JPH09305764A - 画像のパターン欠陥検出方法及び装置 - Google Patents
画像のパターン欠陥検出方法及び装置Info
- Publication number
- JPH09305764A JPH09305764A JP8118593A JP11859396A JPH09305764A JP H09305764 A JPH09305764 A JP H09305764A JP 8118593 A JP8118593 A JP 8118593A JP 11859396 A JP11859396 A JP 11859396A JP H09305764 A JPH09305764 A JP H09305764A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ずれの無い基準パターン画像を作成して、ず
れを誤検出することなく、且つ、ずれの中に埋もれてい
た微小の欠陥までも、その欠陥本来の大きさで検出可能
とする。 【解決手段】 被検査パターン画像ｆ（ｘ，ｙ）自体に
対して、パターンの前景と背景の境界線に沿った方向に
のみ平滑化を行ったものを基準パターン画像ｈ（ｘ，
ｙ）として、パターン比較法による欠陥検出を行う。
れを誤検出することなく、且つ、ずれの中に埋もれてい
た微小の欠陥までも、その欠陥本来の大きさで検出可能
とする。 【解決手段】 被検査パターン画像ｆ（ｘ，ｙ）自体に
対して、パターンの前景と背景の境界線に沿った方向に
のみ平滑化を行ったものを基準パターン画像ｈ（ｘ，
ｙ）として、パターン比較法による欠陥検出を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基準パターン画像
と被検査パターン画像を比較し、両画像間の異なる部分
を欠陥として検出する画像のパターン欠陥検出方法及び
装置に係り、特に、工業用テレビカメラ等の画像入力手
段により得られる画像を用いて、プリント基板、半導体
集積回路等の配線パターンの欠陥を検出する際に用いる
のに好適な、基準パターン画像と被検査パターン画像の
２画像間のずれを誤検出することなく、且つ、従来ずれ
の中に埋もれていた微小な欠陥迄も、その欠陥本来の大
きさで検出することが可能な、画像のパターン欠陥検出
方法及び装置に関する。
と被検査パターン画像を比較し、両画像間の異なる部分
を欠陥として検出する画像のパターン欠陥検出方法及び
装置に係り、特に、工業用テレビカメラ等の画像入力手
段により得られる画像を用いて、プリント基板、半導体
集積回路等の配線パターンの欠陥を検出する際に用いる
のに好適な、基準パターン画像と被検査パターン画像の
２画像間のずれを誤検出することなく、且つ、従来ずれ
の中に埋もれていた微小な欠陥迄も、その欠陥本来の大
きさで検出することが可能な、画像のパターン欠陥検出
方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】画像のパターンの欠陥を検出する方法の
一つとして、基準パターン画像と被検査パターン画像を
比較し、両画像間に差異があれば、これを欠陥と見做す
パターン比較法が知られている。
一つとして、基準パターン画像と被検査パターン画像を
比較し、両画像間に差異があれば、これを欠陥と見做す
パターン比較法が知られている。
【０００３】このパターン比較法で用いる基準パターン
画像は、設計図等の図面情報から直接描画する方法や、
実際に撮像された複数の正常パターン画像の平均をとる
方法等が一般的であるが、このようにして作成された基
準パターン画像を被検査パターン画像と比較すると、２
画像間の位置合せのずれや、個体差によるパターンの大
きさのずれ、画素サンプリング時の画素配列のずれ等が
発生するため、このずれを何らかの方法で補正する必要
があった。
画像は、設計図等の図面情報から直接描画する方法や、
実際に撮像された複数の正常パターン画像の平均をとる
方法等が一般的であるが、このようにして作成された基
準パターン画像を被検査パターン画像と比較すると、２
画像間の位置合せのずれや、個体差によるパターンの大
きさのずれ、画素サンプリング時の画素配列のずれ等が
発生するため、このずれを何らかの方法で補正する必要
があった。
【０００４】このための方法としては、特開平２−５４
３７５に記載されているように、パターンの輪郭線部分
を、所定の太さをもった線状のマスクパターンとして作
成し、このマスクパターンの輪郭線の太さに包含される
微小の差異は、ずれと見做して、欠陥としては判断しな
いという方法が知られている。
