JPH09264782A - 2次元配光分布測定装置及び2次元配光分布測定用光学系 - Google Patents

2次元配光分布測定装置及び2次元配光分布測定用光学系

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JPH09264782A
JPH09264782A JP7347196A JP7347196A JPH09264782A JP H09264782 A JPH09264782 A JP H09264782A JP 7347196 A JP7347196 A JP 7347196A JP 7347196 A JP7347196 A JP 7347196A JP H09264782 A JPH09264782 A JP H09264782A
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JP
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optical system
light distribution
lens
image
measuring
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JP7347196A
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English (en)
Inventor
Junji Hashimura
淳司 橋村
Sadao Okudaira
定男 奥平
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Minolta Co Ltd
Original Assignee
Minolta Co Ltd
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  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Lenses (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】高精度のフォーカシングを容易に行うことがで
きる2次元配光分布測定装置と、広画角で被測定範囲が
広い2次元配光分布測定用光学系を提供する。 【解決手段】被測定物1が前側焦点F位置付近に配置さ
れる第1光学系Gr1、第1光学系Gr1の後側焦点
F’面上に生じた被測定物1の配光分布像I1を再結像
させる第2光学系Gr2、配光分布像I2を撮像する第
1撮像部2、第1光学系Gr1通過後の光束を分岐させ
るミラーM1、分岐された光束を反射させるミラーM
2,ミラーM1で分岐されミラーM2で反射された光束
を結像させることにより被測定物1の像I3を形成する
第3光学系Gr3、像I3を撮像する第2撮像部3、を
設けた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、2次元配光分布測
定装置及び2次元配光分布測定用光学系に関するもので
ある。更に詳しくは、LCD(liquid crystal display)
の視野角特性の計測,バックライトの指向性評価等のた
めに、被測定物(例えば、LCD)の配光分布を測定する
ための広画角・大口径の2次元配光分布測定装置及び2
次元配光分布測定用光学系に関するものである。
【0002】
【従来の技術】特公平3−4858号,特開平5−28
8638号公報で、LCD等の画面の配光特性を測定す
るための2次元配光分布測定装置が提案されている。こ
の2次元配光分布測定装置は、被測定光源が前側焦点位
置付近に配置されるコリメータレンズ系と、コリメータ
レンズ系の後側焦点面上に生じた被測定光源の強度分布
像(つまり、配光分布像)を再結像させるリレーレンズ系
とから成り、リレーレンズ系によって再結像された像を
テレビジョン撮像装置によって撮像する構成となってい
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記特公平3−485
8号等で提案されている2次元配光分布測定装置におい
ては、被測定光源をコリメータレンズ系の前側焦点位置
付近に位置させたときに全画角の光束が被測定光源上で
一致する。このため、被測定光源がコリメータレンズ系
の前側焦点位置付近に位置するようにフォーカシングを
行わないと、画角によって測定される位置にズレが生じ
てしまう。上記測定装置にはフォーカス機構が設けられ
ていないので、使用者は測定を行う度に光学系の先端か
ら被測定光源までの距離(すなわち、ワーキングディス
タンス)を実際に測り、光学系全体を移動させることに
よって上記フォーカシングを行わなければならない。こ
のため、作業性は悪く測定精度も低いという問題があ
る。また、用いられている光学系のF値を小さくする
(つまり、明るくする)のが光学設計上困難であるため、
被測定光源の被測定範囲(測定径)を広くすることができ
ないという問題がある。
【0004】本発明はこれらの点に鑑みてなされたもの
であって、第1の目的は、高精度のフォーカシングを容
易に行うことができる2次元配光分布測定装置を提供す
ることにあり、第2の目的は、広画角で被測定範囲が広
い2次元配光分布測定用光学系を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】前記第1の目的を達成す
るため、第1の発明の2次元配光分布測定装置は、被測
定物が前側焦点位置付近に配置される第1光学系と、該
第1光学系の後側焦点面上に生じた前記被測定物の配光
分布像を再結像させる第2光学系と、前記再結像された
配光分布像を撮像する第1撮像部と、前記第1光学系通
過後の光束を分岐させる光束分岐手段と、該光束分岐手
段によって分岐された光束を結像させることにより前記
被測定物の像を形成する第3光学系と、前記被測定物の
像を撮像する第2撮像部と、を備えたことを特徴とす
る。
【0006】第2の発明の2次元配光分布測定装置は、
上記第1の発明の構成において、前記被測定物に対する
物体距離が、前記第1光学系及び前記第2光学系と前記
第1光学系及び前記第3光学系とで異なることを特徴と
する。
【0007】前記第2の目的を達成するため、第3の発
明の2次元配光分布測定用光学系は、被測定物が前側焦
点位置付近に配置される第1光学系と、該第1光学系の
後側焦点面上に生じた前記被測定物の配光分布像を再結
像させる第2光学系と、を備えた2次元配光分布測定用
