JPH10204623A - 蒸着めっき用金属蒸気量の測定方法及び測定装置 - Google Patents

蒸着めっき用金属蒸気量の測定方法及び測定装置

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JPH10204623A
JPH10204623A JP9009487A JP948797A JPH10204623A JP H10204623 A JPH10204623 A JP H10204623A JP 9009487 A JP9009487 A JP 9009487A JP 948797 A JP948797 A JP 948797A JP H10204623 A JPH10204623 A JP H10204623A
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vapor
amount
metal vapor
metal
measuring
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宏 田中
Yasushi Fukui
康 福居
Minoru Saito
実 斎藤
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Nisshin Steel Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 測定光に到達する金属蒸気量を減らし、案内
ダクトを通過する金属蒸気量を高精度で且つ応答性良く
測定する。 【解決手段】 金属蒸発源から被めっき鋼帯に金属蒸気
を導く案内フード内に一端が開口し、他端が蒸気量測定
装置7内に開口した蒸気取出し管6を介して案内フード
から蒸気量測定装置7の前室16に金属蒸気3を導く。
金属蒸気3の一部を遮蔽板14に設けた蒸気通過孔15
を経て蒸気量測定装置7の後室17に導き、後室17に
流入した金属蒸気3に測定光9を照射し、金属蒸気3に
吸収された光量から金属蒸気量を求める。前室16及び
後室17は、それぞれに設けた真空ポンプ18,19で
排気される。測定光9に至る金属蒸気量は、遮蔽板14
の配置枚数,蒸気通過孔15の口径,開口位置等により
吸光度が飽和する蒸気量よりも少なくできる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、蒸着めっき法でめっき
鋼板を製造する際にめっき付着量を調整するため、蒸発
源から被めっき鋼帯に至る金属蒸気量を高精度で且つ応
答性良く測定する方法及び測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】Znめっき等の製造ラインにおいては、
蛍光X線,X線回折法等でめっき付着量を測定し、測定
結果に基づいてめっき付着量を制御している。蛍光X線
法では、特開昭60−13308号公報で紹介されてい
るように、めっき鋼板にX線を照射し、めっき金属から
検出される蛍光X線の強度を測定し、予め作成している
検量線に従って計算することによって付着量を求めてい
る。複層構造のめっき層をもつめっき鋼板に対しては、
X線回折法が有効である。X線回折法では、めっき組成
に特有のピーク強度を測定し、めっき組成と付着量との
関係式を解くことにより付着量が求められる。ところ
で、Zn,Mg等の蒸着めっきに際しては、壁面を数百
℃に保持することにより壁面に対する蒸着が防止される
ため、ダクトを経由してZn,Mg等の蒸気を被めっき
鋼帯に導き蒸着することができる。蒸着めっき法では、
特願平8−99314号で提案したように、蒸発源から
被めっき鋼帯に金属蒸気を導く蒸気案内ダクト中の金属
蒸気量を原子吸光法で測定することによりめっき付着量
を測定できる。
【0003】特願平8−99314号で提案した方法
は、図1に示すように蒸発源1の蒸発金属2を金属蒸気
