JPH09276644A - 排ガス処理方法及び排ガス処理装置 - Google Patents
排ガス処理方法及び排ガス処理装置Info
- Publication number
- JPH09276644A JPH09276644A JP8118490A JP11849096A JPH09276644A JP H09276644 A JPH09276644 A JP H09276644A JP 8118490 A JP8118490 A JP 8118490A JP 11849096 A JP11849096 A JP 11849096A JP H09276644 A JPH09276644 A JP H09276644A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust gas
- protrusion
- large number
- storage tank
- rotary
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
- Gas Separation By Absorption (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の廃棄物焼却の排ガス処理方法として
は、例えば塩化水素を除去するために、水酸化カルシウ
ムを主成分とするものをハニカム状に成型して、これを
排ガス用ダクト内に置き、この成型品の表面の水酸化カ
ルシウムに塩化水素を反応、吸収させるようにしたもの
がある。しかし、塩化水素ガスの吸収が進むにつれて形
状が崩れ、多数の小片や粉末になるのでダクト内の排ガ
ス流動抵抗が増すなどの問題がある。 【解決手段】 排ガスの通るダクト途中に、有害物質と
反応し、これを除去する液剤を常に表面に付着させて動
く回転式突起物を用いた排ガス処理方法及び排ガス処理
装置である。
は、例えば塩化水素を除去するために、水酸化カルシウ
ムを主成分とするものをハニカム状に成型して、これを
排ガス用ダクト内に置き、この成型品の表面の水酸化カ
ルシウムに塩化水素を反応、吸収させるようにしたもの
がある。しかし、塩化水素ガスの吸収が進むにつれて形
状が崩れ、多数の小片や粉末になるのでダクト内の排ガ
ス流動抵抗が増すなどの問題がある。 【解決手段】 排ガスの通るダクト途中に、有害物質と
反応し、これを除去する液剤を常に表面に付着させて動
く回転式突起物を用いた排ガス処理方法及び排ガス処理
装置である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、廃棄物の焼却時に
発生する有害物質を含む排ガスの処理方法と、この方法
を具体的に実現する排ガス処理装置に関するものであ
る。
発生する有害物質を含む排ガスの処理方法と、この方法
を具体的に実現する排ガス処理装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のものにあっては、下記の
ようなものになっている。廃棄物焼却の排ガス処理方法
は、いくつかのものが実用化されている。例えば、塩化
水素の除去を目的としたもので、水酸化カルシウムを主
成分とするものをハニカム状に成型して、これを排ガス
用ダクト内に置き、この成型品の表面の水酸化カルシウ
ムに塩化水素を反応、吸収させるものである。また、こ
れと類似したものに、塩化水素、亜硫酸ガスの吸収剤を
球状に成型し、これを多数排気ガスの通路に置いて排ガ
スの処理をするものがある。さらに、一般に広く用いら
れている方法に、排ガス中に粉末薬剤を噴霧し、これに
有害物質を吸収反応させ、この粉末薬剤を濾布式集塵機
で取除くもの、あるいは薬剤の水溶液を排ガスが通過す
る大きな室内でシャワー状に供給し、反応後の溶液を排
水処理設備内で排水基準値以下に調整した後、放流する
ものなどがある。
ようなものになっている。廃棄物焼却の排ガス処理方法
は、いくつかのものが実用化されている。例えば、塩化
水素の除去を目的としたもので、水酸化カルシウムを主
