JPH09281300A - スリット装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 遮光部材の移動量を増大させずに放射光ビー
ムの焦点位置の調整範囲を拡大する。 【解決手段】 放射光ビームＳＲが通過可能な移動チェ
ンバ２２と、移動チェンバ２２に放射光ビームＳＲを通
過させるように接続したベローズ１８ａ，１８ｂと、移
動チェンバ２２を放射光ビームＳＲの光軸に略直交する
方向へ移動させる移動機構２３と、放射光ビームＳＲの
光軸を中心とするスリットが形成されるように移動チェ
ンバ２２の内部に配置された一対の遮光部材２７，２７
と、遮光部材２７，２７を放射光ビームＳＲの光軸に対
して近接離反させるスリット調整機構２４，２４とを備
え、遮光部材２７，２７に部材側方から見て放射光ビー
ムＳＲの一側から他側へ向って突出する複数の突出部２
７ａ〜２７ｅを階段状に形成している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はスリット装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】光速に近い速度で移動する電子がその進
行方向を磁場や電場で曲げられると、電子の軌道の接線
方向に放射光とよばれる電磁波（光）を放出する。

【０００３】図９は放射光発生手段の一例を示すもの
で、１は線形加速装置であり、該線形加速装置１は、電
子（荷電粒子）ｅを射出する電子発生装置２と、一端が
電子発生装置２に接続された直管状の加速ダクト３と、
該加速ダクト３の内部を移動する電子ｅに高周波を付与
して該電子ｅを加速する高周波加速装置４とを有してい
る。

【０００４】前記の加速ダクト３の他端には、湾曲管状
のビーム輸送ダクト５の一端が接続されており、ビーム
輸送ダクト５には、その内部を移動する電子ｅの軌道を
曲げるための偏向電磁石６が設けられている。

【０００５】７はシンクロトロンであり、該シンクロト
ロン７は、前記の電子ｅに周回軌道を形成させるための
無端状ダクト８を有しており、該無端状ダクト８の所要
箇所には、前記のビーム輸送ダクト５の他端が接続され
ている。

【０００６】この無端状ダクト８の湾曲部分には、その
内部を移動する電子ｅの軌道を曲げるための偏向電磁石
９が設けられ、また、無端状ダクト８の所要箇所には、
該無端状ダクト８の内部を移動する電子ｅに高周波を付
与して該電子ｅを加速する高周波加速装置１０が設けら
れている。

【０００７】更に、無端状ダクト８の所要箇所の湾曲部
には、該湾曲部において光速に近い速度で移動する電子
ｅの進行方向が曲げられることにより放出される放射光
ビームＳＲを無端状ダクト８の外部へ導くための直環状
のビームライン１１の一端が接続されており、該ビーム
ライン１１の他端には、実験装置１２が接続されてい
る。

【０００８】図９に示す放射光発生手段によって放射光
ビームＳＲを放出させる際には、加速ダクト３、ビーム
輸送ダクト５、無端状ダクト８、ビームライン１１、実
験装置１２の内部を高真空状態に減圧して、電子ｅが加
速ダクト３、ビーム輸送ダクト５、無端状ダクト８の内
部を光速に近い速度で移動できる状態とした後、電子発
生装置２から電子ｅを射出させる。

【０００９】電子発生装置２より射出される電子ｅは、
高周波加速装置４によって加速され、更に偏向電磁石６
により軌道を曲げられることにより無端状ダクト８に入
射する。

【００１０】無端状ダクト８に入射した電子ｅは、偏向
電磁石９により軌道を曲げられるとともに、高周波加速
装置１０によって加速されることにより無端状ダクト８
を周回し、無端状ダクト８の各湾曲部分において放射光
ビームＳＲを放出する。

【００１１】この電子ｅの軌道が曲げられることにより
放出される放射光ビームＳＲは、ビームライン１１を経
て実験装置１２に入射する。

【００１２】実験装置１２において、軟Ｘ線を利用する
実験を行う場合には、図６から図８に示すような、種々
の波長成分の光波を含んだ放射光ビームＳＲから軟Ｘ線
領域の光波を選択する回折格子１３と、該回折格子１３
の分解能を向上させるためのスリット１４を形成するス
リット装置とをビームライン１１に設置している。