3とし、案内ダクト4を介して金属蒸気3を被めっき鋼
帯5に導く。このとき、案内ダクト4を通過する金属蒸
気3の一部を、所定温度に加熱保持した蒸気取出し管6
から取り出し、蒸気量測定装置7に導く。案内ダクト4
から蒸気量測定装置7に導かれる金属蒸気3の量は、真
空ポンプ8で減圧されている蒸気量測定装置7の雰囲気
圧と案内ダクト4の雰囲気圧との圧力差に応じて変わ
る。
【0004】蒸気量測定装置7では、図2に示すよう
に、金属蒸気3に吸収される特定の波長をもつ測定光9
を出射するホロカソードランプを光源10として使用
し、光源10の反対側に検知器11として光電子増倍管
を配置している。蒸気取出し管6から導入した金属蒸気
3に測定光9を照射すると原子吸光が発生し、金属蒸気
3に吸収されない測定光9が検知器11に到達する。し
たがって、検知器11による測定結果から金属蒸気3に
吸収された光量、すなわち吸光度が判る。吸光度の測定
値は付着量制御装置12に入力される。付着量制御装置
12は、吸光度の測定値から金属蒸気量を演算し、蒸気
量調整用シャッター13の開度を変更する制御信号とし
てシャッター13に出力する。この方法では、金属蒸気
3の測定位置がシャッター13の近傍であるため、即応
性に優れた付着量制御が可能である。複層めっきの付着
量測定においても、それぞれの金属を単独で測定するこ
とにより、X線回折法に比較して高精度の測定が可能と
なる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】原子吸光法で金属蒸気
量を測定する際、蒸気取出し管6から導かれる金属蒸気
3の流量が増加すると吸光度も増加する。金属蒸気3の
流量が一定値を超えると、吸光度が変化しない飽和状態
になる。飽和状態に至るときの金属蒸気量及び吸光度
は、金属蒸気3の種類,測定光9の波長や強度等によっ
て異なる。そこで、金属蒸気量を高精度で測定するため
には、測定光9上を通過する金属蒸気3の流量を吸光度
が飽和する蒸気量よりも十分少なくすることが要求され
る。金属蒸気量を少なくする手段としては、蒸気取出し
管6を小径化することが考えられる。しかし、小径化に
伴って蒸気取出し管6の抵抗が大きくなるため、案内ダ
クト4を通過する金属蒸気3の流量変化に比較して、蒸
気取出し管6から蒸気量測定装置8に流入する金属蒸気
3の流量変化に遅れが生じる。
【0006】応答性の遅れは、蒸気取出し管6の先端の
みを小径化することにより抑制される。しかし、この方
法では、蒸気取出し管6の先端径を微小にする必要があ
るが、工業的に制作可能な径の下限は0.1mm程度で
ある。しかも、微小径の先端をもつ蒸気取出し管6で
は、加熱による僅かな変形によっても金属蒸気量が大き
く変動し、測定誤差の発生原因となる。このように、蒸
気取出し管6の管形状変更で金属蒸気量を抑制すること
には限界があり、蒸気量測定装置7に流入する金属蒸気
量を少なくすることが困難である。本発明は、このよう
な問題を解消すべく案出されたものであり、測定光に至
る金属蒸気の流量を遮蔽板で減少させることにより、案
内ダクト内の金属蒸気量変化に遅れがない流量で金属蒸
気を蒸気量測定装置に流入させ、吸光度が飽和する蒸気
量よりも十分少ない蒸気量範囲で金属蒸気量を高精度で
且つ即応性良く測定することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の蒸着めっき用金
属蒸気量測定方法は、その目的を達成するため、金属蒸
発源から被めっき鋼帯に金属蒸気を導く案内フード内に
一端が開口し、他端が蒸気量測定装置内に開口した蒸気
取出し管を介して案内フードから蒸気量測定装置の前室
に金属蒸気を導き、該金属蒸気の一部を遮蔽板に設けた
蒸気通過孔を経て蒸気量測定装置の後室に導き、後室に
流入した金属蒸気に測定光を照射し、金属蒸気に吸収さ
れた光量から金属蒸気量を求めることを特徴とする。前
