JPH09288013A - 温度センサーの付設方法 - Google Patents
温度センサーの付設方法Info
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- JPH09288013A JPH09288013A JP8129063A JP12906396A JPH09288013A JP H09288013 A JPH09288013 A JP H09288013A JP 8129063 A JP8129063 A JP 8129063A JP 12906396 A JP12906396 A JP 12906396A JP H09288013 A JPH09288013 A JP H09288013A
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- JP
- Japan
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- temperature
- base sheet
- temperature sensor
- sensor
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 物体自体が非常に小さなものであったり、曲
面状であったり、測定する点が多くかつ微小である温度
測定物体に温度センサーを容易に一体付設する方法を提
供すること。 【構成】 ベースシート１上に繊細な温度測定薄膜回路
３、４を印刷して温度センサーベースシート６を製作
し、この温度センサーベースシート６を温度測定物体７
に貼着した後、ベースシート１を剥がし、焼成により温
度センサーを温度測定物体７に一体焼付けする。
面状であったり、測定する点が多くかつ微小である温度
測定物体に温度センサーを容易に一体付設する方法を提
供すること。 【構成】 ベースシート１上に繊細な温度測定薄膜回路
３、４を印刷して温度センサーベースシート６を製作
し、この温度センサーベースシート６を温度測定物体７
に貼着した後、ベースシート１を剥がし、焼成により温
度センサーを温度測定物体７に一体焼付けする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、物体自体が非常に
小さなものであったり、曲面状であったり、測定する点
が多くかつ微小である温度測定物体に温度センサーを付
設する方法に関する。
小さなものであったり、曲面状であったり、測定する点
が多くかつ微小である温度測定物体に温度センサーを付
設する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来熱電対は一般には線状または箔状の
異種金属を結線または溶接接合して使われているが、温
度測定物体が非常に小さかったり、測定する点が細かい
微小部分であったり、また物体表面の温度分布を測定す
るような場合には、センサー素材としてシート状のもの
をフォトエッチングや打抜き加工して複数の素線列を形
成し、接着剤を用いて異種金属同志を接合する方法が取
られている。（特公昭５８−８７３３号公報）
異種金属を結線または溶接接合して使われているが、温
度測定物体が非常に小さかったり、測定する点が細かい
微小部分であったり、また物体表面の温度分布を測定す
るような場合には、センサー素材としてシート状のもの
をフォトエッチングや打抜き加工して複数の素線列を形
成し、接着剤を用いて異種金属同志を接合する方法が取
られている。（特公昭５８−８７３３号公報）
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のような熱電対は
測定物体に個々に接着固定する必要があるが、繊細な熱
電対群を工業的に測定物体に付設するには多大な工数が
必要であった。また感度よく測定するためには異種金属
の接点部をより小さくすることが必要であるが、人為的
な作業であるため接合部の信頼性が低く、ばらつきが大
きいという問題があった。本発明は上記の問題に鑑みて
成されたもので、物体自体が非常に小さなものであった
り、曲面状であったり、測定する点が多くかつ微小であ
る温度測定物体に対し温度センサーを容易に一体付設す
る方法を提供することを目的とする。