光学系において、前記第1光学系の最も像側のレンズが
負の屈折力を有するレンズであることを特徴とする。
【0008】第4の発明の2次元配光分布測定用光学系
は、上記第3の発明の構成において、前記第1光学系の
最も像側のレンズが、以下の条件式(1)を満たすことを
特徴とする。 0.03<|φcm/φc|<4 …(1) ただし、 φcm:第1光学系の最も像側のレンズの屈折力、 φc :第1光学系の屈折力 である。
【0009】第5の発明の2次元配光分布測定用光学系
は、上記第3の発明の構成において、前記第1光学系が
少なくとも2枚の正メニスカスレンズを含むことを特徴
とする。
【0010】第6の発明の2次元配光分布測定用光学系
は、上記第3の発明の構成において、前記第1光学系
が、以下の条件式(2)を満たすことを特徴とする。 0.02<φc/φ<0.2 …(2) ただし、 φc:第1光学系の屈折力、 φ :2次元配光分布測定用光学系全系の屈折力 である。
【0011】前記第2の目的を達成するため、第7の発
明の2次元配光分布測定用光学系は、被測定物が前側焦
点位置付近に配置される第1光学系と、該第1光学系の
後側焦点面上に生じた前記被測定物の配光分布像を再結
像させる第2光学系と、を備えた2次元配光分布測定用
光学系において、前記第2光学系が、その最も大きな空
気間隔の前側に位置する前群と前記空気間隔の後側に位
置する後群との2つの群から成り、前記前群が物体側か
ら順に正のレンズ群と負のレンズ群と弱い正のレンズ群
との3つの群から成ることを特徴とする。
【0012】前記第2の目的を達成するため、第8の発
明の2次元配光分布測定用光学系は、被測定物が前側焦
点位置付近に配置される第1光学系と、該第1光学系の
後側焦点面上に生じた前記被測定物の配光分布像を再結
像させる第2光学系と、を備えた2次元配光分布測定用
光学系において、前記第2光学系が、その最も大きな空
気間隔の前側に位置する前群と前記空気間隔の後側に位
置する後群との2つの群から成り、前記後群の最も像側
のレンズが物体側に凸のメニスカスレンズであることを
特徴とする。
【0013】第9の発明の2次元配光分布測定用光学系
は、上記第8の発明の構成において、前記後群の最も像
側のレンズが、以下の条件式(3)を満たすことを特徴と
する。 1.05<(Rrbi2+Rrbi1)/(Rrbi2−Rrbi1)<10 …(3) ただし、 Rrbi1:第2光学系の後群の最も像側のレンズの物体側
の面の曲率半径、 Rrbi2:第2光学系の後群の最も像側のレンズの像側の
面の曲率半径 である。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明を実施した2次元配
光分布測定装置及び2次元配光分布測定用光学系を、図
面を参照しつつ説明する。図1は、本発明に係る一実施
形態の基本構成を示している。本実施形態に係る2次元
配光分布測定装置は、第1光学系Gr1及び第2光学系
Gr2から成る2次元配光分布測定用光学系;第1光学
系Gr1,ミラーM1,M2及び第3光学系Gr3から
成るフォーカシング用光学系;並びに第1,第2撮像部
2,3で構成されており、第1光学系Gr1は2次元配
光分布測定用光学系とフォーカシング用光学系とに共用
される構成となっている。
【0015】第1光学系Gr1は、被測定物(例えば、
LCD)1が前側焦点F位置付近に配置されるように設
けられたコリメータレンズ系である。被測定物1が前側
焦点F位置付近に配置されると、被測定物1の被測定面
1aから出射された平行光束(例えば、軸上光束L1,
軸外光束L2)で、第1光学系Gr1の後側焦点F’面
上に配光分布像I1が形成される。後側焦点F’面上で
の照度分布が被測定面1aの角強度分布に比例するた
め、被測定面1aの視野角特性(配光特性)そのものが配
光分布像I1に表れることになる。
【0016】第2光学系Gr2は、第1光学系Gr1に
よって形成された被測定物1の配光分布像I1を再結像
させるリレーレンズ系であり、前群Gr21と後群Gr
22とから成っている。被測定物1が前側焦点F位置付
近に配置されると、第2光学系Gr2によって再結像さ
れた配光分布像I2は、CCD(Charge Coupled Devic
e)から成る第1撮像部2の第1撮像面2a上に形成さ
れ、第1撮像部2によって撮像される。第1撮像面2a
での像高が画角に対応し、配光分布像I2の光強度の位
置的分布が被測定面1aの被測定範囲からの光の角度的
な配光分布(輝度分布)に対応する。従って、第1撮像部
2からの出力を用いれば、被測定面1aの2次元配光分
布をディスプレイ表示することが可能である。
【0017】ミラーM1は、第1光学系Gr1と第2光
学系Gr2との間で第1光学系Gr1通過後の光束(例
えば、軸上光束L3)を光軸AX1に対して垂直方向に
反射させることにより、光束を分岐させる光束分岐手段
である。このミラーM1は、第1光学系Gr1と第2光
学系Gr2との間に挿入/退避自在に設けられており、
フォーカシング時や被測定物1の状態を観察する時には
第1,第2光学系Gr1,Gr2間に挿入され(図1
中、実線で挿入状態を示す。)、2次元配光分布測定時
には、第1,第2光学系Gr1,Gr2間から退避する
(図1中、破線で退避状態を示す。)ように構成されてい
る。
【0018】図1に示すように、ミラーM1は上記挿入
状態において第1光学系Gr1と第2光学系Gr2との
間に配置されることが望ましい。第1,第2光学系Gr
1,Gr2間で光束を分岐させれば、第3光学系Gr3
には平行光束(この平行光束は、被測定面1a上の各点
から出射された同族光束である。)が入射することにな
って、第3光学系Gr3の設計が容易になるからであ
る。
【0019】ミラーM1の代わりに、第1光学系Gr1
後方の光路中に挿入可能なプリズム等を光束分岐手段と
して用いてもよい。ただし、光束分岐手段は、2次元配
光分布の測定時に2次元配光分布測定用光学系の光路外
へ完全に退避しうるように構成される必要がある。
【0020】ミラーM2は、ミラーM1で反射された光
束を後方(すなわち、第2撮像部3側)に反射させる反射
手段である。また、第3光学系Gr3は、ミラーM1で
分岐されミラーM2で反射された光束を結像させること
によって、被測定物1の像I3を形成する結像光学系で
ある。この第3光学系Gr3によって形成された被測定
物1の像I3は、CCDから成る第2撮像部3の第2撮
像面3a上に形成され、第2撮像部3によって撮像され
る。
