JPH09271729A - 洗浄方法 - Google Patents
洗浄方法Info
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- JPH09271729A JPH09271729A JP8108692A JP10869296A JPH09271729A JP H09271729 A JPH09271729 A JP H09271729A JP 8108692 A JP8108692 A JP 8108692A JP 10869296 A JP10869296 A JP 10869296A JP H09271729 A JPH09271729 A JP H09271729A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】洗浄液を介しての被洗浄物に対する洗浄を確実
に設計通りのミクロン単位，サブミクロン単位まで行う
ようにする。 【解決手段】洗浄槽３内の洗浄液６中に篭５内に収納セ
ットされた被洗浄物のワーク４に対する超音波照射を行
ってキャビテーション作用を付与する。振動子８を底部
のみならず、側部にも配設し、当該ワーク４の全表面に
対し超音波のキャビテーション作用を付与する。 【効果】洗浄液による洗浄作用に加えて超音波によるキ
ャビテーション作用が隈なく行われてミクロン単位，サ
ブミクロン単位の超精密洗浄が設計通りに行え、製品精
度に対する信頼が高まり、製品の機能維持が確実に図ら
れ、作業能率と低コスト化が促進される。
に設計通りのミクロン単位，サブミクロン単位まで行う
ようにする。 【解決手段】洗浄槽３内の洗浄液６中に篭５内に収納セ
ットされた被洗浄物のワーク４に対する超音波照射を行
ってキャビテーション作用を付与する。振動子８を底部
のみならず、側部にも配設し、当該ワーク４の全表面に
対し超音波のキャビテーション作用を付与する。 【効果】洗浄液による洗浄作用に加えて超音波によるキ
ャビテーション作用が隈なく行われてミクロン単位，サ
ブミクロン単位の超精密洗浄が設計通りに行え、製品精
度に対する信頼が高まり、製品の機能維持が確実に図ら
れ、作業能率と低コスト化が促進される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】開示技術は、機械装置や治具等の
精密加工された部品の精密洗浄を行う技術分野に属す
る。
精密加工された部品の精密洗浄を行う技術分野に属す
る。
【０００２】
【従来の技術】各種装置，治具類は高度に開発された機
能を全うするに、複数部品から組立てられている態様が
ほとんどであり、したがって、これらの装置治具類が目
的を確実に達成するためには、各部品の機能を果すため
の精密な形状や機構が極めて重要であり、したがって、
当該機構や形状にかかわる加工は勿論のこと、加工後の
部品の組付け時における清浄度がミクロン単位は言うに
及ばず、サブミクロン単位にまで及ぶ高精密度が厳しく
要求されている。
能を全うするに、複数部品から組立てられている態様が
ほとんどであり、したがって、これらの装置治具類が目
的を確実に達成するためには、各部品の機能を果すため
の精密な形状や機構が極めて重要であり、したがって、
当該機構や形状にかかわる加工は勿論のこと、加工後の
部品の組付け時における清浄度がミクロン単位は言うに
及ばず、サブミクロン単位にまで及ぶ高精密度が厳しく
要求されている。
【０００３】そのため、所定の精密加工後のワークに対
する自動式の精密洗浄手段としては図４に示す様に、洗
浄槽３に対する被洗浄物のワーク４を篭５に所定姿勢で
収納セットし、縦方向に仕切壁を介した洗浄槽（イ），
（ロ），（ハ），（ニ），（ホ），（ヘ）において複数
段の多槽式に形成し、洗浄液としての有機溶剤や界面活
性剤６に対し、所定の搬出入手段で順次浸漬状態にして
（イ）〜（ニ）に対し可搬式に洗浄作用を付与し、最終
段階の（ホ）の仕上げ洗浄槽で市水や純水等の仕上げ水
７により仕上げ洗浄を行い、（ヘ）の乾燥工程にて熱風
乾燥して次段の組付工程等へと搬出していくようにされ
ている。
する自動式の精密洗浄手段としては図４に示す様に、洗
浄槽３に対する被洗浄物のワーク４を篭５に所定姿勢で
収納セットし、縦方向に仕切壁を介した洗浄槽（イ），
（ロ），（ハ），（ニ），（ホ），（ヘ）において複数
段の多槽式に形成し、洗浄液としての有機溶剤や界面活
性剤６に対し、所定の搬出入手段で順次浸漬状態にして
（イ）〜（ニ）に対し可搬式に洗浄作用を付与し、最終
段階の（ホ）の仕上げ洗浄槽で市水や純水等の仕上げ水
７により仕上げ洗浄を行い、（ヘ）の乾燥工程にて熱風
乾燥して次段の組付工程等へと搬出していくようにされ
ている。
【０００４】ところが、近時当該有機溶剤や界面活性剤
の洗浄液６による洗浄に加えてミクロン単位からサブミ
クロン単位の超精密洗浄を行うべく当該洗浄槽３の底部
