JPH0943187A - 静電容量センサ及び静電容量センサ装置 - Google Patents
静電容量センサ及び静電容量センサ装置Info
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- JPH0943187A JPH0943187A JP7196863A JP19686395A JPH0943187A JP H0943187 A JPH0943187 A JP H0943187A JP 7196863 A JP7196863 A JP 7196863A JP 19686395 A JP19686395 A JP 19686395A JP H0943187 A JPH0943187 A JP H0943187A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 浮遊容量による電気的ノイズの影響を小さく
して電気容量の測定が可能であり、大量の測定試料にセ
ンサを挿入して測定を行う場合においても安定した測定
が可能である静電容量センサを実現する。 【解決手段】 絶縁基材１１の表面に、一対の櫛歯状電
極１２，１３を組み合わせて配置し、各櫛歯状電極１
２，１３における両端の櫛歯部を、個別に設けられた電
圧印加用端子１２ａ，１３ａ及び測定用端子１２ｂ，１
３ｂと接続して４端子構成にしたことを特徴とする。
して電気容量の測定が可能であり、大量の測定試料にセ
ンサを挿入して測定を行う場合においても安定した測定
が可能である静電容量センサを実現する。 【解決手段】 絶縁基材１１の表面に、一対の櫛歯状電
極１２，１３を組み合わせて配置し、各櫛歯状電極１
２，１３における両端の櫛歯部を、個別に設けられた電
圧印加用端子１２ａ，１３ａ及び測定用端子１２ｂ，１
３ｂと接続して４端子構成にしたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、物質の静電容量を
測定する際に用いる静電容量センサ及び静電容量センサ
装置に関するものである。
測定する際に用いる静電容量センサ及び静電容量センサ
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、静電容量センサの基本構成として
は、図１１に示すように、二枚の金属板電極５０，５１
を平行配置し、それらの電極の間の試料を測定するもの
が知られている。この種の静電容量センサに関し、静電
容量測定値を上げて測定精度を高めようとする場合に
は、電極板の面積を大きくし、電極板の間隔を狭くする
必要がある。しかしながら、電極板の間隔を狭くする
と、試料の厚さが制限されることになり、また、試料が
流体である場合には、電極間に目詰まりを起こしやすく
なる。
は、図１１に示すように、二枚の金属板電極５０，５１
を平行配置し、それらの電極の間の試料を測定するもの
が知られている。この種の静電容量センサに関し、静電
容量測定値を上げて測定精度を高めようとする場合に
は、電極板の面積を大きくし、電極板の間隔を狭くする
必要がある。しかしながら、電極板の間隔を狭くする
と、試料の厚さが制限されることになり、また、試料が
流体である場合には、電極間に目詰まりを起こしやすく
なる。
【０００３】これらの対策として、例えば特開平３−１
４２３５２号に示されるように、平面上に、互いに組み
合わされた一対の櫛状電極を形成した平面型誘電率測定
センサが提案されている。また、特開平４−３５０５５
０号では、一対の螺旋状または櫛状パターンからなる電
極を、互いに離間させた状態で平面上に形成した静電容
量型センサが提案されており、アルコール混合比セン
サ，液レベルセンサ，オイル汚れセンサとして利用でき
るようになっている。図１２は上記櫛状パターンを示し
たものであり、絶縁基板５２上に一対の櫛状電極５３，
５４が組み合わされて配置され、各電極には測定装置と
接続するための接続端子５３ａ，５４ａが備えられてい
る。
４２３５２号に示されるように、平面上に、互いに組み
合わされた一対の櫛状電極を形成した平面型誘電率測定
センサが提案されている。また、特開平４−３５０５５
０号では、一対の螺旋状または櫛状パターンからなる電
極を、互いに離間させた状態で平面上に形成した静電容
量型センサが提案されており、アルコール混合比セン
サ，液レベルセンサ，オイル汚れセンサとして利用でき
るようになっている。図１２は上記櫛状パターンを示し
たものであり、絶縁基板５２上に一対の櫛状電極５３，