【0021】フォーカシングは、2次元配光分布測定用
光学系,フォーカシング用光学系及び第1,第2撮像部
2,3を、光軸AX1に沿って一体的に移動させること
により行われる。第1光学系Gr1が2次元配光分布測
定用光学系とフォーカシング用光学系とに共用されてい
るため、上記のように2次元配光分布測定用光学系等を
光軸AX1に沿って一体的に移動させれば、像I2,I
3の位置が共に変化することになる。従って、第1撮像
面2a上でのフォーカス状態に関する情報を第2撮像部
3の出力から得ることができ、その情報に基づいて上記
フォーカシングを行うことができる。
【0022】本実施形態においては、被測定物1の配光
分布像I2が第1撮像面2a上に形成されたとき(この
とき、被測定物1が前側焦点F位置付近に位置す
る。)、第2撮像面3a上に被測定物1の像I3が形成
される(このとき、光束L3が第2撮像面3a上で結像
する。)ように、第1,第2光学系Gr1,Gr2及び
第1撮像部2に対する第3光学系Gr3及び第2撮像部
3の配置が予め設定されている。従って、第2撮像部3
からの出力に基づいて第2撮像面3a上に像I3が形成
されるように前記フォーカシングを行えば、同時に第1
撮像面2a上に配光分布像I2が形成されるようにフォ
ーカシングを行うことになる。例えば、第2撮像部3か
らの出力を用いて被測定物1の像I3(例えば、液晶の
像)をディスプレイ表示させ、ディスプレイを見ながら
鮮明な像I3が観察されるように上記フォーカシングを
行えば(このとき、被測定物1の像I3が第2撮像面3
a上に位置する。)、第1撮像面2a上に配光分布像I
2を位置させるためのフォーカシングが同時に完了す
る。
【0023】なお、第2撮像部3として拡散板を用いる
ことにより、使用者が像I3を直接観察しうるような構
成としてもよい。また、第2撮像部3からの出力に基づ
いて焦点検出を行い、その検出結果に基づいて前記フォ
ーカシングのための一体的な移動を行うような構成{A
F(autofocus)機構}としてもよい。
【0024】フォーカシングが完了すれば、後はミラー
M1を第1,第2光学系Gr1,Gr2間から退避させ
るだけで2次元配光分布測定を開始することができる。
測定を行う度に光学系の先端から被測定物1までの距離
を実際に測る必要がないので、作業性は良く、しかも高
い精度で2次元配光分布を測定することができる。
【0025】図1から分かるように、2次元配光分布測
定用光学系の物体距離が無限大であるのに対し、フォー
カシング用光学系の物体距離は有限である。このように
被測定物1に対する物体距離が、第1光学系Gr1及び
第2光学系Gr2から成る2次元配光分布測定用光学系
と、第1光学系Gr1及び第3光学系Gr3から成るフ
ォーカシング用光学系とで異なる構成とすることによっ
て、被測定物1を装置の測定位置に合わせるフォーカス
作業が非常に簡単になる。
【0026】また、フォーカシングにおいて、2次元配
光分布測定用光学系,フォーカシング用光学系及び第
1,第2撮像部2,3が光軸AX1に沿って一体的に移
動する構成となっているため、フォーカス移動のための
(例えば、ヘリコイドのガタによる)誤差が生じにくく、
他のフォーカス方式を採用した場合よりも高い精度でフ
ォーカシングを行うことができる。
【0027】なお、被測定物1の像I3が第2撮像面3
a上に位置するようにフォーカシングを行う代わりに、
被測定物1との相対位置が一定の物体(例えば、被測定
物用のホルダー)の像が第2撮像面3a上に位置するよ
うにフォーカシングを行う構成としてもよい。コントラ
ストの高い物体を用いることにより、フォーカシングは
より容易になる。
【0028】本実施形態に係る2次元配光分布測定用光
学系において、第1光学系Gr1の最も像側のレンズ
(後記実施例1,2においては、第6レンズG6に相当
する。)は、負の屈折力を有するレンズであることが望
ましい。第1光学系Gr1の最も像側のレンズを負の屈
折力を有するレンズとすることによって、第1光学系G
r1を画角の大きい光束についてもテレセントリックな
結像系とすることができる。これにより、第2光学系G
r2に入射する光束の高さを低くすることが可能となる
ため、第2光学系Gr2での収差補正が容易になり、2
次元配光分布を広画角で測定することが可能になる。ま
た、F値を小さくすることができるため、被測定範囲を
広くすることができる。さらに、全画角の平行光束がほ
ぼ一致して第3光学系Gr3に入射するようになるの
で、第3光学系Gr3の加工公差を緩くすることが可能
となる。従って、第3群Gr3の加工が容易になる。
【0029】また、第1光学系Gr1の最も像側のレン
ズを負の屈折力を有するレンズとすることによって、第
1光学系Gr1を比較的バックフォーカスの長い結像系
とすることができる。これにより、第1光学系Gr1と
第2光学系Gr2との間隔を充分に確保することが可能
となるので、フォーカシング時に光束分岐用のミラーM
1を挿入するための空間が確保されることになる。
【0030】第1光学系Gr1の最も像側のレンズは、
以下の条件式(1)を満たすことが望ましい。 0.03<|φcm/φc|<4 …(1) ただし、 φcm:第1光学系Gr1の最も像側のレンズの屈折力、 φc :第1光学系Gr1の屈折力 である。
【0031】条件式(1)の上限を超えた場合、第1光学
系Gr1の最も像側のレンズの負の屈折力が強くなりす
ぎて、第1光学系Gr1と第2光学系Gr2との空気間
隔を確保するのが困難になる。また、条件式(1)の下限
を超えた場合、第1光学系Gr1の最も像側のレンズの
負の屈折力が弱くなりすぎて、第1光学系Gr1をテレ
セントリックにするのが困難になる。
【0032】第1光学系Gr1は、少なくとも2枚の正
メニスカスレンズを含むことが望ましい(後記実施例
1,2においては、第3,第4レンズG3,G4が正メ
ニスカスレンズである。)。本実施形態に係る2次元配
光分布測定用光学系において、大幅な広画角化と装置全
体のコンパクト化とを図るためには、第1撮像面1aの
フォーマットを小さくすることが望ましい。しかし、第
1撮像面1aのフォーマットを小さくすると、2次元配
光分布測定用光学系の焦点距離が非常に短くなってしま
う。このため、被測定物1の被測定範囲を広くすると、
光学系のF値が極端に小さく(すなわち、明るく)なって
しまい、光学設計が非常に困難になる。そこで、第1光
学系Gr1に少なくとも2枚の正メニスカスレンズを用
いることにより、光学系全体で負の歪曲収差を発生させ