測定物体に個々に接着固定する必要があるが、繊細な熱
電対群を工業的に測定物体に付設するには多大な工数が
必要であった。また感度よく測定するためには異種金属
の接点部をより小さくすることが必要であるが、人為的
な作業であるため接合部の信頼性が低く、ばらつきが大
きいという問題があった。本発明は上記の問題に鑑みて
成されたもので、物体自体が非常に小さなものであった
り、曲面状であったり、測定する点が多くかつ微小であ
る温度測定物体に対し温度センサーを容易に一体付設す
る方法を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明における温度センサーの付設方法は、可撓性
を有する樹脂フィルム又は紙で成るベースシートの表面
に離型剤を印刷塗布して剥離層を形成する工程と、該剥
離層の上面に第一センサ素材粉、有機バインダ及び油を
混合して得た第一ペーストを転写印刷して未架橋薄膜回
路を印刷する工程と、該未架橋薄膜回路の対向接点間
に、第二センサー素材粉、有機バインダ及び油を混合し
て得た第二ペーストを転写印刷して架橋薄膜回路を得る
工程と、前記薄膜回路を含む剥離層の表面に、焼付融着
物を混入したペースト状接着剤を印刷積層させて接着層
を形成した後各印刷ペーストを乾燥処理して温度センサ
ーベースシートを得る工程と、該温度センサーベースシ
ートを温度測定物体の表面に接着層を介して押圧仮止め
貼着すると共に温度センサーベースシート貼着の温度測
定物体を接着層硬化温度に加熱して接着層を融着させる
工程と、前記ベースシートを前記剥離層から剥がした
後、前記焼付融着物の溶融温度にて焼成して温度センサ
ーを温度測定物体に一体焼付けする工程と、から成るこ
とを特徴としている。
めに本発明における温度センサーの付設方法は、可撓性
を有する樹脂フィルム又は紙で成るベースシートの表面
に離型剤を印刷塗布して剥離層を形成する工程と、該剥
離層の上面に第一センサ素材粉、有機バインダ及び油を
混合して得た第一ペーストを転写印刷して未架橋薄膜回
路を印刷する工程と、該未架橋薄膜回路の対向接点間
に、第二センサー素材粉、有機バインダ及び油を混合し
て得た第二ペーストを転写印刷して架橋薄膜回路を得る
工程と、前記薄膜回路を含む剥離層の表面に、焼付融着
物を混入したペースト状接着剤を印刷積層させて接着層
を形成した後各印刷ペーストを乾燥処理して温度センサ
ーベースシートを得る工程と、該温度センサーベースシ
ートを温度測定物体の表面に接着層を介して押圧仮止め
貼着すると共に温度センサーベースシート貼着の温度測
定物体を接着層硬化温度に加熱して接着層を融着させる
工程と、前記ベースシートを前記剥離層から剥がした
後、前記焼付融着物の溶融温度にて焼成して温度センサ
ーを温度測定物体に一体焼付けする工程と、から成るこ
とを特徴としている。
【０００５】さらに、上記温度センサーの付設方法によ
り温度差測定センサーを製作する場合には、前記薄膜回
路の接合部である感温部を一列線上または複列線上の等
距離位置で交差して配列されるように架橋設置すること
が好ましい。
り温度差測定センサーを製作する場合には、前記薄膜回
路の接合部である感温部を一列線上または複列線上の等
距離位置で交差して配列されるように架橋設置すること
が好ましい。
【０００６】本発明に使用されるベースシートは、ポリ
エステル、ポリプロピレン、セロハンなどの樹脂フィル
ムと紙との複合フィルムなど公知の樹脂フィルムが制限
なく適用できる。また剥離層は熱可塑性樹脂、天然ゴ
ム、合成ゴム、などを用いグラビア印刷、スクリーン印
刷、ロールコートなど公知の印刷法で形成される。熱電
対素材となるペーストの調整においては、焼付融着剤、
焼切れ防止剤、融剤、酸化防止剤などを微量添加するが
好ましくは有機系の添加剤が良く、焼成時に不純物とし
て混入しないことが前提となる。さらに接着層は感熱性
または感圧性の樹脂を使用するのが良く、焼付け時温度
測定物体と融着しやすいガラスフリット、ホウ砂などの
焼付融着物を混入配合するのが良い。
エステル、ポリプロピレン、セロハンなどの樹脂フィル
ムと紙との複合フィルムなど公知の樹脂フィルムが制限
なく適用できる。また剥離層は熱可塑性樹脂、天然ゴ
ム、合成ゴム、などを用いグラビア印刷、スクリーン印
