JPH0936404A

JPH0936404A - 集電電極並びに光起電力素子及びその製造方法

Info

Publication number: JPH0936404A
Application number: JP7180460A
Authority: JP
Inventors: Yukie Ueno; 雪絵上野; Akio Hasebe; 明男長谷部; Satoshi Niikura; 諭新倉; Hirobumi Ichinose; 博文一ノ瀬; Tsutomu Murakami; 勉村上
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1995-07-17
Filing date: 1995-07-17
Publication date: 1997-02-07

Abstract

(57)【要約】【目的】良好な初期歩留と優れた長期信頼性をもつ集
電電極、特性の良好な光起電力素子、及び安全に光起電
力素子を製造する方法を提供する。【構成】本発明の集電電極は、導電性樹脂で被覆され
た金属体からなる集電電極において、前記導電性樹脂
が、透明導電性粒子と光重合型感光性樹脂からなること
を特徴とする。前記透明導電性粒子は、金属酸化物の微
粒子であることが好ましい。また、本発明の光起電力素
子は、少なくとも一対の半導体接合と該半導体接合の光
入射側に位置する半導体層上に形成された透明な上部電
極を有する光起電力素子において、前記上部電極の表面
上に、前記集電電極が形成されていることを特徴とす
る。さらに、本発明の光起電力素子の製造方法は、前記
上部電極の表面上に前記集電電極を形成した後、前記集
電電極に紫外線を照射することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、集電電極、並びに、光
起電力素子及びその製造方法に係る。より詳細には、光
を透過する機能を有し、かつ、優れた導電性、高い耐久
性、及び高い信頼性を合わせ持つ集電電極に関する。

【０００２】また、この集電電極を用いることにより得
られる、初期特性及び長期信頼性の高い光起電力素子
と、生産上歩留まりの高い光起電力素子の製造方法に関
する。

【０００３】

【従来の技術】光起電力素子を応用した太陽電池は、火
力発電、水力発電などの既存発電方法の問題を解決する
代替エネルギー源として注目されている。その中でも、
アモルファスシリコン太陽電池は、結晶系の太陽電池に
比較して低コストで、かつ大面積の太陽電池が製造でき
るため、各種の研究がなされている。このアモルファス
シリコン太陽電池を実用化するに当たり重要な技術課題
の１つとして、光電変換効率を向上させることが挙げら
れる。この技術課題を解決すべく、各種の検討が鋭意進
められている。

【０００４】ところで、アモルファスシリコン太陽電池
の構成としては、例えば、ステンレス等からなる導電性
基板上に、裏面電極、半導体層、受光面電極の順番で積
層したものが公知である。この受光面電極は、例えば透
明導電性酸化物によって形成される。

【０００５】更に、電流を集めるための細い金属からな
る集電電極が、前記受光面電極の表面上に堆積される。
この集電電極は、太陽電池の光入射面側に設けられるた
め、集電電極の面積はいわゆるシャドーロスとなり、太
陽電池の発電に寄与する有効面積を減少させてしまう。
このため、集電電極は比較的細い櫛状に形成される。ま
た、前記集電電極は通常細く長く形成されるために、電
気抵抗が少なくなるような材料及び断面形状設計が要求
される。

【０００６】また更に、前記集電電極によって集められ
た電流を集めるために、バスバー電極と呼ばれる比較的
太い金属からなる電極が形成される。

【０００７】以下では、上述した構成の太陽電池におい
て、変換効率を向上させる目的から、集電電極によるシ
ャドーロス、及び電気抵抗ロスを最小限にする研究開発
の現状について説明する。

【０００８】前記集電電極材料としては、上述のシャド
ーロス、電気抵抗ロスを少なくするために銀や銅の様に
比抵抗の低い金属体が用いられている。例えば銀の比抵
抗は、１．６２×１０^-6Ωｃｍであり、銅の比抵抗は
１．７２×１０^-6Ωｃｍである。

【０００９】これらの電極を形成する方法としては、例
えば、蒸着法、メッキ法、スクリーン印刷法等の方法が
用いられている。蒸着法では、堆積速度が遅いこと、真
空プロセスを用いるためスループットが低いこと、ま
た、線状のパターンを形成するためにはマスキングが必
要であり、またマスク部分に堆積した金属は無駄になる
等の問題点がある。一方、スクリーン印刷法の問題点と
しては、低抵抗な電極を得ることが困難な点が挙げられ
る。例えば、銀の導電性ペーストの比抵抗は、最も低い
ものでも４．０×１０^-5Ωｃｍであり、純粋なバルクの
銀よりも１桁比抵抗が小さい、すなわち１桁抵抗が高
い。

【００１０】従来、この様な材料を用いて、集電電極の
面積を変えずに抵抗を下げる方法としては、以下の技術
が知られている。

【００１１】（イ）電極の厚みを厚くする方法。この場
合、実用的に可能な厚みは１０μｍ〜２０μｍである。
この様な厚みでは、例えば１０ｃｍ以上の長い集電電極
を形成するためには、電気抵抗ロスを小さくするために
必然的に集電電極幅が２００μｍ程度以上となりアスペ
クト比（厚みと幅の比）が１：１０の様に小さくなって
しまいシャドーロスが大きいという問題があった。

【００１２】（ロ）米国特許４，２６０，４２９号公報
および米国特許４，２８３，５９１号公報において、金
属ワイヤに導電性粒子を含むポリマーで被覆した電極
を、集電電極とする方法が開示されている。米国特許
４，２６０，４２９号公報に開示された集電電極の断面
図を図１（ａ）に示す。図１（ａ）において１０１は金
属ワイヤ、１０２は導電性樹脂からなる被覆層である。
この発明は導電性の良い銅等の金属ワイヤを用いるた
め、長い集電電極を形成した場合でも電気抵抗ロスが少
なく、またアスペクト比が１：１とできるため、シャド
ーロスも小さくできるという利点がある。また、米国特
許４，２６０，４２９号公報では、ワイヤの固定には導
電性接着剤を用いて簡便な方法で接着できることが特徴
である。

【００１３】しかし、上記従来技術（イ）及び（ロ）に
開示されるような電極を太陽電池に用いた場合、ワイヤ
に樹脂を被覆乾燥する工程、又は被覆乾燥後の工程にお
いて、次のような問題がある。（１）被覆乾燥の際に蒸発する溶剤成分が大気汚染を発
生したり、作業環境を汚したりする。（２）熱硬化性樹脂を用いた場合には乾燥後の樹脂の硬
化促進を制御することが難しく、電極を太陽電池上に形
成する際に十分な接着力が得られない。