れば、2次元配光分布測定用光学系の焦点距離を比較的
長くすることができ、光学設計が比較的容易になる。
【0033】先に述べたように、第1光学系Gr1によ
って広画角の光束が略テレセントリックなるようにする
のが収差補正上望ましい。そこで、収差を補正しながら
画角の大きな光束をテレセントリックな光束となる方向
に曲げるために、第1光学系Gr1に像側に凸の正メニ
スカスレンズ(後記実施例1,2においては、第3,第
4レンズG3,G4に相当する。)を用いて、徐々に光
束を曲げていくのが望ましい。
【0034】第1光学系Gr1に含まれる少なくとも1
枚の正メニスカスレンズは、以下の条件式(4)を満たす
ことが望ましい。 -10<Rcpm2・φcpm<-0.05 …(4) ただし、 Rcpm2:第1光学系Gr1に含まれる正メニスカスレン
ズの像側の面の曲率半径、 φcpm :第1光学系Gr1に含まれる正メニスカスレン
ズの屈折力 である。
【0035】条件式(4)の上限を超えた場合、第1光学
系Gr1に含まれる正メニスカスレンズの像側面の曲率
半径が大きくなりすぎて、画角の大きな光束を急激に曲
げることになるため、収差補正が困難になる。また、条
件式(4)の下限を超えた場合、第1光学系Gr1に含ま
れる正メニスカスレンズの像側面の曲率半径が小さくな
りすぎて、レンズの製造が困難になる。さらに、画角の
大きな光束を曲げる効果が小さくなりすぎてしまうた
め、後続のレンズの径が増大するだけでなく、光束を曲
げるために後続のレンズにかかる負担が大きくなりすぎ
てしまう。
【0036】第1光学系Gr1は、以下の条件式(2)を
満たすことが望ましい。 0.02<φc/φ<0.2 …(2) ただし、 φc:第1光学系Gr1の屈折力、 φ :2次元配光分布測定用光学系全系の屈折力 である。
【0037】条件式(2)の上限を超えた場合、第1光学
系Gr1の屈折力が強くなりすぎて、被測定物1までの
ワーキングディスタンスを確保するのが困難になり、さ
らに、第1光学系Gr1と第2光学系Gr2との間の空
気間隔を確保するのが困難になる。また、条件式(2)の
下限を超えた場合、第1光学系Gr1の屈折力が弱くな
りすぎて、レンズ径及び光学系全長が増大してしまう。
【0038】第1光学系Gr1の最も物体側の面(後記
実施例1,2においては、曲率半径r3の面に相当す
る。)は、物体側に凹の面であることが望ましい。第1
光学系Gr1の最も物体側の面を物体側に凹の面とする
ことによって、光学系を広角化することができる。とこ
ろで、液晶等のような偏光を発する光源を測定する場
合、レンズに対して斜めに入射する光束(入射角が0で
ない光束)にはS偏光とP偏光とで透過率差があるた
め、その透過率差が測定に影響を及ぼしてしまう。第1
光学系Gr1の最も物体側の面を物体側に凹の面とすれ
ば、光学系の第1面に入射する光束がレンズにほぼ垂直
に入射することになるため、2次元配光分布の測定に及
ぼす偏光の影響を小さくすることができる。
【0039】第1光学系Gr1に含まれる負レンズ(後
記実施例1,2においては、第1,第6レンズG1,G
6に相当する。)は、以下の条件式(5)を満たすことが望
ましい。 νdcm<40 …(5) ただし、 νdcm:第1光学系Gr1に含まれる負レンズのアッベ
数 である。
【0040】2次元配光分布測定用光学系全体での色収
差補正を行うためには、第1光学系Gr1の倍率色収差
をある程度小さく抑えておかなければならない。この条
件式(5)は、第1光学系Gr1での色収差補正に関する
もので、この条件範囲を外れると、第1光学系Gr1で
の色収差補正が困難になる。
【0041】本実施形態に係る2次元配光分布測定装置
では、被測定範囲が全画角でほぼ一致していなければな
らない。しかし、被測定物1上に被測定範囲を規制する
マスク等を配置することは不可能である。そこで、2次
元配光分布測定用光学系内に被測定範囲を規制する絞り
(又は絞りとして機能する有効径)を持ちながら、測定位
置で全画角の光束がほぼ一致するような構成とする必要
がある。全長を短く保ちつつこのような構成を実現する
ためには、本実施形態に係る2次元配光分布測定用光学
系において、第2光学系Gr2が、その最も大きな空気
間隔の前側に位置する前群Gr21と前記空気間隔の後
側に位置する後群Gr22との2つの群から成り、前群
Gr21が物体側から順に正の第1レンズ群Gr21a
と負の第2レンズ群Gr21bと弱い正の第3レンズ群
Gr21cとの3つの群から成ることが望ましい。
【0042】この構成によると、後群Gr22に対して
比較的大きな空気間隔を隔てて位置する前群Gr21
が、入射光束に対して以下のように作用する。まず、正
の第1レンズ群Gr21aが、第1光学系Gr1から出
射された略テレセントリックな光束を内側に曲げる。そ
れを負の第2レンズ群Gr21bが発散する方向に曲げ
ることにより、第3レンズ群Gr21cに入射する略全
画角の光束を略一致させる。最後に、弱い正の第3レン
ズ群Gr21c(屈折力が前群Gr21において相対的
に弱くなっている。)が、有限距離に位置する前記測定
位置で全画角の光束が一致するように微調整を行う。前
群Gr21を構成している各群Gr21a〜Gr21c
が上記のように作用することによって、広画角での測定
が可能になるとともに、被測定範囲を広くすることがで
きる。また、上記のように、第3レンズ群Gr21cに
入射する略全画角の光束を略一致させることによって、
第3レンズ群Gr21cでの収差補正も容易になる。
【0043】前記第1レンズ群Gr21aは、物体側に
凸の正のメニスカスレンズを少なくとも1枚有すること
が望ましい(後記実施例1,2においては、第8レンズ
G8に相当する。)。物体側に凸の正のメニスカスレン
ズを少なくとも1枚用いることによって、第1光学系G
r1から出射してきた略テレセントリックな光束を内側
に曲げながら収差補正を行うことが容易になる。この第
1レンズ群Gr21aを、例えば、像側に凸面を向けた
正メニスカスレンズのみで構成した場合には、各レンズ
の高い位置でレンズの前側面に入射する光束が、レンズ
面に対して角度を持って入射することになるため、収差
補正が困難になる。また、第1レンズ群Gr21aを、
例えば、両凸レンズのみで構成した場合には、各レンズ
の高い位置でレンズの後側面から出射する光束が、レン
ズ面に対して角度を持って出射することになるため、収
差補正が困難になる。
【0044】前記第1レンズ群Gr21aは、以下の条
