】図１〜図４に示すカラーフィルタ製造装置
において、装置の組立調整時等にはダミー基板（不図
示）を搭載し、アライメント検出系７で基板のＸ，Ｙ，
θ方向のアライメントを行ない、描画ヘッド６ａ〜６ｃ
で評価用のパターンを描画する。さらに、ＸＹステージ
３を移動し、着弾位置検出系９により着弾位置を測定す
る。このことによりアライメント検出系７の座標と描画
ヘッド６ａ〜６ｃの着弾位置の座標を正確に測定するこ
とができる。なお、この座標値は、別の基板を搭載して
も変化しないので、装置組立時、描画ヘッド交換時等の
システムパラメータが変化した時に行なえば良い。着弾
位置は、他の装置で測定しておき、この測定値がカラー
フィルタ製造装置に再現されるようにしても良い。
において、装置の組立調整時等にはダミー基板（不図
示）を搭載し、アライメント検出系７で基板のＸ，Ｙ，
θ方向のアライメントを行ない、描画ヘッド６ａ〜６ｃ
で評価用のパターンを描画する。さらに、ＸＹステージ
３を移動し、着弾位置検出系９により着弾位置を測定す
る。このことによりアライメント検出系７の座標と描画
ヘッド６ａ〜６ｃの着弾位置の座標を正確に測定するこ
とができる。なお、この座標値は、別の基板を搭載して
も変化しないので、装置組立時、描画ヘッド交換時等の
システムパラメータが変化した時に行なえば良い。着弾
位置は、他の装置で測定しておき、この測定値がカラー
フィルタ製造装置に再現されるようにしても良い。
【００２５】カラーフィルタの製造時には、描画用のガ
ラス基板５をθ，Ｚ−チルトステージ４に搭載すると、
アライメント検出系７によりガラス基板５と描画ヘッド
６ａ〜６ｃとのＸ，Ｙ，θ３方向のズレ量を検出する。
この検出結果に基づき、θ成分のズレはθ，Ｚ−チルト
ステージ４により補正し、Ｘ方向のズレはＸＹステージ
３のＸ位置を合わせることにより補正する。また、Ｙ方
向のズレ（印字走査方向）はＸＹステージ３のＹ位置合
わせ、あるいは描画ヘッド６ａ〜６ｃからの吐出タイミ
ング制御により行なう。さらに、図４に示すように、ガ
ラス基板５および描画ヘッド６ａ〜６ｃ間の隙間が変動
すると着弾位置が変動する。したがって、Ｚ検出系８ａ
〜８ｃによりそれらの間の隙間および傾きを求め、隙間
が一定となるよう制御しながら描画ヘッド６ａ〜６ｃで
描画する。精度によってはガラス基板搭載時に測定、補
正して描画中は固定でも良い。
ラス基板５をθ，Ｚ−チルトステージ４に搭載すると、
アライメント検出系７によりガラス基板５と描画ヘッド
６ａ〜６ｃとのＸ，Ｙ，θ３方向のズレ量を検出する。
この検出結果に基づき、θ成分のズレはθ，Ｚ−チルト
ステージ４により補正し、Ｘ方向のズレはＸＹステージ
３のＸ位置を合わせることにより補正する。また、Ｙ方
向のズレ（印字走査方向）はＸＹステージ３のＹ位置合
わせ、あるいは描画ヘッド６ａ〜６ｃからの吐出タイミ
ング制御により行なう。さらに、図４に示すように、ガ
ラス基板５および描画ヘッド６ａ〜６ｃ間の隙間が変動
すると着弾位置が変動する。したがって、Ｚ検出系８ａ
〜８ｃによりそれらの間の隙間および傾きを求め、隙間
が一定となるよう制御しながら描画ヘッド６ａ〜６ｃで
描画する。精度によってはガラス基板搭載時に測定、補
正して描画中は固定でも良い。
【００２６】ところで、上記のアライメント検出系７お
よびＺ検出系８ａ〜８ｃによる検出は、通常、ガラス基
板１枚ごと、または１印字走査ごとに行ない、印字中は
行なわない。この場合、描画ヘッド６ａ〜６ｃ内のヒー
タの熱により、ヘッド自体が熱膨張し、各描画ヘッドの
インクジェットのピッチやガラス基板と描画ヘッドの隙
間が変化し着弾位置が変化するため、インクの着弾（付
着）位置がずれて希望する吐出パターンを形成すること
ができないという問題があった。
よびＺ検出系８ａ〜８ｃによる検出は、通常、ガラス基
板１枚ごと、または１印字走査ごとに行ない、印字中は
行なわない。この場合、描画ヘッド６ａ〜６ｃ内のヒー
タの熱により、ヘッド自体が熱膨張し、各描画ヘッドの
インクジェットのピッチやガラス基板と描画ヘッドの隙
間が変化し着弾位置が変化するため、インクの着弾（付
着）位置がずれて希望する吐出パターンを形成すること
ができないという問題があった。
