JPH09311640A - ラミネーション転写によるカラーフィルタアレイの製造方法 - Google Patents

ラミネーション転写によるカラーフィルタアレイの製造方法

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JPH09311640A
JPH09311640A JP22012296A JP22012296A JPH09311640A JP H09311640 A JPH09311640 A JP H09311640A JP 22012296 A JP22012296 A JP 22012296A JP 22012296 A JP22012296 A JP 22012296A JP H09311640 A JPH09311640 A JP H09311640A
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filter array
array element
color
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JP22012296A
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Charles David Deboer
デービッド デボア チャールズ
Judith Lynn Fleissig
リン フレイシグ ジュディス
Michael Edgar Long
エドガー ロング マイケル
Helmut Weber
ウェーバー ヘルムート
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Eastman Kodak Co
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Eastman Kodak Co
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は電気ショート又は画素ドロップアウ
トを発生させる塵粒又は突起のない平坦で綺麗な表面を
有するカラーフィルタアレイ要素を生成する方法を提供
することを指向するものである。 【解決手段】 a)平坦で綺麗な表面を有する仮支持体
の上に画素セルのカラーパターンを写真平版形成し、
b)画素セルのカラーパターンが最終支持体に固定され
るように最終支持体を仮支持体の表面にラミネートし、
c)画素セルのカラーパターンの平坦で綺麗な表面が明
らかになり、それによりカラーフィルタアレイ要素を形
成するように、画素セルのカラーパターンがその上に固
定された最終支持体から仮支持体を清浄な環境下で分離
する、段階を含むカラーフィルタアレイ要素を調製する
方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は平坦で綺麗な表面を
有するカラーフィルタアレイ要素を写真形成することに
関するものである。
【0002】
【従来の技術】「Method of Making Color Filter Arra
y for Liquid Crystal Display」なる名称の米国特許第
4965242号には、熱ダイ転写によってカラーフィ
ルタアレイ要素を製造する効果的な方法が開示されてい
る。かかる方法を用いてカラーフィルタアレイ要素を調
製するためには、ポリマー系アラインメント層及び透明
伝導性層をその上に有する仮支持体が受像層によって上
塗りされる。受像層は着色剤(colorant)を含む着色剤供
与フィルムによって上塗りされる。次に、所望のカラー
画素アレイパターンに対応する孔をマスクに形成するこ
とにより着色剤供与フィルム上にマスクをパターニング
する。この方法は、更に、パターニングされたマスクを
通して着色剤に熱を与えることによって着色剤供与フィ
ルムから受像層に着色剤を転写し、受像層上に画素アレ
イ要素のカラーパターンを形成することを含むものであ
る。次に着色剤供与フィルムは除去され、画素セルのカ
ラーパターンを含有する受像層に最終支持体がラミネー
トされる。その後、仮支持体が除去されてカラーフィル
ターアレイ要素が明らかにされる。
【0003】使用しやすいカラーフィルタアレイ要素
は、その後のカラーフィルタアレイ要素の高温プロセス
がアレイの画素セルの色品質を低減させないように良好
な耐熱性を有しているべきである。アレイの画素セルの
着色剤は照明に対する良好な色褪せ抵抗性を有するもの
が選択されるべきである。照明の強度を過剰に高くする
必要がないように、着色剤は良好な色純度を有している
