JPH09297316A

JPH09297316A - 液晶装置

Info

Publication number: JPH09297316A
Application number: JP11336396A
Authority: JP
Inventors: Mitsuo Usami; 光雄宇佐美
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1996-05-08
Filing date: 1996-05-08
Publication date: 1997-11-18

Abstract

(57)【要約】【課題】敷き詰め型が可能な縁無しの液晶装置を得
る。従来の液晶装置では、ドライバＩＣが液晶パネルの
周辺に平面状に搭載していたため、敷き詰め型の大型液
晶ディスプレイを得ることができなかった。【解決手段】上面ガラス板１１および偏光板１２と、
スペーサ１３を介して基板ガラス１７との間に液晶１０
が充填された液晶パネルにおいて、ガラス基板１７の側
面に、薄型のフレキシブルチップで構成したドライバＬ
ＳＩ１５を接着する。ドライバ１５と駆動ライン１６と
は接続メタル１４により接続する。【効果】敷き詰め型の高精細大型液晶ディスプレイを
製造することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は液晶装置に係り、特
に大画面表示および高精細表示を可能にする液晶装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶装置の従来技術については、例えば
電子情報通信ハンドブック（オーム社発行１９９０年４
月３０日第１版第２刷）の第２９５〜２９６頁に示され
ているように、液晶パネルの周辺にドライバＬＳＩを平
面状に搭載して、マトリクス状に配置された画素を駆動
する方法が一般的に用いられている。また、従来の液晶
パネルは、上記ハンドブックに記載されるようにスペー
サを介して所定間隔に保持された２枚の平面ガラス基板
間の間隙に液晶が充填された構造を有している。アクテ
ィブマトリクス方式では、信号電極と走査電極の各交点
にＭＯＳトランジスタによるＴＦＴ（Thin Film Transi
stor)が平面ガラス基板上に形成されている。液晶パネ
ルの周辺に配置されたドライバＬＳＩによって駆動され
るＴＦＴがオンしてコンデンサに信号電圧がチャージさ
れ、このチャージされた信号電圧が液晶に印加されるよ
うに構成されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら前述した
従来の液晶装置によれば、液晶パネルの周辺にドライバ
ＬＳＩを平面状に搭載するため、複数の液晶パネルを用
いて大画面化しようとする場合に、すきま無く液晶パネ
ルを敷き詰めることができなかった。また、平面ガラス
基板上に形成した液晶パネルであるため、わん曲するこ
とができなかった。さらに、アモルファスまたはポリシ
リコンを用いたＴＦＴでオン／オフさせる液晶パネル
（以下、ＴＦＴ液晶パネルと称する）であるため周辺回
路が遅い、といった難点があった。

【０００４】また、図２は、従来のＴＦＴ液晶パネルを
４面並列に配置した場合を模式的に示した斜視図であ
る。ガラス基板２３上に周辺ドライバＬＳＩ２１とＴＦ
Ｔ液晶パネル２２が搭載されている。ここで、複数のＴ
ＦＴ液晶パネル２２を並べて大型画面にしようとして
も、図２に示したように周辺ドライバＬＳＩ２１が邪魔
をして境界に画面がない部分が生じてしまい好ましくな
い。なお、大型画面化した例としては、日経マイクロデ
バイスの１９９５年１１月号の第１２２〜１２３頁に２
面を並べて２８型の大きさにした例がある。

【０００５】図５は、従来のＴＦＴ液晶パネルの断面構
造を模式的に示す概略図である。ＴＦＴ層５２がガラス
基板５１上に形成されているが、ガラス基板５１が厚い
ときは蛍光灯の光５３が反射して人間の目５４に入り、
映像効果を低減する問題点がある。しかし、ポリシリコ
ンまたは単結晶を用いたＴＦＴ液晶パネルでは、ガラス
基板５１を簡便に薄くしたものは未だ提案されていな
い。この反射の問題に関しては、ＴＦＴ液晶パネルでは
ないが、例えば月間セミコンダクタワールドの１９９５
年２月号の第１１６頁に記載されている。

【０００６】図８は、ＴＦＴ液晶パネル８３が搭載され
ているプリント基板８２に周辺ドライバＬＳＩ８１を配
置したヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）用の従来
例を模式的に示した斜視図である。このように構成する
と例えばＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色を１画素
として、９６０（縦）×１２８０（横）画素の高精細な
表示装置をオーバヘッドマウントデバイスに搭載するこ
とは、端子ネックとなって不可能となる。なお、このＨ
ＭＤ関連の液晶装置については、ドライバ処理装置が一
体ではないが、例えば日経エレクトロニクスの１９９４
年８月２２日号の第１３頁に記載されている。