３７５に記載されているように、パターンの輪郭線部分
を、所定の太さをもった線状のマスクパターンとして作
成し、このマスクパターンの輪郭線の太さに包含される
微小の差異は、ずれと見做して、欠陥としては判断しな
いという方法が知られている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この方
法では、基本的に、マスクパターンの輪郭線の太さ以下
の大きさの欠陥を検出できないという問題点があった。
法では、基本的に、マスクパターンの輪郭線の太さ以下
の大きさの欠陥を検出できないという問題点があった。
【０００６】又、欠陥の一部がマスクパターンにかかる
と、マスクパターンにより欠陥の一部が削られてしま
い、検出される欠陥の大きさが、本来の大きさよりも小
さくなってしまう場合があるという問題点もあった。
と、マスクパターンにより欠陥の一部が削られてしま
い、検出される欠陥の大きさが、本来の大きさよりも小
さくなってしまう場合があるという問題点もあった。
【０００７】更に、マスクパターンの輪郭線の太さによ
り、排除するずれの大きさを調整するため、輪郭線を太
くすれば各種ずれを排除できるが、それと同時に本当の
欠陥まで見逃してしまう傾向があり、逆に輪郭線を細く
すれば、本当の小さな欠陥まで検出できるが、それと同
時に、特に位置ずれや大きさのずれが欠陥として誤検出
されてしまうという傾向があり、輪郭線の太さの調整が
難しいという問題点もあった。
り、排除するずれの大きさを調整するため、輪郭線を太
くすれば各種ずれを排除できるが、それと同時に本当の
欠陥まで見逃してしまう傾向があり、逆に輪郭線を細く
すれば、本当の小さな欠陥まで検出できるが、それと同
時に、特に位置ずれや大きさのずれが欠陥として誤検出
されてしまうという傾向があり、輪郭線の太さの調整が
難しいという問題点もあった。
【０００８】本発明は、前記従来の問題点を解決するべ
くなされたもので、基準パターン画像と被検査パターン
画像の２画像間のずれを基本的に無くすことにより、ず
れを誤検出することなく、且つ、従来ずれの中に埋もれ
ていた微小な欠陥までも、その欠陥本来の大きさで検出
することを課題とする。
くなされたもので、基準パターン画像と被検査パターン
画像の２画像間のずれを基本的に無くすことにより、ず
れを誤検出することなく、且つ、従来ずれの中に埋もれ
ていた微小な欠陥までも、その欠陥本来の大きさで検出
することを課題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、基準パターン
画像と被検査パターン画像を比較し、両画像間の異なる
部分を欠陥として検出する画像のパターン欠陥検出方法
において、前記被検査パターン画像自体に対して、パタ
ーンの前景と背景の境界線に沿った方向のみ平滑化を行
ったものを、前記基準パターン画像とすることにより、
前記課題を解決したものである。
画像と被検査パターン画像を比較し、両画像間の異なる
部分を欠陥として検出する画像のパターン欠陥検出方法
において、前記被検査パターン画像自体に対して、パタ
ーンの前景と背景の境界線に沿った方向のみ平滑化を行
ったものを、前記基準パターン画像とすることにより、
前記課題を解決したものである。
【００１０】又、画像のパターン欠陥検出装置におい
て、被検査パターン画像を入力する画像入力手段と、入
力された被検査パターン画像自体に対して、パターンの
前景と背景の境界線に沿った方向のみ平滑化を行って基
準パターン画像とする平滑化手段と、該基準パターン画
像と前記被検査パターン画像を比較して、両画像間の異
なる部分を欠陥として検出するための比較手段とを備え
ることにより、同じく前記課題を解決したものである。
て、被検査パターン画像を入力する画像入力手段と、入
力された被検査パターン画像自体に対して、パターンの
前景と背景の境界線に沿った方向のみ平滑化を行って基
準パターン画像とする平滑化手段と、該基準パターン画
像と前記被検査パターン画像を比較して、両画像間の異
なる部分を欠陥として検出するための比較手段とを備え
ることにより、同じく前記課題を解決したものである。
【００１１】本発明は、パターン比較法を用いて行うパ
ターンの欠陥検査において、入力された被検査パターン
画像自体に対して、パターンの前景と背景の境界線に沿
った方向のみ平滑化して基準パターン画像とすることを
特徴とする。平滑化された画像では、境界線上の凹凸の
ない直線部分は、元のまま保持されるが、平滑化サイズ
より小さな凸部分は削られ、凹部分は埋められ、結果と
して、パターンの前景と背景の境界線上には急激な凹凸