室及び後室は、それぞれに設けた真空ポンプで排気され
る。測定光に至る金属蒸気量は、遮蔽板の配置枚数,蒸
気通過孔の口径,開口位置等により吸光度が飽和する蒸
気量よりも少なくすることができる。
【0008】この方法で使用する測定装置は、金属蒸発
源から被めっき鋼帯に金属蒸気を導く案内フード内に一
端が開口し、他端が蒸気量測定装置内に開口した蒸気取
出し管と、蒸気量測定装置内を前室及び後室に区画し、
前室及び後室を連通させる蒸気通過孔が形成された遮蔽
板と、前室及び後室それぞれに設けた真空ポンプと、金
属蒸気に吸収される波長をもつ測定光を出射する光源
と、金属蒸気を照射した後の測定光を受光する検知器と
を備えている。蒸気量測定装置内に複数の遮蔽板を配置
し、複数の前室及び後室に区画しても良い。遮蔽板に形
成する蒸気通過孔を蒸気取出し管の延長線上からずれた
位置に設けるとき、測定光に至る金属蒸気量を少なくす
る作用が大きくなる。同様に、隣接する遮蔽板の互いに
ずれた位置に蒸気通過孔を形成しても良い。
【0009】
【実施の形態】本発明に従った蒸気量測定装置は、図3
に示すように、蒸気取出し管6と測定光9との間に遮蔽
板14を配置している。遮蔽板14には、一部の金属蒸
気3が通過する蒸気通過孔15が形成されている。蒸気
量測定装置7の内部は、遮蔽板15によって前室16,
後室17に区画されており、前室16及び後室17それ
ぞれが真空ポンプ18,19で排気される。蒸気量測定
装置7の内部に臨む蒸気取出し管6の開口部には、金属
蒸気3の流入量を絞るために小口径の流入管20(図8
参照)を装着させても良い。この構成によるとき、蒸気
取出し管6を出て前室16に拡散した金属蒸気3の一部
のみが蒸気通過孔15を経て後室17に流入するため、
測定光9に至る金属蒸気3の流量が制限される。後室1
7に流入しない金属蒸気3は、遮蔽板14に蒸着し、或
いは真空ポンプ18で系外に排気される。なお、遮蔽板
14への蒸着が望ましくない場合、遮蔽板14を必要に
応じて加熱する。また、蒸気取出し管6への蒸着も、同
様に蒸気取出し管6を加熱保持することにより防止でき
る。
【0010】測定光9に至る金属蒸気3の流量は、蒸気
通過孔15の孔径及び遮蔽板14の多段配置によって大
幅に減らすことができる。たとえば、図4に示すように
蒸気量測定装置7の内部を複数の遮蔽板141 ,14
2 ,143 で仕切り、蒸気通過孔151 ,152 ,15
3 で連通した複数の前室161 ,162 ,163 を設
け、前室161 ,162 ,163 を個別に真空ポンプ1
1 ,182 ,183 で真空排気する。これにより、蒸
気取出し管6から前室161 に流入する金属蒸気量に比
較して、測定光9に至る金属蒸気量を大幅に少なくでき
る。遮蔽板141 ,142 ,143 の配置枚数は、測定
光9を通過する金属蒸気量に応じて適宜の枚数に定めら
れる。
【0011】図5に示すように、蒸気取出し管6の延長
線上からずれた位置で蒸気通過孔15を遮蔽板14に形
成することも、測定光9に至る金属蒸気量を抑制する上
で有効である。すなわち、蒸気取出し管6から出た金属
蒸気3の流量分布は、蒸気取出し管6の延長線上ほど多
量で、延長線上から離れるほど少なくなるので、図5に
示した蒸気通過孔15は、測定光9に至る金属蒸気量を
大幅に少なくする。蒸気取出し管6から導かれた金属蒸
気3は、図5において前室16内に充満する。後室17
には、蒸気通過孔15を通過した金属蒸気3のみが送り
込まれ、その他の金属蒸気3は真空ポンプ18によって
排気され、或いは前室16の内壁に蒸着する。前室16
に充満している金属蒸気3の量は、蒸気取出し管6の延
長線上が最も多く、延長線上から離れるに従って少なく
なる。そのため、蒸気通過孔15を蒸気取出し管6の延
長線上からずらした場合、蒸気通過孔15を通過する金
属蒸気3の量は、蒸気通過孔15が蒸気取出し管6の延
長線上からずれる離れるほど少なくなる。
