JPH09294988A - 純水製造装置 - Google Patents
純水製造装置Info
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- JPH09294988A JPH09294988A JP8113627A JP11362796A JPH09294988A JP H09294988 A JPH09294988 A JP H09294988A JP 8113627 A JP8113627 A JP 8113627A JP 11362796 A JP11362796 A JP 11362796A JP H09294988 A JPH09294988 A JP H09294988A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＤＩを備える純水製造装置において、処理水
質を低下させることなく、ＤＩの濃縮水及び電極水を回
収処理する。 【解決手段】 ＤＩ２からの濃縮水を脱炭酸塔４で脱炭
酸処理し、ＲＯ装置１でＲＯ処理した後ＤＩ２に送給す
る。ＤＩ２の電極水を活性炭塔５で脱塩素処理した後、
脱炭酸塔４に戻す。 【効果】 濃縮水及び電極水中の炭酸成分及びイオン類
を効率的に除去することができるため、濃縮水及び電極
水の循環によるＤＩのイオン負荷の増加が防止される。
酸化性のＣｌ2 を含む電極水を脱塩素処理することによ
り、ＲＯ膜の酸化劣化を防止できる。水回収率を高めて
も、ＤＩ処理水質が低下することはなく、高水質の処理
水を安定かつ効率的に得ることができる。
質を低下させることなく、ＤＩの濃縮水及び電極水を回
収処理する。 【解決手段】 ＤＩ２からの濃縮水を脱炭酸塔４で脱炭
酸処理し、ＲＯ装置１でＲＯ処理した後ＤＩ２に送給す
る。ＤＩ２の電極水を活性炭塔５で脱塩素処理した後、
脱炭酸塔４に戻す。 【効果】 濃縮水及び電極水中の炭酸成分及びイオン類
を効率的に除去することができるため、濃縮水及び電極
水の循環によるＤＩのイオン負荷の増加が防止される。
酸化性のＣｌ2 を含む電極水を脱塩素処理することによ
り、ＲＯ膜の酸化劣化を防止できる。水回収率を高めて
も、ＤＩ処理水質が低下することはなく、高水質の処理
水を安定かつ効率的に得ることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は純水製造装置に係
り、特に、電気脱イオン装置を備える純水製造装置であ
って、電気脱イオン装置から排出される濃縮水及び電極
水を効率的に処理して水の回収率を高めた純水製造装置
に関する。
り、特に、電気脱イオン装置を備える純水製造装置であ
って、電気脱イオン装置から排出される濃縮水及び電極
水を効率的に処理して水の回収率を高めた純水製造装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体、レンズ、液晶等の洗浄用水、医
薬用水等に用いられる純水の製造装置あるいは燃料電池
用水処理装置等に、連続式電気脱イオン装置（Continuo
us De-Ionizer;以下「ＤＩ」と称す。）が用いられてい
る。このＤＩは、複数のアニオン交換膜及びカチオン交
換膜を交互に配列し、正の電極室と負の電極室との間に
濃縮水室と脱イオン水製造室とを交互に形成し、脱イオ
ン水製造室にアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂とを
混合して充填した構成となっている。
薬用水等に用いられる純水の製造装置あるいは燃料電池
用水処理装置等に、連続式電気脱イオン装置（Continuo
us De-Ionizer;以下「ＤＩ」と称す。）が用いられてい
