JPH09316640A - 蒸着めっきの付着量制御方法及び制御装置 - Google Patents
蒸着めっきの付着量制御方法及び制御装置Info
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- JPH09316640A JPH09316640A JP9009488A JP948897A JPH09316640A JP H09316640 A JPH09316640 A JP H09316640A JP 9009488 A JP9009488 A JP 9009488A JP 948897 A JP948897 A JP 948897A JP H09316640 A JPH09316640 A JP H09316640A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 金属蒸気の流量を即応性よく制御し、めっき
付着量をオンライン制御する。 【構成】 蒸発源１０から被めっき鋼帯１に金属蒸気１
２を導く蒸気案内ダクト１３から金属蒸気の一部を蒸気
取出し管１４を経て蒸気量原子吸光測定装置１５に取り
出し、蒸気量原子吸光測定装置１５で金属蒸気に測定光
２０を照射し、得られた吸光度から案内ダクト１３内を
通過する金属蒸気１２の流量を演算し、演算結果に基づ
いて案内ダクト１３内に設けられている蒸気量調整用シ
ャッタ１７の開度を調整する。 【効果】 案内ダクト１３内を通過する金属蒸気１２の
流量に基づいてめっき付着量が制御されるため、短時間
で目標付着量をもつめっき層が形成される。
付着量をオンライン制御する。 【構成】 蒸発源１０から被めっき鋼帯１に金属蒸気１
２を導く蒸気案内ダクト１３から金属蒸気の一部を蒸気
取出し管１４を経て蒸気量原子吸光測定装置１５に取り
出し、蒸気量原子吸光測定装置１５で金属蒸気に測定光
２０を照射し、得られた吸光度から案内ダクト１３内を
通過する金属蒸気１２の流量を演算し、演算結果に基づ
いて案内ダクト１３内に設けられている蒸気量調整用シ
ャッタ１７の開度を調整する。 【効果】 案内ダクト１３内を通過する金属蒸気１２の
流量に基づいてめっき付着量が制御されるため、短時間
で目標付着量をもつめっき層が形成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、蒸着法でめっき鋼板を
製造する際のめっき付着量を即応性よく制御する方法及
び装置に関する。
製造する際のめっき付着量を即応性よく制御する方法及
び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｚｎめっき鋼板等の製造ラインでめっき
付着量を制御する際、蛍光Ｘ線やＸ線回折法等でめっき
付着量を測定している。蛍光Ｘ線法では、めっき鋼板に
Ｘ線を照射してめっき金属から放出される蛍光Ｘ線の強
度を測定し、予め作成している検量線に基づいて計算す
ることによってめっき付着量を求めている（特開昭６０
−１３３０８号公報参照）。複層めっきが施されためっ
き鋼板では、めっき組成に特有のピーク強度を測定し、
めっき組成と付着量との関係式を解くＸ線回折法が適し
ている。
付着量を制御する際、蛍光Ｘ線やＸ線回折法等でめっき
付着量を測定している。蛍光Ｘ線法では、めっき鋼板に
Ｘ線を照射してめっき金属から放出される蛍光Ｘ線の強
度を測定し、予め作成している検量線に基づいて計算す
ることによってめっき付着量を求めている（特開昭６０
−１３３０８号公報参照）。複層めっきが施されためっ
き鋼板では、めっき組成に特有のピーク強度を測定し、
めっき組成と付着量との関係式を解くＸ線回折法が適し
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】蛍光Ｘ線法では、図１
に示すように蒸着めっきラインの出側にＸ線測定箇所を
設定している。すなわち、めっきされる鋼帯１は、ガス
還元炉２で表面が活性化された後、入側真空シール装置
３を経て真空室４に導入され、蒸着ゾーン５でＺｎ，Ｍ
ｇ等の蒸着めっきが施され、出側真空シール装置６及び
冷却帯７を経て真空室４から送り出される。この送り出