に超音波振動子８，８…を配設し、発振装置９に電気的
に接続して超音波振動子８を所定周波数で発振させて被
洗浄物のワーク４に対し超音波を照射してキャビテーシ
ョン作用を付与し、所定の超精密洗浄を行うようにして
いる。
の洗浄液６による洗浄に加えてミクロン単位からサブミ
クロン単位の超精密洗浄を行うべく当該洗浄槽３の底部
に超音波振動子８，８…を配設し、発振装置９に電気的
に接続して超音波振動子８を所定周波数で発振させて被
洗浄物のワーク４に対し超音波を照射してキャビテーシ
ョン作用を付与し、所定の超精密洗浄を行うようにして
いる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
在来態様の洗浄方法によれば、各洗浄槽に於ける洗浄液
６に加えて超音波洗浄を行って精密洗浄を行うようには
しているが、該洗浄液６による洗浄処理に加えて該洗浄
液６による洗浄処理を高精密にする超音波による被洗浄
物のワーク４に対するキャビテーション付与は洗浄槽３
の底部にのみ設けられているために、篭５に収納されて
洗浄液６中に浸漬されているワーク４の当該セット姿勢
における底部にのみ超音波洗浄作用が行われるために、
セットされているワーク４の側面や上部に於ては隈なく
超精密洗浄が及ばない場合があり、特に、該ワーク４の
表面に複数の小径孔や小径穴等の凹部が穿設して形成さ
れているようなワーク４にあっては、当該小径孔、又
は、小径穴等の凹部、内部には精密洗浄が及ばないとい
う欠点があり、洗浄後の仕上げ検査において洗浄の程度
が不充分である場合には、再度洗浄工程を辿らざるを得
ないという煩瑣な工程が必要とされる難点があり、結果
的に製品精度に充分な信頼性が得られないという難点が
あった。
在来態様の洗浄方法によれば、各洗浄槽に於ける洗浄液
６に加えて超音波洗浄を行って精密洗浄を行うようには
しているが、該洗浄液６による洗浄処理に加えて該洗浄
液６による洗浄処理を高精密にする超音波による被洗浄
物のワーク４に対するキャビテーション付与は洗浄槽３
の底部にのみ設けられているために、篭５に収納されて
洗浄液６中に浸漬されているワーク４の当該セット姿勢
における底部にのみ超音波洗浄作用が行われるために、
セットされているワーク４の側面や上部に於ては隈なく
超精密洗浄が及ばない場合があり、特に、該ワーク４の
表面に複数の小径孔や小径穴等の凹部が穿設して形成さ
れているようなワーク４にあっては、当該小径孔、又
は、小径穴等の凹部、内部には精密洗浄が及ばないとい
う欠点があり、洗浄後の仕上げ検査において洗浄の程度
が不充分である場合には、再度洗浄工程を辿らざるを得
ないという煩瑣な工程が必要とされる難点があり、結果
的に製品精度に充分な信頼性が得られないという難点が
あった。
【０００６】そして、結果的には製品歩留りの低下やコ
スト高を招くという不利点もあった。
スト高を招くという不利点もあった。
【０００７】
【発明の目的】この出願の発明の目的は上述従来技術に
基づく超音波洗浄を含む洗浄の不充分さを有する問題点
を解決すべき技術的課題とし、洗浄液中に於ける超音波
付与を介してのキャビテーション作用によるミクロン単
位，サブミクロン単位の超精密洗浄がワークの側部や上
部等の全ての表面に隈なく行き渡って行われるようにし
て機械製造産業における洗浄技術利用分野に益する優れ
た洗浄方法を提供せんとするものである。
基づく超音波洗浄を含む洗浄の不充分さを有する問題点
を解決すべき技術的課題とし、洗浄液中に於ける超音波
付与を介してのキャビテーション作用によるミクロン単
位，サブミクロン単位の超精密洗浄がワークの側部や上
部等の全ての表面に隈なく行き渡って行われるようにし
て機械製造産業における洗浄技術利用分野に益する優れ
た洗浄方法を提供せんとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上述目的に沿い先述特許
請求の範囲を要旨とするこの出願の発明の構成は、前述
課題を解決するために、前段における所定の精密加工が
行われた金属製品等のワークを洗浄装置により洗浄処理
を行うに際し、複段の、即ち、多槽式の洗浄槽の各洗浄
槽に被洗浄物としてのワークを相互に整列状態にして篭
内に収納セットする等し、各洗浄槽に於ては底部のみな
らず、側部にも超音波振動子を配設して発振装置に電気
的に接続し、超音波を所定に発振し、ワークにキャビテ
ーション作用を付与して洗浄液による洗浄と共動してミ
クロン単位，サブミクロン単位の超精密洗浄が当該ワー
クの全表面に隈なく行われ、この際、当該ワークが小径
の孔、又は、小径の穴等の凹部を有するような態様であ
っても、当該凹部の内部にも確実に洗浄作用が及び、該
ワークの全表面に隈なく確実に設計通りの超精密洗浄が
行われ、次いで、市水による仕上げ洗浄を介し乾燥工程
により熱風乾燥処理を介して製品として次段の組付工程
等へ搬出されるようにし、確実な洗浄工程を辿ることに
