JPH09268063A - セラミックス基繊維複合材料 - Google Patents

セラミックス基繊維複合材料

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JPH09268063A
JPH09268063A JP8077796A JP7779696A JPH09268063A JP H09268063 A JPH09268063 A JP H09268063A JP 8077796 A JP8077796 A JP 8077796A JP 7779696 A JP7779696 A JP 7779696A JP H09268063 A JPH09268063 A JP H09268063A
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Japan
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matrix
composite material
fiber
ceramics
ceramic
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JP8077796A
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Akio Sayano
顕生 佐谷野
Tsuneji Kameda
常治 亀田
Yoshinori Hayakawa
義則 早川
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Toshiba Corp
Toshiba Development and Engineering Corp
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Toshiba Corp
Toshiba Electronic Engineering Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】マトリックス成分と繊維成分との反応が十分に
抑制され、ブリッジングやプルアウト等の複合効果を発
揮でき、しかも作業が容易で、量産に適したものとなる
セラミックス基繊維複合材料を提供する。 【解決手段】反応焼結によって形成されたSiCを主相
とするセラミックスのマトリックス中にセラミックスの
繊維が複合化され、この繊維の表面に、マトリックスと
の結合力を低下させるすべりコート層およびこのすべり
コート層の外側を被覆してSiとの反応を抑制するバリ
ア層がダブルコーティングとして存在するセラミックス
基繊維複合材料である。すべりコート層は実質的にCま
たはBNからなるとともに、バリア層は実質的にTa、
Nb、Ti、ZrまたはHfの中から選ばれる少なくと
も一つの元素の化合物からなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、セラミックス基繊
維複合材料に係り、特に表面にすべりコート層および反
応抑制用のバリア層をダブルコーティングとして有する
繊維を使用して構成されるセラミックス基繊維複合材料
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】一般にセラミックス焼結体は、高温まで
の強度低下が少なく、硬度、電気絶縁性、耐摩耗性、耐
熱性、耐腐食性、軽量性等の点で、従来の金属材料と比
較して優れている。このことからセラミックス焼結体は
重電設備部品、航空機部品、自動車部品、電子機器、精
密機械部品、半導体装置材料などの電子用材料あるいは
構造用材料として広い分野において使用されている。
【0003】しかしながら、セラミックス焼結体は、圧
縮応力に比較して引張り応力に弱く、特にこの引張り応
力下において破壊が一気に進行する、いわゆる脆性とい
う欠点を有している。このため、高信頼性が要求される
部位へのセラミックス部品の適用を可能にするには、セ
ラミックス焼結体の高靭性化や破壊エネルギーの増大を
図ることが強く求められる。
【0004】すなわち、ガスタービン部品、航空機部
品、自動車部品等に使用されるセラミックス構造部品に
は、耐熱性、耐酸化性、高温強度等の特性に加えて高度
の信頼性が要求される。その要求に対応するため、無機
物質や金属からなる繊維、ウィスカー、プレート、粒子
等の複合素材をマトリックス中に分散複合化させて、破
壊靭性値、破壊エネルギー値、耐熱衝撃性等を高めたセ
ラミックス基繊維複合材料の実用化研究が内外の研究機
関等において進められている。
【0005】セラミックス基繊維複合材料の中でも、S
iCをマトリックスとした繊維強化複合材料は、高温構
造材料として注目されている。SiCマトリックスの合
成方法としては、CVI法、プリカーサ法、粉末焼結法
が考えられているが、繊維のプリフォームに溶融金属を
注入して反応焼結を行わせる反応焼結法が量産に適する