【００１４】（３）熱可塑性樹脂のみを用いた場合には
電極形成後の工程でラミネーションなどの熱履歴により
電極が変形し、線幅の変化や部分的な剥離部の発生や電
極の位置ずれなどが生ずる。しかも、樹脂の硬化のため
に比較的長い焼き付け時間を要する。

【００１５】（４）太陽電池のように屋外での使用が必
要である場合、過酷な条件下で長時間使用しても電極と
太陽電池との接着力に変化がないことが要求される。し
かしながら、前記電極を用いた太陽電池では、長期の屋
外曝露や、加速試験としての温湿度試験などを行うと、
接着力が減少することにより、シリーズ抵抗が上昇し変
化効率が低下する。（５）熱圧着工程により、太陽電池基板にシャントが起
こったり、金属ワイヤが太陽電池基板に直接接触する可
能性があり、屋外で使用する場合には光や湿度の影響を
受け、金属のマイグレーションのような悪影響を受け
る。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上述
した課題を克服して初期の歩留が良好であり、長期信頼
性に優れた光起電力素子用集電電極を提供することであ
る。

【００１７】また、本発明の他の目的は前記光起電力素
子用集電電極を用いた特性の良好な光起電力素子の構成
を提供することである。

【００１８】また、本発明のさらに他の目的は前記光起
電力素子用集電電極を用いて光起電力素子を安全に製造
する方法を提供することである。

【００１９】

【課題を解決するための手段】本発明の集電電極は、導
電性樹脂で被覆された金属体からなる集電電極におい
て、前記導電性樹脂が、透明導電性粒子と光重合型感光
性樹脂と、を有することを特徴とする（請求項１）。前
記透明導電性粒子としては、金属酸化物の微粒子が好ま
しい（請求項２）。また、前記金属体が金属ワイヤであ
ることが好ましい（請求項５）。

【００２０】また、本発明の光起電力素子は、少なくと
も一対の半導体接合と該半導体接合の光入射側に位置す
る半導体層上に形成された透光性上部電極を有する光起
電力素子において、前記上部電極の表面上に、請求項１
又は２に記載の集電電極が形成されていることを特徴と
する（請求項３）。

【００２１】さらに、本発明の光起電力素子の製造方法
は、請求項３に記載の光起電力素子の製造方法におい
て、前記上部電極の表面上に前記集電電極を形成した
後、前記集電電極に紫外線を照射することを特徴とす
る。

【００２２】

【作用】請求項１に係る発明では、導電性樹脂で被覆さ
れた金属体からなる集電電極において、前記導電性樹脂
が、透明導電性粒子と光重合型感光性樹脂からなるた
め、導電性樹脂を塗布した直後に、特別なランプから放
射される光線を照射することによって、不飽和基をもっ
た感光性樹脂とモノマーが光重合反応（光の強力なエネ
ルギーで個々の成分粒子が結合し、流動性を失って固状
になる）により瞬間的（０．１〜３０秒）にペーストを
硬化乾燥させることができる。

【００２３】前記導電性樹脂は溶剤を含まないため、ペ
ーストから蒸発する溶剤成分が大気汚染を発生したり、
あるいは職場の環境を汚したりするおそれがない。同時
に、瞬間的な乾燥が可能となるため、作業の高速化及び
効率化が図れる。

【００２４】請求項２に係る発明では、前記透明導電性
粒子を金属酸化物の微粒子としたため、比抵抗の数値を
変えることができる。また、所望に応じて還元処理又は
ドーピング処理することによって、導電性の制御も可能
となる。

【００２５】請求項３に係る発明では、少なくとも一対
の半導体接合と該半導体接合の光入射側に位置する半導
体層上に形成された透光性上部電極を有する光起電力素
子において、前記上部電極の表面上に、請求項１又は２
に記載の集電電極が形成されているため、光起電力素子
で生じた電流を最小限のロスに抑えて集電することがで
きる。その結果、変換効率の高い、初期特性に優れた光
起電力素子が得られる。

【００２６】請求項４に係る発明では、上部電極の表面
上に集電電極を形成した後、前記集電電極に紫外線を照
射するため、感光性樹脂を硬化する際に熱圧着する必要
がない。その結果、金属体が太陽電池基板に接触するこ
とがない。したがって、初期の歩留が良好な優れた光起
電力素子の製造方法が得られる。

【００２７】請求項５に係る発明では、前記金属体が金
属ワイヤであるため、市場で汎用となっているために安
価に入手することができ、しかも、断面形状を所望に応
じて適宜選択できる。その結果、製造コスト削減及び作
業の効率化が図れる。

【００２８】

【実施態様例】

（感光性樹脂）本発明における感光性樹脂は光重合型感
光性樹脂であり、例えば、不飽和ポリエステル、エポキ
シアクリレート、ウレタンアクリレートなどのプレポリ
マーもしくはバインダーポリマー（結着材としての高分
子）としてのポバール、ポリアミド、ポリメタクリレー
トなどと各種のアクリレートやメタクリレートモノマー
（低粘度でオリゴマーや添加剤との相溶性がよくなるよ
うに組み合わせて用いられる反応性希釈剤）および光重
合開始剤（光増感剤）を加えたもの、などが挙げられ
る。その中でも、分子量が数百〜数千で、分子の末端ま
たは側鎖にアクリロイルオキシ基（ＣＨ₂＝ＣＨ−ＣＨ
ＯＯ−）を有する、高粘稠ないしは固体状のアクリル系
オリゴマーが含まれるものが好適に使用される。

【００２９】上述した効果から、印刷版材、フォトレジ
スト、インキ、塗料、コーティング、接着剤等として、
従来使用されていたものに代わり工業的にも幅広く使用
されるようになってきた。

【００３０】太陽電池開発の分野においても、感光性樹
脂は硬化時に熱圧着工程がないため、金属体が太陽電池
基板に接触することがなく、初期の歩留が良好な優れた
光起電力素子を製造することが期待できる。

【００３１】（金属体）本発明における金属体として
は、例えば、銅、銅合金、金等の導電性の良好な材質の
ものが用いられる。安価なことから銅または銅の合金が
好適に用いられる。金属体の断面形状は、円形であって
も矩形であっても良く所望に応じて適宜選択される。具
体的には、例えばＪＩＳ規格Ｃ３２０２に示されるエナ
メル線用の銅線からなる金属ワイヤ（太さ：５μｍ〜１
ｍｍ）が好適に用いられる。この様な金属ワイヤは、公
知の伸線機によって所望の直径に成型して作られる。伸
線機を通過した金属ワイヤは硬質であるが、伸び易さや
曲げ易さの所望の特性に応じてアニールし軟質にして用
いてもよい。