件式(6)を満たすことが望ましい。 0.3<φrop/φr<5 …(6) ただし、 φrop:第1レンズ群Gr21aの屈折力、 φr :第2光学系Gr2の屈折力 である。
【0045】条件式(6)の上限を超えた場合、第1レン
ズ群Gr21aの正の屈折力が強くなりすぎて、後続の
レンズ群での収差補正が困難になる。また、全画角の光
束を略一致させることも困難になる。また、条件式(6)
の下限を超えた場合、第1レンズ群Gr21aの正の屈
折力が弱くなりすぎて、後続のレンズ群に含まれるレン
ズの径が大きくなってしまうとともに、光学系全体が大
きくなってしまう。
【0046】第2レンズ群Gr21bは、以下の条件式
(7)を満たすことが望ましい。 0.3<|φrm/φr|<10 …(7) ただし、 φrm:第2レンズ群Gr21bの屈折力、 φr :第2光学系Gr2の屈折力 である。
【0047】条件式(7)の上限を超えた場合、第2レン
ズ群Gr21bの負の屈折力が強くなりすぎて、第2光
学系Gr2の後群Gr22のレンズ径が増大してしま
う。また、条件式(7)の下限を超えた場合、第2レンズ
群Gr21bの負の屈折力が弱くなりすぎて、第3レン
ズ群Gr21cで全画角の光束を略一致させることが困
難になる。
【0048】本実施形態に係る2次元配光分布測定用光
学系において、第2光学系Gr2が、その最も大きな空
気間隔の前側に位置する前群Gr21と前記空気間隔の
後側に位置する後群Gr22との2つの群から成り、後
群Gr22の最も像側のレンズが物体側に凸のメニスカ
スレンズであることが望ましい(後記実施例1,2にお
いては、第16レンズG16に相当する。)。本実施形
態に係る2次元配光分布測定用光学系では、F値を非常
に明るくすると収差補正が非常に困難になる。例えば、
前群Gr21に対して比較的大きな空気間隔を隔てて位
置する後群Gr22では球面収差が特に重要であり、こ
れを良好に補正しなければF値を明るくすることは困難
である。上記のように後群Gr22の最も像側のレンズ
を物体側に凸のメニスカスレンズとすれば、特に球面収
差の補正を効果的に行うことができる。その結果、F値
を明るくして広い範囲を広画角で測定することが可能に
なる。
【0049】後群Gr22の最も像側のレンズは、以下
の条件式(3)を満たすことが望ましい。 1.05<(Rrbi2+Rrbi1)/(Rrbi2−Rrbi1)<10 …(3) ただし、 Rrbi1:後群Gr22の最も像側のレンズの物体側の面
の曲率半径、 Rrbi2:後群Gr22の最も像側のレンズの像側の面の
曲率半径 である。
【0050】条件式(3)は、後群Gr22の最も像側の
レンズによる収差補正のための条件式であり、この条件
範囲を超えた場合、特に球面収差の補正が困難になる。
【0051】後群Gr22に含まれる正レンズは、以下
の条件式(8)を満たすことが望ましい。 60<Σνrbp/Nrbp …(8) ただし、 νrbp:後群Gr22に含まれる正レンズのアッベ数、 Nrbp:後群Gr22に含まれる正レンズの枚数 である。
【0052】本実施形態に係る2次元配光分布測定用光
学系では、F値を明るくする上で色収差の補正が非常に
重要である。この条件式(8)は、色収差補正のための条
件式であり、後群Gr22中に含まれる正レンズの平均
のアッベ数に関するものである。この条件範囲を超える
と、後群Gr22内で発生する色収差の補正が困難にな
るため、光学系全体での色収差補正が困難になる。
【0053】
【実施例】以下、本発明を実施した2次元配光分布測定
装置に用いられる光学系の構成を、コンストラクション
データ,収差性能等を挙げて更に具体的に説明する。こ
こで例として挙げる実施例1,2の基本構成は、前述し
た実施形態(図1)に対応しており、2次元配光分布測定
に用いられる光学系は、第1光学系Gr1及び第2光学
系Gr2から成る2次元配光分布測定用光学系と、第1
光学系Gr1,ミラーM1,M2及び第3光学系Gr3
から成るフォーカシング用光学系と、で構成されてい
る。
【0054】各実施例のコンストラクションデータにお
いて、ri(i=1,2,3,...)は物体側から数えてi番目の面の
曲率半径、di(i=1,2,3,...)は物体側から数えてi番目の
軸上面間隔を示しており、Ni(i=1,2,3,...),νi(i=1,2,
3,...)は物体側から数えてi番目のレンズのd線に対す
る屈折率(Nd),アッベ数(νd)を示している。また、
各実施例の2次元配光分布測定用光学系については、全
系の焦点距離(f),画角(2ω)及びFナンバー(FNO)を併
せて示し、各実施例のフォーカシング用光学系について
は、全系の焦点距離(f),倍率(β),物体距離(被測定
面1aからカバーガラス1’の前側面までの距離OB)及
び有効Fナンバー(有効FNO)を併せて示す。さらに、表
1に、各実施例における条件式(1)〜(8)の対応値を示
す。
【0055】 《実施例1の2次元配光分布測定用光学系》 f=2.30mm,2ω=126°,FNO=0.77 [曲率半径] [軸上面間隔] [屈折率] [アッベ数] 〈第1光学系Gr1〉 r1= ∞ d1= 1.100 N1= 1.51680 ν1= 64.20 …(1’) r2= ∞ d2= 6.580 r3= -21.426 d3= 2.100 N2= 1.80518 ν2= 25.43 …(G1) r4= 117.778 d4= 7.260 N3= 1.85000 ν3= 40.04 r5= -43.222 d5= 2.480 r6= -37.841 d6= 15.000 N4= 1.85000 ν4= 40.04 …(G3) r7= -29.690 d7= 0.360 r8= -107.836 d8= 16.820 N5= 1.74250 ν5= 52.47 …(G4) r9= -48.157 d9= 0.990 r10= 132.287 d10= 16.460 N6= 1.74250 ν6= 52.47 r11=-132.287 d11= 6.200 r12= -81.767 d12= 3.500 N7= 1.80518 ν7= 25.43 …(G6) r13=-185.000 d13=181.240 〈第2光学系Gr2の前群Gr21〉 {第1レンズ群Gr21a} r14=-436.616 d14= 14.360 N8= 1.71300 ν8= 53.93 r15= -95.052 d15= 0.200 r16= 56.073 d16= 15.000 N9= 1.71300 ν9= 53.93 …(G8) r17= 128.804 d17= 0.600 r18= 