成分とするものをハニカム状に成型して、これを排ガス
用ダクト内に置き、この成型品の表面の水酸化カルシウ
ムに塩化水素を反応、吸収させるものである。また、こ
れと類似したものに、塩化水素、亜硫酸ガスの吸収剤を
球状に成型し、これを多数排気ガスの通路に置いて排ガ
スの処理をするものがある。さらに、一般に広く用いら
れている方法に、排ガス中に粉末薬剤を噴霧し、これに
有害物質を吸収反応させ、この粉末薬剤を濾布式集塵機
で取除くもの、あるいは薬剤の水溶液を排ガスが通過す
る大きな室内でシャワー状に供給し、反応後の溶液を排
水処理設備内で排水基準値以下に調整した後、放流する
ものなどがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の技術で述べたも
のにあっては、下記のような問題点を有していた。 Ａ．ハニカム状成型品による排ガス処理方法において
は、塩化水素ガスの吸収が進むにつれて形状が崩れ、多
数の小片や粉末になる。これにより、ダクト内の排ガス
流動抵抗が増し、焼却炉の安定燃焼を妨げるばかりでな
く、投入口の扉の隙間などから有害物質を含む排ガスを
吹き返すという解決されるべき課題がある。 Ｂ．多数の球状成型品を用いる従来技術の方法において
も、高温多湿のもとで球状成型品が溶融状に形が崩れ、
排ガス流動抵抗が増すと云う同様の課題がある。 Ｃ．これら二つの排ガス処理方法においては、固体の有
害物質吸収体であるために、表面の化学反応層ができた
後は、内部に未反応の吸収剤が残っていても吸収効率は
低下する。 Ｄ．また、どちらの排ガス処理用成型品も高価である。
本願は、従来の技術の有するこのような問題点に鑑みな
されたものであり、その目的とするところは、次のよう
なことのできるものを提供しようとするものである。本
発明は、排ガス流動抵抗を経時的に増すことなく、焼却
炉の安定燃焼を維持し、排ガス中の有害物質の除去効率
を高め、しかも、安価に排ガス処理ができる方法及び装
置を提供することを目的とする。
のにあっては、下記のような問題点を有していた。 Ａ．ハニカム状成型品による排ガス処理方法において
は、塩化水素ガスの吸収が進むにつれて形状が崩れ、多
数の小片や粉末になる。これにより、ダクト内の排ガス
流動抵抗が増し、焼却炉の安定燃焼を妨げるばかりでな
く、投入口の扉の隙間などから有害物質を含む排ガスを
吹き返すという解決されるべき課題がある。 Ｂ．多数の球状成型品を用いる従来技術の方法において
も、高温多湿のもとで球状成型品が溶融状に形が崩れ、
排ガス流動抵抗が増すと云う同様の課題がある。 Ｃ．これら二つの排ガス処理方法においては、固体の有
害物質吸収体であるために、表面の化学反応層ができた
後は、内部に未反応の吸収剤が残っていても吸収効率は
低下する。 Ｄ．また、どちらの排ガス処理用成型品も高価である。
本願は、従来の技術の有するこのような問題点に鑑みな
されたものであり、その目的とするところは、次のよう
なことのできるものを提供しようとするものである。本
発明は、排ガス流動抵抗を経時的に増すことなく、焼却
炉の安定燃焼を維持し、排ガス中の有害物質の除去効率
を高め、しかも、安価に排ガス処理ができる方法及び装
置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は下記のようになるものである。本発明の排
ガス処理方法は、廃棄物の焼却時に発生する排ガス中の
有害物質を、排ガス通過経路内で複数の突起を有する回
転式突起物を動作させ、当該回転式突起物における突起
の表面に付着させた薬剤で反応、吸収させるよう構成さ
れている。また、本発明の排ガス処理装置は、廃棄物焼
却炉の排ガス用ダクトの一部に、排ガス中の有害物質と
反応し、これを除去する薬剤を貯留する薬剤貯留槽を設
け、この薬剤貯留槽と排ガス通過経路の間には複数の突
起を有する回転式突起物を配設し、当該回転式突起物の
動作により、回転式突起物の突起の表面に付着させた排
ガス中の有害物質と反応し、これを除去する薬剤で有害