る。このＤＩは、複数のアニオン交換膜及びカチオン交
換膜を交互に配列し、正の電極室と負の電極室との間に
濃縮水室と脱イオン水製造室とを交互に形成し、脱イオ
ン水製造室にアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂とを
混合して充填した構成となっている。
【０００３】このＤＩは特に逆浸透による製造水の更な
る水質向上に対して効果的な脱イオン処理が可能であ
り、イオン交換樹脂の再生を必要とせず、完全な連続採
水が可能で、極めて高純度の水が得られるという優れた
効果を奏する。
る水質向上に対して効果的な脱イオン処理が可能であ
り、イオン交換樹脂の再生を必要とせず、完全な連続採
水が可能で、極めて高純度の水が得られるという優れた
効果を奏する。
【０００４】ＤＩでは、脱イオン水製造室に流入した被
処理液中のイオンが親和力、濃度及び移動度に基いてイ
オン交換樹脂と反応して、電位の傾きの方向に樹脂中を
移動し、更に、脱イオン水製造室と濃縮水室とを仕切る
カチオン交換膜又はアニオン交換膜を横切って移動し、
すべての室において電荷の中和が保たれるようになる。
そして、イオン交換膜の半浸透特性及び電位の傾きの方
向性により、被処理液中のイオンは脱イオン水製造室で
は減少し、隣りの濃縮水室では濃縮されることになる。
このため、脱イオン水製造室から脱イオン水が回収され
る。
処理液中のイオンが親和力、濃度及び移動度に基いてイ
オン交換樹脂と反応して、電位の傾きの方向に樹脂中を
移動し、更に、脱イオン水製造室と濃縮水室とを仕切る
カチオン交換膜又はアニオン交換膜を横切って移動し、
すべての室において電荷の中和が保たれるようになる。
そして、イオン交換膜の半浸透特性及び電位の傾きの方
向性により、被処理液中のイオンは脱イオン水製造室で
は減少し、隣りの濃縮水室では濃縮されることになる。
このため、脱イオン水製造室から脱イオン水が回収され
る。
【０００５】このようなＤＩの前処理手段として、一般
に、逆浸透膜分離装置（ＲＯ装置）が設けられている。
このＲＯ装置で原水中の電解質、ＴＯＣ成分を除去する
ことにより、ＤＩにおける負荷を低減し、高純度の処理
水を得ることができるようになる。
に、逆浸透膜分離装置（ＲＯ装置）が設けられている。
このＲＯ装置で原水中の電解質、ＴＯＣ成分を除去する
ことにより、ＤＩにおける負荷を低減し、高純度の処理
水を得ることができるようになる。
【０００６】ところで、ＤＩの濃縮水室からは、被処理
水のイオンが濃縮された濃縮水が排出され、また、電極
室からは、電極室に集まったイオン類や発生したガスを
ＤＩから排出するために電極水が排出される。これらの
イオン含有排水を系外に排出した場合、その排水量分だ
け水回収率が低下する。因みに、ＤＩの濃縮水及び電極
水を全量系外に排出した場合のＤＩの水回収率は８０％
程度である。
水のイオンが濃縮された濃縮水が排出され、また、電極
室からは、電極室に集まったイオン類や発生したガスを
ＤＩから排出するために電極水が排出される。これらの
イオン含有排水を系外に排出した場合、その排水量分だ
け水回収率が低下する。因みに、ＤＩの濃縮水及び電極
水を全量系外に排出した場合のＤＩの水回収率は８０％
程度である。
【０００７】従って、節水及び排水処理設備の負荷軽減
の面からは、ＤＩから排出される濃縮水及び電極水を回
収、処理して再利用することが望まれる。
の面からは、ＤＩから排出される濃縮水及び電極水を回
収、処理して再利用することが望まれる。
【０００８】従来、図２に示す如く、ＲＯ装置１の透過
水をＤＩ２で処理する系において、ＤＩ２の濃縮水の一
部をポンプＰでＤＩ２の濃縮水室入口に循環し、残部を
タンク３に溜め、ＲＯ装置１の逆洗水として使用する