30.974 d18= 10.000 N10=1.74350 ν10=49.24 r19= 26.782 d19= 13.570 {第2レンズ群Gr21b} r20= -80.600 d20= 5.800 N11=1.83400 ν11=37.05 r21= 29.369 d21= 52.360 {第3レンズ群Gr21c} r22= 57.480 d22= 8.000 N12=1.80518 ν12=25.43 r23= 85.259 d23=164.620 〈第2光学系Gr2の後群Gr22〉 r24= ∞ d24= 3.000 N13=1.51680 ν13=64.20 …(P1) r25= ∞ d25= 0.000 r26= 191.640 d26= 4.200 N14=1.49310 ν14=83.58 r27=-171.961 d27= 0.200 r28= 77.100 d28= 8.490 N15=1.49310 ν15=83.58 r29= -47.629 d29= 0.770 r30= -43.500 d30= 2.000 N16=1.80518 ν16=25.43 r31= 865.973 d31= 0.200 r32= 37.375 d32= 8.340 N17=1.49310 ν17=83.58 r33=-117.080 d33= 0.200 r34= 18.454 d34= 6.960 N18=1.75450 ν18=51.57 …(G16) r35= 32.582 …(絞り) d35= 7.440 r36= ∞ d36= 3.000 N19=1.54814 ν19=45.82 …(P2) r37= ∞ d37= 1.600 r38= ∞ d38= 5.000 N20=1.51680 ν20=64.20 …(P3) r39= ∞ d39= 1.210 r40= ∞ d40= 0.790 N21=1.51680 ν21=64.20 …(2’) r41= ∞
【0056】 《実施例1のフォーカシング用光学系》 f=13.27mm,β=-1.48,OB=1mm,有効FNO=4.27 [曲率半径] [軸上面間隔] [屈折率] [アッベ数] 〈第1光学系Gr1〉 r1= ∞ d1= 1.100 N1= 1.51680 ν1= 64.20 …(1’) r2= ∞ d2= 5.580 r3= -21.426 d3= 2.100 N2= 1.80518 ν2= 25.43 …(G1) r4= 117.778 d4= 7.260 N3= 1.85000 ν3= 40.04 r5= -43.222 d5= 2.480 r6= -37.841 d6= 15.000 N4= 1.85000 ν4= 40.04 …(G3) r7= -29.690 d7= 0.360 r8= -107.836 d8= 16.820 N5= 1.74250 ν5= 52.47 …(G4) r9= -48.157 d9= 0.990 r10= 132.287 d10= 16.460 N6= 1.74250 ν6= 52.47 r11=-132.287 d11= 6.200 r12= -81.767 d12= 3.500 N7= 1.80518 ν7= 25.43 …(G6) r13=-185.000 d13=190.000 〈第3光学系Gr3〉 r14= 62.665 d14= 1.840 N8= 1.80518 ν8= 25.43 r15= 37.161 d15= 0.570 r16= 137.546 d16= 1.500 N9= 1.84666 ν9= 23.82 r17= 31.594 d17= 3.330 N10=1.48749 ν10=70.44 r18= -27.664 d18= 29.600 r19=-759.186 d19= 1.500 N11=1.67270 ν11=32.22 r20= 11.050 d20= 4.800 N12=1.67003 ν12=47.15 r21= 44.098 d21= 18.030 r22= 62.807 d22= 5.000 N13=1.84666 ν13=23.82 r23= -69.677
【0057】 《実施例2の2次元配光分布測定用光学系》 f=2.30mm,2ω=126°,FNO=0.77 [曲率半径] [軸上面間隔] [屈折率] [アッベ数] 〈第1光学系Gr1〉 r1= ∞ d1= 1.100 N1= 1.51680 ν1= 64.20 …(1’) r2= ∞ d2= 6.570 r3= -21.659 d3= 2.100 N2= 1.80518 ν2= 25.46 …(G1) r4= 129.320 d4= 7.260 N3= 1.83500 ν3= 42.98 r5= -42.770 d5= 2.530 r6= -37.102 d6= 14.970 N4= 1.83500 ν4= 42.98 …(G3) r7= -29.867 d7= 0.480 r8= -121.517 d8= 18.000 N5= 1.72916 ν5= 54.67 …(G4) r9= -48.157 d9= 0.200 r10= 132.917 d10= 16.810 N6= 1.72916 ν6= 54.67 r11=-132.917 d11= 6.410 r12= -81.767 d12= 3.500 N7= 1.80518 ν7= 25.46 …(G6) r13=-185.000 d13=179.660 〈第2光学系Gr2の前群Gr21〉 {第1レンズ群Gr21a} r14=-436.616 d14= 12.180 N8= 1.71300 ν8= 53.94 r15= -95.052 d15= 0.200 r16= 56.073 d16= 14.950 N9= 1.71300 ν9= 53.94 …(G8) r17= 128.804 d17= 0.500 r18= 30.974 d18= 10.000 N10=1.74330 ν10=49.22 r19= 26.782 d19= 13.380 {第2レンズ群Gr21b} r20= -80.600 d20= 5.800 N11=1.83400 ν11=37.34 r21= 29.369 d21= 50.860 {第3レンズ群Gr21c} r22= 57.480 d22= 8.000 N12=1.80518 ν12=25.46 r23= 85.259 d23=168.100 〈第2光学系Gr2の後群Gr22〉 r24= ∞ d24= 3.000 N13=1.51680 ν13=64.20 …(P1) r25= ∞ d25= 0.000 r26= 217.614 