JPH09264745A - 弾性表面波ジャイロスコープ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 弾性表面波の影響を受けることなく正確なコ
リオリ力に対応する信号を検出する。 【解決手段】 圧電基板２１の表面に駆動電極２２と検
出電極２３とを対向配置し、高周波電源３から駆動電極
２２に高周波を印加して発生させた弾性表面波を検出電
極２３に伝播する。圧電基板２１がＺ軸回りの回転運動
を行なうと、弾性表面波Ｗとの相互作用により９０°位
相のずれたｙ軸方向のコリオリ力が発生し、この力は圧
電効果により電圧に変換されて検出電極２３に表れる。
スイッチ回路５はディレイ回路４で生成された検出電極
２３における弾性表面波Ｗと同相の高周波に基づき弾性
表面波Ｗの振幅が０となるタイミングで検出電極２３の
電圧をサンプリングして積分器６に出力する。弾性表面
波Ｗの振幅が０となるタイミングで検出電極２３の発生
電圧を抽出することにより弾性表面波Ｗの影響のない正
確なコリオリ力を検出できるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電基板の弾性表
面波による表面振動と圧電基板の回転運動との相互作用
により基板表面に発生するコリオリ力を検出する弾性表
面波ジャイロスコープに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば特開平６−２８１４６５号
公報に示されるように、弾性表面波を用いたジャイロス
コープが提案されている。

【０００３】上記公報には、圧電基板の一方表面に、コ
リオリ力を検出する１個の検出用電極を挟んで弾性表面
波を生成する一対の駆動用電極とこの駆動用電極の外側
に弾性表面波を検出用電極側に反射する一対の反射器用
電極とを相互に所定の位置関係で形成した弾性表面波ジ
ャイロスコープが示されている。

【０００４】駆動用電極及び検出用電極は、同一ピッチ
（弾性表面波の波長の１／２）のすだれ状電極で構成さ
れている。各駆動用電極により発生された弾性表面波は
駆動用電極の両側から外方向きに進行するが、反射器用
電極により検出用電極側に反射されるため、反射器用電
極間に弾性表面波の定在波が生じるようになっている。
そして、検出用電極は、この弾性表面波の定在波に対し
て９０°だけ空間的な位置がずれた位置に形成されてい
る。

【０００５】上記弾性表面波ジャイロスコープは、圧電
基板の表面に弾性表面波の定在波を発生させた状態で、
この圧電基板が回転運動をすると、弾性表面波による振
動方向に対して垂直方向にこの弾性表面波と９０°位相
のずれたコリオリ力による弾性波（定在波）が発生する
ので、検出用電極からこの弾性波により発生した電圧が
検出されるようになっている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の弾性表面波
ジャイロスコープは、弾性表面波の定在波を発生させ、
この定在波の発生区間内で弾性表面波の駆動源である駆
動用電極とコリオリ力により発生する表面弾性波を検出
する検出用電極とを空間的に互いに９０°位相をずらせ
て配置することにより弾性表面波と分離してコリオリ力
により発生する表面弾性波のみを検出するようにしてい
るので、検出精度が駆動用電極、検出用電極及び放射器
用電極の相互の位置関係の精度に依存し、弾性表面波ジ
ャイロスコープの製作が困難である。

【０００７】すなわち、駆動用電極と検出用電極との空
間的な位相差が正確に９０°になっていなければ、検出
用電極で検出される電圧に駆動電極により駆動された弾
性表面波に起因する電圧が含まれ、検出誤差の要因とな
る。また、反射器用電極の形成位置により反射特性が不
十分であると、励振モードが変化し、安定した定在波は
得られない。

【０００８】また、弾性表面波の定在波を利用している
ので、駆動用電極の外側に多数のすだれ状電極からなる
大型の反射器用電極を設ける必要があり、圧電基板が大
型化する。

【０００９】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
であり、検出精度が高く、圧電基板の小型化が可能な弾
性表面波ジャイロスコープを提供するものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、圧電基板の表
面を弾性表面波により所定周期で振動させ、この振動と
圧電基板の回転運動との相互作用により基板表面に発生
したコリオリ力を検出する弾性表面波ジャイロスコープ
において、上記圧電基板の表面に形成された第１の電極
部材と、上記弾性表面波を発生させるべく上記第１の電
極部材に印加される高周波を生成する高周波生成手段
と、上記圧電基板の表面の上記弾性表面波の伝播路上に
形成された第２の電極部材と、上記第２の電極部材の位
置において弾性表面波が零となるタイミングで上記第２
の電極部材に発生している電気信号をサンプリングし、
コリオリ力の検出信号として出力する信号出力手段とを
備えたものである（請求項１）。

【００１１】上記構成によれば、第１の電極部材に高周
波を印加すると、圧電効果により基板表面に高周波と同
一周波数で振動する弾性表面波（駆動波）が発生し、第
２の電極部材側に伝播する。惰性表面波により基板表面
を振動させた状態で、圧電基板が回転運動を行なうと、
弾性表面波の波面と直交する面内にこの弾性表面波と９
０°位相のずれたコリオリ力に基づく弾性表面波（検出
波）が発生する。

【００１２】圧電基板の第２の電極部材には圧電効果に
より弾性表面波とコリオリ力による弾性波とに起因して
電圧が発生する。第２の電極部材に発生した電圧は、弾
性表面波が０となるタイミング、すなわち、弾性表面波
により発生する電圧が最小となり、コリオリ力により発
生する電圧が最大となるタイミングでサンプリングさ
れ、このサンプリング信号が出力される。すなわち、弾
性表面波の影響を受けないタイミングでコリオリ力に起
因する電圧のみが抽出される。