か、他の系で使用することが提案されている。
水をＤＩ２で処理する系において、ＤＩ２の濃縮水の一
部をポンプＰでＤＩ２の濃縮水室入口に循環し、残部を
タンク３に溜め、ＲＯ装置１の逆洗水として使用する
か、他の系で使用することが提案されている。
【０００９】また、図３に示す如く、ＤＩ２の濃縮水の
一部をポンプＰでＤＩ２の濃縮水室入口に循環し、残部
をＲＯ装置１の入口側に循環する方法も提案されてい
る。
一部をポンプＰでＤＩ２の濃縮水室入口に循環し、残部
をＲＯ装置１の入口側に循環する方法も提案されてい
る。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】図２，３に示す如く、
ＤＩ２の濃縮水をＤＩ２の入口側に直接循環する方法で
は、ＤＩ２の流入水の水質が低下し、得られる脱イオン
水の水質が上昇しないという問題がある。
ＤＩ２の濃縮水をＤＩ２の入口側に直接循環する方法で
は、ＤＩ２の流入水の水質が低下し、得られる脱イオン
水の水質が上昇しないという問題がある。
【００１１】図３に示す如く、ＤＩ２の濃縮水の一部を
ＲＯ装置１の入口側に循環する方法であっても、ＤＩの
濃縮水に集められた炭酸成分の炭酸ガスがＲＯ膜を透過
し、ＤＩ２内でＨＣＯ3 -，ＣＯ3 2- にイオン化されるこ
とでＤＩ２のイオン負荷となり、やはり、ＤＩ２の脱イ
オン水の水質低下を引き起こす。
ＲＯ装置１の入口側に循環する方法であっても、ＤＩの
濃縮水に集められた炭酸成分の炭酸ガスがＲＯ膜を透過
し、ＤＩ２内でＨＣＯ3 -，ＣＯ3 2- にイオン化されるこ
とでＤＩ２のイオン負荷となり、やはり、ＤＩ２の脱イ
オン水の水質低下を引き起こす。
【００１２】即ち、ＤＩから排出される濃縮水及び電極
水中には、Ｎａ+ ，Ｃａ2+，ＳＯ4 2 - ，Ｃｌ- などのイ
オン類の他、炭酸成分（ＣＯ2 ，ＨＣＯ3 -，ＣＯ3 2- ）
が含まれている。また、正の電極室では酸化力のある塩
素ガス（Ｃｌ2 ）が発生するため、正の電極室からの電
極水中にはＣｌ2 も含まれている。
水中には、Ｎａ+ ，Ｃａ2+，ＳＯ4 2 - ，Ｃｌ- などのイ
オン類の他、炭酸成分（ＣＯ2 ，ＨＣＯ3 -，ＣＯ3 2- ）
が含まれている。また、正の電極室では酸化力のある塩
素ガス（Ｃｌ2 ）が発生するため、正の電極室からの電
極水中にはＣｌ2 も含まれている。
【００１３】ＤＩの濃縮水中の成分のうち、イオン類及
び炭酸成分のうちのイオン性のＨＣＯ3 -，ＣＯ3 2- は、
ＲＯ装置である程度除去可能であるが、ＣＯ2 ガスはＲ
Ｏ装置で除去することはできない。ＲＯ装置を通過した
ＣＯ2 ガスは、系内のｐＨ条件により、一部がＨＣ
Ｏ3 -，ＣＯ3 2- に解離し、ＤＩのイオン負荷となる。こ
のためＤＩ処理水質が低下する。これらの炭酸成分は、
系内で蓄積される場合もあり、この結果としてＤＩ処理
水質が更に低下する。
び炭酸成分のうちのイオン性のＨＣＯ3 -，ＣＯ3 2- は、
ＲＯ装置である程度除去可能であるが、ＣＯ2 ガスはＲ
Ｏ装置で除去することはできない。ＲＯ装置を通過した
ＣＯ2 ガスは、系内のｐＨ条件により、一部がＨＣ
Ｏ3 -，ＣＯ3 2- に解離し、ＤＩのイオン負荷となる。こ
のためＤＩ処理水質が低下する。これらの炭酸成分は、
系内で蓄積される場合もあり、この結果としてＤＩ処理
水質が更に低下する。
【００１４】ＤＩの電極水を循環した場合にも、上記と
同様の問題が起こる。また、正の電極室では酸化力のあ
る塩素ガス（Ｃｌ2 ）が発生するため、これをそのまま
ＲＯ装置に循環すると、ＲＯ膜の酸化劣化の問題も生じ
る。
同様の問題が起こる。また、正の電極室では酸化力のあ
る塩素ガス（Ｃｌ2 ）が発生するため、これをそのまま
