JPH09292308A

JPH09292308A - カラーフィルタの検査装置

Info

Publication number: JPH09292308A
Application number: JP13080096A
Authority: JP
Inventors: Tomohisa Honda; 知久本田
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 1996-04-26
Filing date: 1996-04-26
Publication date: 1997-11-11
Anticipated expiration: 2016-04-26
Also published as: JP3644758B2

Abstract

(57)【要約】【課題】基板上に複数面付けでカラーフィルタ層を有
する大面積のカラーフィルタの欠陥検査を高い信頼性で
行うことができるカラーフィルタの検査装置を提供す
る。【解決手段】マスク板と、このマスク板の裏面側に配
設された平面光源と、上記マスク板を介して平面光源と
対向するように配設された検出カメラとを備え、マスク
板は、基板上に複数面付けでカラーフィルタ層を有する
カラーフィルタの多面付板の各カラーフィルタ層の面付
け領域に対応した複数の開口部を有するとともに、少な
くとも裏面側において波長５５０ｎｍの光に対する反射
率が５０％以下であるマスク板とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はカラーフィルタの検
査装置に係り、特に基板上に複数面付けでカラーフィル
タ層を有する大面積のカラーフィルタ多面付板において
カラーフィルタ層の欠陥検査を高い信頼性で行うことが
可能なカラーフィルタの検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、フラットディスプレイとして、モ
ノクロあるいはカラーの液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）が
使用されている。カラーの液晶ディスプレイには、３原
色の制御を行うためにアクティブマトリックス方式およ
び単純マトリックス方式とがあり、いずれの方式におい
てもカラーフィルタが用いられている。そして、液晶デ
ィスプレイは、構成画素部を３原色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）と
し、液晶の電気的スイッチングにより３原色の各光の透
過を制御してカラー表示が行われる。

【０００３】このカラーフィルタは、例えば、透明基板
上にＲ，Ｇ，Ｂの各着色パターンからなる着色層、各画
素の境界部分に位置するブラックマトリックス、保護層
および透明電極層からなるカラーフィルタ層を備えてい
る。このようなカラーフィルタは、染色基材を基板上に
塗布し、フォトマスクを介して露光・現像して形成した
パターンを染色する染色法、感光性レジスト内に予め着
色顔料を分散させておき、フォトマスクを介して露光・
現像する顔料分散法、印刷インキで各色を印刷する印刷
法、および、基板上にパターンニングされた透明電極を
使用して電着により各色の着色層を形成する電着法等に
より形成することができる。

【０００４】上述のようないずれの方法により形成した
カラーフィルタも、白抜け等の欠陥がカラーフィルタ層
に存在しないことを全数検査することが要求されてい
る。

【０００５】一方、表示画面の大型化、および、製造コ
ストの低減の要求による製造段階での多面付化により、
カラーフィルタ製造において使用される基板はより大き
な面積の基板へと移行している。そして、多面付で製造
されるカラーフィルタは、各々のカラーフィルタに分割
される前段階の多面付状態において上記の欠陥検査が行
われる。

【０００６】図４は、多面付で製造されるカラーフィル
タの従来の検査装置を説明するための図である。図４に
示される検査装置６１では、カラーフィルタ層５３を４
面付けで基板５２上に備えるカラーフィルタの多面付板
５１がステージ６２上に載置され、ステージ６２の裏面
側に配設された平面光源６７から検査光がカラーフィル
タの多面付板５１に照射される。そして、ステージ６２
を介して平面光源６７と対向するように配設された検出
カメラ６９によりカラーフィルタ層５３を透過した光を
測定し、欠陥個所に起因する部分的な輝度変化が検出さ
れる。尚、この図４では、ステージ６２およびカラーフ
ィルタ多面付板５１は、切断面が示されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
検査装置６１を構成するステージ６２は、図５に示され
るようにカラーフィルタの多面付板５１の周辺部のカラ
ーフィルタ層非形成領域に対応する枠形状をなすもので
あり、このステージ６２に載置されたカラーフィルタの
多面付板５１は、その周辺部のみがステージ６２で支持
され、中央部は支持されていない状態となる。したがっ
て、図４に示されるように、カラーフィルタの多面付板
５１の中央部は、その自重によって平面光源６７方向に
たわみを生じる。そして、このようなたわみ現象がカラ
ーフィルタの多面付板５１に生じると、検査対象である
多面付板５１と平面光源６７の間隙量が一定とならず、
焦点のぼけによる検出感度の低下、光の回り込み等によ
る疑似欠陥が発生するという問題がある。そして、上述
のような基板の大面積化に伴ってカラーフィルタの多面
付板５１のたわみ現象が更に大きくなるため、上記の問
題はより深刻なものとなる。また、基板５２のカラーフ
ィルタ層非形成領域のうち、ステージ６２上に位置して
いない十字状の領域５２ａを透過して、強い光が直接検
出カメラに入るので、検出光量の分解能が低くなるとい
う問題もある。

