JPH09318472A

JPH09318472A - 圧力センサ

Info

Publication number: JPH09318472A
Application number: JP15902996A
Authority: JP
Inventors: Kenji Shinohara; 賢二篠原; Hiroyuki Kajio; 博行梶尾; Junichiro Tsuji; 潤一郎辻; Toshinori Yamasue; 利紀山末
Original assignee: Omron Corp; Omron Tateisi Electronics Co
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 1996-05-29
Filing date: 1996-05-29
Publication date: 1997-12-12

Abstract

(57)【要約】【目的】電圧検出特性の変動をなくして流体圧を高精
度に検出し、小型コンパクトで、製造組立作業を容易か
つ安価にする。【構成】圧力導入ポート５を有するケース本体２と、
このケース本体２に収納されて上記圧力導入ポート５か
らの流体圧Ｐａを一側面に受けるダイヤフラム７と、上
記ケース本体２に収納されて上記ダイヤフラム７の変位
を検出する差動トランス８とを具備し、上記差動トラン
ス８は、複数の差動コイル９を巻装したコイルスプール
１０と、このスプール１０の中空軸部１０ａに軸移動可
能に嵌合された磁性体からなるプランジャ１１と、上記
スプール１０の端部に突設されて上記ダイヤフラム７の
外周部７ａを上記ケース本体２の内底面４ａに圧接させ
る押圧部１０ｄとを備え、上記ケース本体２とダイヤフ
ラム押圧部材１０ｃとで上記ダイヤフラム７の外周部７
ａを挟持したことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、たとえば流体圧の変
化からＬＰガスなどの流体の漏洩を検出する圧力センサ
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の圧力センサとして、セン
サケースをケース本体とカバーとから構成し、上記ケー
ス本体に形成された凹所の内底面にＯリングを介してダ
イヤフラムを配置し、このダイヤフラムの外周面を環状
の押圧部材で押圧して固定し、上記押圧部材の中空部に
差動トランスを嵌合し、この差動トランスのプランジャ
を上記ダイヤフラムの中央部に当接させて復帰ばねで押
圧するとともに、上記差動トランスのコイルスプールを
上記ダイヤフラム側にばね部材で押圧し、１対の圧力導
入ポートから上記ダイヤフラムの両側面に付勢された流
体圧の圧力差で上記ダイヤフラムおよびプランジャを上
記復帰ばねに抗して変位させ、上記プランジャの変位量
を上記コイルスプールに巻回された複数の差動コイルで
もって電圧の変化として検出するように構成したものが
知られている（特開平７−７８５３７号公報参照）。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記構成において、差
動トランスのプランジャはケース本体に固定されたダイ
ヤフラムに直接に当接するのに対し、上記差動トランス
のコイルスプールはダイヤフラムの押圧部材を介してケ
ース本体に弾性的に支持されているため、上記ケース本
体に対するコイルスプールの組立誤差により、上記プラ
ンジャとコイルスプールとの相対位置が変位し、上記コ
イルスプールに巻回された差動コイルによる電圧検出特
性が変動するおそれがある。

【０００４】また、上記ダイヤフラムの押圧部材はケー
ス本体に複数のピンを打ち込んで固定されているため、
熱変形などにより上記Ｏリングとダイヤフラムとの圧接
力が低下して封止不良となり、上記ケース本体に形成さ
れた一方の圧力導入ポートからの流体が上記ケースの内
部空間に充満して外部に漏洩するおそれがあり、これを
防止するために、上記ケースの封止個所が増加して部品
点数も多く、製造組立作業が面倒で、かつ高価となるな
どの課題がある。

【０００５】この発明は上記課題を解消するためになさ
れたもので、電圧検出特性の変動をなくして流体圧を高
精度に検出し、小型コンパクトで、製造組立作業が容易
かつ安価な圧力センサを提供することを目的としてい
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明による請求項１の圧力センサは、圧力導入
ポートを有するケース本体と、このケース本体に収納さ
れて上記圧力導入ポートからの流体圧を一側面に受ける
ダイヤフラムと、上記ケース本体に収納されて上記ダイ
ヤフラムの変位を検出する差動トランスとを具備し、上
記差動トランスは、コイルを巻装したコイルスプール
と、このスプールの中空軸部に軸移動可能に嵌合された
磁性体からなるプランジャと、上記スプールの端部に突
設されて上記ダイヤフラムの外周部を上記ケース本体の
内面に圧接させるダイヤフラム押圧部材とを備え、上記
ケース本体とダイヤフラム押圧部材とで上記ダイヤフラ
ムの外周部を挟持して封止したことを特徴とする。