ものとして、特に注目されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
なセラミックス基繊維強化複合材料においては、特にマ
トリックスと繊維との間の界面結合力を適正に制御する
ことが極めて重要であり、適正な界面状態にないと、繊
維のブリッジングやプルアウト等の複合効果が発揮され
ない。すなわち繊維とセラミックスとが強固に接合する
と、繊維のブリッジングやプルアウト等の複合効果は発
揮されず、脆性破壊し易くなる。
【0007】その対策として、繊維とマトリックスとの
間に滑りを発現させるすべりコート層を形成することが
有効であることが知られている。しかしながらこのよう
なすべりコート層を形成しただけでは、反応焼結によっ
てマトリックスを形成する際に、コート層がマトリック
ス成分との反応等によって変質、あるいは消失してしま
うという問題があった。
【0008】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、マトリックス成分と繊維成分との反応が十分に
抑制され、ブリッジングやプルアウト等の複合効果を発
揮でき、セラミックス基繊維複合材料を提供することを
目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明者においては、上
記の目的を達成するために、セラミックス基繊維強化複
合材料に使用する繊維に対し、さまざまな種類のコーテ
ィング層を施し、そのコーティング相が繊維強化複合材
料に及ぼす影響について検討した。その結果、繊維の表
面に滑りを発現させるためのコート層を形成し、さらに
その外側にコート層とマトリックス層との反応を抑制す
るバリア層として金属化合物層、特に酸化物層を形成し
た場合、大きな破壊靭性を示す複合材料が得られるとい
う知見を得た。
【0010】すなわち、請求項1の発明では、反応焼結
によって形成されたSiCを主相とするセラミックスの
マトリックス中にセラミックスの繊維が複合化され、こ
の繊維の表面に、前記マトリックスとの結合力を低下さ
せるすべりコート層およびこのすべりコート層の外側を
被覆してSiとの反応を抑制するバリア層がダブルコー
ティングとして存在するセラミックス基繊維複合材料で
あって、前記すべりコート層は実質的にCまたはBNか
らなるとともに、前記バリア層は実質的にTa、Nb、
Ti、ZrまたはHfの中から選ばれる少なくとも一の
元素の化合物からなることを特徴とするセラミックス基
繊維複合材料を提供する。
【0011】請求項2の発明では、請求項1記載のセラ
ミックス基繊維複合材料において、バリア層を構成する
化合物はTa2 3 、Nb2 5 、TiO2 、ZrO2
またはHfO2 からなる酸化物であることを特徴とする
セラミックス基繊維複合材料を提供する。
【0012】上記セラミックス繊維の表面に形成される
すべりコート層は、複合材料とした場合にマトリックス
とセラミックス繊維とが強固に結合することを防止し、
ブリッジングやプルアウト時の滑りが可能となるように
するために設けられるものである。このすべりコート層
を形成する材料としては、マトリックスと繊維との間に
滑り機能を付与し、かつ焼結温度にも影響を受けず、熱
的に安定な炭素(C)、窒化ほう素(BN)等が使用さ
れる。
【0013】また、反応を抑制するバリア層としては、
Ta,Nb,Ti,ZrまたはHfから選ばれる一つの
要素の化合物が有効であるが、その中でも特にTa2
5 、Nb2 5 ,TiO2 ,ZrO2 ,HfO2 が有効
である。
【0014】上記すべりコート層およびバリア層の形成
方法としては、金属成分を窒素、水素、アルゴンガス等
のキャリアガスとともに移送し、所定の反応温度以上に
加熱されたセラミックス繊維の表面上に分解析出させる
汎用のCVD法(化学蒸着法)法が採用できる。また、
金属成分を繊維表面に被覆する真空蒸着法、スパッタリ
ング法、イオンプレーティング法などのPVD法(物理
蒸着法)で形成してもよい、さらに熱処理後に上記の物
質を形成する有機金属化学物等をデッピング(浸漬)に
より形成する方法も採用できる。
【0015】なお、セラミックス繊維を所定形状に織り
上げて立体的な織物を形成し、その織物の表面にすべり
コート層、およびバリア層を形成することにより、複雑
形状物にも充分対応できる。
【0016】ここで複合材料用繊維を構成するセラミッ
クス繊維は、複合材料とした場合のマトリックスの靭性
を高めるための補強部材であり、その具体例としては、
炭化けい素系繊維(SiC、SiC/C,Si−C−
O、Si−Ti−C−O)、窒化けい素系繊維(Si3
4 、Si3 4 /C)、アルミナ繊維(Al
2 3 )、ジルコニア(ZrO2 )等が挙げられる。こ
の繊維は、複合材料のマトリックスを構成するセラミッ
クス原料粉末に対して65体積%以下の割合で添加する
ことが望ましい。添加量が65体積%を超えると、各繊