【0012】蒸気通過孔15を通過した金属蒸気3は、
後室17に充満し、真空ポンプ19によって排気され、
或いは後室17の内壁に蒸着する。一部の金属蒸気3
は、排気又は蒸着の前に測定光9を通過する。この通過
量で蒸気量が測定される。同様に、複数枚の遮蔽板14
1 ,142 ,143 を配置する場合、図6に示すように
蒸気通過孔151 ,152 ,153 を相互にずらした位
置で各141 ,142 ,143 に形成することも、測定
光9に至る金属蒸気量を抑制する上で有効である。何れ
の場合にも、案内ダクト4を流れる金属蒸気量と蒸気通
過孔15,151,152 ,153 を通過する金属蒸気
量及び測定光9を通過する金属蒸気量との間に正の相関
関係が成立している。そのため、測定光9を通過する蒸
気量を測定することによって、蒸気取出し管6から流出
する金属蒸気量、ひいては案内ダクト4を通過する金属
蒸気3の量を知ることができる。
【0013】蒸気取出し管6から前室16,161 に送
り込まれた金属蒸気3は、遮蔽板14,141 に蒸着
し、或いは真空ポンプ18,181 で排気除去され、一
部の金属蒸気3のみが蒸気通過孔15,151 を経て後
室17又は次段の前室162 に流入する。そのため、測
定光9に至る金属蒸気3は、蒸気取出し管6から前室1
6,161 に流入する金属蒸気3の流量に比較して大幅
に少なくなり、吸光度が飽和する蒸気量よりも十分に少
ない範囲での金属蒸気量の測定が可能になる。しかも、
案内ダクト4を通過する金属蒸気3の流量変化に対して
測定光9を通過する金属蒸気3の流量が瞬時に変化する
ため、高い応答性で金属蒸気量が測定できる。
【0014】
【実施例】Zn,Mg,Znの順に蒸着めっきした蒸着
Zn−Mgめっき鋼板の製造に本発明を適用した実施例
を説明する。この場合に形成されるめっき層Lは、鋼板
の保有熱によってZn及びMgが相互拡散し、図7に示
すように下地鋼Sの上にMg:0.5重量%以下のZn
層L1 ,Mg:2〜20重量%のZn−Mg層L2及び
Mg:0.5重量%以下のZn層L3 が順次形成された
多層構造をもっている。この蒸着Zn−Mgめっき鋼板
は、めっき層中のMg量に応じて特性が大きく変化す
る。そのため、Mg付着量の制御が特に重要となる。そ
こで、図8に示すように、径0.5mm,長さ10mm
の流入管20を先端に取り付けた径2mm,長さ3mの
蒸気取出し管6により、案内ダクト4(図示せず)と蒸
気量測定装置7の内部を連通させた。また、蒸気取出し
管6の延長線上から検知器11方向に10mmずれた位
置で口径1mmの蒸気通過孔15を形成した遮蔽板14
により、蒸気量測定装置7の内部を前室16及び後室1
7に区画した。
【0015】この状態で蒸発源1から案内ダクト4を経
て被めっき鋼帯5に金属蒸気3を送り、案内ダクト4を
流れる金属蒸気3の一部を蒸気取出し管6から蒸気量測
定装置7に送り込んだ。案内ダクト4中のMg蒸気量変
化に対応する吸光度の変化を調査したところ、図9に示
すように0.10〜0.20の範囲で変化する吸光度が
測定された。他方、遮蔽板14を設けない以外は同じ条
件下で吸光度の変化を調査したところ、吸光度の変化
は、0.33〜0.35の狭い範囲に止まっていた。こ
の対比から明らかなように、遮蔽板14を設けることに
より吸光度の変化範囲が大きくなり、換言すれば案内ダ
クト4を通過する金属蒸気3の流量をより精度良く測定
できることが判る。次いで、連続蒸着めっきラインでM
g蒸着を単独で実施し、目標付着量を変化させた場合の
応答性を調査した。図10の調査結果にみられるよう
に、遮蔽板14を備えた蒸気量測定装置7を使用した場
合でも、遮蔽板14なしと同様な応答性でめっき付着量
を制御できた。しかも、目標付着量に対する一致性は、
図11に示すように、遮蔽板14なしの場合に比較し
て、遮蔽板14を配置することにより格段に高くなって