【００３２】また、金属体の好適な線径としては太陽電
池の表面抵抗シャドーロスと抵抗ロスとの和が最小とな
るように選択されたものであるが、具体的には２５μｍ
から３００μｍ程度が好適に用いられる。実際に、２５
μｍ以下であると切れやすく、３００μｍ以上だとシャ
ドーロスやコストが大きくなる。細い径のワイヤを用い
た場合にはピッチを狭くし、太い径のワイヤを用いた場
合にはピッチを広くする等、最適化を行うことで最大の
効率を得ることができる。

【００３３】（導電性樹脂）本発明において金属体に接
して設けられる導電性樹脂からなる層は、金属体への湿
度の浸透を防ぐとともに、金属体からの金属イオンマイ
グレーションを防ぐ機能、更には太陽電池に接着固定す
る機能と集電する機能を有する。導電性樹脂層は、感光
性樹脂及び透明導電性粒子を混合、分散した導電性塗料
を塗布し形成される。

【００３４】前記透明導電性粒子としては、透明且つ導
電性を有する材料として金属酸化物半導体が好適に用い
られる。このような材料の具体例としては、Ｉｎ₂Ｏ₃，
ＳｎＯ₂，ＩＴＯ，ＴｉＯ₂，ＣｄＯ，ＺｎＯ等が挙げら
れる。これらの材料のバルクとしての低抵抗は、１０^-4
Ωｃｍ程度から１０¹Ωｃｍ程度である。また、所望に
応じて還元処理をしたり、ドーピングを行うことで導電
性を向上させても良い。ドーピングの場合は、例えばＳ
ｎＯ₂にＳｂドープしたり、ＺｎＯにＢドープするなど
の公知の方法が可能である。

【００３５】前記金属酸化物半導体を用いて電極を作製
した場合、金属イオンなどの残留があると湿度等の影響
でマイグレーションし好ましくない特性となる。このた
め前記透明導電性粒子の不純物量は１％以下とすること
が好ましい。

【００３６】前記金属酸化物半導体の大きさと形状は、
透明かつ導電性という要求から以下の様に設計されるこ
とが望ましい。すなわち、光に対する透過率を良くする
ためには酸化物半導体に入射した光が前記酸化物半導体
と前記感光性樹脂層との界面で反射されないように設計
する必要があり、このために前記半導体の粒径は光の波
長より小さく設計されなければならない。具体的には一
次粒子径は０．１μｍ以下が好ましい。また、酸化物半
導体の粒子同士が接触することで導電性が生じることか
ら、接触が起こり易いように前記酸化物半導体の形状は
球形以外に針状、燐片状、ジャガイモ状あるいは房状と
することが好ましい。

【００３７】前記酸化物半導体の微粒子の製法として
は、公知の方法を用いることができる。すなわち、金属
塩化物の溶液を酸化する湿式法や気相中で金属の微粒子
を噴出させて酸化させる乾式法等により微粒子を作製す
る。微粒子の形状は、形成時の条件により球状や針状が
得られるが、球状の微粒子をスタンプミル、ボールミル
などの装置を用いて公知の方法で燐片状としても良い。

【００３８】透明導電性粒子と感光性樹脂とは所望の比
抵抗を得るため好適な比率で混合されるが、透明導電性
粒子を増加すると比抵抗は低くなるが、樹脂の比率が少
なくなるため、塗膜としての安定性は悪くなる。従っ
て、好適な比率は、用いる感光性樹脂と透明導電性粒子
及び所望の物性値によって適宜選択されるものである。
具体的には透明導電性粒子が５体積％から９５体積％程
度とすることで良好な比抵抗が得られる。透明導電性粒
子及び感光性樹脂の混合に際しては、３本ロールミルや
ペイントシェイカー等の公知の分散方法を用いることが
できる。

【００３９】上述した導電性樹脂からなる層は、紫外線
を照射することにより硬化し、太陽電池基板状に接着す
る。０．１秒〜３０秒程度紫外線（１５０〜５００ｋｅ
Ｖの高エネルギー電子線）を照射すると導電性樹脂は光
重合反応を行い、流動性を失って固状になり硬化する
が、接着性、作業効率性の面から、照射時間は１０秒〜
２０秒とすることが好ましい。

【００４０】（集電電極）本発明の導電性樹脂が被覆さ
れた集電電極としては、図１に示した断面構造を有する
ものが挙げられる。

【００４１】図１（ａ）は、集電電極１００が、金属ワ
イヤ１０１、及び、透明導電性粒子と感光性樹脂とから
なる導電性樹脂層１０２、から構成されており、かつ、
上部電極が積層された光起電力素子本体１０３と接して
いる状態を示している。また、図１（ｂ）は、金属ワイ
ヤ１０１と導電性樹脂層１０２との間に、金属層１０４
を配設した場合を示す。

【００４２】導電性樹脂の塗布方法としては、例えば、
浸漬法や、通常のエナメル線のコート方法等が好適に用
いることができる。具体的には、金属ワイヤに透明導電
性塗料をロールコーター等を用いてコートし、所望の厚
みを形成するためのダイスを通過させる。図２は、この
場合に用いる装置の模式的断面図である。但し、金属ワ
イヤの搬送方向は、縦方向でも横方向でも構わない。

【００４３】図２において、２０１は金属ワイヤ、２０
２は送り出しリール、２０３は伸線部、２０４は洗浄
層、２０５は乾燥炉、２０６は温度調節器、２０７はコ
ーター、２０８はダイス、２０９は布線機、２１０は硬
化炉である。

【００４４】洗浄層２０４は、所望に応じて用いるもの
であり、例えば、アセトン、ＭＥＫ、ＩＰＡ等の溶剤を
満たしたタンクであって、金属ワイヤ２０１の表面の汚
れを洗浄するものである。乾燥炉２０５は、熱風乾燥機
や赤外線乾燥機等が所望に応じて用いられる。

【００４５】コーター２０７は、透明導電性塗料を金属
ワイヤ２０１に塗布する装置である。所望に応じて導電
性塗料補充機構、ろ過機構等を追加しても良い。ダイス
２０８は、市販のエナメルコート用のものが好適に用い
られる。また、所望に応じてフェルトを用いても良い。