【０００７】そこで、本発明の目的は、複数の液晶パネ
ルを縦及び／又は横に敷き詰めて大型画面化を図っても
境界が目立たない液晶装置を提供することにある。

【０００８】また、本発明の他の目的は、明るい人工照
明下でも反射像が写ること無く美しい映像を楽しむこと
ができる液晶装置を提供することにある。

【０００９】更に、端子ネックとならずにプリント基板
上に高精細ＨＭＤ用に好適な周辺ドライバ一体型の液晶
装置を提供することも目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明に係る液晶装置
は、ガラス基板上に設けた液晶により表示を行うように
構成された液晶装置において、液晶を駆動するＬＳＩを
前記ガラス基板の側壁に設けたことを特徴とするもので
ある。この場合、前記液晶を駆動するＬＳＩは、厚さが
１μｍ以上２００μｍ以下からなるフレキシブルＬＳＩ
であれば好適である。このようにガラス基板の側壁に駆
動ＬＳＩを設けることにより、縁無しの液晶パネルを得
ることができる。

【００１１】また、本発明に係る液晶装置は、上記液晶
装置を、更に縦および／または横に複数並列配置して表
示画面を構成することができる。これにより、境界領域
が目立たない、より大きな表示装置を形成することがで
きる。

【００１２】さらに、本発明に係る液晶装置は、ガラス
基板上に設けた液晶により表示を行うように構成された
液晶装置において、前記ガラス基板としてわん曲したガ
ラス基板を用い、マトリクス状に配置された画素ごとに
設けたフレキシブル薄型トランジスタをわん曲面に沿っ
て形成したことを特徴とする。このようにわん曲したガ
ラス基板上に液晶画面を形成できることにより、明るい
人工照明下でも反射像が写ること無く美しい画像を得る
ことができる。

【００１３】また更に、本発明に係る液晶装置は、ガラ
ス基板上に設けた液晶により表示を行うように構成され
た液晶装置において、液晶層上に絶縁物を介して、マト
リクス状に配置された画素ごとに設けたフレキシブル薄
型トランジスタと周辺のドライバＬＳＩとを一体化して
形成したことを特徴とするものである。このようにフレ
キシブル薄型トランジスタと周辺のドライバＬＳＩとを
一体化して構成することにより、端子ネックが解消され
高精細なヘッドマウントディスプレイを得ることが可能
となる。

【００１４】また、前記フレキシブル薄型トランジスタ
は、厚さが０．１μｍ以上１０μｍ以下であれば好適で
ある。

【００１５】更に、前記フレキシブル薄型トランジスタ
は、貼りあわせによるシリコンオンインシュレータウエ
ハ上に作製されていれば好適である。シリコンオンイン
シュレータウエハはウエハ中に絶縁膜を有しているの
で、このウエハを用いることにより、主面側にトランジ
スタ等を形成した後、裏面のシリコンを自己整合的に除
去でき、容易に薄型シリコントランジスタチップを得る
ことができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明に係る液晶装置の好適な実
施の形態は、ガラス基板上に設けた液晶により表示を行
うように構成された液晶装置において、液晶駆動用の薄
型のＬＳＩチップすなわちフレキシブルチップをガラス
基板の側壁に接着したものである。この液晶装置を縦お
よび／または横に配置してより大きな表示装置を形成し
た液晶装置を容易にかつ経済的に実現することができ
る。この薄型のＬＳＩチップは厚さが２００μｍ以下で
ある。高精度の大画面を得るためには、この薄型ＬＳＩ
を１〜５μｍ程度まで薄くすることにより、実質的に境
界が認識できない程度の良好な大画面を得ることができ
る。

【００１７】ここで、フレキシブルチップとは、単結晶
シリコンからなる下地の凹凸に応じて曲げが可能な厚さ
０．１μｍ〜２００μｍ程度の半導体チップを云う。２
００μｍより厚いと曲げるのが困難になり割れてしまう
ので、２００μｍより薄くするのが好ましい。また、フ
レキシブルチップの厚さを０．１μｍ以下に過度に薄く
すると、半導体チップ中に素子を形成することが困難に
なるので避けた方がよい。フレキシブルチップの厚さが
２００μｍの時の曲率半径は３００ｍｍであって実用は
可能であるが、厚さを薄くして２０μｍにすれば曲率半
径は０．３ｍｍとなる。

