JPH09281350A - 導波路型光分岐素子 - Google Patents

導波路型光分岐素子

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JPH09281350A
JPH09281350A JP9395096A JP9395096A JPH09281350A JP H09281350 A JPH09281350 A JP H09281350A JP 9395096 A JP9395096 A JP 9395096A JP 9395096 A JP9395096 A JP 9395096A JP H09281350 A JPH09281350 A JP H09281350A
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JP
Japan
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waveguide
waveguides
coupling portion
type optical
widths
Prior art date
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Application number
JP9395096A
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English (en)
Inventor
Hideaki Arai
英明 荒井
Naoto Uetsuka
尚登 上塚
Tomoyuki Shirata
知之 白田
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Hitachi Cable Ltd
Original Assignee
Hitachi Cable Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明の課題は、従来の導波路型素子に比べ、
同一の特性ならば素子長が短い導波路型光分岐素子を、
素子長が同じならば分岐比の波長依存性が優れた導波路
型光分岐素子を提供することにある。 【解決手段】近接して平行に配置された結合部の入射端
B−B′では2本の導波路幅は異なり、かつ結合部の出
射端C−C′では導波路幅は同じとなるように導波路幅
が緩やかに変化しており、結合部での導波路幅の変化率
は導波路幅の異なる結合部の入射端で最大であり、導波
路幅の同じ結合部の出射端では零であって、結合部の入
射端と出射端の間では、導波路幅の変化率は単調に減少
している構造にある。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は導波路型光分岐素
子、特に波長に依存しない分岐比を有することを特徴と
する断熱構造型の導波路型光分岐素子に関する。
【0002】
【従来の技術】断熱構造型の光分岐素子は、広波長帯域
に渡って一定の特性が実現でき、かつ製造プロセスの変
動の影響が少ないことから、波長無依存の3dBカプラ
など各種の光回路への適用を目的として、各研究機関で
開発が進められている。
【0003】図5は従来の断熱構造型の導波路型光分岐
素子を示す。2本の導波路9、10からなり、近接して
平行に配置された結合部が中央にある。入射ポートは1
1、12であり、出射ポートは13、14である。結合
部と入射ポート11、結合部と出射ポート13、14と
の間は曲線で接続されている。
【0004】結合部の入射端をz=0、結合部の出射端
をz=Lとする。この結合部では、2本の導波路幅の差
ΔWは ΔW=ΔWO /2・{1+COS(z・π/L)} で表わされる。ただし、ΔWO はz=0での2本の導波
路幅の差を表わす。上記の式より、z=0ではΔWはΔ
O となり、z=LではΔWは零となる。そして導波路
幅の差の変化率、すなわちΔWをzで微分した量は
【0005】
【数1】
【0006】となり、結合部のちょうど真ん中で変化率
が最大となる。
【0007】図6に、従来の断熱構造型の導波路型光分
岐素子の概念を模式的に示す。図6(a)は結合部の入
射端B−B′での導波路の断面とローカルモードを示
す。入射端B−B′での電界分布は図で示した偶モード
と奇モードの組み合わせで、すべて表わすことができ
る。例えば、入射ポート11から光を入射して、導波路
9に光が集中して存在する場合は、99.9%の偶モー
ドと0.1%の奇モードの組み合わせである、といった
具合である。ただし、モードの形は説明し易い様に変形