【００４６】硬化炉２１０は、塗布した導電性塗料を硬
化させるためのものであり、図３はその好適な装置の一
例である。紫外線照射器３０１の光源としては、紫外線
領域の連続あるいは輝線スペクトルを放射するものが用
いられる。例えば、水素放電管（１６８〜５００ｎｍ、
おもに連続スペクトル）、キセノン放電管（約２４０〜
１２００ｎｍ、おもに連続スペクトルと近赤外輝線スペ
クトル）、水銀ランプ（Ｈｇの輝線スペクトル、超高圧
水銀灯では連続スペクトルを伴う）、殺菌燈（Ｈｇの輝
線スペクトル）、ケイ光健康燈（約２９０ｎｍのケイ光
帯とＨｇ輝線スペクトル）、ブラックライトランプ（約
３６０ｎｍのケイ光帯とＨｇ輝線スペクトル）、健康白
熱電球（約２９０ｎｍまでの弱い白熱タングステン線条
の連続スペクトル）などを用いることができるが、より
好適には水素放電管、キセノン放電管、水銀ランプなど
が用いられる。

【００４７】図２では縦型塗布装置を示したが、金属ワ
イヤの搬送方向は、縦方向でも横方向でも良いが、所望
に応じて設計されるものである。また、図２では１本の
金属ワイヤの塗布機であるが、同時に複数本の塗布を行
っても良い。

【００４８】布線機２０９は、透明導電性塗料がコーテ
ィングされたワイヤを、太陽電池基板上に布線するもの
である。ダイス２０８を通過したワイヤは、布線機２０
９で太陽電池基板上に布線し、その後紫外線照射で硬化
する。

【００４９】（光起電力素子）本発明の光起電力素子と
しては、例えば、図４〜図６に模式的に示した太陽電池
が挙げられる。

【００５０】図４は、基板と反対側から光入射するシン
グルセル構造の非晶質シリコン系太陽電池である。図５
は、図４の太陽電池をトリプル構造とした非晶質シリコ
ン系太陽電池である。図６は、図４及び図５の太陽電池
を光入射側から見た図であり、１０ｃｍ×１０ｃｍ角に
パターニングされている。更に、図示しないが、透明性
絶縁基板上に堆積した非晶質シリコン系太陽電池におい
ても本発明の思想を用いた構成は適用可能である。

【００５１】基板４０１は、アモルファスシリコンのよ
うな薄膜の太陽電池の場合、半導体層４０３、４０４、
４０５を機械的に支持する部材であり、また場合によっ
ては電極として用いられる。

【００５２】（基板）本発明の光起電力素子を構成する
基板４０１の材料としては、半導体層４０３、４０４、
４０５を成膜するときの加熱温度に耐える耐熱性が要求
されるが、導電性のものでも電気絶縁性のもので構わな
い。導電性の材料としては、例えば、Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃ
ｒ，Ａｌ，Ｍｏ，Ａｕ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｖ，Ｔｉ，Ｐｔ，
Ｐｂ，Ｔｉ等の金属、又はこれらの合金が挙げられる。
また、これらの合金としては、例えば、真鍮、ステンレ
ス銅等の薄板及びその複合体やカーボンシート、亜鉛メ
ッキ鋼板等が挙げられる。電気絶縁性の材料としては、
例えば、ポリエステル、ポリエチレン、ポリカーボネー
ト、セルロースアセテート、ポリプロピレン、ポリ塩化
ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスチレン、ポリアミ
ド、ポリイミド、エポキシ等の耐熱性合成樹脂のフィル
ムまたはシートまたはこれらとガラスファイバー、カー
ボンファイバー、ホウ素ファイバー、金属繊維等との複
合体、及びこれらの金属の薄板、樹脂シート等の表面に
異種材質の金属薄膜及び／またはＳｉＯ₂，Ｓｉ₃Ｎ₄，
Ａｌ₂Ｏ₃，ＡＩＮ等の絶縁性薄膜をスパッタ法、蒸着
法、鍍金法等により表面コーティング処理を行ったもの
および、ガラス、セラミックスなどが挙げられる。

【００５３】（下部電極）本発明の光起電力素子を構成
する下部電極４０２は、半導体層４０３、４０４、４０
５で発生した電力を取り出すための一方の電極であり、
半導体層４０３に対しては、オーミックコンタクトとな
るような仕事関数を持つことが要求される。材料として
は、例えば、Ａｌ，Ａｇ，Ｐｔ，Ａｕ，Ｎｉ，Ｔｉ，Ｍ
ｏ，Ｗ，Ｆｅ，Ｖ，Ｃｒ，Ｃｕ，ステンレス、真鍮、ニ
クロム、ＳｎＯ₂，Ｉｎ₂Ｏ₃，ＺｎＯ，ＩＴＯ等のいわ
ゆる金属単体または合金、及び透明導電性酸化物（ＴＣ
Ｏ）等が好適に用いられる。前記下部電極２０２の表面
は平滑であることが好ましいが、光の乱反射を起こさせ
る場合にはテクスチャー化しても良い。また、基板４０
１が導電性であるときは前記下部電極２０２は特に設け
る必要はない。

【００５４】下部電極の作製方法としては、例えば、メ
ッキ、蒸着法、スパッタ法等の各種方法を用いることが
できる。また、上部電極の作製方法としては、例えば、
抵抗加熱蒸着法、電子ビーム加熱蒸着法、スパッタリン
グ法、スプレー法等を用いることができ、所望に応じて
適宜選択される。

【００５５】（半導体材料）本発明のアモルファスシリ
コン太陽電池においてｉ層２０４を構成する半導体材料
としては、例えば、ａ−Ｓｉ：Ｈ，ａ−Ｓｉ：Ｆ，ａ−
Ｓｉ：Ｈ：Ｆ，ａ−ＳｉＧｅ：Ｈ，ａ−ＳｉＧｅ：Ｆ，
ａ−ＳｉＧｅ：Ｈ：Ｆ，ａ−ＳｉＣ：Ｈ，ａ−ＳｉＣ：
Ｆ，ａ−ＳｉＣ：Ｈ：Ｆ等のいわゆるＩＶ族及びＩＶ族
合金系アモルファス半導体が挙げられる。

【００５６】また、本発明のアモルファスシリコン太陽
電池においてｐ層４０５またはｎ層４０３を構成する半
導体材料としては、前述したｉ層４０４を構成する半導
体材料に価電子制御剤をドーピングすることによって得
られる。また、ｐ型半導体を得るための価電子制御剤の
原料としては、周期律表第ＩＩＩ族の元素を含む化合物
が用いられる。第ＩＩＩ族の元素としては、Ｂ，Ａｌ，
Ｇａ，Ｉｎが挙げられる。ｎ型半導体を得るための価電
子制御剤の原料としては、周期律表第Ｖの元素を含む化
合物が用いられる。第Ｖ族の元素としては、Ｐ，Ｎ，Ａ
ｓ，Ｓｂが挙げられる。