５４が組み合わされて配置され、各電極には測定装置と
接続するための接続端子５３ａ，５４ａが備えられてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】静電容量の測定方法と
しては、電圧を印加するための信号ケーブルと測定のた
めの検出ケーブルが測定試料までそれぞれ独立している
いわゆる４端子方式が優れている。図１３の模式図は、
測定装置である HEWLET PACKRD 4263A LCRメータの取扱
説明書から引用したものである。同図に示すように、安
定した静電容量測定を行うためには、信号ケーブルＬ
CUR ，ＨCUR と検出ケーブルＬPOT ，ＨPOTが測定試料
直前まで独立していることが望まれる。
しては、電圧を印加するための信号ケーブルと測定のた
めの検出ケーブルが測定試料までそれぞれ独立している
いわゆる４端子方式が優れている。図１３の模式図は、
測定装置である HEWLET PACKRD 4263A LCRメータの取扱
説明書から引用したものである。同図に示すように、安
定した静電容量測定を行うためには、信号ケーブルＬ
CUR ，ＨCUR と検出ケーブルＬPOT ，ＨPOTが測定試料
直前まで独立していることが望まれる。
【０００５】上記した従来の静電容量センサを用いて測
定を行う場合、信号ケーブルと検出ケーブルは電極端子
でつながっているため、それらの独立性が無くなってお
り、その結果、電極を介して試料を測定する２端子方式
となる。上記した平面型誘電率測定センサまたは、静電
容量型センサの構成では、電気容量測定値を上げて測定
精度を高めるべく電極長さを長くすればするほど、信号
ケーブルと検出ケーブルの独立性は失われることにな
る。
定を行う場合、信号ケーブルと検出ケーブルは電極端子
でつながっているため、それらの独立性が無くなってお
り、その結果、電極を介して試料を測定する２端子方式
となる。上記した平面型誘電率測定センサまたは、静電
容量型センサの構成では、電気容量測定値を上げて測定
精度を高めるべく電極長さを長くすればするほど、信号
ケーブルと検出ケーブルの独立性は失われることにな
る。
【０００６】また、静電容量の測定においては、浮遊容
量による電気的ノイズの影響が問題となる。すなわち、
静電容量センサを大量の測定試料に挿入して測定を行う
場合や、周辺に例えばモータ等の電気的ノイズ発生源が
あるような場合では、浮遊容量による電気的ノイズの影
響が大きく現れ、安定した測定ができなくなることがあ
る。このような問題は、上記した平面型誘電率測定セン
サや上記静電容量型センサにおいても例外ではない。
量による電気的ノイズの影響が問題となる。すなわち、
静電容量センサを大量の測定試料に挿入して測定を行う
場合や、周辺に例えばモータ等の電気的ノイズ発生源が
あるような場合では、浮遊容量による電気的ノイズの影
響が大きく現れ、安定した測定ができなくなることがあ
る。このような問題は、上記した平面型誘電率測定セン
サや上記静電容量型センサにおいても例外ではない。
【０００７】本発明は以上のような従来の静電容量セン
サの課題を考慮してなされたものであり、浮遊容量によ
る電気的ノイズの影響を小さくして静電容量の測定が可
能であり、大量の測定試料にセンサを挿入して測定を行
う場合においても安定した測定が可能である静電容量セ
ンサ及び静電容量センサ装置を提供するものである。
サの課題を考慮してなされたものであり、浮遊容量によ
る電気的ノイズの影響を小さくして静電容量の測定が可
能であり、大量の測定試料にセンサを挿入して測定を行
う場合においても安定した測定が可能である静電容量セ
ンサ及び静電容量センサ装置を提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】第一の本発明は、絶縁基
材の表面に、一対の櫛歯状電極を組み合わせて配置し、
各櫛歯状電極における両端の櫛歯部を、個別に設けられ
た電圧印加用端子及び測定用端子と接続して４端子構成
にした静電容量センサである。
材の表面に、一対の櫛歯状電極を組み合わせて配置し、
各櫛歯状電極における両端の櫛歯部を、個別に設けられ
た電圧印加用端子及び測定用端子と接続して４端子構成
にした静電容量センサである。
【０００９】第二の本発明は、絶縁基材の表面に、一定
の間隔を空けて一対の電極を所定のパターンで配置し、
所定のパターンにおける始点及び終点を、個別に設けら
れた電圧印加用端子及び測定用端子と接続して４端子構