物質を吸収して排ガスの処理を行うよう構成されてい
る。なお、回転式突起物を下記のように構成することが
できる。 Ａ．丸棒の外周に回転ブラシのように放射状に多数取付
けられている線材から構成する。 Ｂ．丸棒の外周に扇型の板材を多数配置して構成する。 Ｃ．丸棒の外周に格子状の突起を多数取付けて構成す
る。
に、本発明は下記のようになるものである。本発明の排
ガス処理方法は、廃棄物の焼却時に発生する排ガス中の
有害物質を、排ガス通過経路内で複数の突起を有する回
転式突起物を動作させ、当該回転式突起物における突起
の表面に付着させた薬剤で反応、吸収させるよう構成さ
れている。また、本発明の排ガス処理装置は、廃棄物焼
却炉の排ガス用ダクトの一部に、排ガス中の有害物質と
反応し、これを除去する薬剤を貯留する薬剤貯留槽を設
け、この薬剤貯留槽と排ガス通過経路の間には複数の突
起を有する回転式突起物を配設し、当該回転式突起物の
動作により、回転式突起物の突起の表面に付着させた排
ガス中の有害物質と反応し、これを除去する薬剤で有害
物質を吸収して排ガスの処理を行うよう構成されてい
る。なお、回転式突起物を下記のように構成することが
できる。 Ａ．丸棒の外周に回転ブラシのように放射状に多数取付
けられている線材から構成する。 Ｂ．丸棒の外周に扇型の板材を多数配置して構成する。 Ｃ．丸棒の外周に格子状の突起を多数取付けて構成す
る。
【０００５】作用は下記の通りである。 Ａ．本発明の方法によれば、薬剤貯留槽と排ガス通過経
路の間で表面に薬剤を付着させて動く形状一定の突起を
使用しているため、経時的に排ガス通過経路の断面積を
減らしての排ガス流動抵抗が増すことを防ぐ。 Ｂ．本発明の装置によれば、突起の表面に付着し有害物
質と反応した後の薬剤は、薬剤貯留槽で新しい薬剤に洗
われて、再び排ガス通過経路に出る時には常に新しい薬
剤を表面に保持する。これにより、有害物質の除去効率
は高い水準に維持される。また、更に排ガス処理用の薬
剤は、薬剤貯留槽の中に適当量の水と共に投入するだけ
で回転式突起物により撹拌されて均一な液体となり、従
来技術のものに比べ、極めて安価なものとなる。
路の間で表面に薬剤を付着させて動く形状一定の突起を
使用しているため、経時的に排ガス通過経路の断面積を
減らしての排ガス流動抵抗が増すことを防ぐ。 Ｂ．本発明の装置によれば、突起の表面に付着し有害物
質と反応した後の薬剤は、薬剤貯留槽で新しい薬剤に洗
われて、再び排ガス通過経路に出る時には常に新しい薬
剤を表面に保持する。これにより、有害物質の除去効率
は高い水準に維持される。また、更に排ガス処理用の薬
剤は、薬剤貯留槽の中に適当量の水と共に投入するだけ
で回転式突起物により撹拌されて均一な液体となり、従
来技術のものに比べ、極めて安価なものとなる。
【０００６】
【発明の実施の形態】発明の実施の形態を実施例に基づ
き図面を参照して説明する。第１発明は下記の通りであ
る。本発明の排ガス処理方法は、廃棄物の焼却時に発生
する排ガス中の有害物質を、排ガス通過経路内で複数の
突起を有する回転式突起物を動作させ、当該回転式突起
物における突起の表面に付着させた薬剤で反応、吸収さ
せるよう構成されている。
き図面を参照して説明する。第１発明は下記の通りであ
る。本発明の排ガス処理方法は、廃棄物の焼却時に発生
する排ガス中の有害物質を、排ガス通過経路内で複数の
突起を有する回転式突起物を動作させ、当該回転式突起
物における突起の表面に付着させた薬剤で反応、吸収さ
せるよう構成されている。
【０００７】図面に基づき第２発明の排ガス処理装置１
について詳細に説明する。排ガス処理装置１は、廃棄物
焼却の後行程に取付けられ、吸気用排ガス用ダクト２と
排気用排ガス用ダクト３の間に配置されている。排ガス
は図１，図２を参照して左から右に向かって流れる。図
中、２Ａ，３Ａはダクト接続金具である。排ガス処理装
置１は、排ガス中の有害物質と反応し、これを除去する
薬剤を貯留する薬剤貯留槽１Ａと、この薬剤貯留槽の上
面に設けられた排ガス処理室１Ｂと、薬剤貯留槽と排ガ