維周囲にマトリックスを均一に配置することが困難にな
り、複合材料の強度特性が急激に低下する。なお、特に
好ましい添加量は10〜60体積%の範囲である。
【0017】セラミックス繊維の直径および長さは、複
合材料の強度特性に大きく影響を及ぼすものであり、本
発明では直径が3〜200μmの連続繊維、短繊維等を
使用することができる。直径が3μm未満のセラミック
ス繊維の場合には、マトリックス基地の補強効果が少な
く、また直径が200μmを超える太径の繊維では、繊
維とマトリックスとの熱膨張差による割れの発生や製品
形状対応性が低下する。
【0018】また繊維の長さが100μm未満の場合に
は、クラック進行の抑制効果が少なく靭性の改善効果も
少なくなる。
【0019】上記のように調製した繊維で強化したセラ
ミックス基繊維複合材料は、例えば下記の工程によって
製造される。すなわち、セラミックス原料粉末等を溶媒
中に分散せしめてスラリーを調整し、このスラリーを鋳
込み成形法(常圧成形法、加圧成形法および減圧成形法
を含む)等を使用して、長繊維で成形したプリフォーム
に含浸充填し所定形状の成形体を調製する。上記鋳込み
成形法を使用することにより、最終製品形状に近い、い
わゆるニアネットシェイプの成形体が得られる。
【0020】次に、得られた成形体を、窒素ガスやアル
ゴンガス等の不活性ガス雰囲気中または真空中におい
て、反応焼結法により、温度1400〜2000℃の範
囲で1〜10時間程度焼結して複合焼結体とする。
【0021】さらに詳細に説明すると、SiC微粉末と
Cとの混合物を上記繊維織物中にスリップキャスト法で
含浸せしめて成形体とした後、1400〜2000℃の
温度で溶融Siを成形体中に含浸させ焼結することによ
り、含浸したSiと成形体中のCとを反応せしめ、二次
的に生成したSiCによって空隙部を埋めて緻密な繊維
強化複合材料を製造する。
【0022】上記構成に係るセラミックス基複合材料用
繊維によれば、繊維の表面にマトリックスとの結合力を
弱め、滑りを発現させるすべりコート層が存在し、さら
にその上にコート層とマトリックス層との反応を抑制す
るバリア層が存在しているため、マトリックスと繊維と
が一体化することが防止される。
【0023】したがって、マトリックスとセラミックス
繊維とが適度な界面結合力によって結合される。そして
上記表面処理層の介在によってマトリックスとセラミッ
クス繊維との滑り機能が発現し、複合体の破壊エネルギ
が増大する。そして上記滑り機能が部分的に発現され、
破壊靭性値および機械的強度が共に優れた繊維強化複合
材料が得られる。
【0024】また、Ta等の酸化物からなるバリア層を
有機金属系処理溶液を使用形成する場合には、浸漬等に
よって形成できるため、作業が容易に行えると共に、量
産性の向上にも有効なものとなる。
【0025】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るセラミックス
基繊維複合材料の実施形態について、具体的に説明す
る。
【0026】第1実施形態 本実施形態では、SiC系セラミックスの長繊維(日本
カーボン株式会社製、商品名:ハイニカロン、直径14
μm)を繊維素材として用いた。この長繊維の表面にB
NをCVD法により0.4μm厚のコーティングを施
し、これによってすべりコート層を形成した。
【0027】次に、このクロスをTa系有機金属化合物
溶液(有機金属系処理溶液(日本曹達株式会社:商品名
(Ta−700):機能性薄膜材料として使われてい
る)に浸漬した後、空気中にて焼成することにより、
0.1μm厚のTa2 5 バリア層を形成した。これを
製織し、平織クロスとした後積層し、多孔質樹脂製成形
型にセットし(Vf=27%)、マトリックス原料スラ
リーを加圧含浸した。
【0028】セラミックス原料スラリーは、中心粒径1
〜3μmのSiC粉末70wt%、カーボンブラック3
0wt%を固形分とし、固形分50wt%+純水47w
t%+界面活性剤3wt%を混合したものである。
【0029】成形、乾燥後、Si(純度99.9wt
%)溶融金属の接触下1430℃×5hr真空中加熱
し、マトリックスに反応焼結SiCを合成、複合材とし
た。
【0030】得られた複合材の密度は2.9g/cm3
あった。切り出し試験片の室温3点曲げ強度は、420
〜460MPaであり、破壊は完全な破断まで一気に至
らない複合材料特有の準安定的な破壊挙動を示した。破
面をSEM観察したところ、モノフィラメント1本1本
の周辺にも均質にマトリックスが形成され、均質な含浸
焼結が行われていた。また、繊維の引き抜きが顕著に観
察され、すべりコートとしてのBN層も健全であること
が明瞭に確認された。
【0031】第2実施形態 本実施形態では、SiC系セラミックスの長繊維(日本
カーボン株式会社製、商品名:ハイニカロン、直径14
μm)を繊維素材として用いた。この長繊維の表面にB
NをCVD法により0.4μm厚のコーティングを施
し、これによってすべりコート層を形成した。