成にした静電容量センサである。上記所定のパターンの
具体例としては、渦巻状、蛇行状のものが示される。
の間隔を空けて一対の電極を所定のパターンで配置し、
所定のパターンにおける始点及び終点を、個別に設けら
れた電圧印加用端子及び測定用端子と接続して４端子構
成にした静電容量センサである。上記所定のパターンの
具体例としては、渦巻状、蛇行状のものが示される。
【００１０】第三の本発明は、絶縁基材の表面に、多数
の帯状電極を平行配置し、帯状電極を端からひとつ置き
に第１の導線を用いて接続し、残された帯状電極につい
て端からひとつ置きに第２の導線を用いて接続し、各導
線の両端を、個別に設けられた電圧印加用端子及び測定
用端子と接続して４端子構成にした静電容量センサであ
る。
の帯状電極を平行配置し、帯状電極を端からひとつ置き
に第１の導線を用いて接続し、残された帯状電極につい
て端からひとつ置きに第２の導線を用いて接続し、各導
線の両端を、個別に設けられた電圧印加用端子及び測定
用端子と接続して４端子構成にした静電容量センサであ
る。
【００１１】上記本発明を用い４端子法による測定を行
えば、信号ケーブルと検出ケーブルがそれぞれ独立して
いるため、ケーブルの残留インピーダンスの影響を減ら
すことができる。また、それぞれのケーブル間の誘導結
合を含まないため測定精度を向上させることができる。
えば、信号ケーブルと検出ケーブルがそれぞれ独立して
いるため、ケーブルの残留インピーダンスの影響を減ら
すことができる。また、それぞれのケーブル間の誘導結
合を含まないため測定精度を向上させることができる。
【００１２】また、本発明の電極の周囲にはシールドプ
レートを備えることが好ましい。また、絶縁基材の背面
にシールドプレートを備えることもできる。また、電極
及び／またはシールドプレート表面を絶縁体によって被
覆することができる。電極を絶縁被覆した場合には、本
発明を導電性の高い測定対象物にも適用することができ
る。
レートを備えることが好ましい。また、絶縁基材の背面
にシールドプレートを備えることもできる。また、電極
及び／またはシールドプレート表面を絶縁体によって被
覆することができる。電極を絶縁被覆した場合には、本
発明を導電性の高い測定対象物にも適用することができ
る。
【００１３】また、絶縁基材の両面に上記した静電容量
センサを備えることもできる。この場合、各面の静電容
量センサから得られる静電容量の和が測定結果となるた
め、静電容量センサのコンパクト化が図れる。
センサを備えることもできる。この場合、各面の静電容
量センサから得られる静電容量の和が測定結果となるた
め、静電容量センサのコンパクト化が図れる。
【００１４】第四の本発明は、請求項１〜８のいずれか
の静電容量センサを側面略Ｖ字状をなす本体に取り付け
るか、または絶縁基材の側面を略Ｖ字状に形成し、測定
対象に対する静電容量センサの挿入深さを一定にするた
め、及び挿入後の静電容量センサを安定させるためのス
タビライザを本体または絶縁基材における挿入側と反対
側に設け、電圧印加用端子及び測定用端子を測定装置に
接続するための接続線またはコネクタを、本体または絶
縁基材に備えてなる静電容量センサ装置である。
の静電容量センサを側面略Ｖ字状をなす本体に取り付け
るか、または絶縁基材の側面を略Ｖ字状に形成し、測定
対象に対する静電容量センサの挿入深さを一定にするた
め、及び挿入後の静電容量センサを安定させるためのス
タビライザを本体または絶縁基材における挿入側と反対
側に設け、電圧印加用端子及び測定用端子を測定装置に
接続するための接続線またはコネクタを、本体または絶
縁基材に備えてなる静電容量センサ装置である。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図面に示した実施例に基づ
いて本発明を詳細に説明する。図１は、第一の発明の静
電容量センサに係る一実施例を示したものである。同図
において、静電容量センサ１０は、絶縁基材としての絶
縁基板１１平面上に、一対の櫛歯状電極１２，１３を組
み合わせて配置したものであり、櫛歯状電極１２につい
ては、櫛歯を連絡している連絡部の両端、すなわち櫛歯
の背の部分の両端にそれぞれ電圧印加用接続端子（以下
信号端子と呼ぶ）１２ａと測定用接続端子（以下検出端
子と呼ぶ）１２ｂを設け、また、櫛歯状電極１３につい
ても同様に信号端子１３ａと検出端子１３ｂを設け、そ
れにより接続端子を４端子構成としている。なお、一対