ス処理室で囲まれた内部に配設された回転式突起物１Ｃ
から構成されている。回転式突起物１Ｃは、排ガスの流
れる方向とは直交する方向をもって回転自在に支持され
た丸棒１Ｃ１と、丸棒の外周に回転ブラシのように放射
状に多数取付けられている線材１Ｃ２から構成されてい
る。なお、回転式突起物１Ｃはステンレス鋼製である。
薬剤貯留槽１Ａの四隅は昇降ガイド１Ａ１で支持され、
薬剤貯留槽の下面中央には薬剤貯留槽昇降ジャッキ１Ａ
２が設けられている。このため、薬剤貯留槽１Ａは薬剤
貯留槽昇降ジャッキにより、薬剤の交換、補給時に昇降
可能に構成されている。丸棒１Ｃ１はチェーン４を介し
て変速機付モータ５により駆動されるが、その回転数は
１分間当たり２０〜５０回転とした。薬剤貯留槽１Ａに
は除去すべき有害物質が塩化水素の場合、粉粒の水酸化
カルシウムと水を入れる。水酸化カルシウムと水の重量
比率は１対２とした。また、薬剤貯留槽１Ａ内の水分は
排ガスが持つ熱により蒸発するため、補給水槽６とボー
ルタップ（液面検知自動給水栓）７、補給水用ホース８
により液面が一定となるよう自動的に給水する。Ｗは薬
液である。焼却炉において塩化ビニルを紙屑などと混ぜ
て焼却し、本発明の排ガス処理装置を通過する前の塩化
水素濃度が９１０ｐｐｍであり、この装置を通過した後
は８９ｐｐｍという値を得、除去率９０％であることを
確認した。
について詳細に説明する。排ガス処理装置１は、廃棄物
焼却の後行程に取付けられ、吸気用排ガス用ダクト２と
排気用排ガス用ダクト３の間に配置されている。排ガス
は図１，図２を参照して左から右に向かって流れる。図
中、２Ａ，３Ａはダクト接続金具である。排ガス処理装
置１は、排ガス中の有害物質と反応し、これを除去する
薬剤を貯留する薬剤貯留槽１Ａと、この薬剤貯留槽の上
面に設けられた排ガス処理室１Ｂと、薬剤貯留槽と排ガ
ス処理室で囲まれた内部に配設された回転式突起物１Ｃ
から構成されている。回転式突起物１Ｃは、排ガスの流
れる方向とは直交する方向をもって回転自在に支持され
た丸棒１Ｃ１と、丸棒の外周に回転ブラシのように放射
状に多数取付けられている線材１Ｃ２から構成されてい
る。なお、回転式突起物１Ｃはステンレス鋼製である。
薬剤貯留槽１Ａの四隅は昇降ガイド１Ａ１で支持され、
薬剤貯留槽の下面中央には薬剤貯留槽昇降ジャッキ１Ａ
２が設けられている。このため、薬剤貯留槽１Ａは薬剤
貯留槽昇降ジャッキにより、薬剤の交換、補給時に昇降
可能に構成されている。丸棒１Ｃ１はチェーン４を介し
て変速機付モータ５により駆動されるが、その回転数は
１分間当たり２０〜５０回転とした。薬剤貯留槽１Ａに
は除去すべき有害物質が塩化水素の場合、粉粒の水酸化
カルシウムと水を入れる。水酸化カルシウムと水の重量
比率は１対２とした。また、薬剤貯留槽１Ａ内の水分は
排ガスが持つ熱により蒸発するため、補給水槽６とボー
ルタップ（液面検知自動給水栓）７、補給水用ホース８
により液面が一定となるよう自動的に給水する。Ｗは薬
液である。焼却炉において塩化ビニルを紙屑などと混ぜ
て焼却し、本発明の排ガス処理装置を通過する前の塩化
水素濃度が９１０ｐｐｍであり、この装置を通過した後
は８９ｐｐｍという値を得、除去率９０％であることを
確認した。
【０００８】
【実施例】丸棒の外周に線材が取付けられている回転式
突起物１Ｃの代わりに、図５に示す扇型の板材１Ｄ１を
多数配置した回転式突起物１Ｄ、図６に示す格子状の突
起１Ｅ１を多数取付けた回転式突起物１Ｅも実施可能で
ある。
突起物１Ｃの代わりに、図５に示す扇型の板材１Ｄ１を
多数配置した回転式突起物１Ｄ、図６に示す格子状の突
起１Ｅ１を多数取付けた回転式突起物１Ｅも実施可能で
ある。
【０００９】
【発明の効果】本発明は、上述の通り構成されているの
で次に記載する効果を奏する。 Ａ．本発明の方法によれば、薬剤貯留槽と排ガス通過経
路の間で表面に薬剤を付着させて動く形状一定の突起を
使用しているため、経時的に通過経路の断面積を増して
の排ガス流動抵抗が増すことを防ぐことができ、焼却炉