された後の蒸着めっき鋼帯８の表面に対向して、Ｘ線測
定装置９が配置されている。そのため、蒸着からめっき
付着量の測定までに時間がかかり、付着量変化に対して
迅速に対応する制御ができない。また、Ｚｎ−Ｍｇ蒸着
めっき鋼板のように異種の元素を多層めっきする場合、
多種類の元素の付着量を測定し、制御することが要求さ
れる。しかし、各元素からのＸ線が互いの元素及び各層
によって減衰されるため、各元素の正確な付着量を求め
ることが難しい。特に、多層構造をもつＺｎ−Ｍｇめっ
き層にあっては、ＭｇのＸ線が弱く、Ｚｎ等の元素及び
各合金層で減衰されるため、付着量の正確な測定が一層
困難になる。
に示すように蒸着めっきラインの出側にＸ線測定箇所を
設定している。すなわち、めっきされる鋼帯１は、ガス
還元炉２で表面が活性化された後、入側真空シール装置
３を経て真空室４に導入され、蒸着ゾーン５でＺｎ，Ｍ
ｇ等の蒸着めっきが施され、出側真空シール装置６及び
冷却帯７を経て真空室４から送り出される。この送り出
された後の蒸着めっき鋼帯８の表面に対向して、Ｘ線測
定装置９が配置されている。そのため、蒸着からめっき
付着量の測定までに時間がかかり、付着量変化に対して
迅速に対応する制御ができない。また、Ｚｎ−Ｍｇ蒸着
めっき鋼板のように異種の元素を多層めっきする場合、
多種類の元素の付着量を測定し、制御することが要求さ
れる。しかし、各元素からのＸ線が互いの元素及び各層
によって減衰されるため、各元素の正確な付着量を求め
ることが難しい。特に、多層構造をもつＺｎ−Ｍｇめっ
き層にあっては、ＭｇのＸ線が弱く、Ｚｎ等の元素及び
各合金層で減衰されるため、付着量の正確な測定が一層
困難になる。
【０００４】Ｘ線回折法でも、蛍光Ｘ線法と同様に測定
位置が蒸着位置から離れているために、測定結果を得る
までに時間がかかり、即応性のよい付着量制御ができな
い。また、異種元素の多層構造をもつめっき層では、め
っき層中に各元素の外に数種類の金属間化合物が存在す
るため、それらのピークも測定しなければならず、数多
くの測定装置が必要になる。更に、一つ一つのピークが
互いの元素，合金及び各層で減衰されることから誤差が
大きく、高精度で付着量を測定できない。本発明は、こ
のような問題を解消すべく案出されたものであり、原子
吸光法を利用してダクト内の蒸気量を測定し、蒸気量の
測定値から付着量を算出することにより、付着量のオン
ライン測定を可能とし、優れた即応性で付着量を制御す
ることを目的とする。
位置が蒸着位置から離れているために、測定結果を得る
までに時間がかかり、即応性のよい付着量制御ができな
い。また、異種元素の多層構造をもつめっき層では、め
っき層中に各元素の外に数種類の金属間化合物が存在す
るため、それらのピークも測定しなければならず、数多
くの測定装置が必要になる。更に、一つ一つのピークが
互いの元素，合金及び各層で減衰されることから誤差が
大きく、高精度で付着量を測定できない。本発明は、こ
のような問題を解消すべく案出されたものであり、原子
吸光法を利用してダクト内の蒸気量を測定し、蒸気量の
測定値から付着量を算出することにより、付着量のオン
ライン測定を可能とし、優れた即応性で付着量を制御す
ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の蒸着めっき付着
量制御方法は、その目的を達成するため、蒸発源から被
めっき鋼帯に金属蒸気を導く蒸気案内ダクトから金属蒸
気の一部を蒸気取出し管を経て蒸気量原子吸光測定装置
に取り出し、蒸気量原子吸光測定装置で金属蒸気に測定
光を照射し、得られた吸光度から案内ダクト内を通過す
る金属蒸気の流量を演算し、演算結果に基づいて案内ダ
クト内に設けられている蒸気量調整用シャッタの開度を
調整することを特徴とする。また、蒸着めっきの付着量
制御装置は、蒸発源から被めっき鋼帯に金属蒸気を導く
蒸気案内ダクト内に一端が開口した蒸気取出し管と、該
蒸気取出し管の他端開口部が臨む蒸気量原子吸光測定装
置と、該蒸気量原子吸光測定装置で測定された金属蒸気
の吸光度が入力される付着量制御装置と、前記案内ダク
ト内に設けられ、前記付着量制御装置からの制御信号で