【０００７】この発明による請求項２の圧力センサは、
上記ケース本体とダイヤフラム押圧部とで上記ダイヤフ
ラムの外周部を挟持する挟持部をシール材で封止したこ
とを特徴とする。この発明による請求項３の圧力センサ
は、上記ダイヤフラムが上記スプールの中空軸部を通っ
て他方の圧力導入ポートからの流体圧を他側面に受け、
１対の圧力導入ポートから導入される流体圧の圧力差で
上記ダイヤフラムを変位させて上記流体圧の変化を検出
するように構成したことを特徴とする。

【０００８】この発明による請求項４の圧力センサは、
他方の圧力導入ポートとスプールの中空軸部との結合部
をシール部材で封止したことを特徴とする。この発明に
よる請求項５の圧力センサは、他方の圧力導入ポートが
スプールの中空軸部を上記ケース本体を閉塞するカバー
の外部に導出して形成されていることを特徴とする。こ
の発明による請求項６の圧力センサは、スプールの中空
軸部に復帰ばねを収納し、上記中空軸部に収納されたプ
ランジャをダイヤフラム側へ押圧するように構成されて
いることを特徴とする。この発明による請求項７の圧力
センサは、プランジャの両端部にガイドピンを突設し、
各ガイドピンをスプールの中空軸部および復帰ばねの受
け座に形成された軸受孔に摺動可能に嵌合したことを特
徴とする。

【０００９】この発明による請求項８の圧力センサは、
上記ダイヤフラム押圧部材を補助押圧部材で保持したこ
とを特徴とする。この発明による請求項９の圧力センサ
は、上記ダイヤフラム押圧部材と補助押圧部材との間に
シール材を介在させて接合したことを特徴とする。この
発明による請求項１０の圧力センサは、上記ダイヤフラ
ムに対向するダイヤフラム押圧部材の対向面が上記ダイ
ヤフラムの外周部から中央部に向うにしたがって接近す
る逆テーパ面に形成され、この逆テーパ面に上記ダイヤ
フラムの変位を規制する円環リブ状のストッパ部を突設
したことを特徴とする。

【００１０】

【作用】請求項１の発明によれば、ダイヤフラム押圧部
材が差動トランスのコイルスプールに一体に形成されて
ケース本体に固定されているため、上記ケース本体に対
するコイルスプールの組立誤差を極力なくして、プラン
ジャとの相対位置を常に一定に保持することができ、上
記コイルスプールに巻回された差動コイルによる電圧検
出特性の変動をなくし、流体圧を高精度に検出すること
ができる。

【００１１】請求項２の発明によれば、ケース本体とダ
イヤフラム押圧部とでダイヤフラムの外周部を挟持する
挟持部をシール材で封止したから、上記ケース本体に形
成された一方の圧力導入ポートからの流体がケースの内
部空間に充満するおそれがない。請求項３の発明によれ
ば、ダイヤフラムがスプールの中空軸部を通って他方の
圧力導入ポートからの流体圧を他側面に受ける構成であ
るため、上記ケースの封止個所が低減されて部品点数が
少なく、小型コンパクトで、製造組立作業が容易かつ安
価となる。しかも、上記ダイヤフラムの他側面に形成さ
れる空間は内部容積が小さく、呼吸作用の影響を受けに
くいため、そのシール性を一層向上させることができ
る。

【００１２】その場合、請求項４の発明のように、他方
の圧力導入ポートとスプールの中空軸部との結合部をシ
ール部材で封止して、そのシール性を高めることが推奨
される。また、請求項５の発明のように、他方の圧力導
入ポートはスプールの中空軸部が上記ケース本体を閉塞
するカバーの外部に導出して形成されることにより、上
記ケースの封止個所を低減し、かつ部品点数を一層少な
くすることができる。さらに、請求項６の発明のよう
に、スプールの中空軸部にコイルばねからなる復帰ばね
を収納し、上記中空軸部に収納されたプランジャをダイ
ヤフラム側へ押圧することにより、製造組立作業が容易
で、かつ、上記中空軸部をガイドとしてプランジャを軸
方向へ押圧することができ、ヒステリシス特性に優れた
電圧検出特性を得ることができる。