より再洗浄等が行われず、作業能率も良く、低コスト化
が出来、製品歩留りも向上するようにした技術的手段を
講じたものである。
請求の範囲を要旨とするこの出願の発明の構成は、前述
課題を解決するために、前段における所定の精密加工が
行われた金属製品等のワークを洗浄装置により洗浄処理
を行うに際し、複段の、即ち、多槽式の洗浄槽の各洗浄
槽に被洗浄物としてのワークを相互に整列状態にして篭
内に収納セットする等し、各洗浄槽に於ては底部のみな
らず、側部にも超音波振動子を配設して発振装置に電気
的に接続し、超音波を所定に発振し、ワークにキャビテ
ーション作用を付与して洗浄液による洗浄と共動してミ
クロン単位，サブミクロン単位の超精密洗浄が当該ワー
クの全表面に隈なく行われ、この際、当該ワークが小径
の孔、又は、小径の穴等の凹部を有するような態様であ
っても、当該凹部の内部にも確実に洗浄作用が及び、該
ワークの全表面に隈なく確実に設計通りの超精密洗浄が
行われ、次いで、市水による仕上げ洗浄を介し乾燥工程
により熱風乾燥処理を介して製品として次段の組付工程
等へ搬出されるようにし、確実な洗浄工程を辿ることに
より再洗浄等が行われず、作業能率も良く、低コスト化
が出来、製品歩留りも向上するようにした技術的手段を
講じたものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】次に、この出願の発明の実施の態
様を図面に従って説明すれば以下の通りである。
様を図面に従って説明すれば以下の通りである。
【００１０】図１，図２に示す形態において被洗浄物と
してのワーク４は金属製の機械部品であって、角状の長
方形のものを網製の篭５内に縦方向に整列状態で収納セ
ットし、図４に示す一般態様の洗浄槽３の各洗浄工程
（イ），（ロ），（ハ），（ニ）の順に所定に搬出入さ
れて所定の超精密洗浄に供される態様であり、当該形態
にあっては各洗浄槽３の底部、及び、両側部、及び、前
後方向の所定部位に超音波振動子８，８，８が所定に配
設され、発振装置９に電気的に接続されている。
してのワーク４は金属製の機械部品であって、角状の長
方形のものを網製の篭５内に縦方向に整列状態で収納セ
ットし、図４に示す一般態様の洗浄槽３の各洗浄工程
（イ），（ロ），（ハ），（ニ）の順に所定に搬出入さ
れて所定の超精密洗浄に供される態様であり、当該形態
にあっては各洗浄槽３の底部、及び、両側部、及び、前
後方向の所定部位に超音波振動子８，８，８が所定に配
設され、発振装置９に電気的に接続されている。
【００１１】そして、ワーク４は篭５内に収納セット整
列された状態で各洗浄槽３内にて洗浄液６の有機溶剤や
界面活性剤により所定に洗浄作用を受け、前段の加工工
程において付着している切粉等の塵埃やオイルミスト等
を除去されると共に、超音波振動子８によるキャビテー
ション作用を付与されてより精密なミクロン単位，サブ
ミクロン単位の精密洗浄作用を受ける。
列された状態で各洗浄槽３内にて洗浄液６の有機溶剤や
界面活性剤により所定に洗浄作用を受け、前段の加工工
程において付着している切粉等の塵埃やオイルミスト等
を除去されると共に、超音波振動子８によるキャビテー
ション作用を付与されてより精密なミクロン単位，サブ
ミクロン単位の精密洗浄作用を受ける。
【００１２】この際、洗浄槽３のサイズによっては超音
波の共振周波数を変えてキャビテーションがより強力に
なるようにすることが可能であり、又、照射する超音波
のパワーも可変に調整することも自在である。
波の共振周波数を変えてキャビテーションがより強力に
なるようにすることが可能であり、又、照射する超音波
のパワーも可変に調整することも自在である。
【００１３】尚、当該形態において、前後方向の超音波
振動子８，８については配設する洗浄槽３へのワーク４
を収納セットした篭５の搬出入に支障がある場合には干
渉しないように適宜の昇降装置を付与したり、設計によ
っては省略することも出来る。
振動子８，８については配設する洗浄槽３へのワーク４
を収納セットした篭５の搬出入に支障がある場合には干
渉しないように適宜の昇降装置を付与したり、設計によ
っては省略することも出来る。
【００１４】そして、ワーク４を収納セットした篭５に
対する超音波振動子８，８，８…の配設数についてはそ
の全側面に対して配設したり、両側面のみに配設した
り、場合によっては、上方に配設するようにすることも
可能であるが、当業者にとりそのようなことは単なる設
計の範囲に過ぎないものである。
対する超音波振動子８，８，８…の配設数についてはそ
の全側面に対して配設したり、両側面のみに配設した
り、場合によっては、上方に配設するようにすることも
可能であるが、当業者にとりそのようなことは単なる設
計の範囲に過ぎないものである。
【００１５】この場合、超音波振動子８の配設数は篭５
内に於けるワーク４の整列状態のセット姿勢により、い