【０００８】本発明は、上述のような事情に鑑みてなさ
れたものであり、基板上に複数面付けでカラーフィルタ
層を有する大面積のカラーフィルタの欠陥検査を高い信
頼性で行うことができるカラーフィルタの検査装置を提
供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は基板上に複数面付けでカラーフィル
タ層を有するカラーフィルタの多面付板の各カラーフィ
ルタ層の面付け領域に対応した複数の開口部を有すると
ともに、少なくとも裏面側において波長５５０ｎｍの光
に対する反射率が５０％以下であるマスク板と、該マス
ク板の裏面側に配設された平面光源と、前記マスク板を
介して前記平面光源と対向するように配設された検出カ
メラと、を備えるような構成とした。

【００１０】また、本発明のカラーフィルタの検査装置
において、前記マスク板は、前記カラーフィルタの多面
付板を保持するためのピンを表面に複数備えるような構
成とした。

【００１１】また、本発明のカラーフィルタの検査装置
において、前記マスク板は、保持する前記カラーフィル
タの多面付板を所定位置に載置するための位置決めピン
を表面の周辺部に備えるような構成とした。

【００１２】さらに、本発明のカラーフィルタの検査装
置において、前記マスク板は、カラーフィルタの多面付
板の各カラーフィルタ層の面付け領域に対応した複数の
開口部を有するとともに、少なくとも裏面側において波
長５５０ｎｍの光に対する反射率が５０％以下である遮
光用マスク板の表面に、カラーフィルタの多面付板の各
カラーフィルタ層の面付け領域に対応した複数の開口部
を有するとともに、前記カラーフィルタの多面付板を保
持するためのピンを表面に複数備え、かつ、前記カラー
フィルタの多面付板を所定位置に載置するための位置決
めピンを表面の周辺部に備える位置決め用マスク板を重
ねたものであるような構成とした。

【００１３】上記のような本発明では、マスク板、ある
いは、マスク板が備えるピンによって、カラーフィルタ
の多面付板が保持され、これによりカラーフィルタの多
面付板中央部のたわみ現象が有効に防止され、多面付板
と平面光源との間隙量が一定となり、また、カラーフィ
ルタ層の面付け領域以外の領域では、平面光源からの検
査光がマスク板によって遮断されるので、強い光が直接
検出カメラに入ることが防止される。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の最良の実施形態に
ついて説明する。

【００１５】図１は本発明のカラーフィルタの検査装置
の一実施形態を説明するための概略構成図である。図１
に示される検査装置１は、カラーフィルタの多面付板２
１を保持するためのマスク板１１（図１では、マスク板
１１およびカラーフィルタの多面付板２１は切断面が示
されている）、このマスク板１１の裏面側の下方に配設
された平面光源１７、マスク板１１の表面側上方に配設
されマスク板１１を介して平面光源１７と対向する検出
カメラ１９とを備えている。

【００１６】また、図２は図１に示される検査装置を構
成するマスク板１１と、このマスク板１１に保持されれ
カラーフィルタ多面付板２１とを説明するための斜視図
である。図２に示されるように、カラーフィルタの多面
付板２１はカラーフィルタ層２３を４面付けで基板２２
上に備えるものであり、マスク板１１は、このカラーフ
ィルタの多面付板２１の各カラーフィルタ層２３に対応
した４つの開口部１２を備えている。すなわち、マスク
板１１は、周辺マスク部１１ａと、各開口部１２を仕切
る十字状の内側マスク部１１ｂから構成されている。