の電極１２，１３の外周部には、導電性を有するシール
ドプレート１４ａ及び１４ｂが配置されている。
いて本発明を詳細に説明する。図１は、第一の発明の静
電容量センサに係る一実施例を示したものである。同図
において、静電容量センサ１０は、絶縁基材としての絶
縁基板１１平面上に、一対の櫛歯状電極１２，１３を組
み合わせて配置したものであり、櫛歯状電極１２につい
ては、櫛歯を連絡している連絡部の両端、すなわち櫛歯
の背の部分の両端にそれぞれ電圧印加用接続端子（以下
信号端子と呼ぶ）１２ａと測定用接続端子（以下検出端
子と呼ぶ）１２ｂを設け、また、櫛歯状電極１３につい
ても同様に信号端子１３ａと検出端子１３ｂを設け、そ
れにより接続端子を４端子構成としている。なお、一対
の電極１２，１３の外周部には、導電性を有するシール
ドプレート１４ａ及び１４ｂが配置されている。
【００１６】図２〜図４は、第二の発明の静電容量セン
サに係る実施例を示したものである。図２は電極を渦巻
状に形成したものであり、図３及び図４は蛇行状に形成
したものである。詳しくは、図２に示す静電容量センサ
の構成は、絶縁基板１５の表面に、互いに一定の間隔を
空けて離間した一対の電極１６，１７を渦巻状としての
所定のパターンで形成し、その所定パターンにおける始
点及び終点を、電極１６については個別に設けられた信
号端子１６ａと検出端子１６ｂに接続し、電極１７につ
いては検出端子１７ｂと信号端子１７ａに接続し、４端
子構成にしたものである。なお、図中符号１９に示す破
線部分については、電極を絶縁基板１５中に埋設してい
る。
サに係る実施例を示したものである。図２は電極を渦巻
状に形成したものであり、図３及び図４は蛇行状に形成
したものである。詳しくは、図２に示す静電容量センサ
の構成は、絶縁基板１５の表面に、互いに一定の間隔を
空けて離間した一対の電極１６，１７を渦巻状としての
所定のパターンで形成し、その所定パターンにおける始
点及び終点を、電極１６については個別に設けられた信
号端子１６ａと検出端子１６ｂに接続し、電極１７につ
いては検出端子１７ｂと信号端子１７ａに接続し、４端
子構成にしたものである。なお、図中符号１９に示す破
線部分については、電極を絶縁基板１５中に埋設してい
る。
【００１７】図３において、２０は基板、２１，２２は
一対の電極、２１ａ及び２１ｂは一方の電極２１に備え
られた信号端子及び検出端子であり、２２ａ及び２２ｂ
は他方の電極２２に備えられた信号端子及び検出端子で
ある。２３ａ，２３ｂはシールドプレートである。な
お、図中破線部分は基板２０中に埋設された電極部分で
ある。
一対の電極、２１ａ及び２１ｂは一方の電極２１に備え
られた信号端子及び検出端子であり、２２ａ及び２２ｂ
は他方の電極２２に備えられた信号端子及び検出端子で
ある。２３ａ，２３ｂはシールドプレートである。な
お、図中破線部分は基板２０中に埋設された電極部分で
ある。
【００１８】図４は基板２０表面に電極２５，２６を平
行して蛇行状に形成したものであり、２５，２６は一対
の電極、２５ａ及び２５ｂは一方の電極２５に備えられ
た信号端子及び検出端子であり、２６ａ及び２６ｂは他
方の電極２６に備えられた信号端子及び検出端子であ
る。なお、図３と同じ構成要素については同一符号を付
してその説明を省略する。
行して蛇行状に形成したものであり、２５，２６は一対
の電極、２５ａ及び２５ｂは一方の電極２５に備えられ
た信号端子及び検出端子であり、２６ａ及び２６ｂは他
方の電極２６に備えられた信号端子及び検出端子であ
る。なお、図３と同じ構成要素については同一符号を付
してその説明を省略する。
【００１９】図５〜図７は第三の発明の静電容量センサ
に係る実施例を示したものである。図５において、静電
容量センサ２９は、絶縁基板３０上に偶数個平行に配列
された帯状電極板３１を有し、この電極板３１と接続端
子３２は、以下に説明する図６または図７に従って接続
されている。
に係る実施例を示したものである。図５において、静電
容量センサ２９は、絶縁基板３０上に偶数個平行に配列
された帯状電極板３１を有し、この電極板３１と接続端
子３２は、以下に説明する図６または図７に従って接続
されている。
【００２０】即ち、図６に示す結線図は、電極板３１1
〜３１24について、電極板３１1 ，３１3 …を端からひ
とつ置きに第１の導線３４を用いて接続し、残された電
極板３１2 ，３１4 …についてもひとつ置きに第２の導
線３５を用いて接続し、導線３４の両端、及び導線３５