してあり正確ではない。同様に、図6(b)は結合部の
出射端C−C′の導波路断面とローカルモードを示す。
【0008】理想的な断熱構造であれば、次の様に動作
する。入射ポート11から信号光が入射した場合、結合
部の入射端B−B′では偶モードのみが励起され、結合
部では偶モードから奇モードへの結合は生じることがな
く、結合部の出射端C−C′での電界分布は偶モードの
みで表わせる。そして結合部と2つの出射ポート13、
14の間の2つの曲線部には断面D−D′に示すよう
に、同振幅、同位相の光が伝搬して行く。
【0009】入射ポート12から信号光が入射した場
合、結合部の入射端B−B′では、奇モードのみが励起
され、結合部では奇モードから偶モードへの結合は生じ
ず、結合部の出射端C−C′での電界分布は奇モードの
みで表わせる。そして結合部と2つの出射ポート13、
14の間の2つの曲線部には断面D−D′に示すよう
に、同振幅、逆位相の光が伝搬して行く。以上の動作は
光の電界を考えており、11、12どちらの入射ポート
から信号光が入射しても、光の電力は上記電界の2乗に
比例するので、2つの出射ポートにちょうど半分づつ分
かれ行き、3dBカプラの動作をする。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来技術におい
て、結合部で偶モードから奇モードおよび奇モードから
偶モードの結合を完全に抑えることは難しい。従ってモ
ード間の結合により不要なモードが発生し、その結果、
波長により分岐比が異なるという問題があった。モード
間の結合係数Cjkは、SNAYDER and LOVE著の「Optical
Wave−guide Theory」の653頁によれば、
【0011】
【数2】
【0012】で表わせる。ここで、βは伝搬定数、kは
波数、ncoはコアの屈折率を示すものであり、添字はモ
ードを示す。zは図に示すように光の伝搬方向を示す。
また、積分の添字A∞は断面、例えばB−B′全体に渡
って積分することを意味する。nは屈折率分布を示す。
均一な屈折率で導波路の幅と高さが同じである光回路の
場合は、2本の導波路の距離が変化しているところで
【0013】
【数3】
【0014】は零でない値を持つ。また、導波路の幅が
変化している場合も、やはり零でない値を持つ。Ψは各
モードの電界分布を示す。j=even、つまり偶モー
ド、k=odd、つまり奇モードとすると、断面B−
B′では、導波路幅の非対称性が大きいために、断面B
−B′のどの部分でもΨj.Ψkは小さな値となる。
【0015】上記より、偶モードと奇モードの結合を少
なくするためには光の伝搬方向に対する導波路幅の変化
を緩やかにしなければならない。また、導波路幅の非対
称性が大きい時は、偶モードと奇モードの間で結合は起
り難い。
【0016】すなわち、不要なモードの発生量を抑える
には、2本の導波路の幅の差が小さいところでは導波路
幅の差の変化率を緩やかにする必要がある。導波路幅の
差が大きいところでは、導波路幅の差の変化率は大きく
ても構わない。しかし、導波路の幅の差が小さいところ
で、導波路幅の差の変化率を緩やかにすると素子長が長
くなるという問題があった。図5に示した分岐素子で
は、長さは約12mmである。素子長が長いということは
温度変化の影響を受け易い、材料費が多く必要となる、
プロセス製造の変動を受け易い等の問題が生じ、実用化
の妨げとなっていた。
【0017】また図5に示した導波路型光分岐素子で
は、結合部の入射端で2本の導波路幅の差は大きく、モ
ード結合が起り難くなっているが、導波路幅の差の変化
率、dΔW/dzは零であり、効率の良い素子の構造に
なっていないという問題もあった。
【0018】従って、本発明は上記の問題点を解決すべ
く創案されたものであり、原理的にマッハツェンダ型の
素子よりも分岐比の波長依存性や温度特性の点で優れて
いる断熱型の光素子において、素子長が短く、波長に対
して分岐比のバラツキが小さい、優れた導波路型光分岐
素子を提供することを目的とする。
【0019】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を実
現するため、2本の導波路からなり、近接して平行に配
置された結合部が設けられ、該結合部の入射端で前記2
本の導波路幅は異なり、かつ該結合部の出射端では前記
2本の導波路幅は同じとなるように導波路幅が緩やかに
変化しており、該結合部から入射ポートおよび出射ポー
トに至る部分は前記2本の導波路は徐々に遠ざかる断熱
構造型であり、前記結合部での導波路幅の変化率は導波
路幅の異なる前記結合部の入射端で最大であり、導波路