【００１３】スリット装置は、中空状の移動チェンバ１
５と、該移動チェンバ１５に内装された一対の遮光部材
１６，１６と、移動チェンバ１５を放射光ビームＳＲの
光軸に対して略平行な方向に移動させるための移動機構
１７と、移動チェンバ１５の一端部に接続された第１の
ベローズ１８ａと、移動チェンバ１５の他端部に接続さ
れた第２のベローズ１８ｂとを備えている。

【００１４】移動チェンバ１５は、ボックス構造のチェ
ンバ本体１５ａと、該チェンバ本体１５ａの一端部に設
けた連結管１５ｂと、該連結管１５ｂと同一軸線上に位
置するようにチェンバ本体１５ａの他端部に設けた連結
管１５ｃとを有している。

【００１５】一対の遮光部材１６，１６は、前記の連結
管１５ｂ，１５ｃの軸線に対して略直交する方向に延
び、両部材間に数１０μｍ程度のスリット（間隙）１４
が形成され且つ該スリット１４の中心が前記の連結管１
５ｂ，１５ｃの中心に一致するように、チェンバ本体１
５ａに内装固着されている。

【００１６】移動機構１７は、架台等の固定構造物１９
に固着されたステージ１７ａと、放射光ビームＳＲの光
軸に対して略平行な方向に前後移動し得るようにステー
ジ１７ａに支持されたテーブル１７ｂと、該テーブル１
７ｂをステージ１７ａに対して前後移動させるモータ等
の駆動源１７ｃとを有している。

【００１７】この移動機構１７のテーブル１７ｂには、
放射光ビームＳＲの光軸に対して連結管１５ｂ，１５ｃ
の軸線が一致するようにチェンバ本体１５ａが固着され
ている。

【００１８】更に、先に述べた連結管１５ｂには、無端
状ダクト８に連なってビームライン１１（図９参照）を
構成するビームダクト２０ａが第１のベローズ１８ａを
介して気密に接続され、また、他方の連結管１５ｃに
は、回折格子１３を内装した固定チェンバ２１に連なっ
てビームライン１１を構成するビームダクト２０ｂが第
２のベローズ１８ｂを介して気密に接続されており、無
端状ダクト８（図９参照）から出射される放射光ビーム
ＳＲが、ビームダクト２０ａ、第１のベローズ１８ａ、
連結管１５ｂ、チェンバ本体１５ａ、連結管１５ｃ、第
２のベローズ１８ｂ、ビームダクト２０ｂ、固定チェン
バ２１を経て実験装置１２（図９参照）に入射するよう
になっている。

【００１９】図６から図８に示す従来のスリット装置で
は、移動機構１７の駆動源１７ｃを作動させると、テー
ブル１７ｂとともにチェンバ本体１５ａが放射光ビーム
ＳＲの光軸に略平行に前後移動し、チェンバ本体１５ａ
に内装されている遮光部材１６，１６が回折格子１３に
近接あるいは離反することにより、該回折格子１３に入
射する放射光ビームＳＲの焦点位置が調整される。

【００２０】このチェンバ本体１５ａに内装されている
遮光部材１６，１６が回折格子１３に近接する際には、
第１のベローズ１８ａが伸張するとともに第２のベロー
ズ１８ｂが縮小するように、両ベローズ１８ａ，１８ｂ
が変形する。

【００２１】また、チェンバ本体１５ａに内装されてい
る遮光部材１６，１６が回折格子１３から離反する際に
は、第１のベローズ１８ａが縮小するとともに第２のベ
ローズ１８ｂが伸張するように、両ベローズ１８ａ，１
８ｂが変形する。

【００２２】

【発明が解決しようとする課題】従来のスリット装置に
おいて、放射光ビームＳＲの焦点位置の調整範囲を拡大
するためには、移動機構１７のテーブル１７ｂの移動距
離、及び両ベローズ１８ａ，１８ｂの伸縮量を増大させ
て遮光部材１６，１６の移動量を大きくする必要がある
が、両ベローズ１８ａ，１８ｂの伸縮量を増大させる
と、該両ベローズ１８ａ，１８ｂに生じる撓みによって
放射光ビームＳＲの光路が遮られることが懸念される。