【0032】次に、このクロスをNb系有機金属化合物
溶液に浸漬した後、空気中にて焼成することにより、
0.2μm厚のNb2 5 バリア層を形成した。これを
製織し、平織クロスとした後積層し、多孔質樹脂製成形
型にセットし(Vf=27%)、マトリックス原料スラ
リーを加圧含浸した。
【0033】セラミックス原料スラリーは、中心粒径1
〜3μmのSiC粉末70wt%、カーボンブラック3
0wt%を固形分とし、固形分50wt%+純水47w
t%+界面活性剤3wt%を混合したものである。
【0034】成形、乾燥後、Si(純度99.9wt
%)溶融金属の接触下1430℃×5hr真空中加熱
し、マトリックスに反応焼結SiCを合成、複合材とし
た。
【0035】得られた複合材の密度は2.9g/cm3
切り出し試験片の室温3点曲げ強度は、400〜450
MPaであり、破壊は完全な破断まで一気に至らない複
合材料特有の準安定的な破壊挙動を示した。破面をSE
M観察したところ、モノフィラメント1本1本の周辺に
も均質にマトリックスが形成され、均質な含浸焼結が行
われていた。また、繊維の引き抜きが顕著に観察され、
すべりコートとしてのBN層も健全であることが明瞭に
確認された。
【0036】第3実施形態 本実施形態では、SiC系セラミックスの長繊維(日本
カーボン株式会社製、商品名:ハイニカロン、直径14
μm)を繊維素材として用いた。この長繊維の表面にB
NをCVD法により0.4μm厚のコーティングを施
し、これによってすべりコート層を形成した。
【0037】次に、このクロスをTi系有機金属化合物
溶液に浸漬した後、空気中にて焼成することにより、
0.2μm厚のTiO2 バリア層を形成した。これを製
織し、平織クロスとした後積層し、多孔質樹脂製成形型
にセットし(Vf=27%)、マトリックス原料スラリ
ーを加圧含浸した。
【0038】セラミックス原料スラリーは、中心粒径1
〜3μmのSiC粉末70wt%、カーボンブラック3
0wt%を固形分とし、固形分50wt%+純水47w
t%+界面活性剤3wt%を混合したものである。
【0039】成形、乾燥後、Si(純度99.9wt
%)溶融金属の接触下1430℃×5hr真空中加熱
し、マトリックスに反応焼結SiCを合成、複合材とし
た。
【0040】得られた複合材の密度は2.9g/cm3
あった。切り出し試験片の室温3点曲げ強度は、330
〜380MPaであり、破壊は完全な破断まで一気に至
らない複合材料特有の準安定的な破壊挙動を示した。破
面をSEM観察したところ、モノフィラメント1本1本
の周辺にも均質にマトリックスが形成され、均質な含浸
焼結が行われていた。また、繊維の引き抜きが顕著に観
察され、すべりコートとしてのBN層も健全であること
が明瞭に確認された。
【0041】第4実施形態 本実施形態では、SiC系セラミックスの長繊維(日本
カーボン株式会社製、商品名:ハイニカロン、直径14
μm)を繊維素材として用いた。この長繊維の表面にB
NをCVD法により0.4μm厚のコーティングを施
し、これによってすべりコート層を形成した。
【0042】次に、このクロスをZr系有機金属化合物
溶液に浸漬した後、空気中にて焼成することにより、
0.2μm厚のZrO2 バリア層を形成した。これを製
織し、平織クロスとした後積層し、多孔質樹脂製成形型
にセットし(Vf=27%)、マトリックス原料スラリ
ーを加圧含浸した。
【0043】セラミックス原料スラリーは、中心粒径1
〜3μmのSiC粉末70wt%、カーボンブラック3
0wt%を固形分とし、固形分50wt%+純水47w
t%+界面活性剤3wt%を混合したものである。
【0044】成形、乾燥後、Si(純度99.9wt
%)溶融金属の接触下1430℃×5hr真空中加熱
し、マトリックスに反応焼結SiCを合成、複合材とし
た。
【0045】得られた複合材の密度は2.9g/cm3
あった。切り出し試験片の室温3点曲げ強度は、320
〜360MPaであり、破壊は完全な破断まで一気に至
らない複合材料特有の準安定的な破壊挙動を示した。破
面をSEM観察したところ、モノフィラメント1本1本
の周辺にも均質にマトリックスが形成され、均質な含浸
焼結が行われていた。また、繊維の引き抜きが顕著に観
察され、すべりコートとしてのBN層も健全であること
が明瞭に確認された。
【0046】第5実施形態 本実施形態では、SiC系セラミックスの長繊維(日本
カーボン株式会社製、商品名:ハイニカロン、直径14
μm)を繊維素材として用いた。この長繊維の表面にB
NをCVD法により0.4μm厚のコーティングを施
し、これによってすべりコート層を形成した。
【0047】次に、このクロスをHf系有機金属化合物
溶液に浸漬した後、空気中にて焼成することにより、
0.2μm厚のHfO2 バリア層を形成した。これを製
織し、平織クロスとした後積層し、多孔質樹脂製成形型
にセットし(Vf=27%)、マトリックス原料スラリ
ーを加圧含浸した。
【0048】セラミックス原料スラリーは、中心粒径1