【００５７】（成膜法）本発明のアモルファスシリコン
半導体層の成膜法としては、例えば、蒸着法、スパッタ
法、ＲＦプラズマＣＶＤ法、マイクロ波プラズマＣＶＤ
法、ＥＣＲ法、熱ＣＶＤ法、ＬＰＣＶＤ法等の公知の方
法を所望に応じて用いることができる。工業的に採用さ
れている方法としては、原料ガスをＲＦプラズマで分解
し基板上に堆積させるＲＦプラズマＣＶＤ法が好んで用
いられる。さらに、ＲＦプラズマＣＶＤの法において
は、原料ガスの分解効率が約１０％と低いことや、堆積
速度が０．１ｎｍ／ｓｅｃから１ｎｍ／ｓｅｃ程度と遅
いことが問題であるが、この点を改良できる成膜法とし
てマイクロ波プラズマＣＶＤ法が注目されている。

【００５８】以上の成膜を行うための反応装置として
は、バッチ式の装置や連続成膜装置などの公知の装置が
所望に応じて使用できる。本発明の太陽電池において
は、分光感度や電圧の向上を目的として半導体接合を２
以上積層するいわゆるタンデムセルやトリプルセルにも
用いることが出来る。

【００５９】（太陽電池のモジュール化）本発明におけ
る太陽電池のモジュール化には、以上のように作製され
た太陽電池に対して、屋外使用の際、対候性を良くし機
械的強度を保つ目的から、公知の方法で行うエンカプシ
ュレーションがある。

【００６０】具体的なエンカプシュレーション用材料と
しては、接着層についてはＥＶＡ（エチレンビニルアセ
テート）等が好適に用いられる。また、機械的強度を向
上するためにクレーンガラス等にＥＶＡを含浸させても
良い。さらに、耐湿性や耐傷性を向上させるために、表
面保護層としてフッ素系の樹脂が積層される。例えば、
４フッ化エチレンの共重合体ＴＦＥ、４フッ化エチレン
とエチレンの共重合体ＥＴＦＥ、ポリフッ化ビニル、ポ
リクロロフルオロエチレンＣＴＦＥ等が挙げられる。ま
た、これらの樹脂に紫外線吸収剤を加えることで耐熱性
を向上させても良い。これらの樹脂を太陽電池基板と積
層する方法としては、例えば、真空ラミネートのような
市販の装置を用いて、真空中で加熱、圧着することが可
能である。

【００６１】

【実施例】以下に、本発明の感光性樹脂からなる集電電
極及び該集電電極を用いた光起電力素子について実施例
に基づいてより詳しく説明するが、本発明はこれらの実
施例により限定されるものではない。

【００６２】（実施例１）本例では、本発明の製造方法
を用いて以下に示すようにして集電電極を作製した。括
弧付きの番号は、その作業工程を示す。

【００６３】（１）透明導電性粒子として一次粒子の平
均粒径が０．０３μｍで球状の粒子のＩＴＯ粉末１００
重量部と感光性樹脂としてウレタンアクリレート系樹脂
１５０重量部、反応性希釈剤１００重量部とを混合し３
本ロールミルを用いて混練し、導電性ペーストを作製し
た。該ペーストの平均粒子系を測定したところ、約１μ
ｍであった。ロールミルの代わりにペイントシェーカー
を用いると平均粒子径が約０．５μｍであった。

【００６４】（２）前記ペーストを前記感光性樹脂の標
準硬化条件である高圧水銀灯（１００ｍＷ／ｃｍ²）、
１５秒で硬化させ、その体積抵抗率を測定したところ
０．６Ωｃｍであり、十分低抵抗であることを確認し
た。

【００６５】（３）前記ペーストの空孔容積を水銀ポロ
シメーターで測定したところ０．０２ｃｃ／ｇであっ
た。さらに、前記ペーストのうちＩＴＯ粉末を除いて樹
脂のみで硬化させたシートを作製し、ゲル分率を測定し
たところ９３％であった。

【００６６】以下では、図２に示した縦型のワイヤコー
ト機を用い、被覆層を形成する工程に関して説明する。（４）送り出しリール２０２に金属ワイヤ２０１を巻い
たリールを設置し、布線機２０９に向け前記金属ワイヤ
を張った。次に、コーターに前記作製ペーストを注入し
た。塗布速度は４０ｍ／ｍｉｎとした。使用したエナメ
ルコート用ダイスの径は、１１０μｍから２００μｍま
でを順次用いた。

【００６７】（５）本発明の一実施例として、図５に示
す層構成でグリッド長が３０ｃｍのグリッド電極を有す
るｐｉｎ接合型トリプル構成のアモルファス太陽電池５
００を以下のようにして作製した。（６）十分に脱脂、洗浄したＳＵＳ４３０ＢＡ基板５０
１を不図示のＤＣスパッタ装置に入れ、Ａｇを４５０ｎ
ｍ堆積し、その後ＺｎＯを１０００ｎｍ堆積して下部電
極５０２を形成した。

【００６８】（７）基板を取り出し、不図示のマイクロ
波プラズマＣＶＤ成膜装置に入れ、ｎ層５０３にシリコ
ン層、ｉ層５０４にシリコンゲルマニウム層、ｐ層５０
５にシリコン層のボトム層を形成した。（８）シリコン層のボトム層上に、ｎ層５１３にシリコ
ン層、ｉ層５１４にシリコンゲルマニウム層、ｐ層５１
５にシリコン層の順でミドル層を順次形成した。

【００６９】（９）シリコン層のミドル層上に、ｎ層５
２３、ｉ層５２４、ｐ層５２５の順でシリコン層のトッ
プ層を形成し、半導体層の堆積を終えた。（１０）工程（９）を終了した基板を、不図示のスパッ
タ装置に入れ、反射防止効果を兼ねた機能を有する透明
導電膜５０６としてＩＴＯを７０ｎｍ成膜し、太陽電池
基板５０１を形成した。

【００７０】（１１）太陽電池基板５０１を、サイズが
３０ｃｍ×３０ｃｍで、セルの有効面積が９００ｃｍ²
となるように、塩化第２鉄を主成分とするエッチングペ
ーストと市販の印刷機を用い不要部分の透明導電膜を除
去した。

【００７１】（１２）有効面積以外に硬質銅のプラス電
極６０１、マイナス電極６０２を設け、集電電極６０３
として前記被覆ワイヤ１００を６ｍｍ間隔で有効面積内
に納まるように両プラス電極６０１間に張り、硬化炉２
１０を通し紫外線を照射して、太陽電池基板５０１のセ
ル面及びプラス電極６０１上に集電電極６０３を接着形
成し、図５又は図６に示した３０ｃｍ×３０ｃｍ角のト
リプルセルを作製した。照射条件は高圧水銀灯（１００
ｍＷ／ｃｍ²）、１５秒で行った。