開度が調整される蒸気量調整用シャッタとを備えてい
る。
量制御方法は、その目的を達成するため、蒸発源から被
めっき鋼帯に金属蒸気を導く蒸気案内ダクトから金属蒸
気の一部を蒸気取出し管を経て蒸気量原子吸光測定装置
に取り出し、蒸気量原子吸光測定装置で金属蒸気に測定
光を照射し、得られた吸光度から案内ダクト内を通過す
る金属蒸気の流量を演算し、演算結果に基づいて案内ダ
クト内に設けられている蒸気量調整用シャッタの開度を
調整することを特徴とする。また、蒸着めっきの付着量
制御装置は、蒸発源から被めっき鋼帯に金属蒸気を導く
蒸気案内ダクト内に一端が開口した蒸気取出し管と、該
蒸気取出し管の他端開口部が臨む蒸気量原子吸光測定装
置と、該蒸気量原子吸光測定装置で測定された金属蒸気
の吸光度が入力される付着量制御装置と、前記案内ダク
ト内に設けられ、前記付着量制御装置からの制御信号で
開度が調整される蒸気量調整用シャッタとを備えてい
る。
【０００６】
【実施の形態】本発明においては、図２に示すように蒸
発源１０の蒸発金属１１を金属蒸気１２として被めっき
鋼帯１に導く案内ダクト１３から、金属蒸気１２の一部
を蒸気流量に応じて蒸気取出し管１４から取り出す。取
り出された金属蒸気１２は、蒸気量原子吸光測定装置１
５に導かれ、原子吸光法で吸光度を求める。吸光度の測
定値は、付着量制御装置１６に入力され、金属蒸気量が
演算され、蒸気量調整用シャッタ１７の開度を変更する
制御信号として付着量制御装置１６から出力される。案
内ダクト１３内の金属蒸気１２は、真空ポンプ１８で減
圧されている測定室１５と案内ダクト１３との間の圧力
差に応じた量で、蒸気取出し管１４から測定装置１５に
導かれる。測定室１５内では、図３に示すように光源１
９としてのホロカソードランプから金属蒸気１２に吸収
される特定の波長をもつ測定光２０を金属蒸気１２に照
射し、原子吸光を生じさせる。金属蒸気１２に吸収され
ない光は、光源１９の反対側にある検知器としての光電
子倍増管２１に到達する。光電子倍増管２１による測定
結果から、金属蒸気１２に吸収された光量，すなわち吸
光度が判る。
発源１０の蒸発金属１１を金属蒸気１２として被めっき
鋼帯１に導く案内ダクト１３から、金属蒸気１２の一部
を蒸気流量に応じて蒸気取出し管１４から取り出す。取
り出された金属蒸気１２は、蒸気量原子吸光測定装置１
５に導かれ、原子吸光法で吸光度を求める。吸光度の測
定値は、付着量制御装置１６に入力され、金属蒸気量が
演算され、蒸気量調整用シャッタ１７の開度を変更する
制御信号として付着量制御装置１６から出力される。案
内ダクト１３内の金属蒸気１２は、真空ポンプ１８で減
圧されている測定室１５と案内ダクト１３との間の圧力
差に応じた量で、蒸気取出し管１４から測定装置１５に
導かれる。測定室１５内では、図３に示すように光源１
９としてのホロカソードランプから金属蒸気１２に吸収
される特定の波長をもつ測定光２０を金属蒸気１２に照
射し、原子吸光を生じさせる。金属蒸気１２に吸収され
ない光は、光源１９の反対側にある検知器としての光電
子倍増管２１に到達する。光電子倍増管２１による測定
結果から、金属蒸気１２に吸収された光量，すなわち吸
光度が判る。
【０００７】得られた吸光度は、電気信号に変換され、
付着量制御装置１６に入力される。付着量制御装置１６
では、予めインプットしている検量線と入力された吸光
度とを照合し、金属蒸気量を演算する。このとき、原子
吸光法で測定した蒸気の変化量は、案内ダクト１３内を
通過する金属蒸気１２の変化量と正の相関関係にある。
そのため、蒸気の一部を測定することにより、案内ダク
ト１３内を通過する金属蒸気１２の流量を求めることが
できる。求められた金属蒸気１２の流量は、流量制御信
号に変換され、蒸気量調整用シャッタ１７に出力され、
シャッタ１７の開度調整に使用される。このようにし
て、案内ダクト１３内の金属蒸気１２の流量を測定し、
付着量を直接的に制御するため、即応性に優れた高精度
の付着量制御が可能になる。また、感度が良好で測定範
囲の広い原子吸光法を採用していることから、微量な蒸
気量から大量の蒸気量まで精度良く測定できる。更に、