の両端に、信号端子３２ａと検出端子３２ｂ、及び信号
端子３３ａと検出端子３３ｂを設けて４端子構成にした
ものである。
〜３１24について、電極板３１1 ，３１3 …を端からひ
とつ置きに第１の導線３４を用いて接続し、残された電
極板３１2 ，３１4 …についてもひとつ置きに第２の導
線３５を用いて接続し、導線３４の両端、及び導線３５
の両端に、信号端子３２ａと検出端子３２ｂ、及び信号
端子３３ａと検出端子３３ｂを設けて４端子構成にした
ものである。
【００２１】一方、図７に示す結線図は、電極板３１1
→３１3 →３１5 …３１23の順に導線３６を用いて接続
し、残された電極板３１2 →３１4 →３１6 …３１24の
順に導線３７を用いて接続し、導線３６の両端、及び導
線３７の両端に、信号端子３２ａと検出端子３２ｂ、及
び信号端子３３ａと検出端子３３ｂを設けて４端子構成
にしたものである。なお、図５における符号３３はシー
ルドプレートを示す。
→３１3 →３１5 …３１23の順に導線３６を用いて接続
し、残された電極板３１2 →３１4 →３１6 …３１24の
順に導線３７を用いて接続し、導線３６の両端、及び導
線３７の両端に、信号端子３２ａと検出端子３２ｂ、及
び信号端子３３ａと検出端子３３ｂを設けて４端子構成
にしたものである。なお、図５における符号３３はシー
ルドプレートを示す。
【００２２】図８は第四の発明の静電容量センサ装置の
構成を示したものである。同図に示す静電容量センサ装
置４０は、測定対象に対して挿入が容易になるように絶
縁基材である本体４１の側面４１ａが略Ｖ字状に形成さ
れており、その平面に静電容量センサが取り付けられて
いる。静電容量センサの電極４２は、図６または図７に
示した接続構造によって配線されており、二組の電極群
４２n 及び４３n から構成されている。各電極群の両端
からはリード線４４が延出されている。このリード線４
４は、それぞれ測定用ＬＣＲメータのＨPOT 、ＬPOT 、
ＨCUR 、ＬCURの各端子に接続されるようになってい
る。なお、リード線４４はシールド線を使用することが
好ましい。また、本実施例では、リード線４４と静電容
量センサ装置４０を直接接続しているが、これに限ら
ず、防滴型のコネクタを用いることもできる。また、電
極４２n ，４３n の外周には、導電性を有するシールド
プレート４５が配置されており、このシールドプレート
４５は、リード線４４のシールド導体或いは導線を用い
て測定用ＬＣＲメータのグランド端子に接続するように
なっている。
構成を示したものである。同図に示す静電容量センサ装
置４０は、測定対象に対して挿入が容易になるように絶
縁基材である本体４１の側面４１ａが略Ｖ字状に形成さ
れており、その平面に静電容量センサが取り付けられて
いる。静電容量センサの電極４２は、図６または図７に
示した接続構造によって配線されており、二組の電極群
４２n 及び４３n から構成されている。各電極群の両端
からはリード線４４が延出されている。このリード線４
４は、それぞれ測定用ＬＣＲメータのＨPOT 、ＬPOT 、
ＨCUR 、ＬCURの各端子に接続されるようになってい
る。なお、リード線４４はシールド線を使用することが
好ましい。また、本実施例では、リード線４４と静電容
量センサ装置４０を直接接続しているが、これに限ら
ず、防滴型のコネクタを用いることもできる。また、電
極４２n ，４３n の外周には、導電性を有するシールド
プレート４５が配置されており、このシールドプレート
４５は、リード線４４のシールド導体或いは導線を用い
て測定用ＬＣＲメータのグランド端子に接続するように
なっている。
【００２３】また、本体４１の上端寄りには、静電容量
センサ装置４０の挿入深さを一定にするため、及び挿入
後の静電容量センサ装置４０を安定させるための棒状の
スタビライザ４６が反対向きに２組み取り付けられてい
る。
センサ装置４０の挿入深さを一定にするため、及び挿入
後の静電容量センサ装置４０を安定させるための棒状の
スタビライザ４６が反対向きに２組み取り付けられてい
る。
【００２４】
【実施例】図８に示す静電容量センサ装置４０を用い、
製麹における米麹の電気容量の変化を測定した。麹菌の
培養は、以下の方法で行った。白米１ｋｇを蒸し、放冷
した後麹菌（Aspergillus Oryzae）を接種して約６cmの
高さに盛り、３０℃にて培養した。測定は、本実施例の
静電容量センサ装置と図３に示した従来例のセンサとを
白米に差し込んで測定を行った。