【００１８】

【実施例】次に、本発明に係る液晶装置の更に具体的な
実施例につき、添付図面を参照しながら以下詳細に説明
する。

【００１９】＜実施例１＞図１は、本発明に係る液晶装
置の一実施例を示す概略断面構造図である。図１におい
て参照符号１７はガラス基板を示し、このガラス基板１
７の上にはＴＦＴ用の駆動ライン１６が走っている。液
晶１０は、スペーサ１３を介して基板ガラス１７と上面
ガラス板１１および偏光板１２によって囲まれた領域に
充填されている。ＴＦＴ駆動ライン１６は、接続メタル
１４によってガラス基板１７の側壁に設けた厚さ１μｍ
〜２００μｍのフレキシブルチップ１５で構成したドラ
イバＬＳＩと接続されている。このようにガラス基板１
７の側壁にフレキシブルチップ１５を設けることによ
り、図２に示した液晶パネルのまわりに駆動用ドライバ
ＬＳＩを配置する従来例の場合と異なり、液晶パネルの
間があいてしまうことがない。従って図３の（ａ）の平
面図に示すように、小さな縁無しＴＦＴ液晶パネル３１
を複数組み合わせて大画面の液晶ディスプレイを実現す
ることができる。図３の（ｂ）は、図３の（ａ）中に円
形領域３０で示した部分の拡大図であり、ＴＦＴ液晶パ
ネル３１を構成するＴＦＴアレイ基板３２の側壁３３に
フレキシブルチップ構成のドライバＬＳＩ（以下、フレ
キシブル周辺ドライバＬＳＩと称する）３４を搭載した
縁無し液晶ディスプレイを示している。すなわち、フレ
キシブル周辺ドライバＬＳＩ３４をＴＦＴアレイ基板３
２の側壁３３に接続して、縁無しＴＦＴ液晶パネル３１
を形成することができる。ＴＦＴアレイ基板３２は大面
積になると指数関数的に歩留まりを落してしまうので、
経済的に大画面の液晶ディスプレイ装置を製造すること
は現実的とはいえない。従って、極めて薄いＬＳＩ（以
下、フレキシブルＬＳＩと称する）にしてかつ側壁にフ
レキシブルＬＳＩを接続することは、図３に示したよう
に４面の縁無し液晶パネル３１をすきま無く敷き詰めて
大画面化を図る上で極めて重要な要素である。

【００２０】なお、駆動ラインへの接続の方法として
は、薄いフレキシブルＬＳＩを側壁に接着後、導電性ペ
ーストで接続する方法と、薄いフレキシブルＬＳＩを異
方導電性接着剤でフェースダウンにより接続する方法な
どが考えられ、いずれの方法を用いてもよい。薄いフレ
キシブルＬＳＩの製造法は、ダイヤモンド粒子の研磨に
よる方法、水酸化カリウムによるＳｉエッチングや、フ
ッ酸と硝酸の混合液によりＳｉをエッチッグする方法な
どを用いることができる。また、ケミカルメカニカルポ
リッシング（以下、ＣＭＰと称する）による方法も使用
可能である。加工精度０．１μｍのデバイス技術を用い
た場合には、フレキシブルＬＳＩの厚さは１μｍ以上、
２００μｍ以下が好ましい実用的な範囲である。また、
このときフレキシブルチップ上に形成するトランジスタ
の厚さは、０．１μｍ以上が好ましく、フレキシブルチ
ップの厚さが２００μｍ近い厚さの場合でも１０μｍ以
下とするのがよい。

【００２１】前記フレキシブルＬＳＩは、Ｓｉウエハの
貼りあわせによるシリコンオンインシュレータ（以下、
ＳＯＩと称する）ウエハを用いて作製すれば好適であ
る。貼りあわせによるＳＯＩウエハは中に絶縁膜を保持
しているので、主面側にアクティブな層を形成してから
絶縁膜とＳｉとの選択比の大きい水酸化カリウムなどの
エッチング液を用いて裏面のＳｉエッチングを行えば、
自己整合的に裏面のＳｉを除去できるからである。この
ため、極めて容易に所要な薄さのＬＳＩを効率よく形成
することが可能となる。