【００１３】請求項７の発明によれば、プランジャの両
端部にガイドピンを突設し、各ガイドピンをスプールの
中空軸部および復帰ばねの受け座に形成された軸受孔に
摺動可能に嵌合したから、上記プランジャがガイドピン
と一体に形成されて部品点数が少なく、製造組立作業が
容易となり、上記プランジャの軸移動が円滑で、ヒステ
リシス特性に優れた電圧検出特性を得ることができる。
請求項８の発明によれば、ダイヤフラム押圧部材をたと
えば金属製の補助押圧部材で補強したから、温度や湿度
による変形を防止することができる。その場合、請求項
９の発明のように、上記ダイヤフラム押圧部材と補助押
圧部材との間に接着材などの流動性を有するシール材を
介在させて接合すれば、その変形を一層有効に防止する
ことができる。請求項１０の発明によれば、上記ダイヤ
フラムに対向するダイヤフラム押圧部材の対向面を上記
ダイヤフラムの外周部から中央部に向うにしたがって接
近する逆テーパ面に形成し、この逆テーパ面に上記ダイ
ヤフラムの変位を規制する円環リブ状のストッパ部を突
設したから、上記ダイヤフラム押圧部材が熱変形や吸湿
で変位しても中央側のストッパ部の設定位置の変位量が
小さく、上記ダイヤフラムが流体圧を受けて変位する量
を軽減し、その損傷を防止することができる。

【００１４】

【実施例】以下、この発明の実施例を図面にもとづいて
説明する。図１はこの発明による圧力センサの一例を示
す断面図である。同図において、センサケース１はケー
ス本体２と、このケース本体２に嵌合されたカバー３と
から構成され、上記ケース本体２には凹所４の内底面４
ａに連通する圧力導入ポート５が形成されるとともに、
上記カバー３には内外を連通する圧力導入ポート６が形
成されている。上記凹所４の内底面４ａには上記圧力導
入ポート５からの流体圧Ｐａを一側面に受けるダイヤフ
ラム７が収納されるとともに、上記凹所４には上記ダイ
ヤフラム７の変位を検出する差動トランス８が収納され
ている。

【００１５】上記差動トランス８は、複数の差動コイル
９を巻装したコイルスプール１０と、このスプール１０
の中空軸部１０ａの中心軸ａに沿って軸移動可能に嵌合
された磁性体からなるプランジャ１１と、上記スプール
１０の一端部１０ｂに突設されたダイヤフラム押圧部材
１０ｃとを備えている。上記ダイヤフラム押圧部材１０
ｃには、上記凹所４の内底面４ａに上記ダイヤフラム７
の外周部７ａを圧接させる押圧部１０ｄが形成され、上
記内底面４ａと押圧部１０ｄとで上記ダイヤフラム７の
外周部７ａを挟持する挟持部１２が形成されるととも
に、上記挟持部１２はシール材１３で封止されている。

【００１６】すなわち、上記ダイヤフラム押圧部材１０
ｃの外周縁部に所定間隔を存して突設された係止片１０
ｅを上記凹所４の内周面に形成された係止溝４ｂに係合
させて係合部１４を形成し、この係合部１４に接着材な
どの流動性のシール材１３を注入し、上記ケース本体２
との間に形成される環状溝１５にシール材１３を充填し
て硬化させ、上記ダイヤフラム７の挟持部１２を封止し
て上記圧力導入ポート５がケース本体２の凹所４に連通
するのを防止している。上記ダイヤフラム７の挟持部１
２における内周面側には膨出された空間部１６が形成さ
れ、上記環状溝１５に充填された流動性のシール材１３
が上記挟持部１２の微細な間隙を通って毛細管現象によ
り上記挟持部１２の内周面側に流入しようとするのを上
記膨出空間部１６で遮断し、上記ダイヤフラム７がその
中央部両側面に形成される空隙１７，１８を上記シール
材１３で充填されて不動作となるのを防止している。