内の燃焼を安定させることができる。 Ｂ．本発明の装置によれば、突起の表面に付着し有害物
質と反応した後の薬剤は、薬剤貯留槽で新しい薬剤に洗
われて、再び排ガス通過経路に出る時には、常に新しい
薬剤を表面に保持するため、有害物質の除去効率は高い
水準に維持できる。 Ｃ．この薬剤貯蔵槽で新しい薬剤に洗われているという
ことは、突起表面への乾燥薬剤の大きな塊状付着物の生
成を抑え、前述の排ガス流動抵抗が増すことを防止す
る。 Ｄ．有害物質の吸収剤は従来技術のような成型などの行
程が必要ないので、排ガス処理装置の運転時のランニン
グコストを抑えることができる。このランニングコスト
では、排ガス中に消石灰（水酸化カルシウム）の粉末を
噴霧し、濾布式集塵機でこれを回収する乾式法や大型の
排水処理設備が必要な湿式法に比べると、さらに大きな
差を生じ安価にできる。 Ｅ．本発明の装置の構成要素の一つである薬剤貯留槽内
には薬剤とともに水も供給可能であるが、この場合には
排ガスの持つ熱からの装置の保護も図られる。
で次に記載する効果を奏する。 Ａ．本発明の方法によれば、薬剤貯留槽と排ガス通過経
路の間で表面に薬剤を付着させて動く形状一定の突起を
使用しているため、経時的に通過経路の断面積を増して
の排ガス流動抵抗が増すことを防ぐことができ、焼却炉
内の燃焼を安定させることができる。 Ｂ．本発明の装置によれば、突起の表面に付着し有害物
質と反応した後の薬剤は、薬剤貯留槽で新しい薬剤に洗
われて、再び排ガス通過経路に出る時には、常に新しい
薬剤を表面に保持するため、有害物質の除去効率は高い
水準に維持できる。 Ｃ．この薬剤貯蔵槽で新しい薬剤に洗われているという
ことは、突起表面への乾燥薬剤の大きな塊状付着物の生
成を抑え、前述の排ガス流動抵抗が増すことを防止す
る。 Ｄ．有害物質の吸収剤は従来技術のような成型などの行
程が必要ないので、排ガス処理装置の運転時のランニン
グコストを抑えることができる。このランニングコスト
では、排ガス中に消石灰（水酸化カルシウム）の粉末を
噴霧し、濾布式集塵機でこれを回収する乾式法や大型の
排水処理設備が必要な湿式法に比べると、さらに大きな
差を生じ安価にできる。 Ｅ．本発明の装置の構成要素の一つである薬剤貯留槽内
には薬剤とともに水も供給可能であるが、この場合には
排ガスの持つ熱からの装置の保護も図られる。
【図１】排ガス処理装置の１部を切欠いた正面図であ
る。
る。
【図２】排ガス処理装置の平面図である。
【図３】回転式突起物の斜視図である。
【図４】回転式突起物の他の実施例の斜視図である。
【図５】回転式突起物の他の実施例の斜視図である。
【図６】回転式突起物の他の実施例の斜視図である。
１ 排ガス処理装置 １Ａ 薬剤貯留槽 １Ａ１ 昇降ガイド １Ａ２ 薬剤貯留槽昇降ジャッキ １Ｂ 排ガス処理室 １Ｃ 回転式突起物 ２ 吸気用排ガス用ダクト ３ 排気用排ガス用ダクト ４ チェーン ５ 変速機付モータ ６ 補給水槽 ７ ボールタップ ８ 補給水用ホース
Claims (4)
- 【請求項１】 廃棄物の焼却時に発生する排ガス中の有
害物質を、排ガス通過経路内で複数の突起を有する回転
式突起物を動作させ、当該回転式突起物における突起の
表面に付着させた薬剤で反応、吸収させるよう構成され
ていることを特徴とする排ガス処理方法。 - 【請求項２】 廃棄物焼却炉の排ガス用ダクトの一部
に、排ガス中の有害物質と反応し、これを除去する薬剤
を貯留する薬剤貯留槽を設け、この薬剤貯留槽と排ガス
通過経路の間には複数の突起を有する回転式突起物を配
設し、当該回転式突起物の動作により、回転式突起物の
突起の表面に付着させた排ガス中の有害物質と反応し、
これを除去する薬剤で有害物質を吸収して排ガスの処理
を行うよう構成されていることを特徴とする排ガス処理
装置。 - 【請求項３】 回転式突起物が、丸棒の外周に回転ブラ
シのように放射状に多数取付けられている線材から構成
されている請求項２記載の排ガス処理装置。 - 【請求項４】 回転式突起物が、丸棒の外周に扇型の板