刷、ロールコートなど公知の印刷法で形成される。熱電
対素材となるペーストの調整においては、焼付融着剤、
焼切れ防止剤、融剤、酸化防止剤などを微量添加するが
好ましくは有機系の添加剤が良く、焼成時に不純物とし
て混入しないことが前提となる。さらに接着層は感熱性
または感圧性の樹脂を使用するのが良く、焼付け時温度
測定物体と融着しやすいガラスフリット、ホウ砂などの
焼付融着物を混入配合するのが良い。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を図面に
基づいて詳しく説明する。可撓性を有するポリエステル
樹脂性のベースシート１の表面には離型剤としてワック
スエマルジョン溶液（中京油脂（株）製Ｅ５２４）が印
刷塗布されて剥離層２が形成される。次に該剥離層２の
上面には、第一温度センサー素材である白金粉ペースト
（田中貴金属（株）製、バインダー；エチルセルロー
ス、ビークル；ターピネオイル）を第一ペーストとし
て、図示しないスクリーン印刷機により厚さ２０μｍの
未架橋薄膜回路３を印刷した。（図１参照）
基づいて詳しく説明する。可撓性を有するポリエステル
樹脂性のベースシート１の表面には離型剤としてワック
スエマルジョン溶液（中京油脂（株）製Ｅ５２４）が印
刷塗布されて剥離層２が形成される。次に該剥離層２の
上面には、第一温度センサー素材である白金粉ペースト
（田中貴金属（株）製、バインダー；エチルセルロー
ス、ビークル；ターピネオイル）を第一ペーストとし
て、図示しないスクリーン印刷機により厚さ２０μｍの
未架橋薄膜回路３を印刷した。（図１参照）
【０００８】さらに該未架橋薄膜回路３の対向接点間に
は第二センサー素材粉である白金・ロジウム合金粉ペー
スト（田中貴金属（株）製、白金８７％、ロジウム１３
％、バインダー；エチルセルロース、ビークル；ターピ
ネオイル）を第二ペーストとして、図示しないスクリー
ン印刷機により厚さ２０μｍの架橋薄膜回路４を印刷し
た。（図２参照）
は第二センサー素材粉である白金・ロジウム合金粉ペー
スト（田中貴金属（株）製、白金８７％、ロジウム１３
％、バインダー；エチルセルロース、ビークル；ターピ
ネオイル）を第二ペーストとして、図示しないスクリー
ン印刷機により厚さ２０μｍの架橋薄膜回路４を印刷し
た。（図２参照）
【０００９】次にワックス樹脂エマルジョン溶液（中京
油脂（株）製Ｅ−１３６）４５重量部に焼付け時の融着
物としてのガラスフリット（伊勢久（株）製フリット７
６１３）０．７重量部、含水ホウ砂０．３重量部を添加
し、ボールミルで充分混合した上脱泡したペースト状接
着剤を、前記剥離層２及び薄膜回路３、４の上面にスク
リーン印刷により積層形成して接着層５を形成した後、
この印刷物全体を６０℃の乾燥室で強制乾燥して各ペー
ストを粘着性を若干もたせて粘着保持させて温度センサ
ーベースシート６を得た。（図３参照）
油脂（株）製Ｅ−１３６）４５重量部に焼付け時の融着
物としてのガラスフリット（伊勢久（株）製フリット７
６１３）０．７重量部、含水ホウ砂０．３重量部を添加
し、ボールミルで充分混合した上脱泡したペースト状接
着剤を、前記剥離層２及び薄膜回路３、４の上面にスク
リーン印刷により積層形成して接着層５を形成した後、
この印刷物全体を６０℃の乾燥室で強制乾燥して各ペー
ストを粘着性を若干もたせて粘着保持させて温度センサ
ーベースシート６を得た。（図３参照）
【００１０】次に温度センサーベースシート６の接着層
側を温度測定物７に押しつけて粘着仮止めした後、両者
（温度センサーベースシート６、温度測定物体７）を８
０〜１００℃に加熱して接着硬化させた後、ベースシー
ト１を図４に示す如く剥離層２から剥がし取る。さらに
べ−スシート１を除去した温度センサー部と温度測定物
体７とを一体に８５０〜９００℃で５分間焼成すること
により、図５に示す如く温度センサーが温度測定物体７
に一体焼付け状態に付設される。ここで薄膜回路３、４
の接合部が感温部となり、薄膜回路３の端部に高温ハン
ダにて補償導線８、９を接続することにより、mV電圧計
により起電力を計測（図６参照）して温度を測定する。
このように構成されたものは、図６の温度測定物体７を
加熱して感温部ＡとＤ１、ＢとＤ２、ＣとＤ３との間で
生じた温度差が１０℃、２０℃、３０℃の時、その起電