【００２７】そこで、本実施例のカラーフィルタ製造装
置においては、各描画ヘッド６ａ〜６ｃの裏面（アルミ
面）に水冷管６１，６２を取り付け、その水冷管６１，
６２を不図示の温調装置に接続して冷却水を循環させて
いる。これにより、描画ヘッドの発熱を抑え、その結
果、描画ヘッドの熱膨張を防止し、インクの着弾位置の
ずれを防止することができる。冷却水は水温のみ制御す
るのが最も簡便であるが、描画ヘッドに温度センサを取
り付け、検出温度に応じて冷却水の流量および水温の一
方または双方を制御するのがより好ましい。
置においては、各描画ヘッド６ａ〜６ｃの裏面（アルミ
面）に水冷管６１，６２を取り付け、その水冷管６１，
６２を不図示の温調装置に接続して冷却水を循環させて
いる。これにより、描画ヘッドの発熱を抑え、その結
果、描画ヘッドの熱膨張を防止し、インクの着弾位置の
ずれを防止することができる。冷却水は水温のみ制御す
るのが最も簡便であるが、描画ヘッドに温度センサを取
り付け、検出温度に応じて冷却水の流量および水温の一
方または双方を制御するのがより好ましい。
【００２８】図５〜図７において、７１，７２は描画ヘ
ッドアーム５１ａ〜５１ｃを温度調節するための配管で
あり、この配管７１，７２を用いて、アーム５１ａ〜５
１ｃを温度調節することにより、アーム５１ａ〜５１ｃ
の特に垂直方向の寸法変化を防ぎ、ガラス基板と描画ヘ
ッドの隙間の変化による着弾位置の変化を防止してい
る。
ッドアーム５１ａ〜５１ｃを温度調節するための配管で
あり、この配管７１，７２を用いて、アーム５１ａ〜５
１ｃを温度調節することにより、アーム５１ａ〜５１ｃ
の特に垂直方向の寸法変化を防ぎ、ガラス基板と描画ヘ
ッドの隙間の変化による着弾位置の変化を防止してい
る。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、描
画ヘッドを冷却するようにしたため、描画ヘッドやヘッ
ド取付部材の熱膨張を抑えることができ、インクの着弾
位置を安定に維持することができ、解像性等の特性が良
好なカラーフィルタを安価に信頼性よく製造することが
できる。
画ヘッドを冷却するようにしたため、描画ヘッドやヘッ
ド取付部材の熱膨張を抑えることができ、インクの着弾
位置を安定に維持することができ、解像性等の特性が良
好なカラーフィルタを安価に信頼性よく製造することが
できる。
【図１】 本発明の第１の実施例に係る装置外観図（斜
視図）である。
視図）である。
【図２】 図１の装置のステージ詳細図である。
【図３】 図１の装置のヘッド、光学系の配置図であ
る。
る。
【図４】 図１の装置のインクの吐出イメージである。
【図５】 図１の装置の描画ヘッドユニットの正面図で
ある。
ある。
【図６】 図５のＡ−Ａ断面図である。
【図７】 図５のＢ−Ｂ断面図である。
１：定盤、２：除振台、３：ＸＹステージ、４：θ、Ｚ
−チルトステージ、５：ガラス基板、６：描画ヘッドユ
ニット、６ａ〜６ｃ：Ｒ，Ｇ，Ｂ描画ヘッド、７：アラ
イメント検出（Ｘ，Ｙ，θ検出）系、８ａ〜８ｃ：Ｚ検
出系、９：着弾位置計測系、１０：ヘッドステージ、１
１：柱、５１ａ〜５１ｃ：アーム、５２ａ〜５２ｃ：調
整板、５３ａ，５３ｃ：固定ブロック、５４ａ，５４
ｃ，５５ａ，５５ｃ：マイクロメータ、５６ａ，５６
ｃ，５７ａ，５７ｃ：ロックネジ、６１，６２：冷却
管、７１，７２：温度調節用配管。
−チルトステージ、５：ガラス基板、６：描画ヘッドユ
ニット、６ａ〜６ｃ：Ｒ，Ｇ，Ｂ描画ヘッド、７：アラ
イメント検出（Ｘ，Ｙ，θ検出）系、８ａ〜８ｃ：Ｚ検
出系、９：着弾位置計測系、１０：ヘッドステージ、１
１：柱、５１ａ〜５１ｃ：アーム、５２ａ〜５２ｃ：調
整板、５３ａ，５３ｃ：固定ブロック、５４ａ，５４
ｃ，５５ａ，５５ｃ：マイクロメータ、５６ａ，５６
ｃ，５７ａ，５７ｃ：ロックネジ、６１，６２：冷却
管、７１，７２：温度調節用配管。
Claims (8)
- 【請求項１】 Ｒ，Ｇ，Ｂ３色のインクジェットをそれ
ぞれ生じさせる少なくとも１組の描画ヘッドと、 前記インクジェットによる描画によってカラーフィルタ
が形成される基板を搭載して移動する移動手段と、 前記基板と描画ヘッドを位置合せする位置合わせ手段と