材を多数配置して構成されているか、あるいは丸棒の外
周に格子状の突起を多数取付けて構成されているかのい
ずれかである請求項２記載の排ガス処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8118490A JPH09276644A (ja) | 1996-04-15 | 1996-04-15 | 排ガス処理方法及び排ガス処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8118490A JPH09276644A (ja) | 1996-04-15 | 1996-04-15 | 排ガス処理方法及び排ガス処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09276644A true JPH09276644A (ja) | 1997-10-28 |
Family
ID=14737968
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8118490A Pending JPH09276644A (ja) | 1996-04-15 | 1996-04-15 | 排ガス処理方法及び排ガス処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09276644A (ja) |
-
1996
- 1996-04-15 JP JP8118490A patent/JPH09276644A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4102547B2 (ja) | 排ガス処理装置 | |
| EP1827652A2 (en) | Wet type air cleaner | |
| CN111918710A (zh) | 具有水粒子碰撞扩散结构的湿法集尘空气净化装置 | |
| JPH06277431A (ja) | 気体の吸引濾過装置 | |
| KR19980701230A (ko) | 폐기가스 세정기(Scrubber for Waste Gases) | |
| JP3893023B2 (ja) | 半導体製造排ガスの処理方法及び装置 | |
| US6521027B1 (en) | Air cleaner | |
| JP2000140546A (ja) | 粉塵含有排ガス処理装置及び粉塵含有排ガス処理方法 | |
| CN104645752B (zh) | 一种负压抽风水洗式空气净化设备 | |
| CN212999273U (zh) | 一种废气处理装置 | |
| CN210845777U (zh) | 一种用于化工废气过滤安全处理装置 | |
| JPH09276644A (ja) | 排ガス処理方法及び排ガス処理装置 | |
| CN107899388A (zh) | 一种含氟废气处理工艺 | |
| CN214862248U (zh) | 一种超重力废气分离净化装置 | |
| JP3563758B2 (ja) | 塩素含有ガスの処理方法 | |
| JPH09210341A (ja) | 排ガス処理装置及びそのための排ガス洗浄装置 | |
| CN214390082U (zh) | 空气再生系统 | |
| CN214862465U (zh) | 空气再生系统及其二氧化碳吸收器 | |
| JPS6362527A (ja) | 汚染ガスの洗浄装置 | |
| JPH10323533A (ja) | 排気ガス処理装置及び排気ガス処理設備 | |
| JP2001149750A (ja) | ダイオキシン類含有排ガス並びに飛灰の処理方法及びその装置 | |
| JPH09276649A (ja) | 排ガス処理装置 | |
| JP3635532B2 (ja) | 湿式清浄装置 | |
| JPH0866610A (ja) | 気体の吸引式濾過装置 | |
| JP2002361044A (ja) | 排ガスおよび薬液の処理方法 |