が無くなり、境界線は滑らかな直線で結ばれる。この平
滑化画像は、正常なパターン画像と等しいので、これを
基準パターン画像として、元の被検査パターン画像と比
較すると、２画像間の差異が欠陥として検出できる。
ターンの欠陥検査において、入力された被検査パターン
画像自体に対して、パターンの前景と背景の境界線に沿
った方向のみ平滑化して基準パターン画像とすることを
特徴とする。平滑化された画像では、境界線上の凹凸の
ない直線部分は、元のまま保持されるが、平滑化サイズ
より小さな凸部分は削られ、凹部分は埋められ、結果と
して、パターンの前景と背景の境界線上には急激な凹凸
が無くなり、境界線は滑らかな直線で結ばれる。この平
滑化画像は、正常なパターン画像と等しいので、これを
基準パターン画像として、元の被検査パターン画像と比
較すると、２画像間の差異が欠陥として検出できる。
【００１２】このとき、基準パターン画像は、被検査パ
ターン画像を元にその都度作成されるので、この２画像
は、本来、全体的な寸法だけでなく、画素配列として見
たときも、全く同一の画像である。よって、２画像間の
位置ずれや大きさのずれ、画素配列のずれ等は考慮する
必要がなくなり、被検査パターン画像と基準パターン画
像間の僅かな違いも、これらのずれの影響ではなく、本
当の欠陥として判断することができ、精度の良い欠陥検
出が可能となる。
ターン画像を元にその都度作成されるので、この２画像
は、本来、全体的な寸法だけでなく、画素配列として見
たときも、全く同一の画像である。よって、２画像間の
位置ずれや大きさのずれ、画素配列のずれ等は考慮する
必要がなくなり、被検査パターン画像と基準パターン画
像間の僅かな違いも、これらのずれの影響ではなく、本
当の欠陥として判断することができ、精度の良い欠陥検
出が可能となる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して、本発明の実
施形態を詳細に説明する。
施形態を詳細に説明する。
【００１４】本発明を実施するための画像のパターン欠
陥検出装置は、図１に示す如く、被検査パターンを、カ
メラ等によりデジタル画像として入力する画像入力手段
１０と、該画像入力手段１０により入力された被検査パ
ターン画像自体に対して、パターンの前景と背景の境界
線に沿った方向にのみ平滑化を行って基準パターン画像
とする平滑化手段１２と、該平滑化手段１２によって作
成された基準パターン画像と、前記画像入力手段１０に
よって入力された被検査パターン画像を比較して、両画
像間の異なる部分を欠陥として検出するための比較手段
１４と、該比較手段１４によって得られた欠陥検出結果
画像に基づいて欠陥を認識し、欠陥の大きさ、位置、種
類等を数値データとして出力する結果出力手段１６とを
備えている。
陥検出装置は、図１に示す如く、被検査パターンを、カ
メラ等によりデジタル画像として入力する画像入力手段
１０と、該画像入力手段１０により入力された被検査パ
ターン画像自体に対して、パターンの前景と背景の境界
線に沿った方向にのみ平滑化を行って基準パターン画像
とする平滑化手段１２と、該平滑化手段１２によって作
成された基準パターン画像と、前記画像入力手段１０に
よって入力された被検査パターン画像を比較して、両画
像間の異なる部分を欠陥として検出するための比較手段
１４と、該比較手段１４によって得られた欠陥検出結果
画像に基づいて欠陥を認識し、欠陥の大きさ、位置、種
類等を数値データとして出力する結果出力手段１６とを
備えている。
【００１５】以下、本実施形態の作用を説明する。
【００１６】まず、画像入力手段１０により、被検査パ
ターンがカメラ等により撮像され、デジタル画像として
記録される。この記録された画像が、被検査パターン画
像となる。
ターンがカメラ等により撮像され、デジタル画像として
記録される。この記録された画像が、被検査パターン画
像となる。
【００１７】次に、平滑化手段１２は、検査パターンの
方向に応じて予め用意された平滑化テンプレート画像を
使い、被検査パターン画像を平滑化することにより、基
準パターン画像を作成する。
方向に応じて予め用意された平滑化テンプレート画像を
使い、被検査パターン画像を平滑化することにより、基
準パターン画像を作成する。
【００１８】この平滑化手段１２で使用する平滑化テン
プレート画像の一例を図２に示す。この平滑化テンプレ
ート画像は、平滑化したい方向（図２では水平方向）に
１ラインだけ、想定する欠陥長以上の長さを「１」で埋
め、その他の部分は「０」で埋めることにより作成す