各元素それぞれ単独に蒸気案内ダクト１３内の蒸気量を
測定しているので、各元素の付着量を独立して制御でき
る。しかも、蒸発金属１１の蒸発面が生成酸化物等で汚
れ、蒸発面積が減少して蒸気量が変動するような場合で
も、汚染による影響が排除され、精度良く付着量が制御
される。
付着量制御装置１６に入力される。付着量制御装置１６
では、予めインプットしている検量線と入力された吸光
度とを照合し、金属蒸気量を演算する。このとき、原子
吸光法で測定した蒸気の変化量は、案内ダクト１３内を
通過する金属蒸気１２の変化量と正の相関関係にある。
そのため、蒸気の一部を測定することにより、案内ダク
ト１３内を通過する金属蒸気１２の流量を求めることが
できる。求められた金属蒸気１２の流量は、流量制御信
号に変換され、蒸気量調整用シャッタ１７に出力され、
シャッタ１７の開度調整に使用される。このようにし
て、案内ダクト１３内の金属蒸気１２の流量を測定し、
付着量を直接的に制御するため、即応性に優れた高精度
の付着量制御が可能になる。また、感度が良好で測定範
囲の広い原子吸光法を採用していることから、微量な蒸
気量から大量の蒸気量まで精度良く測定できる。更に、
各元素それぞれ単独に蒸気案内ダクト１３内の蒸気量を
測定しているので、各元素の付着量を独立して制御でき
る。しかも、蒸発金属１１の蒸発面が生成酸化物等で汚
れ、蒸発面積が減少して蒸気量が変動するような場合で
も、汚染による影響が排除され、精度良く付着量が制御
される。
【０００８】
【実施例】Ｚｎ，Ｍｇ，Ｚｎの順に蒸着めっきした蒸着
Ｚｎ−Ｍｇめっき鋼板の製造に本発明を適用した実施例
を説明する。この場合に形成されるめっき層Ｌは、鋼板
の保有熱によりＺｎ及びＭｇが相互拡散し、図４に示す
ように下地鋼Ｓの上にＭｇ：０．５重量％以下のＺｎ層
Ｌ1 ，Ｍｇ：２〜２０重量％のＺｎ−Ｍｇ層Ｌ2 及びＭ
ｇ：０．５重量％以下のＺｎ層Ｌ3 が順次形成された多
層構造をもっている。原子吸光法による蒸気量の測定で
は、案内ダクト１３からＺｎ又はＭｇ蒸気の一部を取り
出し、蒸気取出し管１４を経て原子吸光測定装置１５に
送り込み、Ｚｎ又はＭｇ蒸気に測定光２０を照射して吸
光度を測定した。このときの案内ダクト１３には幅５０
０ｍｍ，高さ１００ｍｍ，長さ３ｍの矩形ダクトを使用
し、蒸気取出し管１４には内径２ｍｍ，長さ１ｍの円筒
管の先端に内径０．５ｍｍ，長さ１０ｍｍの先端管を取
り付けたものを使用した。
Ｚｎ−Ｍｇめっき鋼板の製造に本発明を適用した実施例
を説明する。この場合に形成されるめっき層Ｌは、鋼板
の保有熱によりＺｎ及びＭｇが相互拡散し、図４に示す
ように下地鋼Ｓの上にＭｇ：０．５重量％以下のＺｎ層
Ｌ1 ，Ｍｇ：２〜２０重量％のＺｎ−Ｍｇ層Ｌ2 及びＭ
ｇ：０．５重量％以下のＺｎ層Ｌ3 が順次形成された多
層構造をもっている。原子吸光法による蒸気量の測定で
は、案内ダクト１３からＺｎ又はＭｇ蒸気の一部を取り
出し、蒸気取出し管１４を経て原子吸光測定装置１５に
送り込み、Ｚｎ又はＭｇ蒸気に測定光２０を照射して吸
光度を測定した。このときの案内ダクト１３には幅５０
０ｍｍ，高さ１００ｍｍ，長さ３ｍの矩形ダクトを使用
し、蒸気取出し管１４には内径２ｍｍ，長さ１ｍの円筒
管の先端に内径０．５ｍｍ，長さ１０ｍｍの先端管を取
り付けたものを使用した。
【０００９】原子吸光法で得られた吸光度の測定結果か
ら、図５及び図６に示すようにＺｎ及びＭｇの何れにお
いても、吸光度と蒸気量との間に密接な関係があった。
この関係から、吸光度を測定することによりＺｎ蒸気量
及びＭｇ蒸気量が計測されることが判る。更に、原子吸
光法で付着量制御して作製したＺｎ−Ｍｇめっき層のＺ
ｎ付着量及びＭｇ付着量を、化学分析法で測定した。原
子吸光法による測定結果を化学分析法による測定結果と
比較したところ、表１に示すように両者の間に高い一致
性がみられ、原子吸光法で求めためっき付着量が化学分
析法で求めためっき付着量と同程度の高信頼性をもつも
のであった。この結果からも、吸光度を測定することに
よりＺｎ蒸気量及びＭｇ蒸気量が計測されることが判
る。これに対し、蛍光Ｘ線法では、Ｍｇの付着量が測定