ＲＯ装置に循環すると、ＲＯ膜の酸化劣化の問題も生じ
る。
【００１５】本発明は上記従来の問題点を解決し、ＤＩ
を備える純水製造装置であって、ＤＩから排出される濃
縮水及び電極水を回収、処理することで水の回収率を高
めると共に、高水質の処理水を得ることができる純水製
造装置を提供することを目的とする。
を備える純水製造装置であって、ＤＩから排出される濃
縮水及び電極水を回収、処理することで水の回収率を高
めると共に、高水質の処理水を得ることができる純水製
造装置を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明の純水製造装置
は、原水を脱炭酸処理する脱炭酸手段と、該脱炭酸手段
の処理水を逆浸透膜分離処理する逆浸透膜分離手段と、
該逆浸透膜分離手段の透過水を脱イオン処理する電気脱
イオン装置とを備える純水製造装置であって、該電気脱
イオン装置から排出される濃縮水を前記脱炭酸手段に送
給する手段と、該電気脱イオン装置から排出される電極
水を脱塩素処理する脱塩素手段と、該脱塩素手段の処理
水を前記脱炭酸手段に送給する手段とを設けたことを特
徴とする。
は、原水を脱炭酸処理する脱炭酸手段と、該脱炭酸手段
の処理水を逆浸透膜分離処理する逆浸透膜分離手段と、
該逆浸透膜分離手段の透過水を脱イオン処理する電気脱
イオン装置とを備える純水製造装置であって、該電気脱
イオン装置から排出される濃縮水を前記脱炭酸手段に送
給する手段と、該電気脱イオン装置から排出される電極
水を脱塩素処理する脱塩素手段と、該脱塩素手段の処理
水を前記脱炭酸手段に送給する手段とを設けたことを特
徴とする。
【００１７】かかる本発明の純水製造装置では、ＤＩか
ら排出される濃縮水及び電極水を脱炭酸手段で脱炭酸処
理した後、ＲＯ装置で処理することにより、該濃縮水及
び電極水中の炭酸成分及びイオン類を効率的に除去する
ことができるため、濃縮水及び電極水の循環によるＤＩ
のイオン負荷の増加は防止される。ＤＩの水回収率も向
上する。
ら排出される濃縮水及び電極水を脱炭酸手段で脱炭酸処
理した後、ＲＯ装置で処理することにより、該濃縮水及
び電極水中の炭酸成分及びイオン類を効率的に除去する
ことができるため、濃縮水及び電極水の循環によるＤＩ
のイオン負荷の増加は防止される。ＤＩの水回収率も向
上する。
【００１８】また、電極水を脱塩素手段で脱塩素処理す
ることにより、塩素によるＲＯ膜の酸化劣化が防止され
る。
ることにより、塩素によるＲＯ膜の酸化劣化が防止され
る。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。
施の形態を詳細に説明する。
【００２０】図１は本発明の純水製造装置の実施の形態
を示す系統図である。
を示す系統図である。
【００２１】本実施の形態の装置は、原水を脱炭酸塔
４，ＲＯ装置１及びＤＩ２で処理する純水製造装置に本
発明を適用したものであって、ＤＩ２から排出される電
極水を脱塩素処理するための活性炭塔５を設け、ＤＩ２
の濃縮水室２Ｂ，２Ｄから排出される濃縮水を脱炭酸塔
４の入口側に循環すると共に、ＤＩ２の電極室２Ａ，２
Ｅから排出される電極水を活性炭塔５で脱塩素処理した
後、脱炭酸塔４の入口側に循環し、原水、濃縮水及び電
極水の脱塩素処理水に酸を添加した後、脱炭酸塔４，Ｒ
Ｏ装置１及びＤＩ２で処理し、ＤＩ２の脱イオン水製造
室２Ｃから処理水を取り出すようにしたものである。
４，ＲＯ装置１及びＤＩ２で処理する純水製造装置に本
発明を適用したものであって、ＤＩ２から排出される電
極水を脱塩素処理するための活性炭塔５を設け、ＤＩ２
の濃縮水室２Ｂ，２Ｄから排出される濃縮水を脱炭酸塔
４の入口側に循環すると共に、ＤＩ２の電極室２Ａ，２