【００１７】このようなマスク板１１は、カラーフィル
タの多面付板２１を保持するための複数のピン１３をそ
の表面に備えており、このピン１３の少なくとも１個
は、カラーフィルタ多面付板２１の各カラーフィルタ層
２３の形成領域間の中心部を保持するような位置に配設
されている。図示例では、マスク板１１の中央部（内側
マスク部１１ｂの中央部）に１個のピンを備え、マスク
板１１の周辺マスク部１１ａの所定箇所に８個のピンを
備えている。これらのピン１３により、図１に示される
ようにカラーフィルタの多面付板２１がマスク板１１上
に保持されるので、自重によるカラーフィルタの多面付
板２１の中央部のたわみ現象の発生を防止でき、多面付
板と平面光源との間隙量Ｓを一定とすることができる。
したがって、焦点のぼけによる検出感度の低下、光の回
り込み等による疑似欠陥の発生が防止される。

【００１８】また、平面光源１７から照射された検査光
のうち、マスク板１１の開口部１２を通過した検査光の
みがカラーフィルタ多面付板２１のカラーフィルタ層２
３に照射される。したがって、平面光源１７から照射さ
れた検査光が基板２２のカラーフィルタ層非形成領域を
透過して直接検出カメラ１９に入ることが防止され、検
出光量の分解能を上げることができる。

【００１９】上記のマスク板１１は、金属、樹脂等によ
り形成することができ、その厚みはカラーフィルタ多面
付板を保持したときにたわみを生じないものであればよ
く、例えば、０．５〜５ｍｍ程度とすることができる。
そして、マスク板１１は、検査光の不要な反射を防止す
るために、少なくとも裏面側において波長５５０ｎｍの
光に対する反射率が５０％以下のものである。このよう
な反射防止は、マスク板１１の材料に黒アルマイト処理
をしたアルミ板、ゴム板、金属板につや消し黒塗料を塗
布したもの、多層クロム等を使うことにより付与でき
る。

【００２０】マスク板１１に設けるピン１３は、カラー
フィルタ２１の重量により変形することがなく、かつ、
カラーフィルタ２１の基板２２に傷をつけないような材
料により形成することができ、例えば、ポリアセター
ル、フッ素樹脂、ポリカーボネート、フェノール樹脂、
ナイロン、ポリエチレン等を用いて形成することができ
る。また、ピン１３の高さは０〜２０ｍｍ程度の範囲で
設定することができ、ピン１３の形状は、円柱形状、円
錐形状、角錐形状等とすることができる。このピン１３
の配設間隔（Ｐ₁ ，Ｐ₂ ）は、カラーフィルタ多面付板
２１の厚み、剛性、重量等を考慮して設定することがで
き、例えば、５〜１００ｍｍ程度の配設間隔とすること
ができる。

【００２１】また、図示例では、マスク板１１は、ピン
１３上に保持するカラーフィルタ多面付板２１を所定位
置に正確に載置するための位置決めピン１４（図示例で
は８個）をマスク板１１の周辺マスク部１１ａの所定箇
所に備えている。この位置決めピン１４は、上述のピン
１３と同様に、カラーフィルタ２１の基板２２に傷をつ
けないような材料により形成することができ、例えば、
ポリアセタール、フッ素樹脂、ポリカーボネート、フェ
ノール樹脂、ナイロン、ポリエチレン等を用いて形成す
ることができる。また、位置決めピン１４の高さは１〜
４０ｍｍ程度の範囲で設定することができ、その形状
は、円柱形状、円錐形状、円柱形状の基部に円錐形状の
頂部を形成した形状等とすることができる。

【００２２】本発明の検査装置１を構成する平面光源１
７は、マスク板１１を介してカラーフィルタ多面付板２
１に検査光を照射するためのものである。このような平
面光源１７としては、インバータ蛍光灯等の公知の光源
を使用することができる。また、平面光源１７の配設位
置は、多面付板との間隙量Ｓが０．５〜８０ｍｍの範囲
内で一定となるように設定することができる。

【００２３】本発明の検査装置１を構成する検出カメラ
１９は、カラーフィルタ層２３を透過した光を測定し、
欠陥個所に起因する部分的な輝度変化を検出するための
ものであり、ＣＣＤカメラ、撮像管等を使用することが
できる。この検出カメラ１９は、通常、カラーフィルタ
の多面付板２１の上方に０．５〜３ｍ程度の距離を設け
て配設することができる。