【００２３】本発明は上述した実情に鑑みてなしたもの
で、遮光部材の移動量を増大させることなく放射光ビー
ムの焦点位置の調整範囲を拡大することが可能なスリッ
ト装置を提供することを目的としている。

【００２４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の請求項１に記載のスリット装置では、一端部
及び他端部のそれぞれに伸縮可能な中空構造体が接続さ
れ且つ一方の中空構造体から他方の中空構造体へ向って
光ビームが通過可能な移動チェンバと、該移動チェンバ
を光ビームの光軸に対して略直交する方向へ移動させる
移動機構と、該移動機構による移動チェンバの移動方向
及び光ビームの光軸の双方に対して略直交する方向に対
峙し且つ光ビームの光軸を中心とするスリットが形成さ
れるように移動チェンバの内部に配置された一対の遮光
部材と、各遮光部材を光ビームの光軸に対して近接離反
させるスリット調整機構とを備え、該遮光部材に部材側
方から見て光ビームの一側から他側へ向って突出する複
数の突出部を、該突出部の突出量が光ビームの進行方向
前方側に位置するものほど多くなるように階段状に形成
している。

【００２５】また、本発明の請求項２に記載のスリット
装置では、上述した本発明の請求項１に記載のスリット
装置の構成に加えて、移動チェンバを光ビームの光軸に
対して略直交する方向及び光ビームの光軸に略平行な方
向の双方へ移動させるように移動機構を構成している。

【００２６】更に、本発明の請求項３に記載のスリット
装置では、上述した本発明の請求項１あるいは請求項２
に記載のスリット装置の構成に加えて、移動チェンバを
光ビームの光軸の周方向に回動させる回動機構を備えて
いる。

【００２７】本発明の請求項１から請求項３に記載のス
リット装置のいずれにおいても、部材側方から見て複数
の突出部を階段状に形成した遮光部材を、移動機構によ
り移動チェンバとともに光ビームの光軸に対して略直交
する方向へ移動させ、遮光部材により形成されるスリッ
トに対する光ビームの入射位置を調整する。

【００２８】また、本発明の請求項２に記載のスリット
装置においては、遮光部材を移動機構により移動チェン
バとともに光ビームの光軸に平行に移動させ、遮光部材
により形成されるスリットに対する光ビームの入射位置
を調整する。

【００２９】更に、本発明の請求項３に記載のスリット
装置においては、遮光部材を回動機構により移動チェン
バとともに光ビームの光軸の周方向へ回動させ、遮光部
材により形成されるスリットの光ビームの光軸周方向の
姿勢を調整する。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しつつ説明する。

【００３１】図１から図５は本発明のスリット装置の実
施の形態の一例を示すものであり、このスリット装置
は、中空状の移動チェンバ２２と、該移動チェンバ２２
を放射光ビームＳＲ（光ビーム）の光軸に対して略直交
する方向及び光ビームＳＲの光軸に略平行な方向の双方
へ移動させる移動機構２３と、移動チェンバ２２を放射
光ビームＳＲの光軸の周方向へ回動させる回動機構２５
と、前記の移動機構２３による移動チェンバ２２の移動
方向に対して略直交する方向に対峙し且つ放射光ビーム
ＳＲの光軸を中心とするスリット２６が形成されるよう
に移動チェンバ２２の内部に配置された一対の遮光部材
２７，２７と、該遮光部材２７，２７を光ビームＳＲの
光軸に対して近接離反させるスリット調整機構２４，２
４とを備えている。

【００３２】移動チェンバ２２は、ボックス構造のチェ
ンバ本体２２ａと、該チェンバ本体２２ａの一端部に設
けた連結管２２ｂと、該連結管２２ｂと同一軸線上に位
置するようにチェンバ本体２２ａの他端部に設けた連結
管２２ｃとを有している。

【００３３】移動チェンバ２２の一方の連結管２２ｂに
は、無端状ダクト８に連なってビームライン１１（図９
参照）を構成するビームダクト２０ａが第１のベローズ
（中空構造体）１８ａを介して気密に接続され、また、
他方の連結管２２ｃには、回折格子１３を内装した固定
チェンバ２１に連なってビームライン１１を構成するビ
ームダクト２０ｂが第２のベローズ（中空構造体）１８
ｂを介して気密に接続されており、無端状ダクト８（図
９参照）から出射される放射光ビームＳＲが、ビームダ
クト２０ａ、第１のベローズ１８ａ、連結管２２ｂ、チ
ェンバ本体２２ａ、連結管２２ｃ、第２のベローズ１８
ｂ、ビームダクト２０ｂ、固定チェンバ２１を経て実験
装置１２（図９参照）に入射するようになっている。