Ｅから排出される電極水を活性炭塔５で脱塩素処理した
後、脱炭酸塔４の入口側に循環し、原水、濃縮水及び電
極水の脱塩素処理水に酸を添加した後、脱炭酸塔４，Ｒ
Ｏ装置１及びＤＩ２で処理し、ＤＩ２の脱イオン水製造
室２Ｃから処理水を取り出すようにしたものである。
【００２２】本実施の形態の純水製造装置では、ＤＩ２
の電極水は活性炭塔５で脱塩素処理された後、原水導入
側へ循環される。また、ＤＩ２の濃縮水は、そのまま原
水導入側へ循環される。
の電極水は活性炭塔５で脱塩素処理された後、原水導入
側へ循環される。また、ＤＩ２の濃縮水は、そのまま原
水導入側へ循環される。
【００２３】原水とＤＩ２の濃縮水とＤＩの電極水の脱
塩素処理水は、酸の添加でｐＨ４．０〜６．０程度に調
整された後、脱炭酸塔４でＣＯ2 が除去される。
塩素処理水は、酸の添加でｐＨ４．０〜６．０程度に調
整された後、脱炭酸塔４でＣＯ2 が除去される。
【００２４】脱炭酸塔４の流出水は、ポンプＰによりＲ
Ｏ装置１に導入されてＲＯ処理され、含有されるイオン
類やＴＯＣ成分が除去される。このＲＯ装置１の濃縮水
は系外へ排出される。このＲＯ装置の水回収率（透過水
量／ＲＯ装置流入水量）は、水質と水回収率とのバラン
スの面から６５〜８５％程度とするのが好ましい。
Ｏ装置１に導入されてＲＯ処理され、含有されるイオン
類やＴＯＣ成分が除去される。このＲＯ装置１の濃縮水
は系外へ排出される。このＲＯ装置の水回収率（透過水
量／ＲＯ装置流入水量）は、水質と水回収率とのバラン
スの面から６５〜８５％程度とするのが好ましい。
【００２５】ＲＯ装置１の透過水は、ＤＩ２に送給され
脱イオン処理されるが、この透過水はＤＩ２の電極水中
のＣｌ2 が活性炭塔５で除去され、更にＤＩ２の電極
水、濃縮水及び原水中の炭酸成分が脱炭酸塔４で除去さ
れ、次いでイオン類やＴＯＣ成分がＲＯ装置１で除去さ
れた、比較的水質の高い水であるため、この透過水をＤ
Ｉ２で処理することにより、高水質の処理水を得ること
ができる。
脱イオン処理されるが、この透過水はＤＩ２の電極水中
のＣｌ2 が活性炭塔５で除去され、更にＤＩ２の電極
水、濃縮水及び原水中の炭酸成分が脱炭酸塔４で除去さ
れ、次いでイオン類やＴＯＣ成分がＲＯ装置１で除去さ
れた、比較的水質の高い水であるため、この透過水をＤ
Ｉ２で処理することにより、高水質の処理水を得ること
ができる。
【００２６】従って、このような純水製造装置であれ
ば、処理水の水質を低下させることなく、ＤＩから排出
される濃縮水及び電極水を全量回収して処理することで
水の有効利用を図ることができる。
ば、処理水の水質を低下させることなく、ＤＩから排出
される濃縮水及び電極水を全量回収して処理することで
水の有効利用を図ることができる。
【００２７】なお、図１に示す純水製造装置は本発明の
純水製造装置の一例であって、本発明は図示のものに限
定されるものではない。例えば、脱塩素手段としては活
性炭塔の他、触媒分解塔、重亜硫酸ソーダなどによる薬
品処理手段等を用いることができる。また、脱炭酸手段
としては、脱炭酸塔の他、脱気膜等を用いることができ
る。更に、ＤＩの濃縮水の一部はポンプを設けてＤＩ入
口に再循環しても良い。脱塩素手段に供給する電極水は
塩素ガスの発生する正極側のみでも良い。
純水製造装置の一例であって、本発明は図示のものに限
定されるものではない。例えば、脱塩素手段としては活
性炭塔の他、触媒分解塔、重亜硫酸ソーダなどによる薬
品処理手段等を用いることができる。また、脱炭酸手段
としては、脱炭酸塔の他、脱気膜等を用いることができ
る。更に、ＤＩの濃縮水の一部はポンプを設けてＤＩ入
口に再循環しても良い。脱塩素手段に供給する電極水は
塩素ガスの発生する正極側のみでも良い。
【００２８】