【００２２】＜実施例２＞図４は、本発明に係る液晶装
置の別の実施例を示す概略断面構造図である。本実施例
は、フレキシブルＴＦＴ層を有するわん曲可能な液晶装
置の例である。

【００２３】図４において参照符号４２はフレキシブル
ＴＦＴ層を示し、このフレキシブルＴＦＴ層４２は厚さ
が１μｍ〜２００μｍと薄いシリコン単結晶から構成さ
れている。このフレキシブルＴＦＴ層４２の厚さは、適
用する用途に必要な曲率半径によって変わり、例えば曲
率半径として３００ｍｍが要求される場合は厚さを２０
０μｍとすればよく、曲率半径として０．３ｍｍが要求
される場合には厚さを２０μｍと薄くすればよい。な
お、ＴＦＴ素子の動作速度がある程度遅くても問題無い
用途であれば、フレキシブルＴＦＴ層４２にポリシリコ
ンを用いてもよい。従来、この種のわん曲したフレキシ
ブルＴＦＴ層としては、薄いガラス上にポリシリコンを
蒸着して形成する方法を用いて薄膜化し曲げに強い液晶
を形成した例（例えば、第２回液晶ディスプレイセミナ
ーのＢ−４、講演番号（２）「携帯型情報端末向け薄型
・軽量パネル技術と今後の展開」１９９４年９月２９
日、テキスト第１〜７頁（主催：日経ＢＰ社）に記載さ
れている）があるが、ガラス基板が薄いために安定して
特性を出すことが困難であった。これに対して、本実施
例のフレキシブルＴＦＴ層４２は、ＴＦＴ層を形成した
シリコン基板或いはＳＯＩ基板を、実施例１で述べた研
磨法やＣＭＰ法、或いは水酸化カリウムなどのエッチン
グ法を用いて薄膜化することにより得られ、容易にわん
曲可能な特性の安定したフレキシブルＴＦＴ層を実現す
ることができる。

【００２４】図４に示すようにガラス基板４４上には液
晶４３があり、この液晶４３上にフレキシブルＴＦＴ層
４２が形成されている。このようなポリシリコンまたは
単結晶シリコンを用いたフレキシブルＴＦＴ層４２を形
成したわん曲面を持った液晶装置を、図６に示すように
構成する。図６において参照符号６１はわん曲したガラ
ス基板６１を示し、このわん曲したガラス基板６１の厚
さは厚くてもよい。これにフレキシブルＴＦＴ層６２を
貼付ける。このように構成すると蛍光灯の光６３が入っ
ても乱反射してしまい、人間の目６４に入って焦点を結
ぶことはないので、明るい人工照明の下で美しい映像を
楽しむことができる。

【００２５】薄いフレキシブルＴＦＴ層６２の製造方法
は、前述したように、シリコン基板の上にＴＦＴ層を形
成後にダイヤモンド粒子を用いた研磨による方法、シリ
コンをエッチッグする水酸化カリウムやフッ酸と硝酸の
混合液によるエッチング方法などが使用できる。また、
ＣＭＰによる方法なども使用可能である。ここでは、前
記のフレキシブルな薄いＴＦＴ層６２は貼りあわせによ
るＳＯＩウエハによって作製されたものを用いる。貼り
あわせによるＳＯＩウエハは中に絶縁膜を保持している
ので、主面側にＴＦＴのアクティブな層を形成してから
裏面のシリコンを自己整合的に除去できる。このため、
極めて容易に所要な薄さのフレキシブルＴＦＴ層６２を
効率よく形成することが可能となる。ＴＦＴ層を形成す
る部分が単結晶シリコンであれば、周辺のドライバ回路
をすべてＴＦＴ層の中に組み込むことが可能となって、
例えば、Ｒ，Ｇ，Ｂの３色を１画素として、９６０×１
２８０画素の高精細なＴＶを経済的に形成することが可
能となる。

【００２６】＜実施例３＞図７は、本発明に係る液晶装
置のまた別の実施例を示す概略縦断面構造図である。本
実施例は、フレキシブルＬＳＩの光透過性を利用して高
精細なヘッドマウントディスプレイ用液晶装置に適用す
る場合の例である。なお、図７はＲ，ＧまたはＢの単色
の１画素分の断面を示している。