いることが確認された。
【0016】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明において
は、蒸気量測定装置の内部を遮蔽板で前室及び後室に仕
切り、蒸気取出し管から流入する金属蒸気の一部を遮蔽
板に蒸着させ或いは系外に排気させることにより、測定
光に到達する蒸気量を吸光度が飽和する量よりも十分少
ない量に減少させている。これにより、金属蒸気による
吸光度、ひいては案内ダクトを通過する金属蒸気量を高
精度で測定できる。しかも、案内ダクトを通過する金属
蒸気の流量変化に即応して測定光に到達する蒸気量が変
化するため、測定値は、高い応答性で案内ダクトを通過
する金属蒸気量を表す値となる。このようにして得られ
た測定値に基づき被めっき鋼帯に至る金属蒸気量を制御
するとき、目標付着量に対して高い一致性でめっき付着
量が制御され、品質安定性に優れた蒸着めっき鋼板が製
造される。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明者等が先に提案しためっき付着量制御
装置
【図2】 同じく原子吸光分析法で金属蒸気の吸光度を
測定する装置
【図3】 本発明に従って遮蔽板で仕切った蒸気量測定
装置
【図4】 同じく複数の遮蔽板で仕切った蒸気量測定装
【図5】 蒸気取出し管の延長線上からずらした位置に
蒸気通過孔を形成した遮蔽板で仕切った蒸気量測定装置
【図6】 蒸気取出し管の延長線上からずらした位置に
蒸気通過孔を形成した複数の遮蔽板で仕切った蒸気量測
定装置
【図7】 蒸着Zn−Mg合金めっき層の層構造
【図8】 実施例で使用した蒸気量測定装置の位置関係
【図9】 遮蔽板の有無が吸光度変化に及ぼす影響を示
すグラフ
【図10】 目標付着量の設定変更に応じためっき付着
量の応答性に遮蔽板が影響を及ぼさないことを示すグラ
【図11】 遮蔽板で仕切った蒸気量測定装置で得られ
た測定値に基づき制御した付着量の目標付着量に対する
ハンチングを示すグラフ
【符号の説明】
1:蒸発源 2:蒸発金属 3:金属蒸気 4:
案内ダクト 5:被めっき鋼帯 6:蒸気取出し管
7:蒸気量測定装置 8:真空ポンプ 9:測定光 10:光源 11:検知器 12:
付着量制御装置 13:蒸気量調整用シャッター 14,141 ,14
2 ,143 :遮蔽板 15,151 ,152 ,153 :蒸気通過孔 16,
161 ,162 ,163:前室 17:後室 1
8,181 ,182 ,183 ,19:真空ポンプ 20:流入管 S:下地鋼 L:Zn−Mg合金めっき層 L1 :Mg含有量0.5重量%以下のZn層 L2 :Mg含有量2〜20重量%のZn−Mg合金層 L3 :Mg含有量0.5重量%以下のZn層
【手続補正書】
【提出日】平成9年4月8日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0003
【補正方法】変更
【補正内容】
【0003】特願平8−99314号で提案した方法
は、図1に示すように蒸発源1の蒸発金属2を金属蒸気
3とし、案内ダクト4を介して金属蒸気3を被めっき鋼
帯5に導く。このとき、案内ダクト4を通過する金属蒸
気3の一部を、所定温度に加熱保持した蒸気取出し管6
から取り出し、蒸気量測定装置7に導く。案内ダクト4
から蒸気量測定装置7に導かれる金属蒸気3の量は、真
空ポンプ8で減圧されている蒸気量測定装置7の雰囲気
圧と案内ダクト4の金属蒸気圧との圧力差に応じて変わ
る。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0014
【補正方法】変更
【補正内容】
【0014】
【実施例】Zn,Mg,Znの順に蒸着めっきした蒸着
Zn−Mgめっき鋼板の製造に本発明を適用した実施例
を説明する。この場合に形成されるめっき層Lは、鋼板
の保有熱によってZn及びMgが相互拡散し、図7に示