力は規定値通り発生しており、正しいことが検定され
た。
側を温度測定物７に押しつけて粘着仮止めした後、両者
（温度センサーベースシート６、温度測定物体７）を８
０〜１００℃に加熱して接着硬化させた後、ベースシー
ト１を図４に示す如く剥離層２から剥がし取る。さらに
べ−スシート１を除去した温度センサー部と温度測定物
体７とを一体に８５０〜９００℃で５分間焼成すること
により、図５に示す如く温度センサーが温度測定物体７
に一体焼付け状態に付設される。ここで薄膜回路３、４
の接合部が感温部となり、薄膜回路３の端部に高温ハン
ダにて補償導線８、９を接続することにより、mV電圧計
により起電力を計測（図６参照）して温度を測定する。
このように構成されたものは、図６の温度測定物体７を
加熱して感温部ＡとＤ１、ＢとＤ２、ＣとＤ３との間で
生じた温度差が１０℃、２０℃、３０℃の時、その起電
力は規定値通り発生しており、正しいことが検定され
た。
【００１１】上記の温度センサーの付設方法により製作
した温度差測定センサーの実施の形態を図面に基づいて
以下説明する。図７は前記の方法で温度センサーを付設
した温度測定物体７について、感温部がＴ０、Ｔ１、Ｔ
２、Ｔ３、Ｔ４、Ｔ５、Ｔ６と直線的に一列に並んだ場
合の各々感温部の温度差を測定した実施の形態である。
薄膜回路３、４の接合部が感温部となり、薄膜回路３、
４の端部に高温ハンダにて補償導線Ｘ０〜Ｘ６、Ｙ０を
接続し、各々端子には各々電気的に切り替え可能に、ス
イッチＳＸ０〜ＳＸ６、ＳＹ０が接続してある。各々ス
イッチを順次切り替えることにより、mV電圧計により起
電力を計測して温度を測定する電気回路Ｅが構成されて
いる。切り替えタイムチャートは図８に示す。このよう
に構成されたものは、温度測定物体７を局部的に加熱し
てＴ０を基点として生じた温度差が２℃、４℃、６℃の
時、その起電力は規定値通り発生しており、正しいこと
が検定された。
した温度差測定センサーの実施の形態を図面に基づいて
以下説明する。図７は前記の方法で温度センサーを付設
した温度測定物体７について、感温部がＴ０、Ｔ１、Ｔ
２、Ｔ３、Ｔ４、Ｔ５、Ｔ６と直線的に一列に並んだ場
合の各々感温部の温度差を測定した実施の形態である。
薄膜回路３、４の接合部が感温部となり、薄膜回路３、
４の端部に高温ハンダにて補償導線Ｘ０〜Ｘ６、Ｙ０を
接続し、各々端子には各々電気的に切り替え可能に、ス
イッチＳＸ０〜ＳＸ６、ＳＹ０が接続してある。各々ス
イッチを順次切り替えることにより、mV電圧計により起
電力を計測して温度を測定する電気回路Ｅが構成されて
いる。切り替えタイムチャートは図８に示す。このよう
に構成されたものは、温度測定物体７を局部的に加熱し
てＴ０を基点として生じた温度差が２℃、４℃、６℃の
時、その起電力は規定値通り発生しており、正しいこと
が検定された。
【００１２】図９は前記の方法で温度センサーを付設し
た温度測定物体７について、感温部がＴ００〜Ｔ０６、
Ｔ１０〜Ｔ１６、Ｔ２０〜Ｔ２６と平面的に格子状に並
んだ場合の各々感温部の温度差を測定した実施の形態で
ある。薄膜回路３、４の接合部が感温部となり、薄膜回
路３、４の端部に高温ハンダにて補償導線Ｘ０〜Ｘ６、
ＳＹ０〜ＳＹ２を接続し、各々端子には各々電気的に切
り替え可能にスイッチＳＸ０〜ＳＸ６、ＳＹ０〜ＳＹ２
が接続してある。各々スイッチを順次切り替えることに
より、mV電圧計により起電力を計測して温度を測定する
電気回路Ｅが構成されている。切り替えタイムチャート
は図１０に示す。このように構成されたものは、温度測
定物体７を局部的に加熱してＴ００を基点として生じた
温度分布が２℃、４℃、６℃の時、その起電力は規定値
通り発生しており、正しいことが検定された。尚上記実
施の形態では、白金−白金ロジウム熱電対を製作する例
を示したが、これに限定されるものではなく、クロメル
−アルメル熱電対、銅−コンスタンタン熱電対など、熱
起電力がでる異種金属素材の材質を粉末原料に用いれば
全てのものが適用できる。感温部が平面的で広い場合
は、温度センサー素材ペーストを温度測定物体に直接印
刷して薄膜回路を形成しても同様の計測が可能である。
た温度測定物体７について、感温部がＴ００〜Ｔ０６、
Ｔ１０〜Ｔ１６、Ｔ２０〜Ｔ２６と平面的に格子状に並