【００３４】移動機構２３は、架台等の固定構造物１９
に固着されたステージ２３ａと、放射光ビームＳＲの光
軸に対して直交する方向（図１から図３において図面天
地方向／図４において図面左右方向）及び放射光ビーム
ＳＲの光軸に平行な方向（図１から図３において図面左
右方向／図４において図面に直交する方向）のそれぞれ
に水平に移動し得るようにステージ２３ａに支持された
テーブル２３ｂと、該テーブル２３ｂをステージ２３ａ
に対して移動させるモータ等を内装した駆動源２３ｃと
を有している。

【００３５】回動機構２５は、前記の移動機構２３のテ
ーブル２３ｂに搭載固着されたステージ２５ａと、放射
光ビームＳＲの光軸の周方向へ移動し得るようにステー
ジ２５ａに支持されたテーブル２５ｂと、該テーブル２
５ｂをステージ２５ａに対して移動させるモータ等を内
装した駆動源２５ｃとを有しており、テーブル２５ｂに
は、先に述べたチェンバ本体２２ａが搭載固着されてい
る。

【００３６】一対のスリット調整機構２４，２４は、モ
ータ等を内装した駆動源２４ａと、該駆動源２４ａに対
して略垂直に昇降するアーム２４ｂとを有している。

【００３７】一方のスリット調整機構２４のアーム２４
ｂは、チェンバ本体２２ａの一側上部に穿設された上下
方向の延びる開口２２ｄに挿通され、また、一方のスリ
ット調整機構２４の駆動源２４ａは、前後一対の支持部
材２４ｃ，２４ｃによってチェンバ本体２２ａの一側部
外面に固着されており、駆動源２４ａを作動させると、
チェンバ本体２２ａの内部の一側においてアーム２４ｂ
が垂直に昇降するようになっている。

【００３８】他方のスリット調整機構２４のアーム２４
ｂは、チェンバ本体２２ａの他側下部に穿設された上下
方向の延びる開口２２ｄに挿通され、また、他方のスリ
ット調整機構２４の駆動源２４ａは、前後一対の支持部
材２４ｃ，２４ｃによってチェンバ本体２２ａの他側部
外面に固着されており、駆動源２４ａを作動させると、
チェンバ本体２２ａの内部の他側においてアーム２４ｂ
が垂直に昇降するようになっている。

【００３９】更に、各アーム２４ｂのチェンバ本体２２
ａの外方に位置している部分には、アーム２４ｂを周方
向に取り囲むベローズ２８がそれぞれ設けられており、
各ベローズ２８の一端は、駆動源２４ａに対して気密に
装着され、また、各ベローズ２８の他端は、チェンバ本
体２２ａに対して気密に装着されている。

【００４０】一対の遮光部材２７，２７は、放射光ビー
ムＳＲの光軸を挟んで上下方向に対峙し且つ両部材の間
にスリット（間隙）２６が形成されるようにチェンバ本
体２２ａの内部に配置されている。

【００４１】放射光ビームＳＲの光軸の上方に位置する
遮光部材２７は、一側後端寄りの部分がチェンバ本体２
２ａの一側に設けられているスリット調整機構２４のア
ーム２４ｂに固着されている。

【００４２】放射光ビームＳＲの光軸の下方に位置する
遮光部材２７は、他側後端寄りの部分がチェンバ本体２
２ａの他側に設けられているスリット調整機構２４のア
ーム２４ｂに固着されている。

【００４３】遮光部材２７，２７の対峙する面は、互い
に平行に且つ平坦に形成されており、先に述べたように
スリット調整機構２４の駆動源２４ａを作動させると、
両遮光部材２７，２７の間隔、すなわち、スリット２６
の大きさを調整できるようになっている。