d26= 4.210 N14=1.49700 ν14=81.61 r27=-161.817 d27= 0.200 r28= 79.202 d28= 8.570 N15=1.49700 ν15=81.61 r29= -47.920 d29= 0.780 r30= -43.718 d30= 2.000 N16=1.80518 ν16=25.46 r31= 928.315 d31= 0.200 r32= 37.760 d32= 9.100 N17=1.49700 ν17=81.61 r33=-116.330 d33= 0.200 r34= 18.531 d34= 6.940 N18=1.75500 ν18=52.32 …(G16) r35= 32.151 …(絞り) d35= 7.640 r36= ∞ d36= 3.000 N19=1.54814 ν19=45.82 …(P2) r37= ∞ d37= 1.600 r38= ∞ d38= 5.000 N20=1.51680 ν20=64.20 …(P3) r39= ∞ d39= 1.210 r40= ∞ d40= 0.790 N21=1.51680 ν21=64.20 …(2’) r41= ∞
【0058】 《実施例2のフォーカシング用光学系》 f=14.02mm,β=-1.48,OB=1mm,有効FNO=4.14 [曲率半径] [軸上面間隔] [屈折率] [アッベ数] 〈第1光学系Gr1〉 r1= ∞ d1= 1.100 N1= 1.51680 ν1= 64.20 …(1’) r2= ∞ d2= 5.570 r3= -21.659 d3= 2.100 N2= 1.80518 ν2= 25.46 …(G1) r4= 129.320 d4= 7.260 N3= 1.83500 ν3= 42.98 r5= -42.770 d5= 2.530 r6= -37.102 d6= 14.970 N4= 1.83500 ν4= 42.98 …(G3) r7= -29.867 d7= 0.480 r8= -121.517 d8= 18.000 N5= 1.72916 ν5= 54.67 …(G4) r9= -48.157 d9= 0.200 r10= 132.917 d10= 16.810 N6= 1.72916 ν6= 54.67 r11=-132.917 d11= 6.410 r12= -81.767 d12= 3.500 N7= 1.80518 ν7= 25.46 …(G6) r13=-185.000 d13=190.000 〈第3光学系Gr3〉 r14= 34.891 d14= 1.540 N8= 1.77250 ν8= 49.62 r15= 23.196 d15= 1.270 r16= 85.025 d16= 1.500 N9= 1.84666 ν9= 23.83 r17= 39.484 d17= 4.190 N10=1.48749 ν10=70.44 r18= -22.311 d18= 9.490 r19= -23.433 d19= 1.500 N11=1.67270 ν11=32.17 r20= 12.688 d20= 5.020 N12=1.67790 ν12=55.52 r21=-102.889 d21= 30.000 r22= 122.717 d22= 7.100 N13=1.84666 ν13=23.83 r23= -61.192
【0059】
【表1】
【0060】図2は、実施例1に係る2次元配光分布測
定用光学系のレンズ構成図であり、図3は、その光路図
である。図5は、実施例1に係るフォーカシング用光学
系のレンズ構成図であり、図6は、その光路図である。
図8は、実施例2に係る2次元配光分布測定用光学系の
レンズ構成図であり、図10は、実施例2に係るフォー
カシング用光学系のレンズ構成図である。なお、図6
中、第3光学系Gr3はミラーM1,M2間に配置され
ているが、その機能は図1に示す場合と同様である。
【0061】各実施例において、2次元配光分布測定用
光学系は、物体側より順に、第1光学系Gr1と第2光
学系Gr2とから成っており、第2光学系Gr2は第1
レンズ群Gr21a,第2レンズ群Gr21b及び第3
レンズ群Gr21cから成る前群Gr21と、後群Gr
22と、で構成されている。一方、フォーカシング用光
学系は、第1光学系Gr1と第3光学系Gr3とから成
っている。
【0062】各実施例において、第1光学系Gr1は、
物体側から順に、両凹の負レンズ(G1)と両凸の正レン
ズとの接合レンズ,2枚の像側に凸の正メニスカスレン
ズ(G3,G4),両凸の正レンズ及び物体側に凹の負メ
ニスカスレンズ(G6)から成っている。第1光学系Gr
1の前方には被測定物(例えば、LCD)1のカバーガラ
ス1’が配置されており、レンズG1の最も被測定物側
位置(被測定物1側のコバ位置)からカバーガラス1’ま
での間隔(つまり、図1に示す間隔d2')がワーキングデ
ィスタンスである。
【0063】各実施例において、第2光学系Gr2の前
群Gr21は、物体側から順に、像側に凸の正メニスカ
スレンズ,物体側に凸の正メニスカスレンズ(G8)及び
像側に凹の負メニスカスレンズから成る第1レンズ群G
r21aと、両凹の負レンズから成る第2レンズ群Gr
21bと、物体側に凸の正メニスカスレンズから成る第
3レンズ群Gr21cと、で構成されている。第2光学
系Gr2の後群Gr22は、物体側から順に、フィルタ
P1,2枚の両凸の正レンズ,両凹の負レンズ,両凸の
正レンズ,物体側に凸の正メニスカスレンズ(G16),
フィルタP2及びフィルタP3から成っている。フィル
タP3の後方には第1撮像部(例えば、CCD)2のカバ
ーガラス2’が配置されている。また、第2光学系Gr
2のレンズ構成によって、後群Gr22中の曲率半径r3
5の面の有効径が絞りとして機能するようになってい
る。
【0064】実施例1において、第3光学系Gr3は、
物体側から順に、像側に凹の負メニスカスレンズ,像側
に凹の負メニスカスレンズと両凸の正レンズとの接合レ
ンズ,両凹の負レンズと物体側に凸の正メニスカスレン
ズとの接合レンズ及び両凸の正レンズから成っている。
実施例2において、第3光学系Gr3は、物体側から順
に、像側に凹の負メニスカスレンズ,像側に凹の負メニ
スカスレンズと両凸の正レンズとの接合レンズ,両凹の
負レンズと両凸の正レンズとの接合レンズ及び両凸の正
レンズから成っている。
【0065】図4は、実施例1に係る2次元配光分布測
定用光学系の収差図であり、図7は、実施例1に係るフ
ォーカシング用光学系の収差図である。また、図9は、