んだ場合の各々感温部の温度差を測定した実施の形態で
ある。薄膜回路３、４の接合部が感温部となり、薄膜回
路３、４の端部に高温ハンダにて補償導線Ｘ０〜Ｘ６、
ＳＹ０〜ＳＹ２を接続し、各々端子には各々電気的に切
り替え可能にスイッチＳＸ０〜ＳＸ６、ＳＹ０〜ＳＹ２
が接続してある。各々スイッチを順次切り替えることに
より、mV電圧計により起電力を計測して温度を測定する
電気回路Ｅが構成されている。切り替えタイムチャート
は図１０に示す。このように構成されたものは、温度測
定物体７を局部的に加熱してＴ００を基点として生じた
温度分布が２℃、４℃、６℃の時、その起電力は規定値
通り発生しており、正しいことが検定された。尚上記実
施の形態では、白金−白金ロジウム熱電対を製作する例
を示したが、これに限定されるものではなく、クロメル
−アルメル熱電対、銅−コンスタンタン熱電対など、熱
起電力がでる異種金属素材の材質を粉末原料に用いれば
全てのものが適用できる。感温部が平面的で広い場合
は、温度センサー素材ペーストを温度測定物体に直接印
刷して薄膜回路を形成しても同様の計測が可能である。
【００１３】
【発明の効果】本発明は上記の説明から明らかなよう
に、ベースシート上に繊細な温度測定薄膜回路を印刷し
て温度センサーベースを製作し、これを温度測定物体に
貼着した後、ベースシートを剥がし、焼成により温度セ
ンサーを温度測定物体に一体焼付するものであるので、
物体自体が非常に小さいものであったり、局面上であっ
たり、測定する点が多くかつ微小である温度測定物体に
対し、温度センサーを容易に一体付設させることができ
るようになる。よって温度測定物体の温度分布の計測を
はじめ熱流方向などが高精度に計測可能となり、従来計
測困難とされていた微小部分の熱分布や材料の熱伝導の
解折も可能となる。
に、ベースシート上に繊細な温度測定薄膜回路を印刷し
て温度センサーベースを製作し、これを温度測定物体に
貼着した後、ベースシートを剥がし、焼成により温度セ
ンサーを温度測定物体に一体焼付するものであるので、
物体自体が非常に小さいものであったり、局面上であっ
たり、測定する点が多くかつ微小である温度測定物体に
対し、温度センサーを容易に一体付設させることができ
るようになる。よって温度測定物体の温度分布の計測を
はじめ熱流方向などが高精度に計測可能となり、従来計
測困難とされていた微小部分の熱分布や材料の熱伝導の
解折も可能となる。
【図１】未架橋薄膜回路を印刷した状態を示す斜視図で
ある。
ある。
【図２】架橋薄膜回路を印刷した状態を示す斜視図であ
る。
る。
【図３】温度センサーベースシートの要部を示す断面図
である。
である。
【図４】温度センサーベースシートを温度測定物体に貼
着し、ベースシートを剥がす状態を示す要部断面図であ
る。
着し、ベースシートを剥がす状態を示す要部断面図であ
る。
【図５】温度センサーと温度測定物体とを一体焼成した
状態を示す要部断面図である。
状態を示す要部断面図である。
【図６】温度センサーを付設した温度測定物体の温度測
定状態を示す斜視図である。
定状態を示す斜視図である。
【図７】別回路の温度センサーを付設した温度測定物体
の温度測定状態を示す平面図である。
の温度測定状態を示す平面図である。
【図８】図７の温度センサーを付設した温度測定物体の
温度測定電気回路のタイムチャート図である。
温度測定電気回路のタイムチャート図である。
【図９】さらに別回路の温度センサーを付設した温度測
定物体の温度測定状態を示す平面図である。
定物体の温度測定状態を示す平面図である。
【図１０】図９の温度センサーを付設した温度測定物体
の温度測定電気回路のタイムチャート図である。
の温度測定電気回路のタイムチャート図である。
１ ベースシート ２ 剥離層 ３ 未架橋薄膜回路 ４ 架橋薄膜回路 ５ 接着層 ７ 温度測定物体
Claims (2)
- 【請求項１】 可撓性を有する樹脂フィルム又は紙で成
るベースシート１の表面に離型剤を印刷塗布して剥離層
２を形成する工程と、該剥離層２の上面に第一センサー
素材粉、有機バインダ及び油を混合して得た第一ペース
トを転写印刷して未架橋薄膜回路３を印刷する工程と、
該未架橋薄膜回路３の対向接点間に第二センサー素材
粉、有機バインダ及び油を混合して得た第二ペーストを