べきであり、カラーフィルタアレイ要素の全体の伝達性
は良好な色純度及び飽和に調和してできるだけ高くある
べきである。更に、カラーフィルタアレイ要素の解像度
は肉眼で像がはっきりと詳細に見えるように高くなくて
はならない。像の全体的統一性も良好でなくてはならな
い、つまり、カラーフィルタアレイ要素の全体的寸法精
度が高くなくてはならない。
【0004】カラーフィルタアレイ要素の各画素は高い
ミクロ精度を有していなければならない。つまり各画素
は、全体的表示の均一密度を得るために、実質的に同じ
大きさ、同じ形状でなければならない。加えて、各画素
の配置精度、つまりマクロ精度は高くなくてはならな
い。もし画素が均一に配列されたアレイ中に正確に配置
されないと、カラーフィルタアレイ要素の全体的な見た
目に、例えば、高密度による帯又は雲の発生といった問
題が起こる場合がある。
【0005】カラーフィルタアレイ要素は液晶表示装置
等の様々な表示装置に使用することが可能である。高品
質の像の表示においては、画素セルのカラーパターンが
大きさ及び色の両方の点で高度に均一であることが重要
である。液晶表示装置において特に問題となる欠陥は画
素ドロップアウト、つまり常に発光している又は消光し
ている画素セルである。ヒトの眼は画像中のそのような
セルに強制的及び苛立ちを感じるような形で引きつけら
れる。かかる画素ドロップアウトの原因はしばしばカラ
ーフィルタアレイ画素を被覆、パターニング、染色、及
び洗浄する間に閉じ込められた埃粒子により引き起こさ
れる液晶表示装置中の液晶物質を通した電気ショートで
ある。
【0006】米国特許第4965242号に開示された
ように熱ダイ転写法によって生成されたカラーフィルタ
アレイ要素は効果的なカラーフィルタアレイ要素提供す
るものではあるが、かかる方法には幾つもの欠点があ
る。1つの問題は米国特許第4965242号に開示さ
れた熱ダイ転写法を使用すると製造の間に埃粒子がカラ
ーフィルタアレイ要素の表面に閉じ込められる可能性が
あり、それが電気的ショート又は画素ドロップアウトを
発生させることができるということである。更に、かか
るカラーフィルタアレイ要素は磨耗及び突起に影響され
やすく、それもまた電気的ショート又は画素ドロップア
ウトの原因となり得るということである。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は電気ショート又は画素ドロップアウトを発生させるこ
とができる塵粒又は突起のない平坦で綺麗な表面を有す
るカラーフィルタアレイ要素を生成する方法を提供する
ことである。本発明の他の目的はカラーフィルタアレイ
要素の表面に直接作用する製造段階に要求される時間埃
及び磨耗から保護される綺麗で平坦な表面を有するカラ
ーフィルタアレイ要素を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】これらの目的は、a)平
坦で綺麗な表面を有する仮支持体の上に画素セルのカラ
ーパターンを写真平版形成し、 b)画素セルのカラーパターンが最終支持体に固定され
るように最終支持体を仮支持体の表面にラミネートし、 c)画素セルのカラーパターンの平坦で綺麗な表面が明
らかになり、それによりカラーフィルタアレイ要素を形
成するように、画素セルのカラーパターンがその上に固
定された最終支持体から仮支持体を清浄な環境下で分離
する段階を含むカラーフィルタアレイ要素を調製する方
法によって達成される。
【0009】本発明によるカラーフィルタアレイ要素
は、電気ショート又は画素ドロップアウトを発生させる
ことができる塵粒又は突起のない平坦で綺麗な表面を有
するカラーフィルタアレイ要素を提供する。本発明によ
るカラーフィルタアレイ要素は、カラーフィルタアレイ
要素の表面に直接作用する製造段階に要求される時間埃
及び磨耗から保護される綺麗で平坦な表面を有するカラ
ーフィルタアレイ要素を提供する。
【0010】本発明によるカラーフィルタアレイ要素
は、更に、良好な寸法精度を有する色純度の高い非常に
均一で鋭利な画素セルを提供する。
【0011】
【発明の実施の形態】図1に対応する部分又は要素には
同一の数字が使用される。図1を参照するに、本発明に
よる仮支持体8上に形成されたカラーフィルタアレイ要
素2の概略図が示されている。カラーフィルタアレイ要
素2は、画素に相当する赤色(R)、緑色(G)、及び
青色(B)セル又は画素セル4を含んでいる。画素セル
4は、フレアーを減少させコントラストを増加させるた
めに不透明領域、つまり黒色格子網6によってお互いが
分離されている。
【0012】本発明に従い、ラミネーション段階の完了