実施例2に係る2次元配光分布測定用光学系の収差図で
あり、図11は、実施例2に係るフォーカシング用光学
系の収差図である。各収差図中、実線(d)はd線に対す
る収差を表わしており、破線(SC)は正弦条件を表わし
ている。さらに、破線(DM)と実線(DS)は、それぞれ
メリディオナル面とサジタル面での非点収差を表わして
いる。
【0066】
【発明の効果】以上説明したように第1,第2の発明に
係る2次元配光分布測定装置によれば、高精度のフォー
カシングを容易に行うことができる。また、第3〜第9
の発明によれば、広画角で被測定範囲が広い2次元配光
分布測定用光学系を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を実施した2次元配光分布測定装置の光
学系,撮像部及び光路を模式的に示す基本構成図。
【図2】実施例1に係る2次元配光分布測定用光学系の
レンズ構成図。
【図3】実施例1に係る2次元配光分布測定用光学系の
光路図。
【図4】実施例1に係る2次元配光分布測定用光学系の
収差図。
【図5】実施例1に係るフォーカシング用光学系のレン
ズ構成図。
【図6】実施例1に係るフォーカシング用光学系の光路
図。
【図7】実施例1に係るフォーカシング用光学系の収差
図。
【図8】実施例2に係る2次元配光分布測定用光学系の
レンズ構成図。
【図9】実施例2に係る2次元配光分布測定用光学系の
収差図。
【図10】実施例2に係るフォーカシング用光学系のレ
ンズ構成図。
【図11】実施例2に係るフォーカシング用光学系の収
差図。
【符号の説明】
Gr1 …第1光学系 Gr2 …第2光学系 Gr21 …前群 Gr21a …第1レンズ群 Gr21b …第2レンズ群 Gr21c …第3レンズ群 Gr22 …後群 P1 …フィルタ P2 …フィルタ P3 …フィルタ M1 …ミラー(光束分岐手段) M2 …ミラー L1 …被測定用の軸上光束 L2 …被測定用の軸外光束 L3 …フォーカシング用の軸上光束 I1 …配光分布像 I2 …再結像された配光分布像 I3 …被測定物の像 AX1 …2次元配光分布測定用光学系の光軸 AX2 …フォーカシング用光学系の光軸 1 …被測定物 1a …被測定面 2 …第1撮像部 2a …第1撮像面 3 …第2撮像部 3a …第2撮像面 d2' …ワーキングディスタンス

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被測定物が前側焦点位置付近に配置され
    る第1光学系と、 該第1光学系の後側焦点面上に生じた前記被測定物の配
    光分布像を再結像させる第2光学系と、 前記再結像された配光分布像を撮像する第1撮像部と、 前記第1光学系通過後の光束を分岐させる光束分岐手段
    と、 該光束分岐手段によって分岐された光束を結像させるこ
    とにより前記被測定物の像を形成する第3光学系と、 前記被測定物の像を撮像する第2撮像部と、 を備えたことを特徴とする2次元配光分布測定装置。
  2. 【請求項2】 前記被測定物に対する物体距離が、前記
    第1光学系及び前記第2光学系と前記第1光学系及び前
    記第3光学系とで異なることを特徴とする請求項1に記
    載の2次元配光分布測定装置。
  3. 【請求項3】 被測定物が前側焦点位置付近に配置され
    る第1光学系と、該第1光学系の後側焦点面上に生じた
    前記被測定物の配光分布像を再結像させる第2光学系
    と、を備えた2次元配光分布測定用光学系において、 前記第1光学系の最も像側のレンズが負の屈折力を有す
    るレンズであることを特徴とする2次元配光分布測定用
    光学系。
  4. 【請求項4】 前記第1光学系の最も像側のレンズが、
    以下の条件を満たすことを特徴とする請求項3に記載の
    2次元配光分布測定用光学系; 0.03<|φcm/φc|<4 ただし、 φcm:第1光学系の最も像側のレンズの屈折力、 φc :第1光学系の屈折力 である。
  5. 【請求項5】 前記第1光学系が少なくとも2枚の正メ
    ニスカスレンズを含むことを特徴とする請求項3に記載
    の2次元配光分布測定用光学系。
  6. 【請求項6】 前記第1光学系が、以下の条件を満たす
    ことを特徴とする請求項3に記載の2次元配光分布測定
    用光学系; 0.02<φc/φ<0.2 ただし、 φc:第1光学系の屈折力、 φ :2次元配光分布測定用光学系全系の屈折力 である。
  7. 【請求項7】 被測定物が前側焦点位置付近に配置され
    る第1光学系と、該第1光学系の後側焦点面上に生じた
    前記被測定物の配光分布像を再結像させる第2光学系
    と、を備えた2次元配光分布測定用光学系において、 前記第2光学系が、その最も大きな空気間隔の前側に位
    置する前群と前記空気間隔の後側に位置する後群との2
    つの群から成り、前記前群が物体側から順に正のレンズ
    群と負のレンズ群と弱い正のレンズ群との3つの群から
    成ることを特徴とする2次元配光分布測定用光学系。
  8. 【請求項8】 被測定物が前側焦点位置付近に配置され
    る第1光学系と、該第1光学系の後側焦点面上に生じた
    前記被測定物の配光分布像を再結像させる第2光学系
    と、を備えた2次元配光分布測定用光学系において、 前記第2光学系が、その最も大きな空気間隔の前側に位
    置する前群と前記空気間隔の後側に位置する後群との2
    つの群から成り、前記後群の最も像側のレンズが物体側
    に凸のメニスカスレンズであることを特徴とする2次元
    配光分布測定用光学系。
  9. 【請求項9】 前記後群の最も像側のレンズが、以下の
    条件を満たすことを特徴とする請求項8に記載の2次元
    配光分布測定用光学系; 1.05<(Rrbi2+Rrbi1)/(Rrbi2−Rrbi1)<10 ただし、 Rrbi1:第2光学系の後群の最も像側のレンズの物体側
    の面の曲率半径、 Rrbi2:第2光学系の後群の最も像側のレンズの像側の
    面の曲率半径 である。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2020235145A1 (ja) * 2019-05-23 2020-11-26 コニカミノルタ株式会社 紫外線用光学系及び配光測定装置

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