幅の同じ前記結合部の出射端では零であり、前記結合部
の入射端と前記結合部の出射端の間では、導波路幅の変
化率は単調に減少していることを特徴とする導波路型光
分岐素子を用いた。
【0020】
【発明の実施の形態】図1に本発明に係わる導波路型光
分岐素子の第一の実施例を示す。2本の導波路2,3よ
り成り、近接して平行に配置された結合部が中央にあ
る。結合部の入射端をB−B′で、結合部の出射端をC
−C′で示した。結合部の入射端B−B′と入射ポート
5の間の導波路2はsin曲線状に変化している。結合
部の出射端C−C′から出射ポート7、8の間では、導
波路2,3は曲げ半径15mmで曲げられ、互いに遠ざか
っている。結合部の入射端B−B′から入射ポート6の
間は図に示す様に、直線状を成している。
【0021】導波路2,3の高さは6μmであり、基板
4上に配置され、厚さ30μmのクラッド1で覆われて
いる。コア(導波路2,3)の屈折率は1.4657、
クラッド1と基板4の屈折率は1.458となってい
る。それぞれの材質は、コアがSiO2 −TiO2 、ク
ラッド1がSiO2 −B2 3 −P2 5 、基板4がS
iO2 である。作製プロセスはEB蒸着、フォトリソグ
ラフィ技術、火炎堆積等を用いた。なお、コアの材質と
しては、SiO2 −TiO2 以外に、SiO2 −GeO
2 が適用できることはもちろん、コア、クラッド1、基
板4の材料は様々なガラス、半導体、ポリマー等の有機
物が適用可能である。
【0022】光の伝搬方向をz軸、結合部の入射端をz
=0、結合部の出射端をz=Lとした時、結合部での導
波路幅の差ΔWは ΔW=ΔWO ・{1+COS((z+L)/2L)・
π} で表わせる。ただし、ΔWO は結合部の入射端z=0で
の2本の導波路幅の差を表わし、Lは結合部の長さを表
わす。
【0023】図2に導波路幅の差ΔWの変化率を示す。
従来の導波路型光分岐素子と本発明の導波路型光分岐素
子を比較して示す。図2から理解できるように、本発明
の導波路型光分岐素子では、結合部の導波路幅の差の変
化率は、2本の導波路幅の差が大きいところ、すなわち
結合部の入射端では大きく、導波路幅の差が小さくなる
に従い変化率も小さくなり、導波路幅の等しくなる結合
部の出射端では変化率が零となるように結合部が形成さ
れている。すなわち、効率的な構造となっている。
【0024】結合部の長さを同一にして、従来型と本発
明の導波路型光分岐素子の分岐比の波長依存性をシミュ
レーションにより検討した図3に結果を示す。従来型で
は結合部における不要モードの発生により、波長に対し
て分岐比のバラツキが約1dBであったが、本発明の素
子では0.1dB以下であった。また、表1に本発明の
導波路型光分岐素子の波長依存性の測定結果を示す。
【0025】
【表1】
【0026】波長1.31μmと波長1.55μmでの
分岐比はほぼ1:1となっている。もし、従来の技術
で、これと同等の特性を得ようとすれば、素子長は12
mm必要である。本発明の導波路型光分岐素子では素子長
は9mmであり、最も素子長が短くできるマッハツェンダ
型の6mmに一層近づくことができた。なお、表1からも
解るように、これまで入射ポートを5、6とし、出射ポ
ートを7、8として説明したが、入射ポートと出射ポー
トを入れ替えても光の性質上、前述と同様の結果が得ら
れる。
【0027】本発明に係わる、第二の実施例は、結合部
での導波路幅の差ΔWを ΔW=ΔWO /Lm ・(L−z)m とした。ここで、ΔWO は結合部の入射端での導波路幅
の差であり、Lは結合部の長さ、mは自然数である。こ
の導波路型光分岐素子の製作方法、得られる特性や効果
は第一の実施例と同等であるので詳しい説明は省略す
る。
【0028】本発明に係わる、第三の実施例は、近接し
て平行に配置された結合部で、2本の導波路のコアとク
ラッドの4つの境界線のうち、少なくとも1つ以上は、
SIN曲線、あるいはSIN曲線を近似した曲線の一部
で表わせるようにした。図4では、1つの境界線が Y=A・sin(cx) で表わせる場合を示した。ただし、A、cはある特定の
定数である。この導波路型光分岐素子は、第二の実施例
と同様に、製作方法、得られる特性や効果は第一の実施
例と同等であるので詳しい説明は省略する。
【0029】
【発明の効果】本発明によれば、近接して平行に配置さ
れた結合部では、入射端で2本の導波路幅は異なり、か
つ出射端では導波路幅は同じとなるように導波路幅が緩
やかに変化しており、結合部での導波路幅の変化率は導
波路幅の異なる結合部の入射端で最大であり、導波路幅