できず、必要とする層構造をもったＺｎ−Ｍｇめっきを
形成することに利用できなかった。
ら、図５及び図６に示すようにＺｎ及びＭｇの何れにお
いても、吸光度と蒸気量との間に密接な関係があった。
この関係から、吸光度を測定することによりＺｎ蒸気量
及びＭｇ蒸気量が計測されることが判る。更に、原子吸
光法で付着量制御して作製したＺｎ−Ｍｇめっき層のＺ
ｎ付着量及びＭｇ付着量を、化学分析法で測定した。原
子吸光法による測定結果を化学分析法による測定結果と
比較したところ、表１に示すように両者の間に高い一致
性がみられ、原子吸光法で求めためっき付着量が化学分
析法で求めためっき付着量と同程度の高信頼性をもつも
のであった。この結果からも、吸光度を測定することに
よりＺｎ蒸気量及びＭｇ蒸気量が計測されることが判
る。これに対し、蛍光Ｘ線法では、Ｍｇの付着量が測定
できず、必要とする層構造をもったＺｎ−Ｍｇめっきを
形成することに利用できなかった。
【００１０】
【００１１】次いで、連続ラインでＺｎ及びＭｇの蒸着
をそれぞれ単独に行い、目標付着量を変化させた。そし
て、Ｍｇ付着量及びＺｎ付着量を原子吸光法及び蛍光Ｘ
線法それぞれで測定し、付着量の経時変化を求めた。こ
のとき、Ｚｎ蒸気案内ダクトとして幅１ｍ，高さ３００
ｍｍ，長さ３ｍの矩形ダクトを、Ｚｎ蒸気取出し管とし
て内径２ｍｍ，長さ１ｍの円筒管の先端に内径０．５ｍ
ｍ，長さ１０ｍｍの先端管を接続したものを使用した。
他方、Ｍｇ蒸気案内ダクトとして幅１ｍ，高さ４０ｍ
ｍ，長さ３ｍの矩形ダクトを、Ｍｇ蒸気取出し管として
Ｚｎ蒸気取出し管と同じものを使用した。
をそれぞれ単独に行い、目標付着量を変化させた。そし
て、Ｍｇ付着量及びＺｎ付着量を原子吸光法及び蛍光Ｘ
線法それぞれで測定し、付着量の経時変化を求めた。こ
のとき、Ｚｎ蒸気案内ダクトとして幅１ｍ，高さ３００
ｍｍ，長さ３ｍの矩形ダクトを、Ｚｎ蒸気取出し管とし
て内径２ｍｍ，長さ１ｍの円筒管の先端に内径０．５ｍ
ｍ，長さ１０ｍｍの先端管を接続したものを使用した。
他方、Ｍｇ蒸気案内ダクトとして幅１ｍ，高さ４０ｍ
ｍ，長さ３ｍの矩形ダクトを、Ｍｇ蒸気取出し管として
Ｚｎ蒸気取出し管と同じものを使用した。
【００１２】蛍光Ｘ線法で付着量を測定した場合には、
蒸着時点から付着量測定までに時間がかかるため、Ｚｎ
付着量がハンチングする周期が図８に示すように長く、
目標付着量に安定するまでに約６０秒かかった。また、
Ｍｇ付着量については、測定感度が悪く、長時間経過し
た後でも測定値が図７に示すように不安定であった。こ
れに対し、原子吸光法を用いた測定では、Ｍｇ蒸気，Ｚ
ｎ蒸気共に高精度で流量が測定され、それら測定値に基
づいて流量制御されることから、付着量のハンチング周
期が短くなっていた。その結果、図７及び図８に示され
るように、Ｍｇ付着量及びＺｎ付着量共に、数秒以内で
目標付着量に制御されていることが判る。
蒸着時点から付着量測定までに時間がかかるため、Ｚｎ
付着量がハンチングする周期が図８に示すように長く、
目標付着量に安定するまでに約６０秒かかった。また、
Ｍｇ付着量については、測定感度が悪く、長時間経過し
た後でも測定値が図７に示すように不安定であった。こ
れに対し、原子吸光法を用いた測定では、Ｍｇ蒸気，Ｚ
ｎ蒸気共に高精度で流量が測定され、それら測定値に基
づいて流量制御されることから、付着量のハンチング周
期が短くなっていた。その結果、図７及び図８に示され
るように、Ｍｇ付着量及びＺｎ付着量共に、数秒以内で
目標付着量に制御されていることが判る。
【００１３】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明において
は、案内ダクト内を通過する金属蒸気の一部を取り出
し、その金属蒸気の吸光度を原子吸光分析法で測定し、
得られた吸光度から金属蒸気の流量を求めている。この
ようにして求められた蒸気流量に基づいて流量制御する
とき、優れた即応性で付着量を制御することが可能とな
る。また、誤差要因が入り込み易いＭｇの付着量も高精
度で測定されるため、高耐食性Ｚｎ−Ｍｇめっき鋼帯の
蒸着めっきラインに好適に利用される。
は、案内ダクト内を通過する金属蒸気の一部を取り出
