JPH0931700A - めっき装置のボール状アノード補給装置 - Google Patents
めっき装置のボール状アノード補給装置Info
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- JPH0931700A JPH0931700A JP18896095A JP18896095A JPH0931700A JP H0931700 A JPH0931700 A JP H0931700A JP 18896095 A JP18896095 A JP 18896095A JP 18896095 A JP18896095 A JP 18896095A JP H0931700 A JPH0931700 A JP H0931700A
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Abstract
ず、又槽上に登る必要をなくする。 【解決手段】 ボール状アノードを収容するケースを多
数有するめっき槽の上端に、上記ケースの上端に補給パ
イプを介して連通する孔を有し前下りに傾斜した樋を配
置し、各孔の前側の直下に樋と直交し水平な軸を設け、
上記軸に上記孔を上側から開閉する蓋と、上記孔の下側
を架橋するレバーとを支承し、上記軸に上記蓋を後上り
の傾斜開放位置へ付勢する第1ばねと、蓋とレバーに係
合し蓋が開放している時レバーを孔の下側の縁に押し当
て蓋が閉じた時レバーを後下りに保ちかつ更にアノード
通過時蓋に対し略90゜開くように弾性支持する第2ば
ねとを備えためっき装置のボール状アノード補給装置
Description
状アノード補給装置に関する。
被めっき物を保持したキャリヤバーの両側に、例えば2
00mmのピッチでアノードケースを配置し、アノード
ケースの上端開口からアノード(銅塊等)を補給してい
た。その為、どのアノードケースのアノードが不足して
いるかを見つけ、補給するのに人手が必要であった。又
アノードの補給の為にめっき装置を停止させる必要があ
り、めっき槽の上に登る必要があった。
めっき装置を停止させず、又槽上に登る必要をなくす
る。
ードを収容するケースを多数有するめっき槽の上端に、
上記ケースの上端に補給パイプを介して連通する孔を有
し前下りに傾斜した樋を配置し、各孔の前側の直下に樋
と直交し水平な軸を設け、上記軸に上記孔を上側から開
閉する蓋と、上記孔の下側を架橋するレバーとを支承
し、上記軸に上記蓋を後上りの傾斜開放位置へ付勢する
第1ばねと、蓋とレバーに係合し蓋が開放している時レ
バーを孔の下側の縁に押し当て蓋が閉じた時レバーを後
下りに保ちかつ更にアノード通過時蓋に対し略90゜開
くように弾性支持する第2ばねとを備えためっき装置の
ボール状アノード補給装置である。
ており、めっき槽1に支持されたバー2に上端の開放し
た網状の多数のチタンケースのようなアノードケース3
が例えば200mmのピッチで取付けてあり、アノード
ケース3内にはボール状アノード4が液面5の付近まで
充填されている。6は略U字形断面の樋(補給レール)
で、緩やかに前下りに傾斜するようにめっき槽1に取付
けてあり、底板に樋6から供給されるボール状アノード
4が通過する多数の孔7(この孔7は後述する蓋により
開閉される)を備え、孔7は樋6の下面に取付けた補給
パイプ8を介してその直下のアノードケース3の上端に
連通している。
プ8の上端に固着された矩形の台板10が図3、図4の
ように4隅のねじ11により樋6の底板の下面に取付け
てあり、補給パイプ8の内径と等しい内径の孔12の部
分を介して樋6の底板の孔7に連通し、孔7は孔12よ
りも後方(図2、4で左方)へ延びて台板10の上面が
露出した略矩形部分7aと、孔12より前方へ延びて孔
12の前方延長部分12aと連通する略矩形部分7bと
を備えている。孔部分7b、12aを挾む台板10の左
右下面から図3のような垂直な1対のブラケット13が
突出し、両ブラケット13は樋6と直交する軸14の両
端部を支承し、CS形止め輪15により抜け止めが施し
てある。
レバー17と、このレバー17を左右から挾み蓋18の
下面に固着された逆U字形のブラケット19が支承され
ており、ブラケット19、13間の軸14上には、蓋1
8を通常図2の18aで示す後上りの傾斜開放位置へ付
勢する第1ばね(捩りコイルばね)20を嵌めている。
ばね20の一端20aは蓋18に係合し、他端20bは
台板10に係合している。ブラケット19とレバー17
の間の軸14上には、蓋18が図2の実線のように孔1
2を閉塞した時レバー17が図2の17aで示す後下り
(角αは例えば60゜)の姿勢で補給パイプ8内に突出
するように付勢する第2ばね(捩りコイルばね)21を
嵌めている。ばね21の一端21aはレバー17に係合
し、他端21bはブラケット19に係合し、常時角αを
減す方向に作用し、角αは図2のレバー17aの上後端
部の突起22(上前端部23に比べて軸14からの距離
が最も離れているストッパー部分)がブラケット19の
下面に衝突して保持される。図2のレバー17aはアノ
ード4aの落下により17aの位置から軸14を中心に
反時計方向に第2ばね21の弾力に抗して17の位置の
方へ回動することが出来、その間蓋18は図2で実線の
ように孔12を閉じた状態に保つ。蓋18の上にアノー
ド4がない状態で、アノード4aがレバー17aを下方
へ通過すると、第1ばね20の弾力により蓋18は18
aの位置へ開き、レバー17aは17bの位置で後端部
が台板10の下面に弾性的に当接し、孔12を下側から
架橋し、蓋18aとの間に角αを保つ。図2、3の2
4、25はレバー17を通すために補給パイプ8に設け
たスリットである。又図1の26は樋6の内部を透過し
て蓋18が図2の18aのように開放していることを検
出して警報ランプ27を点灯させる透過型光電センサー
であり、警報ランプ27が点灯している樋6の後端にボ