後に仮支持体8の除去を促進するために、平坦で綺麗な
表面を有する仮支持体8が任意の離脱層(release laye
r) 10によって上塗りされる。離脱層10の表面は、
この表面が仮支持体8の除去後にカラーフィルタアレイ
要素2の表面を定義するという理由により、綺麗で平坦
であることが重要である。従って、離脱層10の被覆溶
液は全ての塵粒子を除去するために微細なフィルタを通
して濾過され、綺麗なオーブンで硬化される。
【0013】図1に示されるように、カラーフィルタア
レイ要素2は写真平版形成され、仮支持体8上に画素セ
ル4のカラーパターンを作りだす。画素セル4のカラー
パターンを形成するために、仮支持体8の表面に着色剤
がスピン被覆される。かかる着色剤は以下に詳細に説明
される顔料又は昇華可能染料(sublimable dyes) を含む
ことができる。本発明の好ましい具体例において、着色
剤はミズリー州Rallaの Brewer Scientific社製造Darc-
102等のポリアミック酸レジン溶液中のカラー顔料の分
散体を含むものである。ポリアミック酸レジンの溶液は
着色剤の仮支持体8への結合を促進させるバインダー物
質である。もし着色剤がバインダー物質を含まない場合
は問題であり、まず最初に仮支持体8の表面に着色剤を
スピン被覆する前に仮支持体8をバインダー物質の層で
被覆する必要がある。
【0014】カラー顔料の分散体を仮支持体8上にスピ
ン被覆した後、溶媒を除去するために全体を焼き、次に
陽作用(positive working)フォトレジスト、つまり光に
露光された部分が溶解するフォトレジスト、を上塗りす
る。このフォトレジストは所望される画素セルに対応す
る光の紫外線パターンに露光される。フォトレジストは
フィルム画像の接触露光又は光学系からの像の投影の何
れかにより露光されることができる。フォトレジストの
露光後に、最初にフォトレジストを次にポリアミック酸
レジン溶液中の顔料の非被覆サスペンションを溶解させ
る現像液により組立を洗浄する。本発明に使用可能な現
像液には、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドの水
溶液が含まれる。カラーフィルタアレイ要素2は、次に
全体を焼き、ポリアミック酸レジン溶液をポリイミドレ
ジンに転換させることによって完成する。
【0015】カラーフィルタアレイ要素を製造するのに
使用される写真平版工程は、また、例えば、米国特許第
4876165号、5176971号、5147844
号、5166125号及び5166126号に記載され
ており、これらの開示はここに引例として引用されるも
のである。ここに開示される写真平版法以外の様々な方
法もカラーフィルタアレイ要素をパターニングするのに
使用することができ、それにはインクジェット印刷、オ
フセット印刷及び静電印刷が含まれる。
【0016】次に、図2を参照すると、カラーフィルタ
アレイ要素2が仮支持体8上に形成された後、カラーフ
ィルタアレイ要素2は熱及び圧力によって又は光接着層
14によって最終支持体12にラミネートされる。接着
層14が使用される場合には、像を歪ます空気の泡が接
着層14中に残らないことが重要である。本発明の好ま
しい具体例において、仮支持体8上に形成されたカラー
フィルタアレイ要素2は最終支持体12と接触して配置
され、空気泡を除去するために遠心分離器にかけられた
液状エポキシ接着剤が仮支持体8とカラーフィルタアレ
イ要素2との間の空隙を埋めるように接着層14が用い
られる。毛細作用による力が仮支持体8とカラーフィル
タアレイ要素2との間の全ての空隙を液状接着剤が充填
するように働き、接着剤が空隙を移動する時に空気を追
い出す。次に、組立はエポキシ接着剤を硬化させるため
に加熱される。そして、カラーフィルタアレイ要素2と
離脱層10との間の接合点における分離ポイント16で
仮支持体8が清浄な環境下で除去され、本発明のカラー
フィルタアレイ要素2の綺麗で平坦な表面が明らかにさ
れる。綺麗な表面とは、上述のように所望されない埃粒
子が表面に堆積しないように清浄な環境下で調製された
表面のことである。「清浄な環境」という語彙により、
空気が最大で0.5ミクロンより大きい粒子を100個
/立方フィート、5.0ミクロンより大きい粒子を最大
で10個/立方フィート含有する環境が意味される。
「清浄な環境」という語彙はJoseph A. CastellanoのHa
ndbook of Display Technology, 271-274 (1992)により
詳細に記述されており、その開示はここに引例として引
用されるものである。