【００１７】また、上記ダイヤフラム７の中央部他側面
に形成される空隙１８は、上記スプール１０の中空軸部
１０ａにおける中心孔１０ｈを通って上記カバー３の圧
力導入ポート６に連通されている。すなわち、上記カバ
ー３の内面中央部には中心軸ａと同心状の嵌合溝３ａが
形成され、この嵌合溝３ａに上記スプール１０における
中空軸部１０ａの他端部１０ｅが嵌合されるとともに、
その外周に形成された筒状の受け座３ｂと上記スプール
１０の他端部に突設されたつば部１０ｆとの間にＯリン
グからなるシール部材１９が介装され、上記カバー３の
外周壁に形成された係合孔３ｃにケース本体２の外周壁
に突設された係合突起２ａを係止させて、上記シール部
材１９により上記中空軸部１０ａの中心孔１０ｈがケー
ス本体２の凹所４に連通するのを防止するとともに、上
記カバー３の圧力導入ポート６に連通している。これに
よって、他方の圧力導入ポート６とスプール１０の中空
軸部１０ａとの結合部２２を上記シール部材１９で封止
することができる。

【００１８】上記プランジャ１１の両端部にはガイドピ
ン１１ａ，１１ｂがスプール１０の中心軸ａと同軸状に
突設され、一方のガイドピン１１ａはダイヤフラム押圧
部材１０ｃの中央部に形成された軸受孔１０ｇに摺動自
在に挿通されて、上記ダイヤフラム７の中央部に突設さ
れた押圧突起７ｂに当接し、他方のガイドピン１１ｂは
カバー３の中央部に形成された軸受孔３ｄに摺動自在に
挿通されている。上記ガイドピン１１ａ，１１ｂは、た
とえば図２で示すような円柱状に形成され、同図(A) で
示す角形の軸受孔１０ｇ，３ｄに嵌合されて流通路２０
を形成することにより、摺動面２１の接触面積を少なく
し、上記中空軸部１０ａの中心孔１０ｈに嵌合されたプ
ランジャ１１の摺動を円滑にするとともに、上記ダイヤ
フラム７の中央部他側面に形成される空隙１８が上記流
通路２０および中空軸部１０ａの中心孔１０ｈを通り上
記カバー３の圧力導入ポート６に連通している。

【００１９】上記スプール１０の中心孔１０ｈには復帰
ばね２３が収納されてプランジャ１１をダイヤフラム７
側へ押圧するように構成されている。なお、上記ガイド
ピン１１ａ，１１ｂと軸受孔１０ｇ，３ｄとの摺動面２
１は図３(B),(C) で示するように非円形に形成されて、
上記流通路２０を他の各種形状とすることができる。ま
た、上記凹所４に収納されたプリント配線基板２３には
電子部品を実装して圧力検出回路部（図示せず）が形成
され、複数の端子片２４を介して圧力検出信号が出力さ
れるように構成されている。

【００２０】つぎに、上記構成の動作について説明す
る。いま、一方の圧力導入ポート５をたとえばＬＰガス
メータにおける配管（図示せず）に接続するとともに、
他方の圧力導入ポート６を大気に開放し状態で上記配管
にＬＰガスを供給すると、その流体圧Ｐａが圧力導入ポ
ート５からダイヤフラム７の一側面に付勢され、他方の
圧力導入ポート６からスプール１０の中心孔１０ｈを通
って大気圧Ｐｂが上記ダイヤフラム７の他側面に付勢さ
れ、各流体圧Ｐａ，Ｐｂの圧力差ΔＰで上記ダイヤフラ
ム７およびプランジャ１１を上記復帰ばね２３に抗して
変位させ、上記プランジャ１１の変位量を差動コイル９
でもって上記流体圧Ｐａの変化として検出し、流体の漏
洩を検知することができる。

【００２１】上記構成によれば、差動トランス８のコイ
ルスプール１０がダイヤフラム押圧部材１０ｃに一体形
成されてケース本体２に固定されているため、上記ケー
ス本体２に対するコイルスプール１０の組立誤差を極力
なくし、プランジャ１１との相対位置を常に一定に保持
することができ、上記コイルスプール１０に巻回された
差動コイル９による電圧検出特性の変動をなくし、流体
圧Ｐａの変化を高精度に検出することができる。

【００２２】また、ケース本体２とダイヤフラム押圧部
材１０ｃとで上記ダイヤフラム７の外周部７ａを挟持す
る挟持部１２をシール材１３で封止し、他方の圧力導入
ポート６を上記スプール１０の中心孔１０ｈを通って上
記ダイヤフラム７の他側面に連通させる構成であるか
ら、ケース本体２に形成された一方の圧力導入ポート５
からの流体がケース本体２の凹部４に充満するおそれが
なく、上記ケース１の封止個所が低減されて部品点数が
少なく、小型コンパクトで、製造組立作業が容易かつ安
価となる。