【００４４】更に、これらの遮光部材２７，２７を部材
上方から見ると、放射光ビームＳＲの一側（上側）から
他側（下側）へ向って突出する複数の突出部２７ａ〜２
７ｅが、放射光ビームＳＲの進行方向前方側に位置する
ものほど突出量が多くなるように階段状に形成されてい
る。

【００４５】図１から図５に示すスリット装置では、移
動機構２３の駆動源２３ｃを作動させると、テーブル２
３ｂとともに回動機構２５、チェンバ本体２２ａが放射
光ビームＳＲの光軸に略直交する方向、あるいは、放射
光ビームＳＲの光軸に平行な方向に水平に移動する。

【００４６】たとえば、ステージ２３ａに対してテーブ
ル２３ｂが、図１に示す中立位置から図２に示すように
放射光ビームＳＲの光軸の右方へ偏位した右方位置へと
移動すると、チェンバ本体２２ａに内装されている遮光
部材２７，２７に突出部２７ａ〜２７ｅが階段状に形成
されていることに起因して、スリット２６に対する放射
光ビームＳＲの入射位置が回折格子１３から離反し、該
回折格子１３に入射する放射光ビームＳＲの焦点位置が
調整される。

【００４７】また、ステージ２３ａに対してテーブル２
３ｂが図１に示す中立位置から図３に示すように放射光
ビームＳＲの光軸の左方へ偏位した左方位置へと移動す
ると、チェンバ本体２２ａに内装されている遮光部材２
７，２７に突出部２７ａ〜２７ｅが形成されていること
に起因して、スリット２６に対する放射光ビームＳＲの
入射位置が回折格子１３に接近し、該回折格子１３に入
射する放射光ビームＳＲの焦点位置が調整される。

【００４８】従って、遮光部材２７，２７の移動量が僅
かであっても、該遮光部材２７，２７の移動量に比較し
て放射光ビームＳＲの焦点位置の調整範囲を拡大するこ
とができる。

【００４９】一方、チェンバ本体２２ａに内装されてい
る遮光部材２７，２７が、図１に示す中立位置から図２
に示す右方位置へ移動してスリット２６における放射光
ビームＳＲの入射位置が回折格子１３から離反する際に
は、第１のベローズ１８ａの連結管２２ｂに接続されて
いる端部及び第２のベローズ１８ｂの連結管２２ｃに接
続されている端部が、他の端部に対して下降するように
両ベローズ１８ａ，１８ｂが変形する。

【００５０】また、チェンバ本体２２ａに内装されてい
る遮光部材２７，２７が、図１に示す中立位置から図３
に示す左方位置へ移動してスリット２６における放射光
ビームＳＲの入射位置が回折格子１３に接近する際に
は、第１のベローズ１８ａの連結管２２ｂに接続されて
いる端部及び第２のベローズ１８ｂの連結管２２ｃに接
続されている端部が、他の端部に対して上昇するように
両ベローズ１８ａ，１８ｂが変形する。

【００５１】従って、移動チェンバ２２に接続されてい
る第１のベローズ１８ａ及び第２のベローズ１８ｂの伸
縮量を増大させる必要がなくなり、両ベローズ１８ａ，
１８ｂによって放射光ビームＳＲの光路が遮られること
がない。

【００５２】更に、図１から図５に示すスリット装置で
は、移動機構２３によってチェンバ本体２２ａを放射光
ビームＳＲの光軸に平行な方向に微動させると、テーブ
ル２３ｂとともにスリット２６を形成する遮光部材２
７，２７が放射光ビームＳＲの光軸に平行に移動し、回
折格子１３に入射する放射光ビームＳＲの焦点位置が微
調整される。

【００５３】また、回動機構２５の駆動源２５ｃを作動
させると、テーブル２５ｂとともに遮光部材２７，２７
が放射光ビームＳＲの光軸の周方向に回動し、遮光部材
２７，２７により形成されるスリット２６の放射光ビー
ムＳＲの光軸周方向の姿勢が調整されることにより、ス
リット２６の面内誤差が補正される。

【００５４】なお、本発明のスリット装置は上述した実
施の形態のみに限定されるものではなく、本発明を放射
光ビーム以外の光ビームの焦点位置の調整に適用するこ
と、その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種
々変更を加え得ることは勿論である。