【0017】本発明の具体例において、カラーフィルタ
アレイ要素2は赤、緑及び青の加法三原色(additive pr
imaries)の繰り返しセット、つまり赤、緑及び青の画素
セル4を有するモザイクパターンを包含するものであ
る。モザイクパターンは好ましくは写真画像に使用され
る。画素セル4は黒色格子網6によってお互いに分離さ
れている。カラーフィルタアレイ要素2を形成するため
の着色剤のモザイクパターンは、正方形又は長方形の何
れかであることができ1つの色対角移動(color diagona
l displacement) が以下の通りである均一な直線繰り返
し領域(約100ミクロン)を含有する:
【化1】 本発明の他の具体例において、カラーフィルタアレイ要
素2は赤、緑及び青の添加装置の繰り返しセット、つま
り赤、緑及び青の画素セル4を含むストライプパターン
を包含するものである。繰り返しストライプパターンは
好ましくはコンピュータモニターに使用される。画素セ
ル4は黒色格子網6によってお互いに分離される。カラ
ーフィルタアレイ要素2を形成するための着色剤の繰り
返しストライプは、正方形又は長方形の何れかであるこ
とができ以下の通り色移動がない均一な直線繰り返し領
域(約100ミクロン)を含有する:
【化2】 モザイクセット及びストライプのセット両方においてセ
ットの大きさは見る距離(viewing distance)に依存し、
見る距離から個々の画素が見えないように選択される。
一般的には、セットの個々の画素は約50〜約600ミ
クロンであり同じ大きさである必要はない。
【0018】本発明の仮支持体8及び最終支持体12
は、ホウ砂ガラス、ホウケイ酸塩ガラス、クロムガラ
ス、クラウンガラス、フリントガラス、ソーダガラス及
び亜鉛−クラウンガラス等のガラスを包含することがで
きる。好ましくはホウケイ酸塩ガラスが使用される。離
脱層10と離脱層10に接触する層との間の表面エネル
ギーの相異が例えば30dynes/cmと大きく、かかる2つ
の層の間に化学結合がないという条件の下で全ての物質
を離脱層として使用することが可能である。ポリイミド
がバインダー物質として使用される本発明の好ましい具
体例において、適切な離脱層10は低表面エネルギーポ
リマー、例えばテフロン(登録商標)(デュポン社)等
のフッ化ポリマーであり、SHC1200(登録商標)
(ゼネラルエレクトリック社)の層もまた含まれる。
【0019】本発明におけるカラーフィルタアレイ要素
2を形成するのに使用される着色剤は全ての顔料、染
料、又は染料の混合物を含むことができる。しかしなが
ら、着色剤が適切な色調であり、ここに開示されるカラ
ーフィルタアレイ要素2の製造工程段階に耐えることが
できるべきであることは理解される。特に良好な結果が
顔料によって得られている。顔料の例には、Litho Red
NB-D 3560 (BASF)、Heliogen Green K9360 (BASF) 、Pa
liogen Blue L 6480 (BASF) 及びAlkali Blue NBS 6155
D (BASF) が含まれる。適切な顔料は主要な色を含み、
以下の構造式により更に説明される:
【0020】
【化3】
【0021】
【化4】
【0022】
【化5】
【0023】上記の顔料はBacchetti 等によるPigmente
d Photoresist for LCD Color Filters, 165-168, Inte
rnational Display Research Conference (1994)により
詳細に記述されており、その開示はここに参照として引
用される。着色剤として使用可能な染料には昇華可能染
料が包含される。昇華可能染料の例には、Sumikalon Vi
olet RS (登録商標)(住友化学)、Dianix Fast Viol
et3R-FS(登録商標)(三菱化学工業)、Kayalon Polyo
l Brilliant Blue N-BGM(登録商標)、Kayalon Polyol
Dark Blue 2BM(登録商標)及びKST Black KR(登録商
標)(日本化薬)、Sumickaron Diazo Black 5G (登録
商標)(三井東圧化学)等のアントラキノン染料;Dire
ct Dark Green B (登録商標)(三菱化学工業)、Dire
ct Brown M(登録商標)及びDirect Fast Black D (登
録商標)(日本化薬)等の直接染料;Kayanol Milling
Cyanine 5R(登録商標)(日本化薬)等の酸性染料;Su
micacryl Blue 6G(登録商標)(住友化学)等の塩基性