【実施例】以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をよ
り具体的に説明する。
り具体的に説明する。
【００２９】実施例１ 図１に示す本発明の純水製造装置により、リン酸型燃料
電池よりの排出水と補給市水の混合水（水質は下記の通
り）を原水として処理を行うに当り、ＤＩの濃縮水を脱
炭酸塔に返送すると共に、ＤＩの電極水を活性炭塔を経
て脱炭酸塔に返送した。
電池よりの排出水と補給市水の混合水（水質は下記の通
り）を原水として処理を行うに当り、ＤＩの濃縮水を脱
炭酸塔に返送すると共に、ＤＩの電極水を活性炭塔を経
て脱炭酸塔に返送した。
【００３０】混合水水質 電気伝導率：９３μＳ／ｃｍ ｐＨ ：７．５ Ｍ−アルカリ度：４２ｍｇ／Ｌ ナトリウムイオン：２４．７ｍｇ／Ｌ 塩化物イオン：２４ｍｇ／Ｌ シリカ ：７ｍｇ／Ｌ 全硬度 ：４１ｍｇ／Ｌ 脱炭酸塔、ＲＯ装置、活性炭塔及びＤＩとしては下記の
ものを用い、ＤＩの印加電圧は８０Ｖとした。
ものを用い、ＤＩの印加電圧は８０Ｖとした。
【００３１】脱炭酸塔： 塔有効高さ：２ｍ 充填物：ネットリング（径１インチ） 給水ｐＨ：５．５（ＨＣｌ添加により調整） ＲＯ装置：ＲＯ膜として栗田工業（株）製「ＫＲＯＡ−
９８ＨＮ」（ポリアミド系合成複合膜）を装填したもの ＲＯ装置の水回収率＝８３％ 活性炭塔： 活性炭＝栗田工業（株）製「クリコールＷＧ−１６０」
を有効高さ１ｍ充填 通水ＳＶ＝５ｈｒ-1 ＤＩ：ＵＳＦｉｌｔｅｒ社製ＤＩ（セル数（濃縮水室数
と脱イオン水製造室数との合計）＝３６） ＤＩの通水流量は次の通りとした。
９８ＨＮ」（ポリアミド系合成複合膜）を装填したもの ＲＯ装置の水回収率＝８３％ 活性炭塔： 活性炭＝栗田工業（株）製「クリコールＷＧ−１６０」
を有効高さ１ｍ充填 通水ＳＶ＝５ｈｒ-1 ＤＩ：ＵＳＦｉｌｔｅｒ社製ＤＩ（セル数（濃縮水室数
と脱イオン水製造室数との合計）＝３６） ＤＩの通水流量は次の通りとした。
【００３２】生産水（処理水）量＝５００Ｌ／ｈｒ 濃縮水量＝１２０Ｌ／ｈｒ 電極水量＝６０Ｌ／ｈｒ ＤＩより得られた処理水の水質（抵抗率）の経時変化を
図４に示す。
図４に示す。
【００３３】比較例１ 実施例１において、ＤＩの濃縮水及び電極水をＲＯ装置
の入口側に返送したこと以外は同様に処理を行い、ＤＩ
より得られた処理水の水質（抵抗率）の経時変化を図４
に示した。
の入口側に返送したこと以外は同様に処理を行い、ＤＩ
より得られた処理水の水質（抵抗率）の経時変化を図４
に示した。
【００３４】図４より明らかなように、本発明の純水製
造装置によれば、濃縮水及び電極水を全量回収処理して
も水質の低下を引き起こすことなく、処理を継続でき
る。これに対して、電極水の脱塩素及び脱炭酸、濃縮水
の脱炭酸を行わずにＲＯ装置に循環した比較例１では、
運転開始５日目から水質が低下し始めた。
造装置によれば、濃縮水及び電極水を全量回収処理して
も水質の低下を引き起こすことなく、処理を継続でき
る。これに対して、電極水の脱塩素及び脱炭酸、濃縮水
の脱炭酸を行わずにＲＯ装置に循環した比較例１では、
運転開始５日目から水質が低下し始めた。
【００３５】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の純水製造装
置によれば、ＤＩから排出される濃縮水及び電極水を回
収、処理して再利用できるため、ＤＩの水回収率は従来
の約８０％から１００％に向上し、水を有効利用するこ
とができる。しかも、このように水回収率を高めても、
ＤＩ処理水質が低下することはなく、高水質の処理水を
安定かつ効率的に得ることができる。
置によれば、ＤＩから排出される濃縮水及び電極水を回