【００２４】上述の実施形態では、計９個のピン１３が
マスク板１１の表面に設けられているが、ピン１３の配
設位置および配設個数は、カラーフィルタの多面付板２
１のたわみ防止が可能なように適宜設定することができ
る。

【００２５】次に、本発明のカラーフィルタの検査装置
に使用できるマスク板の他の態様について説明する。

【００２６】図３は本発明のカラーフィルタの検査装置
に使用するマスク板の他の態様を説明するための斜視図
である。図３に示されるマスク板３１は、遮光用マスク
板３２と位置決め用マスク板３６とからなるものであ
る。

【００２７】遮光用マスク板３２は、上記のカラーフィ
ルタの多面付板２１の各カラーフィルタ層２３に対応し
た４つの開口部３３を備えるものであり、周辺マスク部
３２ａと、各開口部３３を仕切る十字状の内側マスク部
３２ｂから構成されている。この遮光用マスク板３２
は、上述のマスク板１１と同様に、金属、樹脂等により
形成することができ、その厚みはカラーフィルタ多面付
板を保持したときにたわみを生じないものであればよ
く、例えば、０．５〜５ｍｍ程度とすることができる。
そして、遮光用マスク板３２は、検査光の不要な反射を
防止するために、少なくとも裏面側において波長５５０
ｎｍの光に対する反射率が５０％以下のものである。こ
のような反射防止は、遮光用マスク板３２の材料に黒ア
ルマイト処理をしたアルミ板、ゴム板、金属板につや消
し黒塗料を塗布したもの、多層クロム等を使うことによ
り付与できる。

【００２８】また、位置決め用マスク板３６は、上記の
カラーフィルタの多面付板２１の各カラーフィルタ層２
３に対応した４つの開口部３７を備えるものであり、周
辺マスク部３６ａと、各開口部３７を仕切る十字状の内
側マスク部３６ｂから構成されている。この位置決め用
マスク板３６は、上述のマスク板１１と同様に、金属、
樹脂等により形成することができ、その厚みは、上述の
遮光用マスク板３２に重ねられた状態でカラーフィルタ
多面付板を保持したときにたわみを生じないものであれ
ばよく、例えば、０．５〜５ｍｍ程度とすることができ
る。そして、位置決め用マスク板３６は、カラーフィル
タの多面付板２１を保持するための複数のピン３８と、
ピン３８上に保持するカラーフィルタ多面付板２１を所
定位置に正確に載置するための位置決めピン３９を備え
ている。ピン３８の少なくとも１個は、カラーフィルタ
多面付板２１の各カラーフィルタ層２３の形成領域間の
中心部を保持するような位置に配設されている。図示例
では、周辺マスク部３６ａの所定箇所に１６個のピンを
備え、内側マスク部３６ｂに５個のピンを備えている。
また、位置決めピン３９は、周辺マスク部３６ａの所定
箇所に８個設けられている。これらのピン３８、位置決
めピン３９は、上述のマスク板１１におけるピン１３、
位置決めピン１４と同様にして形成することができる。

【００２９】上述のような遮光用マスク板３２と位置決
め用マスク板３６からなるマスク板３１は、遮光用マス
ク板３２の表面に位置決め用マスク板３６を重ねた状態
で使用される。そして、このマスク板３１では、位置決
め用マスク板３６の複数のピン３８によってカラーフィ
ルタの多面付板２１がマスク板３１上に保持されるの
で、自重によるカラーフィルタの多面付板２１の中央部
のたわみ現象の発生を防止でき、多面付板と平面光源と
の間隙量Ｓを一定とすることができる。したがって、焦
点のぼけによる検出感度の低下、光の回り込み等による
疑似欠陥の発生が防止される。

【００３０】また、マスク板３１では、位置決め用マス
ク３６の開口部３７を大きめに設定することにより、面
付数および基板サイズが同じカラーフィルタ多面付板の
検査時には、必要に応じて遮光用マスク板３２のみを各
品種ごとに交換するだけでよく、位置決め用マスク３６
は共通して使用することができる。そして、面付あるい
は基板サイズが変わる場合のみ、位置決め用マスク３６
を他の設定の位置決め用マスク３６に換えることができ
る。