の同じ結合部の出射端では零であり、結合部の入射端と
結合部の出射端の間では、導波路幅の変化率は単調に減
少していることを特徴とする導波路型光分岐素子を提供
することができ、素子長が同一ならば従来よりも分岐比
の波長依存性が優れた素子を実現できる。
【0030】また、同じ特性ならば従来より素子長の短
い導波路型光分岐素子を提供することができる。そのた
め、温度変化の影響を受け難く、材料費を節約した、ま
たプロセス製造の変動を受け難い導波路型光分岐素子を
実現することが可能で、工業上有用である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わり、導波路型光分岐素子の第一の
実施例を示す図であって、(a)は平面図、(b)はz
=0での断面図を示す。
【図2】本発明及び従来技術に係わり、導波路型光分岐
素子の導波路幅の差の変化率を示す説明図である。
【図3】本発明の第一の実施例に係わり、分岐比の波長
依存性を示す説明図である。
【図4】本発明に係わり、導波路型光分岐素子の第三の
実施例を示す説明図である。
【図5】従来技術に係わり、導波路型光分岐素子を示す
平面図である。
【図6】従来技術に係わり、導波路型光分岐素子の動作
を示す説明図である。
【符号の説明】
1 クラッド 2 導波路 3 導波路 4 基板 5、6 入射ポート 7、8 出射ポート 9、10 導波路 11、12 入射ポート 13、14 出射ポート

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】2本の導波路から成り、近接して平行に配
    置された結合部が設けられ、該結合部の入射端で前記2
    本の導波路幅は異なり、かつ該結合部の出射端では前記
    2本の導波路幅は同じとなるように導波路幅が緩やかに
    変化しており、該結合部から入射ポートおよび出射ポー
    トに至る部分は前記2本の導波路は徐々に遠ざかる断熱
    構造型であり、前記結合部での導波路幅の変化率は導波
    路幅の異なる前記結合部の入射端で最大であり、導波路
    幅の同じ前記結合部の出射端では零であり、前記結合部
    の入射端と前記結合部の出射端の間では、導波路幅の変
    化率は単調に減少していることを特徴とする導波路型光
    分岐素子。
  2. 【請求項2】請求項1記載の導波路型光分岐素子におい
    て、近接して平行に配置された結合部で、光の伝搬方向
    をz軸、2本の導波路幅の差が最大となる該結合部の入
    射端の位置をz=0、2本の導波路幅の差が零となる該
    結合部の出射端の位置をz=L、該結合部の入射端での
    導波路幅の差をΔWO とした時、該結合部での導波路幅
    の差ΔWが ΔW=ΔWO ・{1+COS((z+L)/2L)・
    π} で表わせることを特徴とする導波路型光分岐素子。
  3. 【請求項3】請求項1記載の導波路型光分岐素子におい
    て、近接して平行に配置された結合部で、光の伝搬方向
    をz軸、2本の導波路幅の差が最大となる該結合部の入
    射端の位置をz=0、2本の導波路幅の差が零となる該
    結合部の出射端の位置をz=L、該結合部の入射端での
    導波路幅の差をΔWO 、mを自然数とした時、該結合部
    での導波路幅の差ΔWが ΔW=ΔWO /Lm ・(L−z)m で表わせることを特徴とする導波路型光分岐素子。
  4. 【請求項4】請求項1記載の導波路型光分岐素子におい
    て、近接して平行に配置された結合部で、2本の導波路
    のコアとクラッドの4つの境界線のうち、少なくとも1
    つ以上はSIN曲線、あるいはSIN曲線を近似した曲
    線の一部で表わせることを特徴とした導波路型光分岐素
    子。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008084584A1 (ja) * 2007-01-12 2008-07-17 Nec Corporation 光導波路素子および偏光分離方法
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JP2021135367A (ja) * 2020-02-26 2021-09-13 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 光デバイス、及びこれを用いた光源装置

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