すように下地鋼Sの上にMg:0.5重量%以下のZn
層L,Mg:2〜20重量%のZn−Mg層L及び
Mg:0.5重量%以下のZn層Lが順次形成された
多層構造をもっている。この蒸着Zn−Mgめっき鋼板
は、めっき層中のMg量に応じて特性が大きく変化す
る。そのため、Mg付着量の制御が特に重要となる。そ
こで、図8に示すように、径0.5mm,長さ10mm
の流入管20を先端に取り付けた径6mm,長さ3mの
蒸気取出し管6により、案内ダクト4(図示せず)と蒸
気量測定装置7の内部を連通させた。また、蒸気取出し
管6の延長線上から検知器11方向に10mmずれた位
置で口径1mmの蒸気通過孔15を形成した遮蔽板14
により、蒸気量測定装置7の内部を前室16及び後室1
7に区画した。

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 金属蒸発源から被めっき鋼帯に金属蒸気
    を導く案内フード内に一端が開口し、他端が蒸気量測定
    装置内に開口した蒸気取出し管を介して案内フードから
    蒸気量測定装置の前室に金属蒸気を導き、該金属蒸気の
    一部を遮蔽板に設けた蒸気通過孔を経て蒸気量測定装置
    の後室に導き、後室に流入した金属蒸気に測定光を照射
    し、金属蒸気に吸収された光量から金属蒸気量を求める
    蒸着めっき用金属蒸気量の測定方法。
  2. 【請求項2】 前室及び後室それぞれに設けた真空ポン
    プで前室及び後室を排気する請求項1記載の蒸着めっき
    用金属蒸気量の測定方法。
  3. 【請求項3】 遮蔽板の配置枚数,蒸気通過孔の口径及
    び/又は開口位置により測定光に至る金属蒸気量を減少
    させる請求項1又は2記載の蒸着めっき用金属蒸気量の
    測定方法。
  4. 【請求項4】 金属蒸発源から被めっき鋼帯に金属蒸気
    を導く案内フード内に一端が開口し、他端が蒸気量測定
    装置内に開口した蒸気取出し管と、蒸気量測定装置内を
    前室及び後室に区画し、前室及び後室を連通させる蒸気
    通過孔が形成された遮蔽板と、前室及び後室それぞれに
    設けた真空ポンプと、金属蒸気に吸収される波長をもつ
    測定光を出射する光源と、金属蒸気を照射した後の測定
    光を受光する検知器とを備え、金属蒸気に吸収された光
    量から金属蒸気量を求める蒸着めっき用金属蒸気量の測
    定装置。
  5. 【請求項5】 蒸気量測定装置内を複数の前室及び後室
    に区画する複数の遮蔽板が配置されている請求項4記載
    の蒸着めっき用金属蒸気量の測定装置。
  6. 【請求項6】 蒸気取出し管の延長線上からずれた位置
    で蒸気通過孔が遮蔽板に形成されている請求項4又は5
    記載の蒸着めっき用金属蒸気量の測定装置。
  7. 【請求項7】 隣接する遮蔽板に設けた蒸気通過孔が互
    いにずれた位置に形成されている請求項5記載の蒸着め
    っき用金属蒸気量の測定装置。
JP9009487A 1996-03-27 1997-01-22 蒸着めっき用金属蒸気量の測定方法及び測定装置 Withdrawn JPH10204623A (ja)

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TW086103499A TW340876B (en) 1996-03-27 1997-03-20 Method and apparatus for controlling the deposition amount of a plating metal as well as method and apparatus for measuring the amount of a metal vapor
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