し、その金属蒸気の吸光度を原子吸光分析法で測定し、
得られた吸光度から金属蒸気の流量を求めている。この
ようにして求められた蒸気流量に基づいて流量制御する
とき、優れた即応性で付着量を制御することが可能とな
る。また、誤差要因が入り込み易いＭｇの付着量も高精
度で測定されるため、高耐食性Ｚｎ−Ｍｇめっき鋼帯の
蒸着めっきラインに好適に利用される。
【図１】 蛍光Ｘ線法を組み込んだ蒸着めっきライン
【図２】 本発明に従った原子吸光分析法を組み込んだ
蒸着めっきラインの金属蒸気案内フード
蒸着めっきラインの金属蒸気案内フード
【図３】 原子吸光分析法で金属蒸気の吸光度を測定す
る装置
る装置
【図４】 Ｚｎ−Ｍｇめっき層の多層構造
【図５】 原子吸光法で測定したＺｎ蒸気による吸光度
がＺｎ蒸気量と高い相関関係にあることを示すグラフ
がＺｎ蒸気量と高い相関関係にあることを示すグラフ
【図６】 原子吸光法で測定したＭｇ蒸気による吸光度
がＭｇ蒸気量と高い相関関係にあることを示すグラフ
がＭｇ蒸気量と高い相関関係にあることを示すグラフ
【図７】 Ｍｇ付着量を原子吸光法及び蛍光Ｘ線法で測
定し制御した場合の目標付着量に対するハンチングを示
すグラフ
定し制御した場合の目標付着量に対するハンチングを示
すグラフ
【図８】 Ｚｎ付着量を原子吸光法及び蛍光Ｘ線法で測
定し制御した場合の目標付着量に対するハンチングを示
すグラフ
定し制御した場合の目標付着量に対するハンチングを示
すグラフ
１：被めっき鋼帯 ２：ガス還元炉 ３：入側真空
シール装置 ４：真空室 ５：蒸着ゾーン ６：
出側真空シール装置 ７：冷却帯 ８：蒸着めっき
鋼帯 ９：Ｘ線測定装置 １０：蒸発源 １１：
蒸発金属 １２：金属蒸気 １３：案内ダクト
１４：蒸気取出し管 １５：蒸気量原子吸光測定装置
１６：付着量制御装置 １７：蒸気量調整用シャ
ッタ １８：真空ポンプ １９：ホロカソードランプ（光
源） ２０：測定光 ２１：光電子倍増管 Ｌ：Ｚｎ−Ｍｇ系めっき層 Ｌ1 ：Ｍｇ含有量が０．５重量％以下のＺｎ層 Ｌ2 ：Ｍｇ含有量が２〜２０重量％以下のＺｎ−Ｍｇ層 Ｌ3 ：Ｍｇ含有量が０．５重量％以下のＺｎ層 Ｓ ：下地鋼
シール装置 ４：真空室 ５：蒸着ゾーン ６：
出側真空シール装置 ７：冷却帯 ８：蒸着めっき
鋼帯 ９：Ｘ線測定装置 １０：蒸発源 １１：
蒸発金属 １２：金属蒸気 １３：案内ダクト
１４：蒸気取出し管 １５：蒸気量原子吸光測定装置
１６：付着量制御装置 １７：蒸気量調整用シャ
ッタ １８：真空ポンプ １９：ホロカソードランプ（光
源） ２０：測定光 ２１：光電子倍増管 Ｌ：Ｚｎ−Ｍｇ系めっき層 Ｌ1 ：Ｍｇ含有量が０．５重量％以下のＺｎ層 Ｌ2 ：Ｍｇ含有量が２〜２０重量％以下のＺｎ−Ｍｇ層 Ｌ3 ：Ｍｇ含有量が０．５重量％以下のＺｎ層 Ｓ ：下地鋼
Claims (2)
- 【請求項１】 蒸発源から被めっき鋼帯に金属蒸気を導
く蒸気案内ダクトから金属蒸気の一部を蒸気取出し管を
経て蒸気量原子吸光測定装置に取り出し、蒸気量原子吸
光測定装置で金属蒸気に測定光を照射し、得られた吸光
度から案内ダクト内を通過する金属蒸気の流量を演算
し、演算結果に基づいて案内ダクト内に設けられている
蒸気量調整用シャッタの開度を調整することを特徴とす
る蒸着めっきの付着量制御方法。 - 【請求項２】 蒸発源から被めっき鋼帯に金属蒸気を導
く蒸気案内ダクト内に一端が開口した蒸気取出し管と、
該蒸気取出し管の他端開口部が臨む蒸気量原子吸光測定
装置と、該蒸気量原子吸光測定装置で測定された金属蒸
気の吸光度が入力される付着量制御装置と、前記案内ダ
クト内に設けられ、前記付着量制御装置からの制御信号
で開度が調整される蒸気量調整用シャッタとを備えてい
る蒸着めっきの付着量制御装置。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9009488A JPH09316640A (ja) | 1996-03-27 | 1997-01-22 | 蒸着めっきの付着量制御方法及び制御装置 |