ずれの超音波振動子８からの超音波の照射がより効果的
なキャビテーション作用を付与出来るかを実験やサンプ
ル等により、極めて効果的な配設態様にするようにする
ことが可能であり、このことについては超音波の共振周
波数やパワーの可変調整についても同様である。
内に於けるワーク４の整列状態のセット姿勢により、い
ずれの超音波振動子８からの超音波の照射がより効果的
なキャビテーション作用を付与出来るかを実験やサンプ
ル等により、極めて効果的な配設態様にするようにする
ことが可能であり、このことについては超音波の共振周
波数やパワーの可変調整についても同様である。
【００１６】又、図３に示す形態においては被洗浄物と
してのワーク４' がその両表面間に小径孔１０，１０…
が凹部として多数穿設形成されている態様であり、当該
形態にあっては図１，図２に示す様に、篭５内に長手方
向が高さ方向に一致する、即ち、縦方向に相互に整列状
態で収納セットし、洗浄に供するようにすると、当該小
径孔１０の内部にも確実に精密洗浄が及び、当該ワーク
４' の全表面に対する精密洗浄が効果的に行われるもの
である。
してのワーク４' がその両表面間に小径孔１０，１０…
が凹部として多数穿設形成されている態様であり、当該
形態にあっては図１，図２に示す様に、篭５内に長手方
向が高さ方向に一致する、即ち、縦方向に相互に整列状
態で収納セットし、洗浄に供するようにすると、当該小
径孔１０の内部にも確実に精密洗浄が及び、当該ワーク
４' の全表面に対する精密洗浄が効果的に行われるもの
である。
【００１７】尚、当該形態において小径孔１０は小径穴
であることは均等物である。
であることは均等物である。
【００１８】
【発明の効果】以上、この出願の発明によれば、基本的
に金属製品等の被洗浄物のワークの自動洗浄を行うに際
し、多槽式の複段の洗浄槽に洗浄液の有機溶剤や界面活
性剤による洗浄作用を行うに加えてワークの底部からの
みならず、側部からも超音波を該ワークに照射してその
表面にキャビテーション作用を付与することにより洗浄
液中に浸漬状態にあるワークの洗浄が超精密のミクロン
単位，サブミクロン単位まで確実に及び設計通りの高精
度な洗浄が達成出来るという優れた効果が奏される。
に金属製品等の被洗浄物のワークの自動洗浄を行うに際
し、多槽式の複段の洗浄槽に洗浄液の有機溶剤や界面活
性剤による洗浄作用を行うに加えてワークの底部からの
みならず、側部からも超音波を該ワークに照射してその
表面にキャビテーション作用を付与することにより洗浄
液中に浸漬状態にあるワークの洗浄が超精密のミクロン
単位，サブミクロン単位まで確実に及び設計通りの高精
度な洗浄が達成出来るという優れた効果が奏される。
【００１９】しかも、当該ワークの表面に多数の小径
孔、又は、小径穴等の凹部が形成されているような態様
のワークにあっても超音波のキャビテーション作用が該
各凹部の内部にまで確実に及び、したがって、隈なく平
均した超精密洗浄がなされるという優れた効果が奏され
る。
孔、又は、小径穴等の凹部が形成されているような態様
のワークにあっても超音波のキャビテーション作用が該
各凹部の内部にまで確実に及び、したがって、隈なく平
均した超精密洗浄がなされるという優れた効果が奏され
る。
【００２０】したがって、精密加工がなされた小サイズ
のワークも設計通り超精密洗浄がなされ、設計通りの機
能が維持され、最終製品の機能維持が設計通り図られ、
製品に対する信頼も著しく向上するという効果がある。
のワークも設計通り超精密洗浄がなされ、設計通りの機
能が維持され、最終製品の機能維持が設計通り図られ、
製品に対する信頼も著しく向上するという効果がある。
【００２１】又、ワンパス的に洗浄が行われるために、
再度の洗浄工程等が不要であり、作業能率も良く、低コ
スト化が促進されるという効果もある。
再度の洗浄工程等が不要であり、作業能率も良く、低コ
スト化が促進されるという効果もある。
【図１】この出願の発明の１実施例の概略横断面図であ
る。
る。
【図２】同、概略平断面図である。
【図３】他の実施例のワークの断面図である。
【図４】一般態様の洗浄の概略縦断面図である。
３ 洗浄槽 ６ 洗浄液 ４，４' 被洗浄物 ５ 篭 １０ 凹部（小径の孔，小径の穴） ８ 超音波振動子
Claims (6)
- 【請求項１】洗浄槽内の洗浄液中に被洗浄物を浸漬状態
にして洗浄するに超音波を該被洗浄物に照射しキャビテ
ーション作用を付与して洗浄する方法において、該超音
波を洗浄槽の底部からのみならず、側部からも照射する
ようにすることを特徴とする洗浄方法。 - 【請求項２】上記超音波の照射を被洗浄物の全表面に対
して行うようにすることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の洗浄方法。 - 【請求項３】上記洗浄槽が多槽式の洗浄槽であることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の洗浄方法。 - 【請求項４】上記洗浄液中に浸漬状態にされる被洗浄物