製麹における米麹の電気容量の変化を測定した。麹菌の
培養は、以下の方法で行った。白米１ｋｇを蒸し、放冷
した後麹菌（Aspergillus Oryzae）を接種して約６cmの
高さに盛り、３０℃にて培養した。測定は、本実施例の
静電容量センサ装置と図３に示した従来例のセンサとを
白米に差し込んで測定を行った。
【００２５】本実施例の静電容量センサによる測定結果
を図９に示し、従来のセンサによる測定結果を図１０に
示す。両図を比較することによって明らかなように、本
実施例の静電容量センサによって測定された静電容量曲
線は、従来のセンサによる測定結果よりもバラツキが少
なく極めて安定していることが確認された。なお、本発
明において、上述した電極を絶縁被覆した場合には、導
電性の高い測定対象物に適用することが可能になる。
を図９に示し、従来のセンサによる測定結果を図１０に
示す。両図を比較することによって明らかなように、本
実施例の静電容量センサによって測定された静電容量曲
線は、従来のセンサによる測定結果よりもバラツキが少
なく極めて安定していることが確認された。なお、本発
明において、上述した電極を絶縁被覆した場合には、導
電性の高い測定対象物に適用することが可能になる。
【００２６】また、本発明においては、絶縁基材の両面
に、上述した実施例の構成の静電容量センサを備えるこ
ともできる。この場合、各面の静電容量センサから得ら
れる静電容量の和が測定結果となるため、静電容量セン
サのコンパクト化が図れる。
に、上述した実施例の構成の静電容量センサを備えるこ
ともできる。この場合、各面の静電容量センサから得ら
れる静電容量の和が測定結果となるため、静電容量セン
サのコンパクト化が図れる。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によれば、浮遊容量による電気的ノイズの影響を
小さくして測定対象の電気容量を測定することができる
ため、測定精度を高めることができる。また、大量の測
定試料にセンサを挿入して測定を行う場合においても安
定した測定が可能になるという長所を有する。
本発明によれば、浮遊容量による電気的ノイズの影響を
小さくして測定対象の電気容量を測定することができる
ため、測定精度を高めることができる。また、大量の測
定試料にセンサを挿入して測定を行う場合においても安
定した測定が可能になるという長所を有する。
【図１】第一の発明の静電容量センサの構成を示す正面
図である。
図である。
【図２】第二の発明の静電容量センサの構成を示す正面
図である。
図である。
【図３】第二の発明の静電容量センサの他の例を示す正
面図である。
面図である。
【図４】第二の発明の静電容量センサのさらに他の例を
示す正面図である。
示す正面図である。
【図５】第三の発明の静電容量センサの構成を示す正面
図である。
図である。
【図６】図５に示すセンサの結線図である。
【図７】図５に示すセンサの他の結線図である。
【図８】第四の発明の構成を示す斜視図である。
【図９】本発明による静電容量測定結果を示すグラフで
ある。
ある。
【図１０】従来の静電容量センサによる測定結果を示す
グラフである。
グラフである。
【図１１】従来の静電容量センサの基本構成を示す説明
図である。
図である。
【図１２】従来の櫛歯状電極を備えた静電容量センサを
示す正面図である。
示す正面図である。
【図１３】従来の２端子方式及び４端子方式による測定
方法を示す模式図である。
方法を示す模式図である。
１０ 静電容量センサ １１ 絶縁基板 １２ 櫛歯状電極 １２ａ 電圧印加用接続端子 １２ｂ 測定用接続端子 １３ａ 電圧印加用接続端子 １３ｂ 測定用接続端子 １４ａ，１４ｂ シールドプレート
Claims (9)
- 【請求項１】 絶縁基材の表面に、一対の櫛歯状電極を
組み合わせて配置し、前記各櫛歯状電極における両端の
櫛歯部を、個別に設けられた電圧印加用端子及び測定用
端子と接続して４端子構成にしたことを特徴とする静電
容量センサ。 - 【請求項２】 絶縁基材の表面に、一定の間隔を空けて
一対の電極を所定のパターンで配置し、前記所定のパタ
ーンにおける始点及び終点を、個別に設けられた電圧印
加用端子及び測定用端子と接続して４端子構成にしたこ
とを特徴とする静電容量センサ。 - 【請求項３】 前記所定のパターンが渦巻状、蛇行状で
ある請求項２記載の静電容量センサ。 - 【請求項４】 絶縁基材の表面に、多数の帯状電極を平