〜3μmのSiC粉末70wt%、カーボンブラック3
0wt%を固形分とし、固形分50wt%+純水47w
t%+界面活性剤3wt%を混合したものである。
【0049】成形、乾燥後、Si(純度99.9wt
%)溶融金属の接触下1430℃×5hr真空中加熱
し、マトリックスに反応焼結SiCを合成、複合材とし
た。
【0050】得られた複合材の密度は2.9g/cm3
あった。切り出し試験片の室温3点曲げ強度は、330
〜390MPaであり、破壊は完全な破断まで一気に至
らない複合材料特有の準安定的な破壊挙動を示した。破
面をSEM観察したところ、モノフィラメント1本1本
の周辺にも均質にマトリックスが形成され、均質な含浸
焼結が行われていた。また、繊維の引き抜きが顕著に観
察され、すべりコートとしてのBN層も健全であること
が明瞭に確認された。
【0051】他の実施形態 なお、繊維を上述した酸化物以外のTa,Nb,Ti,
Zr、またはHfの中から選ばれる少なくとも一つの元
素の化合物から成るバリア層を同様に形成した結果、前
記実施形態1〜5と略同等の効果が得られた。
【0052】比較例1 第1実施形態と同様の繊維について、バリア層をコーテ
ィングせず、BNの単層コートとした以外は、全く同様
の方法により、複合材料を作成した。
【0053】この結果、3点曲げ強度試験の結果は、破
壊は一気に至るものではないものの、反応抑制のための
バリアをコーティングした前記実施形態の場合と比較し
て、より脆性的な破壊挙動を示した。試験後のテストピ
ース破面を観察したところ、部分的にBNコート層が溶
融Siと反応して消失し、繊維とマトリックスとが一体
化した箇所が認められた。
【0054】比較例2 第1実施形態と同様の繊維について、バリア層をコーテ
ィングせず、カーボンの単層コートとした以外は、全く
同様の方法により、複合材料を作成した。
【0055】この結果、3点曲げ強度試験の結果は、破
壊は一気に至るものではないものの、反応抑制のための
バリア層をコーティングした前記実施形態の場合と比較
して、より脆性的な破壊挙動を示した。試験後のテスト
ピース破面を観察したところ、部分的にカーボンコート
層が、溶融Siと反応して消失し、繊維とマトリックス
とが一体化した箇所が認められた。
【0056】
【発明の効果】以上のように、本発明に係るセラミック
ス基繊維複合材料によれば、繊維の表面にマトリックス
との結合力を弱め、滑りを発現させるすべりコート層が
存在し、さらにその上にコート層とマトリックスとの反
応を抑制するTa等の化合物、特に酸化物層がバリア層
として存在しているため、マトリックスと繊維とが一体
化することが防止される。したがって、破壊靭性値、お
よび機械的強度が共に優れた複合材料が得られる。
【0057】また、Ta等の酸化物からなるバリア層は
有機金属系処理溶液を使用して、浸漬等によって形成で
きるため、作業が容易に行えると共に、量産性の向上に
も有効なものとなる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 早川 義則 神奈川県川崎市川崎区日進町7番地1 東 芝電子エンジニアリング株式会社内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 反応焼結によって形成されたSiCを主
    相とするセラミックスのマトリックス中にセラミックス
    の繊維が複合化され、この繊維の表面に、前記マトリッ
    クスとの結合力を低下させるすべりコート層およびこの
    すべりコート層の外側を被覆してSiとの反応を抑制す
    るバリア層がダブルコーティングとして存在するセラミ
    ックス基繊維複合材料であって、前記すべりコート層は
    実質的にCまたはBNからなるとともに、前記バリア層
    は実質的にTa、Nb、Ti、ZrまたはHfの中から
    選ばれる少なくとも一つの元素の化合物からなることを
    特徴とするセラミックス基繊維複合材料。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のセラミックス基繊維複合
    材料において、バリア層を構成する化合物はTa
    2 3 、Nb2 5 、TiO2 、ZrO2 またはHfO
    2 からなる酸化物であることを特徴とするセラミックス
    基繊維複合材料。
JP8077796A 1996-03-29 1996-03-29 セラミックス基繊維複合材料 Pending JPH09268063A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2001064783A (ja) * 1999-06-21 2001-03-13 General Electric Co <Ge> セラミック超合金物品

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