収、処理して再利用できるため、ＤＩの水回収率は従来
の約８０％から１００％に向上し、水を有効利用するこ
とができる。しかも、このように水回収率を高めても、
ＤＩ処理水質が低下することはなく、高水質の処理水を
安定かつ効率的に得ることができる。
【図１】本発明の純水製造装置の一実施例を示す系統図
である。
である。
【図２】従来例を示す系統図である。
【図３】従来例を示す系統図である。
【図４】実施例１及び比較例１の結果を示すグラフであ
る。
る。
１ ＲＯ装置 ２ ＤＩ ４ 脱炭酸塔 ５ 活性炭塔
Claims (1)
- 【請求項１】 原水を脱炭酸処理する脱炭酸手段と、該
脱炭酸手段の処理水を逆浸透膜分離処理する逆浸透膜分
離手段と、該逆浸透膜分離手段の透過水を脱イオン処理
する電気脱イオン装置とを備える純水製造装置であっ
て、 該電気脱イオン装置から排出される濃縮水を前記脱炭酸
手段に送給する手段と、該電気脱イオン装置から排出さ
れる電極水を脱塩素処理する脱塩素手段と、該脱塩素手
段の処理水を前記脱炭酸手段に送給する手段とを設けた
ことを特徴とする純水製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11362796A JP3700244B2 (ja) | 1996-05-08 | 1996-05-08 | 純水製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11362796A JP3700244B2 (ja) | 1996-05-08 | 1996-05-08 | 純水製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09294988A true JPH09294988A (ja) | 1997-11-18 |
| JP3700244B2 JP3700244B2 (ja) | 2005-09-28 |
Family
ID=14617024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11362796A Expired - Fee Related JP3700244B2 (ja) | 1996-05-08 | 1996-05-08 | 純水製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3700244B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001219161A (ja) * | 2000-02-08 | 2001-08-14 | Nomura Micro Sci Co Ltd | 純水製造装置 |
| JP2007511348A (ja) * | 2003-11-13 | 2007-05-10 | ユーエスフィルター・コーポレイション | 水処理システム及び方法 |
| JP2007289887A (ja) * | 2006-04-26 | 2007-11-08 | Kurita Water Ind Ltd | 純水製造装置 |
| JP2020000983A (ja) * | 2018-06-27 | 2020-01-09 | 栗田工業株式会社 | 純水製造装置、純水の製造方法 |
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1996
- 1996-05-08 JP JP11362796A patent/JP3700244B2/ja not_active Expired - Fee Related
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