が篭内にて縦方向にセットされていることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の洗浄方法。 - 【請求項５】上記超音波の各振動子からの共振周波数を
変えて付与するようにすることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の洗浄方法。 - 【請求項６】上記超音波の各振動子からパワーを可変に
してキャビテーションを調整するようにすることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の洗浄方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8108692A JPH09271729A (ja) | 1996-04-05 | 1996-04-05 | 洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8108692A JPH09271729A (ja) | 1996-04-05 | 1996-04-05 | 洗浄方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09271729A true JPH09271729A (ja) | 1997-10-21 |
Family
ID=14491234
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8108692A Pending JPH09271729A (ja) | 1996-04-05 | 1996-04-05 | 洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09271729A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006088154A (ja) * | 2004-09-21 | 2006-04-06 | Interuniv Micro Electronica Centrum Vzw | 過渡的なキャビテーションを制御する方法及び装置 |
| JP2006518550A (ja) * | 2003-02-20 | 2006-08-10 | ラム リサーチ コーポレーション | パターン化された基板の超音波洗浄のための方法および装置 |
| JP2009125645A (ja) * | 2007-11-21 | 2009-06-11 | Pre-Tech Co Ltd | 超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法 |
| CN106435603A (zh) * | 2016-07-04 | 2017-02-22 | 中山市高新创世化工科技有限公司 | 一种金属表面处理工艺 |
-
1996
- 1996-04-05 JP JP8108692A patent/JPH09271729A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006518550A (ja) * | 2003-02-20 | 2006-08-10 | ラム リサーチ コーポレーション | パターン化された基板の超音波洗浄のための方法および装置 |
| KR100952087B1 (ko) * | 2003-02-20 | 2010-04-13 | 램 리써치 코포레이션 | 패터닝된 기판의 메가소닉 세정을 위한 방법 및 장치 |
| JP4733012B2 (ja) * | 2003-02-20 | 2011-07-27 | ラム リサーチ コーポレーション | 処理方法及び処理装置 |
| JP2006088154A (ja) * | 2004-09-21 | 2006-04-06 | Interuniv Micro Electronica Centrum Vzw | 過渡的なキャビテーションを制御する方法及び装置 |
| JP2009125645A (ja) * | 2007-11-21 | 2009-06-11 | Pre-Tech Co Ltd | 超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法 |
| CN106435603A (zh) * | 2016-07-04 | 2017-02-22 | 中山市高新创世化工科技有限公司 | 一种金属表面处理工艺 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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