る。この例では、図３のように、前景を黒、背景を白と
し、水平方向に縞模様となっているパターンを検査対象
として想定しているため、平滑化テンプレート画像は、
図２のように、水平方向に「１」を埋めたパターンを使
用している。欠陥長としては８画素程度を想定している
ので、「１」で埋める長さは、それよりも長い１６画素
とし、平滑化テンプレート画像の幅も同じ１６画素とし
ている。
プレート画像の一例を図２に示す。この平滑化テンプレ
ート画像は、平滑化したい方向（図２では水平方向）に
１ラインだけ、想定する欠陥長以上の長さを「１」で埋
め、その他の部分は「０」で埋めることにより作成す
る。この例では、図３のように、前景を黒、背景を白と
し、水平方向に縞模様となっているパターンを検査対象
として想定しているため、平滑化テンプレート画像は、
図２のように、水平方向に「１」を埋めたパターンを使
用している。欠陥長としては８画素程度を想定している
ので、「１」で埋める長さは、それよりも長い１６画素
とし、平滑化テンプレート画像の幅も同じ１６画素とし
ている。
【００１９】被検査パターンの方向が、水平方向以外の
方向、例えば垂直方向、斜め方向などであっても、本例
と同様に、その方向に沿って想定される欠陥長以上の長
さを「１」で埋めた平滑化テンプレート画像を作成すれ
ばよい。
方向、例えば垂直方向、斜め方向などであっても、本例
と同様に、その方向に沿って想定される欠陥長以上の長
さを「１」で埋めた平滑化テンプレート画像を作成すれ
ばよい。
【００２０】前記の方法で作成した平滑化テンプレート
画像をｇ（ｘ，ｙ）、被検査パターン画像をｆ（ｘ，
ｙ）、被検査パターン画像上の平滑化テンプレート画像
の位置を（ｘ，ｙ）、平滑化テンプレート画像の形状が
矩形で寸法を（ｗ，ｈ）とすれば、基準パターン画像ｈ
（ｘ，ｙ）は、次式により与えられる。
画像をｇ（ｘ，ｙ）、被検査パターン画像をｆ（ｘ，
ｙ）、被検査パターン画像上の平滑化テンプレート画像
の位置を（ｘ，ｙ）、平滑化テンプレート画像の形状が
矩形で寸法を（ｗ，ｈ）とすれば、基準パターン画像ｈ
（ｘ，ｙ）は、次式により与えられる。
【００２１】
【数１】
【００２２】図３のような欠陥を含んだ被検査パターン
画像ｆ（ｘ，ｙ）に対し、（１）式を適用すると、被検
査パターン画像の凸部分（凸起２０、結線２２、残り２
４）は削られ、凹部分（欠け３０、断線３２、穴３４）
は埋められた、図４に示すような、理想的な基準パター
ン画像ｈ（ｘ，ｙ）が得られる。即ち、欠陥がある被検
査パターン画像ｆ（ｘ，ｙ）に対して、そのパターンに
沿った方向にのみ平滑化を行うと、欠陥以外の部分は同
じ画素配列で、欠陥のみが補正された、理想的な基準パ
ターン画像ｈ（ｘ，ｙ）が得られるという点が、本発明
の一番重要な点である。
画像ｆ（ｘ，ｙ）に対し、（１）式を適用すると、被検
査パターン画像の凸部分（凸起２０、結線２２、残り２
４）は削られ、凹部分（欠け３０、断線３２、穴３４）
は埋められた、図４に示すような、理想的な基準パター
ン画像ｈ（ｘ，ｙ）が得られる。即ち、欠陥がある被検
査パターン画像ｆ（ｘ，ｙ）に対して、そのパターンに
沿った方向にのみ平滑化を行うと、欠陥以外の部分は同
じ画素配列で、欠陥のみが補正された、理想的な基準パ
ターン画像ｈ（ｘ，ｙ）が得られるという点が、本発明
の一番重要な点である。
【００２３】このようにして、被検査パターン画像ｆ
（ｘ，ｙ）と基準パターン画像ｈ（ｘ，ｙ）が揃った
後、比較手段１４による処理に移る。通常のパターン比
較法では、ここで２画像間の位置合せの手順が必要であ
るが、本発明法においては、前記のように、基準パター
ン画像ｈ（ｘ，ｙ）と被検査パターン画像ｆ（ｘ，ｙ）
は、元々同じ画像なので、この２つの画像上のパターン
位置座標は必ず一致するため、位置合せを行う必要がな
い。
（ｘ，ｙ）と基準パターン画像ｈ（ｘ，ｙ）が揃った
後、比較手段１４による処理に移る。通常のパターン比
較法では、ここで２画像間の位置合せの手順が必要であ
るが、本発明法においては、前記のように、基準パター
ン画像ｈ（ｘ，ｙ）と被検査パターン画像ｆ（ｘ，ｙ）
は、元々同じ画像なので、この２つの画像上のパターン
位置座標は必ず一致するため、位置合せを行う必要がな
い。
【００２４】一方、従来の方法で作成した基準パターン
画像の例を図６に示すが、同じ直線部分であっても、図
３に示したような被検査パターン画像とは違う画素配列
になる可能性が大きく、位置合せをいくら正確に行って
も、ずれを無くすことはできない。
画像の例を図６に示すが、同じ直線部分であっても、図
３に示したような被検査パターン画像とは違う画素配列