転写印刷して架橋薄膜回路４を得る工程と、前記薄膜回
路３、４を含む剥離層２の表面に焼付融着物を混入した
ペースト状接着剤を印刷積層させて接着層５を形成した
後、各印刷ペーストを乾燥処理して温度センサーベース
シート６を得る工程と、該温度センサーベースシート６
を温度測定物体７の表面に接着層５を介して押圧仮止め
貼着すると共に温度センサーベースシート６貼着の温度
測定物体７を接着層硬化温度に加熱して接着層５を融着
させる工程と、前記ベースシート１を前記剥離層２から
剥がした後、前記焼付融着物の溶融温度にて焼成して温
度センサーを温度測定物体７に一体焼付けする工程と、
から成る温度センサーの付設方法。 - 【請求項２】 前記薄膜回路３、４の接合部である感温
部を一列線上または複列線上の等距離位置で交差して配
列されるように架橋設置することを特徴とする請求項１
記載の温度センサーの付設方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8129063A JPH09288013A (ja) | 1996-04-24 | 1996-04-24 | 温度センサーの付設方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8129063A JPH09288013A (ja) | 1996-04-24 | 1996-04-24 | 温度センサーの付設方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09288013A true JPH09288013A (ja) | 1997-11-04 |
Family
ID=15000176
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8129063A Pending JPH09288013A (ja) | 1996-04-24 | 1996-04-24 | 温度センサーの付設方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09288013A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005055338A (ja) * | 2003-08-06 | 2005-03-03 | Hiroyasu Kido | 温度センサ素子及びその製造方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63193023A (ja) * | 1987-02-06 | 1988-08-10 | Olympus Optical Co Ltd | 温度測定装置 |
| JPH06317481A (ja) * | 1993-03-12 | 1994-11-15 | General Electric Co <Ge> | センサ・デカル、及びセンサを作成する方法 |
| JPH07507244A (ja) * | 1992-05-22 | 1995-08-10 | エヌ・ヴェ・レイケム・ソシエテ・アノニム | 温度指示組成物を適用する物品および方法 |
| JPH08219895A (ja) * | 1995-02-17 | 1996-08-30 | Sintokogio Ltd | 温度測定物体の温度センサ−付設方法 |
-
1996
- 1996-04-24 JP JP8129063A patent/JPH09288013A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63193023A (ja) * | 1987-02-06 | 1988-08-10 | Olympus Optical Co Ltd | 温度測定装置 |
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| JPH06317481A (ja) * | 1993-03-12 | 1994-11-15 | General Electric Co <Ge> | センサ・デカル、及びセンサを作成する方法 |
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