【００２７】図７において参照符号７３はフレキシブル
ＴＦＴを示し、このフレキシブルＴＦＴ７３とフレキシ
ブルＴＦＴドライブ回路７６が同じ絶縁膜７７上に形成
されていて、その間は酸化膜７４で分離されている。フ
レキシブルＴＦＴ７３とフレキシブルＴＦＴドライブ回
路７６は、ドライブライン７５で接続されている。この
液晶装置は、液晶７８によって光の透過量を調整して画
像を形成させる。なお、参照符号７１はガラス基板、７
２は透明電極である。

【００２８】このような構成の液晶装置を、図９に示す
ようなヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）に適用す
る。図９において参照符号９１は周辺ドライバ一体型液
晶９１を示し、この周辺ドライバ一体型液晶９１が眼鏡
９２に取り付けられている。この眼鏡９２をかけて見る
と、大画面スクリーンがあたかも目の前にあるように見
える。すなわち、映像を表示する大画面のバーチャルス
クリーン９３を目の前に形成することができる。バーチ
ャルな画像を形成するには適当な光学系を必要とする
が、本発明では高精細な画像装置を提供する点に主眼を
置くので光学系についての説明は省略する。この高精細
でかつ微小な高速の画像素子が提供できれば、光学系を
含めて所望のバーチャルスクリーン９３を設計すること
が可能となるからである。

【００２９】前述したフレキシブルＴＦＴ７３と周辺の
ドライバＬＳＩとを一体化することにより従来の端子ネ
ックが解消され、高精細なバーチャル画像用液晶装置を
実現することができる。フレキシブルＴＦＴ７３の厚さ
は、光透過性を利用するために１０μｍ以下であること
が望ましい。単結晶シリコンによるフレキシブルＴＦＴ
を用いた高速回路を液晶の周辺に集積することにより、
ＨＭＤ用３次元高精細液晶装置も可能になる。

【００３０】周辺ドライバ回路とフレキシブルＴＦＴ７
３とを一体化した製造方法は、シリコン基板の上にＴＦ
Ｔ７３とドライバ回路７６を形成後にダイヤモンド粒子
の研磨による方法、水酸化カリウムによるＳｉエッチッ
グやフッ酸と硝酸の混合液によるＳｉエッチングによる
方法などを用いることができる。また、ＣＭＰによる方
法なども使用可能である。周辺ドライバ回路とＴＦＴと
を一体化したフレキシブルＬＳＩは、貼りあわせによる
ＳＯＩウエハを用いて作製すれば好適である。貼りあわ
せによるＳＯＩウエハは中に絶縁膜を保持しているの
で、主面側にＴＦＴのアクティブな層を形成してから絶
縁膜とＳｉとの選択比の大きい水酸化カリウムなどのエ
ッチング液を用いて裏面にＳｉエッチングを行えば、裏
面のＳｉを自己整合的に除去でき、極めて容易に所要な
薄さのフレキシブルなＴＦＴ層を効率よく形成すること
ができるからである。単結晶シリコンであれば周辺のド
ライバ回路をすべてＴＦＴ層の中に組み込むことが可能
となるので、高精細のＨＭＤを経済的に形成することが
可能となる。周辺ドライバＬＳＩを組み込んでしまう
と、液晶装置がコンパクトにできるのはもちろんのこと
多数の微細な配線を半導体技術で形成できるので大変精
細な画像素子が経済的に製造可能となる。

【００３１】以上、本発明の好適な実施例について説明
したが、本発明は前記実施例に限定されることなく、本
発明の精神を逸脱しない範囲内において種々の設計変更
をなし得ることは勿論である。

【００３２】

【発明の効果】フレキシブルＬＳＩは１〜２００μｍ
（好適には、１〜１０μｍ）ときわめて薄いので液晶の
ガラス基板のサイドに貼付ても人間には厚さを感じさせ
ない。大画面の高精細ＴＶが低コストで実現できる。大
画面でわん曲したポリＳｉまたは単結晶ＳｉによるＴＦ
Ｔ液晶が実現できるので、迫力のある高精細ＴＶが楽し
める。また、蛍光灯の反射がなく明るくきれいな画面が
楽しめる。単結晶でデバイスを形成するので小さいトラ
ンジスタ面積ですみ、開口率が向上する。さらに、周辺
回路を高速化して液晶パネルと一体化することができ
る。また、現状の方式では液晶パネルの周辺にドライバ
ＬＳＩを平面状に搭載するため液晶パネルの敷き詰めが
できないが、本発明により縁無し液晶パネルを敷き詰め
が可能となるので大画面化が実現できる。現状では平面
ガラスプレート上のＴＦＴ液晶のためわん曲できない
が、本発明によりフレキシブルＴＦＴ層を形成できるの
でわん曲が可能となる。また更に、現状ではアモルファ
スまたはポリＳｉによるＴＦＴ液晶であるため周辺回路
が遅いが、本発明により単結晶Ｓｉを用いた周辺回路と
一体化したフレキシブルＴＦＴ層が使用できるので周辺
回路の高速化が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る液晶装置の一実施例を示す概略断
面構造図である。