【００３１】尚、上述の実施形態では、４面付けのカラ
ーフィルタを検査するための検査装置の例を挙げたが、
本発明の検査装置は、他の面付け数、面付け位置のカラ
ーフィルタについても対応可能なことは勿論であり、カ
ラーフィルタのカラーフィルタ層の面付け領域に対応し
た開口部を設けたマスク板を使用して、同様に検査装置
を構成することができる。この場合も、マスク板の表面
に設けるピンの配設位置および配設個数は、カラーフィ
ルタの多面付板のたわみ防止が可能なように設定するこ
とができる。

【００３２】

【実施例】次に、実施例を示して本発明を更に詳細に説
明する。

【００３３】まず、コーニング（株）製７０５９ガラス
（厚み１．１ｍｍ）上に顔料分散法によりＲ，Ｇ，Ｂの
各着色パターンからなる着色層、各画素の境界部分に位
置するブラックマトリックスを形成し、図２に示される
ようなカラーフィルタ層が４面付けされたカラーフィル
タの多面付板を作製した。この多面付板の各部位の寸法
は下記のようにした。

【００３４】・外形寸法：ｌ₁ ＝４６５ｍｍ，ｌ₂ ＝３６０ｍｍ・カラーフィルタ層：ｗ₁ ＝２０．８ｍｍ，ｗ₂ ＝１５．６ｍｍ一方、厚み２ｍｍのゴム板を用いて、図２に示されるよ
うな４面付けに対応したマスク板を作製した。このマス
ク板の各部位の寸法は下記のようにした。尚、カラーフ
ィルタ多面付板保持用のピンおよび位置決め用のピンは
超高分子ポリエチレンを用いて形成した。

【００３５】・外形寸法：Ｌ₁ ＝５００ｍｍ，Ｌ₂ ＝４００ｍｍ・開口部寸法：Ｗ₁ ＝２０．８ｍｍ，Ｗ₂ ＝１５．６ｍｍ・ピン配設間隔：Ｐ₁ ＝３０ｍｍ，Ｐ₂ ＝３０ｍｍ・ピンの高さ：２ｍｍこのマスク板の裏面側下方に平面光源としてカラービュ
アーを配設し、マスク板の表面側上方に検出カメラとし
てＣＣＤエリアセンサーを配設して本発明のカラーフィ
ルタの検査装置を作製した。尚、平面光源は、ピンに保
持されたカラーフィルタ多面付板との間隙が５ｍｍとな
るように配設し、検出用カメラは、ピンに保持されたカ
ラーフィルタ多面付板の上方２ｍの距離に配設した。

【００３６】この検査装置に上記のカラーフィルタ多面
付板を載置した。この状態でのカラーフィルタ多面付板
のたわみは観察されなかった。

【００３７】次いで、平面光源から検査光をマスク板を
介してカラーフィルタ多面付板に照射し、検出カメラに
より欠陥個所に起因する部分的な輝度変化の検出を行っ
たところ、製造工程において付着したゴミによる色ムラ
を検出することができ、この際、焦点のぼけによる検出
感度の低下、光の回り込み等による疑似欠陥の発生、あ
るいは、強い光が直接検出カメラに入ることによる検出
光量の分解能の低下はみられなかった。

【００３８】一方、比較として、厚み２ｍｍのゴム板を
用いて、図４に示されるようなステージを作製した。こ
のステージの各部位の寸法は下記のようにした。

【００３９】・外形寸法：Ｌ´₁ ＝５００ｍｍ，Ｌ´₂ ＝４００ｍｍ・開口部寸法：Ｗ´₁ ＝４８．６ｍｍ，Ｗ´₂ ＝３８．２ｍｍこのステージの裏面側下方に平面光源としてカラービュ
アーを配設し、ステージの表面側上方に検出カメラとし
てＣＣＤエリアセンサーを配設して従来のカラーフィル
タ検査装置を作製した。尚、平面光源は、ステージの当
接するように保持されたカラーフィルタ多面付板との間
隙が５ｍｍとなるように配設し、検出用カメラは、ステ
ージ上に保持されたカラーフィルタ多面付板の上方２ｍ
の距離に配設した。