になる可能性が大きく、位置合せをいくら正確に行って
も、ずれを無くすことはできない。
【００２５】比較手段１４では、まず基準パターン画像
ｈ（ｘ，ｙ）から被検査パターン画像ｆ（ｘ，ｙ）を引
くことによって、凸部分の欠陥（２０、２２、２４）を
画像として出力し、次いで、被検査パターン画像ｆ
（ｘ，ｙ）から基準パターン画像ｈ（ｘ，ｙ）を引くこ
とによって、凹部分の欠陥（３０、３２、３４）を画像
として出力する。その後、この出力された２つの画像を
加算して、図５のような欠陥検出結果画像を得る。図５
では、本当の欠陥だけが、本来の大きさで差分として出
力されていることがわかる。
ｈ（ｘ，ｙ）から被検査パターン画像ｆ（ｘ，ｙ）を引
くことによって、凸部分の欠陥（２０、２２、２４）を
画像として出力し、次いで、被検査パターン画像ｆ
（ｘ，ｙ）から基準パターン画像ｈ（ｘ，ｙ）を引くこ
とによって、凹部分の欠陥（３０、３２、３４）を画像
として出力する。その後、この出力された２つの画像を
加算して、図５のような欠陥検出結果画像を得る。図５
では、本当の欠陥だけが、本来の大きさで差分として出
力されていることがわかる。
【００２６】一方、従来の方法で作成した図６の基準パ
ターン画像を用いて、被検査パターン画像と比較した場
合には、図７のように、ずれ４０が欠陥（２０、２２、
２４、３０、３２、３４）と一緒に出力されるため、何
らかの方法で、このずれ４０を取除く必要がある。
ターン画像を用いて、被検査パターン画像と比較した場
合には、図７のように、ずれ４０が欠陥（２０、２２、
２４、３０、３２、３４）と一緒に出力されるため、何
らかの方法で、このずれ４０を取除く必要がある。
【００２７】結果出力手段１６は、図５のような欠陥検
出結果画像を例えば上から順番にサーチし、欠陥があれ
ば、その欠陥の大きさ、位置、種類等を数値データとし
て出力する。
出結果画像を例えば上から順番にサーチし、欠陥があれ
ば、その欠陥の大きさ、位置、種類等を数値データとし
て出力する。
【００２８】本発明を実施するためのパターン欠陥検出
装置は、専用のハードウェアで構成されたものに限定さ
れず、必要な制御プログラムを保存した、磁気ディスク
や光磁気ディスク等のリムーバブルメディアを用いて、
汎用のコンピュータのハードディスクにインストールす
ることにより、汎用のコンピュータを用いて本発明を実
施することも可能である。
装置は、専用のハードウェアで構成されたものに限定さ
れず、必要な制御プログラムを保存した、磁気ディスク
や光磁気ディスク等のリムーバブルメディアを用いて、
汎用のコンピュータのハードディスクにインストールす
ることにより、汎用のコンピュータを用いて本発明を実
施することも可能である。
【００２９】
【発明の効果】本発明によれば、パターン比較法を用い
て行うパターン欠陥検査において、ずれの無い基準パタ
ーン画像を作成できるため、ずれを誤検出することな
く、且つ、従来はずれの中に埋もれていた微小な欠陥ま
でも、その欠陥本来の大きさで検出することができ、精
度の良い欠陥検査が可能となる。
て行うパターン欠陥検査において、ずれの無い基準パタ
ーン画像を作成できるため、ずれを誤検出することな
く、且つ、従来はずれの中に埋もれていた微小な欠陥ま
でも、その欠陥本来の大きさで検出することができ、精
度の良い欠陥検査が可能となる。
【図１】本発明にかかる画像のパターン欠陥検出装置の
実施形態の構成を示すブロック線図
実施形態の構成を示すブロック線図
【図２】本実施形態で用いられている平滑化テンプレー
ト画像の例を示す線図
ト画像の例を示す線図
【図３】同じく被検査パターン画像の例を示す線図
【図４】同じく基準パターン画像の例を示す線図
【図５】同じく欠陥検出結果画像の例を示す線図
【図６】比較のために示した、従来法によって作成され
た基準パターン画像の例を示す線図
た基準パターン画像の例を示す線図
【図７】同じく、欠陥検出結果画像の例を示す線図
１０…画像入力手段 １２…平滑化手段 ｆ（ｘ，ｙ）…被検査パターン画像 ｇ（ｘ，ｙ）…平滑化テンプレート画像 ｈ（ｘ，ｙ）…基準パターン画像 １４…比較手段 １６…結果出力手段 ２０…凸起 ２２…結線 ２４…残り ３０…欠け ３２…断線 ３４…穴 ４０…ずれ
Claims (2)
- 【請求項１】基準パターン画像と被検査パターン画像を
比較し、両画像間の異なる部分を欠陥として検出する画
像のパターン欠陥検出方法において、 前記被検査パターン画像自体に対して、パターンの前景
と背景の境界線に沿った方向のみ平滑化を行ったもの