を具備するカラーフィルタ製造装置において、 前記描画ヘッドを冷却する手段を設けたことを特徴とす
るカラーフィルタの製造装置。 - 【請求項２】 前記描画ヘッドを冷却する手段は、前記
描画ヘッドに取り付けられて熱媒体を通過させる管と、
該熱媒体を冷却する手段とを含むことを特徴とする請求
項１記載のカラーフィルタ製造装置。 - 【請求項３】 前記描画ヘッドを冷却する手段は、前記
描画ヘッドの温度を検出する手段と、前記描画ヘッドに
取り付けられて熱媒体を通過させる管と、該熱媒体の温
度および流量の少なくとも一方を前記検出温度に応じて
制御する温度調節手段とを含むことを特徴とする請求項
１記載のカラーフィルタ製造装置。 - 【請求項４】 前記位置合わせ手段は、前記基板と描画
ヘッド間の相対変位を検出する変位検出手段と前記描画
ヘッドから吐出されたインクジェットの前記基板上にお
ける着弾位置を検出する手段とを備え、前記着弾位置の
検出結果および相対変位の検出結果に基づいて前記基板
および描画ヘッド間の位置合わせを行なうことを特徴と
する請求項１〜３のいずれかに記載のカラーフィルタ製
造装置。 - 【請求項５】 前記基板と描画ヘッドの相対変位検出お
よび位置合わせは６自由度方向のものであることを特徴
とする請求項４に記載のカラーフィルタ製造装置。 - 【請求項６】 Ｒ，Ｇ，Ｂ３色のインクジェットをそれ
ぞれ生じさせる少なくとも１組の描画ヘッドと、前記イ
ンクジェットによる描画によってカラーフィルタが形成
される基板を搭載して移動する移動手段と、前記基板と
描画ヘッド間の位置合わせを行なう位置合わせ手段とを
具備するカラーフィルタ製造装置を用い、前記基板を移
動させながら前記描画ヘッドによって前記基板上に描画
を行なうことによりカラーフィルタを形成する際、前記
描画ヘッドを一定の温度に冷却することを特徴とするカ
ラーフィルタの製造方法。 - 【請求項７】 前記請求項１〜５のいずれかに記載の装
置を用いて製造されたことを特徴とするカラーフィル
タ。 - 【請求項８】 前記請求項６に記載の方法により製造さ
れたことを特徴とするカラーフィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21827195A JPH0949921A (ja) | 1995-08-04 | 1995-08-04 | カラーフィルタ製造装置および方法ならびにカラーフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21827195A JPH0949921A (ja) | 1995-08-04 | 1995-08-04 | カラーフィルタ製造装置および方法ならびにカラーフィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0949921A true JPH0949921A (ja) | 1997-02-18 |
Family
ID=16717259
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21827195A Pending JPH0949921A (ja) | 1995-08-04 | 1995-08-04 | カラーフィルタ製造装置および方法ならびにカラーフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0949921A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015110336A (ja) * | 2015-01-14 | 2015-06-18 | セイコーエプソン株式会社 | 描画装置、及び描画方法 |
-
1995
- 1995-08-04 JP JP21827195A patent/JPH0949921A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015110336A (ja) * | 2015-01-14 | 2015-06-18 | セイコーエプソン株式会社 | 描画装置、及び描画方法 |
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