行配置し、前記帯状電極を端からひとつ置きに第１の導
線を用いて接続し、残された前記帯状電極について端か
らひとつ置きに第２の導線を用いて接続し、前記各導線
の両端を、個別に設けられた電圧印加用端子及び測定用
端子と接続して４端子構成にしたことを特徴とする静電
容量センサ。 - 【請求項５】 前記電極の周囲にシールドプレートを備
えてなる請求項１〜４のいずれかに記載の静電容量セン
サ。 - 【請求項６】 前記絶縁基材の背面にシールドプレート
を備えてなる請求項１〜５のいずれかに記載の静電容量
センサ。 - 【請求項７】 前記電極及び／または前記シールドプレ
ートが絶縁体によって被覆されている請求項１〜６のい
ずれかに記載の静電容量センサ。 - 【請求項８】 前記絶縁基材の両面に請求項１〜５のい
ずれかの静電容量センサを備えてなることを特徴とする
静電容量センサ。 - 【請求項９】 請求項１〜８のいずれかの静電容量セン
サを側面略Ｖ字状をなす本体に取り付けるか、または前
記絶縁基材の側面を略Ｖ字状に形成し、測定対象に対す
る前記静電容量センサの挿入深さを一定にするため、及
び挿入後の前記静電容量センサを安定させるためのスタ
ビライザを前記本体または前記絶縁基材における挿入側
と反対側に設け、電圧印加用端子及び測定用端子を測定
装置に接続するための接続線またはコネクタを、前記本
体または前記絶縁基材に備えてなることを特徴とする静
電容量センサ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7196863A JPH0943187A (ja) | 1995-08-01 | 1995-08-01 | 静電容量センサ及び静電容量センサ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7196863A JPH0943187A (ja) | 1995-08-01 | 1995-08-01 | 静電容量センサ及び静電容量センサ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0943187A true JPH0943187A (ja) | 1997-02-14 |
Family
ID=16364914
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7196863A Withdrawn JPH0943187A (ja) | 1995-08-01 | 1995-08-01 | 静電容量センサ及び静電容量センサ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0943187A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006042248A1 (en) * | 2004-10-11 | 2006-04-20 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Windshield moisture detector |
| JP2007040973A (ja) * | 2005-07-04 | 2007-02-15 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 静電式液体状態検知装置 |
| US7263875B2 (en) | 2004-10-11 | 2007-09-04 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Multi-layer windshield moisture detector |
| US7296461B2 (en) | 2002-12-03 | 2007-11-20 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Temperature compensated windshield moisture detector |
| JP2008506119A (ja) * | 2004-07-09 | 2008-02-28 | タッチセンサー テクノロジーズ，エルエルシー | ビルジ・レベル検出用近接センサ |
| JP2008292203A (ja) * | 2007-05-22 | 2008-12-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 鉄筋診断装置とそれを用いた鉄筋診断方法 |