【００７２】（１３）この試料のエンカプシュレーショ
ンを以下のように行った。太陽電池基板６００の上下に
クレーンガラス及びＥＶＡを積層し、さらにその上下に
フッ素樹脂フィルムＥＴＦＥを積層し、真空ラミネータ
ーに投入して１５０℃で６０ｍｉｎ保持しラミネーショ
ンを行った。以上の工程（１）〜工程（１３）により、
同様の太陽電池モジュールを５０個作製した。

【００７３】以下では、得られた試料の初期特性評価に
関して述べる。（ａ）試料の暗状態における電圧−電流特性を測定し、
原点付近の傾きからシャント抵抗を調べた。その結果、
シャント抵抗は２００ｋΩｃｍ²〜５００ｋΩｃｍ²であ
り良好な値を示した。（ｂ）ＡＭ１．５グローバルの太陽光スペクトルで１０
０ｍＷ／ｃｍ²の光量の疑似太陽光源（以下シュミレー
ターと呼ぶ）を用いて太陽電池特性を測定し変換効率を
求めた。その結果、変換効率は７．８％±０．０２％で
あり、ばらつきも少なく良好な値であった。（ｃ）シリーズ抵抗を測定したところ、平均値が３２．
０Ωｃｍ²であり、良好な値であった。（ｄ）Ｉ−Ｖカーブが正常なものの歩留まり率は９４％
と良好であった。

【００７４】以下では、得られた試料に対して行った信
頼性試験に関して述べる。本発明の信頼性試験は、日本
工業規格Ｃ８９１７の結晶系太陽電池モジュールの環境
試験方式、及び耐久試験方法に定められた温湿度サイク
ル試験Ａ−２に基づいて行った。具体的には、試料を温
湿度が制御できる恒温恒湿器に投入し、温度を−４０℃
から＋８５℃（相対湿度８５％）に変化させるサイクル
試験を２０回繰り返した。その後、初期特性評価と同様
にシミュレーターを用いて変換効率を調べた。その結
果、信頼性試験後の変換効率は、初期変換効率に対して
平均で０．２％の低下があった。この低下量から、有意
な劣化は生じなかったと判断した。

【００７５】したがって、上述した本例の結果から、本
発明の導電性樹脂を被覆した金属ワイヤを集電電極とし
て用いた太陽電池は、良好な特性を有し、かつ、信頼性
も高いことが分かった。

【００７６】（比較例１）本例では、集電電極の構成
を、Ｃｕワイヤ、及び、カーボンブラック入りフッ素系
樹脂からなるペーストとし、かつ、硬化接着方法を、熱
圧着とした点が実施例１と異なる。

【００７７】以下では、本例の集電電極の形成方法にお
いて実施例１と異なる点に関して説明する。図１（ａ）
の集電電極１００の被覆層１０２に使用するペースト
に、米国特許４，２６０，４２９号に記載されているよ
うなフッ素系樹脂ペーストを用いて、実施例１と同様に
してワイヤに塗布した。

【００７８】前記ペーストを前記硬化剤の標準硬化条件
である１２０℃、５分で硬化させ、その体積抵抗率を測
定したところ０．１Ωｃｍであり、十分低抵抗であるこ
とを確認した。この導電性樹脂の空孔容積は０．０５ｃ
ｃ／ｇであった。次にワイヤを布線し接着硬化した。加
熱条件は２００℃、４５秒、圧力は１ｋｇ／ｃｍ²で行
った。他の点は、実施例１と同様とした。以上の工程に
より、同様の太陽電池モジュールを５０個作製した。

【００７９】以下では、得られた試料の初期特性評価
（実施例１と同様の測定条件）に関して述べる。

【００８０】まず、シャント抵抗を調べたところ４ｋΩ
ｃｍ²〜３００ｋΩｃｍ²であり、ばらつきが大きかっ
た。次に、変換効率を求めたところ７．５％±１．２％
であり、ばらつきが大きかった。さらに、Ｉ−Ｖカーブ
が正常な試料のシリーズ抵抗を求めたところ平均で３
２．１Ωｃｍ²であり、良好な値であった。しかし、Ｉ
−Ｖカーブが正常なものの初期歩留まり率は低く６４％
であった。

【００８１】以下では、得られた試料に対して実施例１
と同様の信頼性試験を行った後、初期特性評価と同様に
シミュレーターを用いて変換効率を調べた結果に関して
説明する。

【００８２】信頼性試験後の変換効率は、初期変換効率
に対して平均で５〜４０％の低下があり、有意な劣化が
生じていた。また、シャント抵抗を測定したところ１０
ｋΩｃｍ²以下に低下していた。したがって、変換効率
の劣化の原因はシャント抵抗の低下によるものであるこ
とが分かった。

【００８３】これは、ワイヤ接着時に熱、圧力等により
太陽電池基板に金属ワイヤが直接接触し、温度や湿度の
影響から金属イオンがマイグレーションをおこして、シ
ャントが生じたためと推測される。

【００８４】上述した実施例１と比較例１の結果から、
本発明の集電電極を用いた太陽電池は初期の歩留まりが
良く、信頼性が良好であることが分かった。

【００８５】（実施例２）本例では、集電電極の構成
を、Ｃｕワイヤ、並びに、ＺｎＯ及び不飽和ポリエステ
ル系樹脂からなるペーストとし、かつ、紫外線照射器の
光源としてキセノン放電管を用いた点が実施例１と異な
る。

【００８６】以下では、本例の集電電極の形成方法にお
いて実施例１と異なる点に関して説明する。

【００８７】図１（ａ）の集電電極１００の被覆層１０
２に使用するペーストに、主剤となる感光性樹脂として
不飽和ポリエステル系樹脂を、導電性粒子として平均１
次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末を用いた。

【００８８】前記ペーストを前記感光性樹脂の標準硬化
条件であるキセノン放電管（１００ｍＶ／ｃｍ²）、１
０秒で硬化させ、その体積抵抗率を測定した。その結
果、１．２Ωｃｍであり、十分低抵抗であることを確認
した。ここで、前記導電性樹脂の空孔容積は０．０２ｃ
ｃ／ｇであり、ゲル分率が９５％であった。他の点は、
実施例１と同様とした。

【００８９】以上の工程により、同様の太陽電池モジュ
ールを５０個作製した。但し、本例では、金属ワイヤの
太陽電池基板に対する接着力を測定するため、２５個は
エンカプシュレーションを行わなかった。