を、前記基準パターン画像とすることを特徴とする画像
のパターン欠陥検出方法。 - 【請求項２】被検査パターン画像を入力する画像入力手
段と、 入力された被検査パターン画像自体に対して、パターン
の前景と背景の境界線に沿った方向のみ平滑化を行って
基準パターン画像とする平滑化手段と、 該基準パターン画像と前記被検査パターン画像を比較し
て、両画像間の異なる部分を欠陥として検出するための
比較手段と、 を備えたことを特徴とする画像のパターン欠陥検出装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8118593A JPH09305764A (ja) | 1996-05-14 | 1996-05-14 | 画像のパターン欠陥検出方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8118593A JPH09305764A (ja) | 1996-05-14 | 1996-05-14 | 画像のパターン欠陥検出方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09305764A true JPH09305764A (ja) | 1997-11-28 |
Family
ID=14740430
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8118593A Pending JPH09305764A (ja) | 1996-05-14 | 1996-05-14 | 画像のパターン欠陥検出方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09305764A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003529741A (ja) * | 1998-07-15 | 2003-10-07 | オーガスト テクノロジー コーポレイション | 自動化ウェハ欠陥検査システムおよびこのような検査を実行する方法 |
| JP2010175563A (ja) * | 1998-07-15 | 2010-08-12 | August Technology Corp | 自動化ウェハ欠陥検査システムおよびこのような検査を実行する方法 |
| WO2022244752A1 (ja) * | 2021-05-17 | 2022-11-24 | 株式会社日立パワーソリューションズ | 監視システム、および、監視方法 |
-
1996
- 1996-05-14 JP JP8118593A patent/JPH09305764A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003529741A (ja) * | 1998-07-15 | 2003-10-07 | オーガスト テクノロジー コーポレイション | 自動化ウェハ欠陥検査システムおよびこのような検査を実行する方法 |
| JP2010175563A (ja) * | 1998-07-15 | 2010-08-12 | August Technology Corp | 自動化ウェハ欠陥検査システムおよびこのような検査を実行する方法 |
| JP2011107159A (ja) * | 1998-07-15 | 2011-06-02 | August Technology Corp | 自動化ウェハ欠陥検査システムおよびこのような検査を実行する方法 |
| US9337071B2 (en) | 1998-07-15 | 2016-05-10 | Rudolph Technologies, Inc. | Automated wafer defect inspection system and a process of performing such inspection |
| WO2022244752A1 (ja) * | 2021-05-17 | 2022-11-24 | 株式会社日立パワーソリューションズ | 監視システム、および、監視方法 |
| JP2022176821A (ja) * | 2021-05-17 | 2022-11-30 | 株式会社日立パワーソリューションズ | 監視システム、および、監視方法 |
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Legal Events
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