【００５５】

【発明の効果】以上述べたように、本発明のスリット装
置においては、下記のような種々の優れた効果を奏し得
る。

【００５６】（１）本発明の請求項１から請求項３に記
載のスリット装置のいずれにおいても、部材側方から見
て複数の突出部を階段状に形成した遮光部材を、移動機
構により移動チェンバとともに光ビームの光軸に対して
略直交する方向へ移動させ、遮光部材により形成される
スリットに対する光ビームの入射位置を調整するので、
遮光部材の移動量が僅かであっても、該遮光部材の移動
量に比較して光ビームの焦点位置の調整範囲を拡大する
ことができ、また、スリット調整機構によって一対の遮
光部材の間に形成されているスリットの大きさを調整す
ることができる。

【００５７】（２）本発明の請求項１から請求項３に記
載のスリット装置のいずれにおいても、遮光部材を内装
した移動チェンバが光ビームの光軸に対して略直交する
方向に移動するので、移動チェンバに接続されてる中空
構造体の伸縮量を増大させる必要がなくなり、中空構造
体によって光ビームの光路が遮られることがない。

【００５８】（３）本発明の請求項２に記載のスリット
装置においては、遮光部材を移動機構により移動チェン
バとともに光ビームの光軸に平行に微動させるので、遮
光部材により形成されるスリットに対する光ビームの入
射位置を微調整することができる。

【００５９】（４）本発明の請求項３に記載のスリット
装置においては、遮光部材を回動機構により移動チェン
バとともに光ビームの光軸の周方向へ回動させるので、
遮光部材により形成されるスリットの光ビームの光軸周
方向の姿勢を調整でき、スリットの面内誤差を補正する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のスリット装置の実施の形態の一例にお
いて遮光部材が中立位置に設定されている状態を示す部
分切断平面図である。

【図２】本発明のスリット装置の実施の形態の一例にお
いて遮光部材が右方位置に設定されている状態を示す部
分切断平面図である。

【図３】本発明のスリット装置の実施の形態の一例にお
いて遮光部材が左方位置に設定されている状態を示す部
分切断平面図である。

【図４】図１のＩＶ−ＩＶ矢視図である。

【図５】本発明のスリット装置の実施の形態の一例にお
ける遮光部材とスリット装置に連なる回折格子との関係
を示す概念図である。

【図６】従来のスリット装置の一例を示す部分切断側面
図である。

【図７】図６のＶＩＩ−ＶＩＩ矢視図である。

【図８】従来のスリット装置の一例における遮光部材と
スリット装置に連なる回折格子との関係を示す概念図で
ある。

【図９】放射光発生手段の一例を示す概念図である。

【符号の説明】

１８ａ 第１のベローズ（中空構造体） １８ｂ 第２のベローズ（中空構造体） ２２ 移動チェンバ ２３ 移動機構 ２４ スリット調整機構 ２５ 回動機構 ２６ スリット ２７ 遮光部材 ２７ａ〜２７ｅ 突出部 ＳＲ 放射光ビーム（光ビーム）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一端部及び他端部のそれぞれに伸縮可能
   な中空構造体が接続され且つ一方の中空構造体から他方
   の中空構造体へ向って光ビームが通過可能な移動チェン
   バと、該移動チェンバを光ビームの光軸に対して略直交
   する方向へ移動させる移動機構と、該移動機構による移
   動チェンバの移動方向及び光ビームの光軸の双方に対し
   て略直交する方向に対峙し且つ光ビームの光軸を中心と
   するスリットが形成されるように移動チェンバの内部に
   配置された一対の遮光部材と、該遮光部材を光ビームの
   光軸に対して近接離反させるスリット調整機構とを備
   え、各遮光部材に部材側方から見て光ビームの一側から
   他側へ向って突出する複数の突出部を、該突出部の突出
   量が光ビームの進行方向前方側に位置するものほど多く
   なるように階段状に形成したことを特徴とするスリット
   装置。
2. 【請求項２】 移動チェンバを光ビームの光軸に対して
   略直交する方向及び光ビームの光軸に略平行な方向の双
   方へ移動させるように移動機構を構成した請求項１に記
   載のスリット装置。
3. 【請求項３】 移動チェンバを光ビームの光軸の周方向
   に回動させる回動機構を備えた請求項１あるいは請求項
   ２に記載のスリット装置。