【００９０】以下では、エンカプシュレーションを行っ
て得られた試料の変換効率（実施例１と同様の測定条
件）に関して述べる。

【００９１】初期の変換効率を求めたところ７．８％±
０．０４％で良好な特性が得られた。また、Ｉ−Ｖカー
ブが正常なものの初期の歩留まり率は９３％で良好であ
った。さらに、外観にも異常は見られなかった。

【００９２】また、上記試料に対して実施例１と同様の
信頼性試験を行った後、初期評価と同様にシミュレータ
ーを用いて変換効率を調べた。その結果、信頼性試験後
の変換効率は、初期変換効率に対して平均で３％の低下
であり、有意な劣化は無かった。

【００９３】以下では、エンカプシュレーションを行わ
ずに得られた試料の集電電極であるワイヤの接着力測定
に関して述べる。初期の接着力を測定したところ平均で
１．５ｋｇ／ｃｍ²であり、良好な値であった。

【００９４】また、上記試料に対して実施例１と同様の
信頼性試験を行った後、初期評価と同様に接着力測定を
調べた。その結果、信頼性試験後の接着力は、初期の接
着力に対して平均で５％の低下であり、有意な劣化は無
かった。

【００９５】（比較例２）本例では、集電電極の構成
を、Ｃｕワイヤ、及び、カーボンブラック入りフッ素系
樹脂からなるペーストとし、かつ、硬化接着方法を熱圧
着とした点が実施例２と異なる。

【００９６】以下では、本例の集電電極の形成方法にお
いて実施例２と異なる点に関して説明する。

【００９７】図１（ａ）の集電電極１００の被覆層１０
２に使用するペーストに、米国特許４，２６０，４２９
号に記載されているようなフッ素系樹脂ペーストを用い
て、実施例１と同様にしてワイヤに塗布した。

【００９８】前記ペーストを前記硬化剤の標準硬化条件
である１８０℃、３０分で硬化させ、その体積抵抗率を
測定したところ０．３Ωｃｍであり、十分低抵抗である
ことを確認した。この導電性樹脂の空孔容積は０．０８
ｃｃ／ｇであった。次にワイヤを布線し接着硬化した。
加熱条件は２００℃、６０秒、圧力は１ｋｇ／ｃｍ²で
行った。他の点は、実施例２と同様とした。

【００９９】以上の工程により、同様の太陽電池モジュ
ールを５０個作製した。但し、本例では、金属ワイヤの
太陽電池基板に対する接着力を測定するため、２５個は
エンカプシュレーションを行わなかった。

【０１００】以下では、エンカプシュレーションを行っ
て得られた試料の変換効率（実施例１と同様の測定条
件）に関して述べる。

【０１０１】初期の変換効率を求めたところ７．６％±
１．５％で良好な特性が得られた。また、Ｉ−Ｖカーブ
が正常なものの初期の歩留まり率は６２％で良好であっ
た。さらに、外観にも異常は見られなかった。

【０１０２】また、上記試料に対して実施例１と同様の
信頼性試験を行った後、初期評価と同様にシミュレータ
ーを用いて変換効率を調べた。その結果、信頼性試験後
の変換効率は、初期変換効率に対して平均で３〜５０％
の低下であり、有意な劣化は無かった。さらに、シリー
ズ抵抗を測定したところ、平均で６４Ωｃｍ²まで上昇
していた。

【０１０３】以下では、エンカプシュレーションを行わ
ずに得られた試料の集電電極であるワイヤの接着力測定
に関して述べる。初期の接着力を測定したところ平均で
０．８ｋｇ／ｃｍ²であり、低い値であった。

【０１０４】また、上記試料に対して実施例１と同様の
信頼性試験を行った後、初期評価と同様に接着力測定を
調べた。その結果、信頼性試験後の接着力は、初期の接
着力に対して平均で７０％の低下であり、有意な劣化が
生じていた。

【０１０５】上述した実施例２と比較例２の結果から、
本発明の集電電極を用いた太陽電池は初期の歩留まりが
良く、信頼性が良好であることが分かった。

【０１０６】（比較例３）本例では、集電電極の構成
を、Ｃｕワイヤ、及びカーボンブラック入りフェノキシ
樹脂からなるペーストとし、かつ、硬化接着方法を熱圧
着とした点が実施例２と異なる。

【０１０７】以下では、本例の集電電極の形成方法にお
いて実施例２と異なる点に関して説明する。

【０１０８】図１（ａ）の集電電極１００の被覆層１０
２に使用するペーストに、米国特許４，２６０，４２９
号に記載されているようなフッ素系樹脂ペーストを用い
て、実施例１と同様にしてワイヤに塗布した。

【０１０９】前記ペーストを前記硬化剤の標準硬化条件
である２００℃、１０分で硬化させ、その体積抵抗率を
測定したところ０．３Ωｃｍであり、十分低抵抗である
ことを確認した。この導電性樹脂の空孔容積は０．０８
ｃｃ／ｇであった。次にワイヤを布線し接着硬化した。
加熱条件は２５０℃、４５秒、圧力は１ｋｇ／ｃｍ²で
行った。

【０１１０】他の点は、実施例２と同様とした。以上の
工程により、同様の太陽電池モジュールを５０個作製し
た。

【０１１１】以下では、得られた試料の変換効率（実施
例１と同様の測定条件）に関して述べる。

【０１１２】初期の変換効率を求めたところ７．７％±
３％であり、バラツキが大きかった。また、Ｉ−Ｖカー
ブが正常なもののシリーズ抵抗を測定したところ平均で
３３．５Ωｃｍ²であり、良好な値であった。しかし、
Ｉ−Ｖカーブが正常なものの初期の歩留まり率は低く、
６５％であった。外観として、集電電極の線幅の変化
や、位置ずれが目立った。

【０１１３】また、上記試料に対して実施例１と同様の
信頼性試験を行った後、初期評価と同様にシミュレータ
ーを用いて変換効率を調べた。その結果、信頼性試験後
の変換効率は、初期変換効率に対して平均で２〜３５％
の低下であり、有意な劣化が生じていた。さらに、シリ
ーズ抵抗を測定したところ、平均で７０Ωｃｍ²まで上
昇していた。したがって、変換効率の劣化の原因は、シ
リーズ抵抗の上昇によるものであることが分かった。