【００２３】しかも、上記ダイヤフラム７の他側面に形
成される空間１８は上記凹所４に連通しないため、その
内部容積が小さくなって呼吸作用の影響を受けにくく、
そのシール性を一層向上させることができる。また、上
記スプール１０の中空軸部１０ａにはコイルばねからな
る復帰ばね２３が収納されて、上記中空軸部１０ａに収
納されたプランジャ１１をダイヤフラム７側へ押圧する
構成としたから、製造組立作業が容易で、かつ、上記中
空軸部１０ａをガイドとしてプランジャ１１を軸方向へ
押圧することができ、ヒステリシス特性に優れた電圧検
出特性を得ることができる。

【００２４】さらに、上記プランジャ１１の両端部にガ
イドピン１１ａ，１１ｂを一体に突設し、各ガイドピン
１１ａ，１１ｂをダイヤフラム押圧部材１０ｃおよび復
帰ばね２３の受け座３ｅに形成された軸受孔１０ｇ，３
ｄに摺動可能に嵌合したから、少ない部品点数でもって
製造組立作業が容易となり、上記プランジャ１１の軸移
動を円滑にし、かつヒステリシス特性に優れた電圧検出
特性を得ることができる。

【００２５】上記実施例において、他方の圧力導入ポー
ト６はスプール１０の中空軸部１０ａと別体に形成され
て結合部２２で結合したけれども、図３で示すように、
スプール１０の中空軸部１０ａを上記カバー３の外部に
導出させることにより一体に形成されて、部品点数およ
び封止個所を一層低減させることができる。

【００２６】上記スプール１０のダイヤフラム押圧部１
０ｃは、図４で示すように、金属製の補助押圧部材２５
で補強することにより温度や湿度で変形するのを防止す
ることができる。その場合、上記ダイヤフラム押圧部材
１０ｃと補助押圧部材２５との間に接着材などの流動性
を有するシール材１３を塗布して硬化すれば、その変形
を一層有効に防止することができる。また、上記金属製
の補助押圧部材２５にはばね片２５ａが突設されて、ケ
ース本体２の係止溝４ｃに係止させることにより、その
補強効果を高めることができる。

【００２７】図５はダイヤフラム支持構造の要部を示す
断面図である。同図において、ダイヤフラム押圧部材１
０ｃは、ダイヤフラム７に対向する面１０ｍが外周部か
ら中央部に向うにしたがって上記ダイヤフラム７に接近
する逆テーパ面に形成され、かつ、この逆テーパ面１０
ｍに上記ダイヤフラム７の変位を規制する円環リブ状の
ストッパ部１０ｋが突設されている。

【００２８】ところで、図６(A) で示すように、上記ダ
イヤフラム押圧部材１０ｃにおけるダイヤフラム７に対
向する面１０ｊを外周部から中央部に向うにしたがって
上記ダイヤフラム７との間隔が順次増大するテーパ面に
形成した場合、上記ダイヤフラム押圧部材１０ｃが熱変
形や吸湿で矢印ｃ方向へ変位して中央側のストッパ部１
０ｋの設定位置の変位量が大きくなり、上記ダイヤフラ
ム７が流体圧Ｐａを受けて実線から仮想線で示すように
大きく変位して損傷するおそれがある。

【００２９】これに対し、図５で示す逆テーパ面１０ｍ
に形成することにより、図６(B) で示すように、上記ダ
イヤフラム押圧部材１０ｃにおけるダイヤフラム７に対
向する面１０ｍを外周部から中央部に向うにしたがって
上記ダイヤフラム７に接近する逆テーパ面に形成するこ
とにより、上記ダイヤフラム押圧部材１０ｃが熱変形や
吸湿で矢印ｃ方向へ変位しても中央側のストッパ部１０
ｋの設定位置の変位量が小さく、上記ダイヤフラム７が
流体圧Ｐａを受けて実線から仮想線で示す変位を軽減し
てその損傷を有効に防止することができる。

【００３０】上記各実施例において、ダイヤフラム７の
外周部７ａを挟持する挟持部１２はシール材１３で封止
した例について説明したけれども、図７で示すように、
上記ダイヤフラム７の外周部７ａを両側面に配設された
Ｏリングからなる１対のシール部材２７で封止して、上
記圧力導入ポート５がケース本体２の凹所４に連通する
のを防止するように構成してもよい。なお、上記各実施
例において、図１と同一もしくは相当部分には同一の符
号を付してその詳しい説明を省略する。