【００４０】この検査装置に上記のカラーフィルタ多面
付板を載置した。この状態でのカラーフィルタ多面付板
のたわみは、最大２ｍｍが観察された。

【００４１】次いで、平面光源から検査光をカラーフィ
ルタ多面付板に照射し、検出カメラにより欠陥個所に起
因する部分的な輝度変化の検出を行ったところ、上記の
カラーフィルタのたわみ現象に起因する焦点のぼけによ
る検出感度の低下、光の回り込み等による疑似欠陥の発
生、および、カラーフィルタ層非形成領域を透過した光
が直接検出カメラに入ることによる検出光量の分解能の
低下がみられ、不良部分の特定が困難であった。

【００４２】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によればマ
スク板と、このマスク板の裏面側に配設された平面光源
と、上記マスク板を介して平面光源と対向するように配
設された検出カメラとを備え、マスク板は、基板上に複
数面付けでカラーフィルタ層を有するカラーフィルタの
多面付板の各カラーフィルタ層の面付け領域に対応した
複数の開口部を有するとともに、少なくとも裏面側にお
いて波長５５０ｎｍの光に対する反射率が５０％以下で
あるマスク板とするので、マスク板、あるいは、マスク
板の表面に複数設けられたピンによってカラーフィルタ
の多面付板が保持されてカラーフィルタの多面付板中央
部のたわみ現象が有効に防止され、多面付板と平面光源
との間隙量が一定となり、これにより、焦点のぼけによ
る検出感度の低下、光の回り込み等による疑似欠陥の発
生が防止され、さらに、カラーフィルタ層の面付け領域
以外の領域では、平面光源からの検査光がマスク板によ
って遮断されるので、強い光が直接検出カメラに入るこ
とが防止され、検出光量の分解能を上げることができ、
基板上に複数面付けでカラーフィルタ層を有する大面積
のカラーフィルタの欠陥検査を高い信頼性で行うことが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のカラーフィルタの検査装置の一実施形
態を示す概略構成図である。

【図２】図１に示される検査装置を構成するマスク板
と、カラーフィルタ多面付板とを説明するための斜視図
である。

【図３】本発明のカラーフィルタの検査装置に使用でき
る他のマスク板を説明するための斜視図である。

【図４】多面付で製造されるカラーフィルタの従来の検
査装置を説明するための図である。

【図５】図４に示される検査装置を構成するステージを
説明するための斜視図である。

【符号の説明】

１…カラーフィルタの検査装置１１，３１…マスク板３２…遮光用マスク板３６…位置決め用マスク板１２，３３，３７…開口部１３，３８…ピン１４，３９…位置決めピン２１，５１…カラーフィルタ（多面付板）２２，５２…基板２３，５３…カラーフィルタ層６１…従来のカラーフィルタの検査装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板上に複数面付けでカラーフィルタ層
を有するカラーフィルタの多面付板の各カラーフィルタ
層の面付け領域に対応した複数の開口部を有するととも
に、少なくとも裏面側において波長５５０ｎｍの光に対
する反射率が５０％以下であるマスク板と、該マスク板の裏面側に配設された平面光源と、前記マスク板を介して前記平面光源と対向するように配
設された検出カメラと、を備えることを特徴とするカラ
ーフィルタの検査装置。
【請求項２】前記マスク板は、前記カラーフィルタの
多面付板を保持するためのピンを表面に複数備えること
を特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの検査装
置。
【請求項３】前記マスク板は、保持する前記カラーフ
ィルタの多面付板を所定位置に載置するための位置決め
ピンを表面の周辺部に備えることを特徴とする請求項１
または請求項２に記載のカラーフィルタの検査装置。
【請求項４】前記マスク板は、カラーフィルタの多面
付板の各カラーフィルタ層の面付け領域に対応した複数
の開口部を有するとともに、少なくとも裏面側において
波長５５０ｎｍの光に対する反射率が５０％以下である
遮光用マスク板の表面に、カラーフィルタの多面付板の
各カラーフィルタ層の面付け領域に対応した複数の開口
部を有するとともに、前記カラーフィルタの多面付板を
保持するためのピンを表面に複数備え、かつ、前記カラ
ーフィルタの多面付板を所定位置に載置するための位置
決めピンを表面の周辺部に備える位置決め用マスク板を
重ねたものであることを特徴とする請求項１に記載のカ
ラーフィルタの検査装置。