染料;並びにAizen Malachite Green (登録商標)(保
土ケ谷化学)又はここにその開示が参照として引用され
る米国特許第4541830号、4698651号、4
695287号、4701439号、4757046
号、4743582号、4769360号、及び475
3922号に開示された全ての染料が含まれる。
【0024】適切な染料は以下の構造式によって更に説
明される:
【0025】
【化6】
【0026】
【化7】
【0027】
【化8】
【0028】
【化9】
【0029】上記の減法染料を、ここにその開示が参照
として引用される米国特許第4957898号、497
5410号、及び4988665号に開示されているよ
うに、所望される赤、青、及び緑の加法三原色を得るた
めに様々な組合せで用いることが可能である。本発明の
カラーフィルタアレイ要素は液晶表示装置等の様々な表
示装置に使用することができる。そのような液晶表示装
置は、例えば、英国特許第2154355号、2130
781号、2162674号、及び2161971号に
記述されている。
【0030】図3を参照するに、本発明による最終支持
体12上のカラーフィルタアレイ要素2を含む液晶表示
装置30が示されている。カラーフィルタアレイ要素2
は画素に対応する赤(R)、緑(G)、及び青(B)の
画素セルを包含する。黒色格子網6が個々の画素セル4
を分離している。カラーフィルタアレイ要素2にはポリ
マー系保護層32及び透明伝導層34が上塗りされる。
ガラス製の他の支持体36はその上に画素を定義する電
極38を包含し、それは電極38及び透明伝導層34が
クロスリンクが画素を定義するクロスバー系を構成する
(受動ドライブ)故か、又は電極38がスイッチ要素、
ドライブ、及びデータラインの系により作動される画像
電極を構成する(能動ドライブ)故であり、その場合は
電極38は単一の平面構造を有することができる。表示
される像に依存して、画素に付随するカラーフィルタ領
域を通して全光、無光、又は部分光が透過されるように
1つ又はそれ以上の画素電極が表示操作の間に電源に接
続される。使用者に受け取られる像は隣接するカラーフ
ィルタ領域を通して伝えられた光により形成された色の
ブレンドである。最終支持体12及びガラス支持体36
は封入端40及びスペーサ42によってお互いの距離が
実質的に一定になるように保たれる。
【0031】図3を再び参照するに、液晶表示装置30
の作動温度において液体の結晶である液晶物質44の層
が最終支持体12とガラス支持体36との間に提供され
る。液晶物質44はポリマー系アラインメント層46が
上塗りされている。ポリマー系アラインメント層46
は、最終支持体12とガラス支持体36との間に例えば
90゜のねじりを導入するために液晶分子を配列させる
ように処理される。従って、平面偏光の偏極平面はねじ
れた液晶組成物を通って液晶表示装置30の1つの面か
ら他の面に行く間に90゜回転される。液晶表示装置3
0の選択された電極38の間に電場をかけると、液晶組
成物のねじれが選択された電極38の間の液晶表示装置
30の部分から一次的に除去される。光学的偏光子を液
晶表示装置30の両側に用いることにより、電場が加え
られているか否かによって偏光は液晶表示装置30を通
過することができるか又は消滅してしまう。実際には液
晶表示装置30には更に偏光子、反射材、及び他の要素
が通常の方法で装備される。
【0032】透明伝導層34は液晶分野においては慣習
的なものである。液晶表示装置30の透明伝導層34の
材質には、インジウム錫酸化物、インジウム酸化物、錫
酸化物、及びカドミウム錫酸塩が含まれる。ポリマー系
アラインメント層46には液晶分野で通常使用される全
ての物質を使用することができ、ポリイミド、ポリビニ
ルアルコール、及びメチルセルロースを包含する。
【0033】ポリマー系保護層32は、ここにその開示
が参照として引用される米国特許第5166126号に
より詳細に記述されているように、3,4-エポキシシクロ
ヘキシルメチル-3,4- エポキシシクロヘキシルカルボキ
シラート等のシクロ脂肪族エポキシド化合物及び光開始
剤としてルイス酸のオニウム塩を含む光重合層によって
形成されることが可能である。
【0034】
【実施例】次に、本発明により調製されるカラーフィル
タアレイ要素を以下の例によって説明する。 平坦で綺麗な表面を有するソーダ石灰ガラス製の2平方
インチの仮支持体を、GE SCH 1200(熱硬化
性ポリマー溶液)を用いて2000rpmで2分間スピ
ン被覆した。SHC層を硬化させるために次に仮ガラス
支持体を120℃で30分間焼いた。SHC層を次にメ