【００３１】

【発明の効果】以上詳述したように、この発明によれ
ば、電圧検出特性の変動をなくし、正確な流体圧の検出
が可能であるとともに、ケースの封止個所を低減して部
品点数が少なく、小型コンパクトで、製造組立作業が容
易かつ安価な圧力センサを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明による圧力センサの一例を示す縦断面
図である。

【図２】同圧力センサの要部の横断面図である。

【図３】この発明による圧力センサの他の例を示す縦断
面図である。

【図４】この発明による圧力センサの異なる他の例を示
す縦断面図である。

【図５】同圧力センサの要部の縦断面図である。

【図６】同圧力センサの要部の動作を説明する概略的な
縦断面図である。

【図７】この発明による圧力センサのさらに異なる他の
例を示す縦断面図である。

【符号の説明】

１ケース２ケース本体３カバー３ｄ軸受孔３ｅ受け座４ａ内面（内底面）５圧力導入ポート６圧力導入ポート７ダイヤフラム７ａ外周部８差動トランス９コイル１０コイルスプール１０ａ中空軸部１０ｂスプールの端部１０ｄ押圧部１０ｍ逆テーパ面１０ｋストッパ部１１プランジャ１１ａガイドピン１１ｂガイドピン１２挟持部１３シール材１９シール部材２２結合部２３復帰ばね２５補助押圧部材Ｐａ流体圧Ｐｂ流体圧

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者山末利紀京都府京都市右京区花園土堂町10番地オムロン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】圧力導入ポートを有するケース本体と、
このケース本体に収納されて上記圧力導入ポートからの
流体圧を一側面に受けるダイヤフラムと、上記ケース本
体に収納されて上記ダイヤフラムの変位を検出する差動
トランスとを具備し、上記差動トランスは、コイルを巻
装したコイルスプールと、このスプールの中空軸部に軸
移動可能に嵌合された磁性体からなるプランジャと、上
記スプールの端部に突設されて上記ダイヤフラムの外周
部を上記ケース本体の内面に圧接させるダイヤフラム押
圧部材とを備え、上記ケース本体とダイヤフラム押圧部
材とで上記ダイヤフラムの外周部を挟持して封止したこ
とを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】上記ケース本体とダイヤフラム押圧部と
で上記ダイヤフラムの外周部を挟持する挟持部をシール
材で封止したことを特徴とする請求項１に記載の圧力セ
ンサ。
【請求項３】上記ダイヤフラムは上記スプールの中空
軸部を通って他方の圧力導入ポートからの流体圧を他側
面に受け、１対の圧力導入ポートから導入される流体圧
の圧力差で上記ダイヤフラムを変位させて上記流体圧の
変化を検出するように構成したことを特徴とする請求項
１または２に記載の圧力センサ。
【請求項４】他方の圧力導入ポートとスプールの中空
軸部との結合部をシール部材で封止したことを特徴とす
る請求項３に記載の圧力センサ。
【請求項５】他方の圧力導入ポートはスプールの中空
軸部を上記ケース本体を閉塞するカバーの外部に導出し
て形成されていることを特徴とする請求項３に記載の圧
力センサ。
【請求項６】上記スプールの中空軸部に復帰ばねを収
納し、上記中空軸部に収納されたプランジャをダイヤフ
ラム側へ押圧するように構成されていることを特徴とす
る請求項１ないし５のいずれかに記載の圧力センサ。
【請求項７】上記プランジャの両端部にガイドピンを
一体に突設し、各ガイドピンを上記スプールの中空軸部
および復帰ばねの受け座に形成された軸受孔に摺動可能
に嵌合したことを特徴とする請求項６に記載の圧力セン
サ。
【請求項８】上記ダイヤフラム押圧部材を補助押圧部
材で保持したことを特徴とする請求項１ないし７のいず
れかに記載の圧力センサ。
【請求項９】上記ダイヤフラム押圧部材と補助押圧部
材との間にシール材を介在させて接合したことを特徴と
する請求項８に記載の圧力センサ。
【請求項１０】上記ダイヤフラム押圧部材は、ダイヤフ
ラムに対向する面が上記ダイヤフラムの外周部から中央
部に向うにしたがって接近する逆テーパ面に形成され、
この逆テーパ面に上記ダイヤフラムの変位を規制する円
環リブ状のストッパ部を突設したことを特徴とする請求
項１ないし９のいずれかに記載の圧力センサ。