【図２】従来のＴＦＴ液晶パネルを４面並列に配置した
場合を模式的に示した斜視図である。

【図３】図１に示した液晶装置を４面並列に配置した場
合を模式的に示した図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）
は（ａ）中に示した円形領域の拡大斜視図である。

【図４】本発明に係る液晶装置の別の実施例を示す概略
断面構造図である。

【図５】従来のＴＦＴ液晶パネルの断面構造を模式的に
示す概略図である。

【図６】図４に示した液晶装置をわん曲した液晶パネル
に適用した実施例を示す説明図である。

【図７】本発明に係る液晶装置のまた別の実施例を示す
概略断面構造図である。

【図８】従来のＨＭＤ用液晶パネルを模式的に示す概略
斜視図である。

【図９】図７に示した液晶装置をＨＭＤに適用した実施
例を示す説明図である。

【符号の説明】

１０…液晶、１１…上面ガラス板、１２…偏光板、１３
…スペーサ、１４…接続メタル、１５…フレキシブルチ
ップ、１６…ＴＦＴ駆動ライン、１７…ガラス基板、２
１…周辺ドライバＬＳＩ、２２…ＴＦＴ液晶パネル、２
３…ガラス基板、３０…円形領域、３１…縁なしＴＦＴ
液晶パネル、３２…ＴＦＴアレイ基板、３３…側壁、３
４…フレキシブル周辺ドライバＬＳＩ、４２…フレキシ
ブルＴＦＴ層、４３…液晶、４４…ガラス基板、５１…
ガラス基板、５２…ＴＦＴ層、５３…蛍光灯の光、５４
…人間の目、６１…わん曲したガラス基板、６２…フレ
キシブルＴＦＴ層、６３…蛍光灯の光、６４…人間の
目、７１…ガラス基板、７２…透明電極、７３…フレキ
シブルＴＦＴ、７４…酸化膜、７５…ドライブライン、
７６…ＴＦＴドライブ回路、７７…絶縁膜、７８…液
晶、８１…周辺ドライバＬＳＩ、８２…プリント基板、
８３…ＴＦＴパネル、９１…周辺ドライバ一体型液晶、
９２…眼鏡、９３…バーチャルスクリーン。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ガラス基板上に設けた液晶により表示を行
うように構成された液晶装置において、液晶を駆動する
ＬＳＩを前記ガラス基板の側壁に設けたことを特徴とす
る液晶装置。
【請求項２】前記液晶を駆動するＬＳＩは、厚さが１μ
ｍ以上２００μｍ以下からなるフレキシブルＬＳＩであ
る請求項１記載の液晶装置。
【請求項３】請求項１または請求項２に記載の液晶装置
を、更に縦および／または横に複数並列配置して表示画
面を構成したことを特徴とする液晶装置。
【請求項４】ガラス基板上に設けた液晶により表示を行
うように構成された液晶装置において、前記ガラス基板
としてわん曲したガラス基板を用い、マトリクス状に配
置された画素ごとに設けたフレキシブル薄型トランジス
タをわん曲面に沿って形成したことを特徴とする液晶装
置。
【請求項５】ガラス基板上に設けた液晶により表示を行
うように構成された液晶装置において、液晶層上に絶縁
物を介して、マトリクス状に配置された画素ごとに設け
たフレキシブル薄型トランジスタと周辺のドライバＬＳ
Ｉとを一体化して形成したことを特徴とする液晶装置。
【請求項６】前記フレキシブル薄型トランジスタは、厚
さが０．１μｍ以上１０μｍ以下である請求項４または
請求項５に記載の液晶装置。
【請求項７】前記フレキシブル薄型トランジスタは、貼
りあわせによるシリコンオンインシュレータウエハ上に
作製されてなる請求項４または請求項５に記載の液晶装
置。