【０１１４】上述した実施例２と比較例３の結果から、
本発明の集電電極を用いた太陽電池は初期の歩留まりが
良く、信頼性が良好であることが分かった。

【０１１５】（実施例３）本例では、集電電極の構成
を、Ｃｕワイヤ、Ａｇクラッド、及びＴｉＯ₂ とした点
が実施例１と異なる。

【０１１６】以下では、本例の集電電極の形成方法にお
いて実施例１と異なる点に関して説明する。

【０１１７】図１（ｂ）の集電電極１００において、導
電性樹脂との密着性、電気的導通向上のため厚み２μｍ
のＡｇクラッドの金属層１０４を銅線１０１の上に形成
した直径１００μｍのＡｇクラッドＣｕワイヤを用い、
導電性粒子として燐片状粒子であるＴｉＯ₂（金属メッ
シュでふるいにかけ厚さ２μｍ、長さ１７μｍ（長辺、
短辺）の平均粒子径を有する粒子に分級した）を用い
た。

【０１１８】前記ペーストを前記感光性樹脂の標準硬化
条件である高圧水銀灯（１００ｍＷ／ｃｍ²）、１５秒
で硬化させ、その体積抵抗率を測定したところ０．３Ω
ｃｍであり、十分低抵抗であることを確認した。

【０１１９】他の点は、実施例１と同様とした。以上の
工程により、同様の太陽電池モジュールを５０個作製し
た。

【０１２０】以下では、得られた試料の変換効率（実施
例１と同様の測定条件）に関して述べる。

【０１２１】初期の変換効率を求めたところ７．８％±
０．０３％であり、バラツキが大きかった。また、Ｉ−
Ｖカーブが正常なもののシャント抵抗が３００ｋΩｃｍ
²〜４００ｋΩｃｍ²、シリーズ抵抗が３１．５Ωｃｍ²
で良好な特性が得られた。また、Ｉ−Ｖカーブが正常な
ものの歩留まり率は９５％で良好であった。

【０１２２】また、上記試料に対して実施例１と同様の
信頼性試験を行った後、初期評価と同様にシミュレータ
ーを用いて変換効率を調べた。その結果、信頼性試験後
の変換効率は、初期変換効率に対して平均で１．５％の
低下であり、有意な劣化は生じなかった。

【０１２３】上述した実施例３の結果から、本発明の集
電電極を用いた太陽電池は初期の歩留まりが良く、信頼
性が良好であることが分かった。

【０１２４】（実施例４）本例では、集電電極の構成
を、Ｃｕワイヤ、Ａｇクラッド、及びエポキシアクリレ
ート系樹脂とし、かつ、紫外線照射用の光源として水素
放電管を使用した点が実施例１と異なる。

【０１２５】以下では、本例の集電電極の形成方法にお
いて実施例１と異なる点に関して説明する。図１（ｂ）
の集電電極１００において、導電性樹脂を形成するため
のペーストの主剤となる感光性樹脂をエポキシアクリレ
ート系樹脂を用いた。

【０１２６】前記ペーストを前記感光性樹脂の標準硬化
条件である高圧水銀灯（１００ｍＷ／ｃｍ²）、２０秒
で硬化させ、その体積抵抗率を測定したところ１．０Ω
ｃｍであり、十分低抵抗であることを確認した。

【０１２７】他の点は、実施例１と同様とした。以上の
工程により、同様の太陽電池モジュールを５０個作製し
た。

【０１２８】以下では、得られた試料の変換効率（実施
例１と同様の測定条件）に関して述べる。

【０１２９】初期の変換効率を求めたところ７．４％±
０．０１％であり、バラツキが少なかった。また、Ｉ−
Ｖカーブが正常なもののシャント抵抗が２５０ｋΩｃｍ
²〜５００ｋΩｃｍ²、シリーズ抵抗が３１．５Ωｃｍ²
で良好な特性が得られた。また、Ｉ−Ｖカーブが正常な
ものの歩留まり率は９０％で良好であった。

【０１３０】また、上記試料に対して実施例１と同様の
信頼性試験を行った後、初期評価と同様にシミュレータ
ーを用いて変換効率を調べた。その結果、信頼性試験後
の変換効率は、初期変換効率に対して平均で２．３％の
低下であり、有意な劣化は生じなかった。

【０１３１】上述した実施例４の結果から、本発明の集
電電極を用いた太陽電池は初期の歩留まりが良く、信頼
性が良好であることが分かった。

【０１３２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の導電性樹
脂からなる被覆層により被覆された金属ワイヤで形成さ
れた集電電極を用いることにより、被覆層の架橋密度を
コントロールし、保存性を損なわず接着性の高い良好な
集電電極が得られる。さらに、その架橋が瞬間的で、熱
圧着工程を含まないことから、作業的効率や初期特性の
優れた、長期信頼性の高い光起電力素子が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る被覆層を設けた集電電極の構成を
示す模式的断面図である。

【図２】本発明に係る集電電極の作製において、ワイヤ
コート、布線、及び硬化を行う装置の模式図である。

【図３】本発明に係る集電電極を太陽電池基板上に形成
するための紫外線照射装置の一例を示す模式的断面図で
ある。

【図４】本発明に係るアモルファスシリコン系太陽電池
の構成を示す模式的断面図である。

【図５】本発明に係るトリプル型アモルファスシリコン
系太陽電池の構成を示す模式的断面図である。

【図６】本発明に係る太陽電池の構成を示す模式的平面
図である。

【符号の説明】

１００、６００、４０７、５０７、６０３集電電極、１０１、１０２金属ワイヤ、１０２被覆層、１０３上部電極が積層された光起電力素子、２０２送り出しリール、２０３伸線部、２０４洗浄槽、２０５乾燥炉、２０６温度調節器、２０７コーター、２０８ダイス、２０９布線機、２１０硬化炉、３０１紫外線照射器、３０２、４００、５００、６００太陽電池、４０１、５０１基板、４０２、５０２下部電極、４０３、５０３、５１３、５２３ｎ型半導体層、４０４、５０４、５１４、５２４ｉ型半導体層、４０５、５０５、５１５、５２５ｐ型半導体層、４０６、５０６透明導電膜（上部電極）、６０１プラス電極、６０２マイナス電極。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者一ノ瀬博文東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者村上勉東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】導電性樹脂で被覆された金属体からなる
集電電極において、前記導電性樹脂が、透明導電性粒子
と光重合型感光性樹脂と、を有することを特徴とする集
電電極。
【請求項２】前記透明導電性粒子が、金属酸化物の微
粒子である請求項１に記載の集電電極。
【請求項３】少なくとも一対の半導体接合と該半導体
接合の光入射側に位置する半導体層上に形成された透光
性上部電極を有する光起電力素子において、前記上部電
極の表面上に、請求項１又は２に記載の集電電極が形成
されている光起電力素子。
【請求項４】請求項３に記載の光起電力素子の製造方
法において、前記上部電極の表面上に前記集電電極を形
成した後、前記集電電極に紫外線を照射する光起電力素
子の製造方法。
【請求項５】前記金属体が、金属ワイヤである請求項
１の集電電極。