チルイソブチルケトン中のbutyvar B76(Monsato)の5%
溶液を用いて2000rpmでスピン被覆した。2分間
のスピンの後に層は乾燥した。組立を次にDARC102(Brew
er Scientific)を用いて1000rpmで2分間スピン
被覆することによって色付けした。組立を次にホットプ
レート上で100℃で1分間焼いた。次に組立をオーブ
ン中で150℃で30分間焼いた。その後、組立をポジ
ティブフォトレジスト(OCG 895I)を用いて2
500rpmで2分間被覆し、次にホットプレート上で
100℃で1分間焼いた。組立を次に真空接触フレーム
中で所望されるパターンのポジティブフィルム像(13
0×160ミクロンセンター上の90×130ミクロン
画素)に接触状態で20ユニットの光に露光した(Nu-Ar
c Model 26-1KS Metal Halide Exposure System)。暴露
した組立を、次に、露光領域から色を除去するためにOC
G ポジティブ レジスト ディベロッパ中で30秒間現
像し、水でリンスし、100℃で10分間約ことによっ
て乾燥させた。現像した像を次にエポキシ接着剤を用い
てホウケイ酸塩ガラス製の最終支持体にラミネートし一
晩硬化させた。硬化した後に、ソーダ石灰ガラス製の仮
支持体を剃刀歯を用いて仮ガラス支持体を持ち上げるこ
とによって清浄な環境下で除去し、画素セルのカラーパ
ターンの平坦で綺麗な表面を明らかにし、カラーフィル
タアレイ要素を形成した。
【0035】本発明を特定の好ましい具体例を特に参照
することによって説明したものであるが、本発明の趣旨
及び範囲内において様々な変更及び修正を為すことがで
きることは理解されよう。
【0036】
【発明の効果】上述のように、本発明により平坦で綺麗
な表面を有するカラーフィルタアレイ要素を生成する方
法が提供され、このカラーフィルタアレイ要素の表面
は、それに直接作用する製造段階に要求される時間埃及
び磨耗から保護され、従って電気ショート又は画素ドロ
ップアウトを発生させることができる塵粒又は突起を有
さない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による平坦で綺麗な仮支持体上に形成さ
れたカラーフィルタアレイ要素の概略断面図である。
【図2】本発明による最終支持体上にラミネートされた
カラーフィルタアレイ要素の概略断面図である。
【図3】本発明により製造されたカラーフィルタアレイ
要素を含む液晶表示装置の概略断面図である。
【符号の説明】
2 カラーフィルタアレイ要素 4 画素セル 6 黒色格子網 8 仮支持体 10 離脱層 12 最終支持体 14 接着層 16 分離ポイント 32 液晶表示装置 34 透明伝導層 36 ガラス支持体 38 電極 40 封入端 42 スペーサ 44 液晶物質 46 アラインメント層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 マイケル エドガー ロング アメリカ合衆国,ニューヨーク 14469, ブルームフィールド,ホイーラー・ステイ ション 2906 (72)発明者 ヘルムート ウェーバー アメリカ合衆国,ニューヨーク 14580, ウェブスター,マリーゴールド・ドライヴ 1089

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 a) 平坦で綺麗な表面を有する仮支持
    体の上に画素セルのカラーパターンを写真平版形成し、 b) 画素セルのカラーパターンが最終支持体に固定さ
    れるように最終支持体を仮支持体の表面にラミネート
    し、 c) 画素セルのカラーパターンの平坦で綺麗な表面が
    明らかになり、それによりカラーフィルタアレイ要素を
    形成するように、画素セルのカラーパターンがその上に
    固定された最終支持体から仮支持体を清浄な環境下で分
    離する、段階を含むカラーフィルタアレイ要素の製造方
    法。
  2. 【請求項2】 着色剤がポリアミック酸レジン溶液中の
    カラー顔料の分散を含むことを特徴とする請求項1記載
    の方法。
  3. 【請求項3】 ラミネート段階でエポキシ接着剤を使用
    することを特徴とする請求項1記載の方法。
JP22012296A 1995-08-22 1996-08-21 ラミネーション転写によるカラーフィルタアレイの製造方法 Pending JPH09311640A (ja)

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