| TW086103499A TW340876B (en) | 1996-03-27 | 1997-03-20 | Method and apparatus for controlling the deposition amount of a plating metal as well as method and apparatus for measuring the amount of a metal vapor |
| US08/822,433 US6060109A (en) | 1996-03-27 | 1997-03-21 | Atomic absorption analysis for measuring and controlling the amount of a metal vapor in vapor deposition coating line and apparatus therefor |
| CA002200667A CA2200667A1 (en) | 1996-03-27 | 1997-03-21 | Atomic absorption analysis for measuring and controlling the amount of a metal vapor in vapor deposition coating line and apparatus therefor |
| EP97105152A EP0798553A1 (en) | 1996-03-27 | 1997-03-26 | Atomic absorption analysis for measuring and controlling the amount of a metal vapor in vapor deposition coating line and apparatus therefor |
| KR1019970010732A KR100208811B1 (ko) | 1996-03-27 | 1997-03-27 | 증착피복라인에서의 원자흡광법에 의한 금속증기량 측정 및 제어방법 및 장치 |
| CN97103725A CN1167165A (zh) | 1996-03-27 | 1997-03-27 | 测控蒸汽沉淀镀涂生产线和设备中金属蒸汽量的原子吸收分析 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8-99314 | 1996-03-27 | ||
| JP9931496 | 1996-03-27 | ||
| JP9009488A JPH09316640A (ja) | 1996-03-27 | 1997-01-22 | 蒸着めっきの付着量制御方法及び制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09316640A true JPH09316640A (ja) | 1997-12-09 |
Family
ID=26344234
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9009488A Withdrawn JPH09316640A (ja) | 1996-03-27 | 1997-01-22 | 蒸着めっきの付着量制御方法及び制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09316640A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101224457B1 (ko) * | 2005-12-27 | 2013-01-22 | 엘지디스플레이 주식회사 | 증착 장치 |
-
1997
- 1997-01-22 JP JP9009488A patent/JPH09316640A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101224457B1 (ko) * | 2005-12-27 | 2013-01-22 | 엘지디스플레이 주식회사 | 증착 장치 |
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