| JP2012007958A (ja) * | 2010-06-23 | 2012-01-12 | Shoei Denshi Kogyo Kk | 蓄積物検出装置 |
| WO2019039361A1 (ja) * | 2017-08-24 | 2019-02-28 | ミネベアミツミ株式会社 | 保持装置 |
| US10685266B2 (en) | 2017-08-08 | 2020-06-16 | Nidec Sankyo Corporation | Card reader and foreign matter detection method thereof |
-
1995
- 1995-08-01 JP JP7196863A patent/JPH0943187A/ja not_active Withdrawn
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7296461B2 (en) | 2002-12-03 | 2007-11-20 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Temperature compensated windshield moisture detector |
| US7204130B2 (en) | 2002-12-03 | 2007-04-17 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Windshield moisture detector |
| US8024967B2 (en) * | 2004-07-09 | 2011-09-27 | Touchsensor Technologies, Llc | Solid state fluid level sensor |
| JP2008506119A (ja) * | 2004-07-09 | 2008-02-28 | タッチセンサー テクノロジーズ，エルエルシー | ビルジ・レベル検出用近接センサ |
| US7263875B2 (en) | 2004-10-11 | 2007-09-04 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Multi-layer windshield moisture detector |
| WO2006042248A1 (en) * | 2004-10-11 | 2006-04-20 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Windshield moisture detector |
| JP2008516244A (ja) * | 2004-10-11 | 2008-05-15 | ピーピージー・インダストリーズ・オハイオ・インコーポレイテッド | 風防ガラス湿気検出器 |
| KR100884123B1 (ko) * | 2004-10-11 | 2009-02-17 | 피피지 인더스트리즈 오하이오 인코포레이티드 | 수분 검출기 |
| JP2007040973A (ja) * | 2005-07-04 | 2007-02-15 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 静電式液体状態検知装置 |
| JP2008292203A (ja) * | 2007-05-22 | 2008-12-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 鉄筋診断装置とそれを用いた鉄筋診断方法 |
| JP2012007958A (ja) * | 2010-06-23 | 2012-01-12 | Shoei Denshi Kogyo Kk | 蓄積物検出装置 |
| US10685266B2 (en) | 2017-08-08 | 2020-06-16 | Nidec Sankyo Corporation | Card reader and foreign matter detection method thereof |
| WO2019039361A1 (ja) * | 2017-08-24 | 2019-02-28 | ミネベアミツミ株式会社 | 保持装置 |
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