ール状アノードを自動的に補給する補給装置を配置する
ことも出来る。
4b(図2)が消耗して次第に下降し、レバー17aを
17側へ押していたアノード4aがレバー17aを下方
へ通過すると(それまで蓋18は孔7、12を閉塞して
いる)、レバー17aと蓋18は第1ばね20の弾力に
より図2で時計方向に回動し、夫々17b、18aの位
置で孔7、12を開放状態にする。蓋18aの開放状態
が図1の光電センサー26で検出され、警報ランプ27
が点灯すると、作業者又は補給装置が樋6の後端部に1
個のボール状アノード4(銅球)を入れる。そのボール
状アノード4は樋6の傾斜により転がり、図2の孔7、
12に入り、レバー17bを押し下げて補給パイプ8内
に落下し、その下側のアノード4bの上に乗り、17a
の位置よりも反時計方向に回動したレバー17cに弾性
的に当接し、その間蓋18は孔7、12を閉塞するの
で、その上を別のボール状アノード4が転がり、樋6の
別の開放した孔7、12を通して別の補給パイプ8へ供
給可能となる。
ース3の中のボール状アノード4が所定量減ると自動的
に蓋18aが開き、孔7、12からボール状アノード4
を補給することができ、アノード4は4aのように補給
されると蓋18が自動的に閉じ、別のアノードケース3
への補給が可能になる。レバー17は、17bの位置か
らアノード4の下降につれて17a、17c、17と回
動し、後下りの17a位置以降は蓋18を閉塞状態に保
つので、樋6の機能が維持され、補給の必要なアノード
ケース3のみに1個ずつのボール状アノード4を補給す
ることができる。構造が簡単なため製造が容易であり、
作動も確実である。アノードの補給の為にめっき装置を
停止させず、又槽上に登る必要をなくすることができ
る。
Claims (1)
- 【請求項1】 ボール状アノードを収容するケースを多
数有するめっき槽の上端に、上記ケースの上端に補給パ
イプを介して連通する孔を有し前下りに傾斜した樋を配
置し、各孔の前側の直下に樋と直交し水平な軸を設け、
上記軸に上記孔を上側から開閉する蓋と、上記孔の下側
を架橋するレバーとを支承し、上記軸に上記蓋を後上り
の傾斜開放位置へ付勢する第1ばねと、蓋とレバーに係
合し蓋が開放している時レバーを孔の下側の縁に押し当
て蓋が閉じた時レバーを後下りに保ちかつ更にアノード
通過時蓋に対し略90゜開くように弾性支持する第2ば
ねとを備えためっき装置のボール状アノード補給装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18896095A JP3681791B2 (ja) | 1995-07-25 | 1995-07-25 | めっき装置のボール状アノード補給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18896095A JP3681791B2 (ja) | 1995-07-25 | 1995-07-25 | めっき装置のボール状アノード補給装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0931700A true JPH0931700A (ja) | 1997-02-04 |
JP3681791B2 JP3681791B2 (ja) | 2005-08-10 |
Family
ID=16232951
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18896095A Expired - Fee Related JP3681791B2 (ja) | 1995-07-25 | 1995-07-25 | めっき装置のボール状アノード補給装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3681791B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015119182A1 (ja) * | 2014-02-10 | 2015-08-13 | 株式会社荏原製作所 | アノードホルダ及びめっき装置 |
CN115161753A (zh) * | 2022-07-07 | 2022-10-11 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种下沉式微小金属球体/球壳电镀装置及对微球进行电镀的方法 |
-
1995
- 1995-07-25 JP JP18896095A patent/JP3681791B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015119182A1 (ja) * | 2014-02-10 | 2015-08-13 | 株式会社荏原製作所 | アノードホルダ及びめっき装置 |
JP2015151553A (ja) * | 2014-02-10 | 2015-08-24 | 株式会社荏原製作所 | アノードホルダ及びめっき装置 |
US10240247B2 (en) | 2014-02-10 | 2019-03-26 | Ebara Corporation | Anode holder and plating apparatus |
CN115161753A (zh) * | 2022-07-07 | 2022-10-11 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种下沉式微小金属球体/球壳电镀装置及对微球进行电镀的方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3681791B2 (ja) | 2005-08-10 |
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