【００１３】また、本発明は、上記弾性表面波ジャイロ
スコープにおいて、上記信号出力手段から出力されるサ
ンプリング信号を予め設定された所定回数だけ積分する
積分手段を備えたものである（請求項２）。

【００１４】上記構成によれば、各タイミングで抽出さ
れたサンプリング信号は所定回数だけ積分され、この積
分結果が積分毎に外部回路に出力される。すなわち、サ
ンプリング信号を積分することによりコリオリ力の検出
信号のレベルを大きくできる。

【００１５】

【発明の実施の形態】図１は、本発明に係る弾性表面波
ジャイロスコープの構成図である。ジャイロスコープ１
は、検出素子２、高周波電源３、ディレイ回路４、スイ
ッチ回路５、積分器６及びＡ／Ｄ変換器７から構成され
ている。

【００１６】検出素子２は、コリオリ力を検出するもの
である。検出素子２は、横長長方形の圧電基板２１の表
面の一方端部（図１では左端部）に弾性表面波を発生さ
せるための電極２２（以下、駆動電極という。）が形成
され、他方端部にコリオリ力を検出するための電極２３
（以下、検出電極という。）が形成されている。

【００１７】圧電基板２１は、例えばチタン酸ジルコン
酸鉛（ＰｂＴｉＯ₃，ＰｂＺｒＯ₃）、ＬｉＮｂＯ₃、Ｌ
ｉＴａＯ₃等の圧電効果を有する部材からなる。駆動電
極２２及び検出電極２３は、一対の指形の電極を互いに
交叉してなるすだれ状電極で構成され、駆動電極２２の
両櫛形電極２２Ａ，２２Ｂには上記高周波電源３が接続
されている。また、検出電極２３は、一方の櫛形電極２
３Ａがスイッチ回路５に接続され、他方の櫛形電極２３
がＧＮＤに接続されている。

【００１８】高周波電源３は、駆動電極２２の電極ピッ
チλ（図２参照）の波長を有する高周波を発生するもの
である。駆動電極２２の櫛形電極２２Ａ，２２Ｂ間に高
周波が印加されると、図２に示すように、圧電効果によ
り圧電基板２１の表面に波長λの弾性表面波Ｗが発生
し、この弾性表面波Ｗは駆動電極２２の両側から基板の
横方向に進行する。

【００１９】なお、弾性表面波Ｗの周波数は、駆動電極
２２の電極ピッチλで決定され、適宜の周波数を選定す
ることができる。すだれ状電極の加工技術や製造コスト
等により高周波化には一定の制約があり、通常、１０〜
１００ＭＨｚの周波数が利用されるが、技術的には１〜
数ＧＨｚの高周波を利用することも可能である。

【００２０】例えばレイリー波の場合、基板表面に垂直
な方向と進行方向とに変位成分を有し、圧電基板２１の
表面における各粒子は、図３に示すように、進行方向に
対した逆回転する楕円軌道を描いて変位している。この
楕円軌道の大きさは、圧電基板２１の深さ方向に小さく
なっており、レイリー波のエネルギーの大部分は、深さ
方向１波長以内に集中しているので、表面波となって進
行方向に伝播される。

【００２１】検出電極２３は、駆動電極２２と同一の電
極ピッチλを有し、本実施の形態では駆動電極２２に対
して空間的に９０°位相がずれた位置に形成されてい
る。空間的に９０°位相がずれた位置とは、駆動電極２
２に入力される高周波の位相と検出電極２３から検出さ
れる交流信号の位相との位相差が９０°となるような関
係の位置で、具体的には、駆動電極２２の櫛形電極２２
Ｂの右端と検出電極２３の櫛形電極２３Ａの左端との距
離Ｌが弾性表面波の波長λの整数倍となっている。

【００２２】このような位置関係では、駆動電極２２に
印加された高周波の極性が、例えば櫛形電極２２Ａが＋
極、櫛形電極２２Ｂが−極となる瞬間では櫛形電極２２
Ａと櫛形電極２２Ｂ間に生じる電界Ｅの極性及びこの電
界Ｅに基づく弾性表面波Ｗの位相は、図２にようにな
り、検出電極２３では櫛形電極２３Ａが−極、櫛形電極
２３Ｂが＋極となるので、駆動電極２２に入力される高
周波の位相に対して検出電極２３から検出される交流信
号の位相は９０°ずれるようなっている。

【００２３】なお、本発明は、後述するように弾性表面
波の定在波を利用するものではないので、駆動電極２２
と検出電極２３との空間的な位相差は任意に設定し得る
ものであるが、本実施の形態では、説明の容易性を考慮
して位相差を９０°としている。

【００２４】ディレイ回路４は、高周波電源３から出力
される高周波を遅延させるものである。駆動電極２２と
検出電極２３との距離Ｌ及び弾性表面波Ｗの波長λが既
知であるので、ディレイ回路４は、この距離Ｌと弾性表
面波Ｗの波長λとに基づき予め設定された所定の遅延時
間だけ入力された高周波を遅延させ、検出電極２３にお
ける弾性表面波Ｗと同相の位相を有する高周波に変成し
てスイッチ回路５に入力する。

【００２５】スイッチ回路５は、ディレイ回路４から入
力された高周波の振幅が０となるタイミングを検出し、
このタイミングで予め設定された所定の微小時間だけ検
出電極２３と積分器６とを接続するものである。すなわ
ち、スイッチ回路５は、検出電極２３における弾性表面
波Ｗの振幅が０となるときに検出電極２３に生じた電圧
をサンプリングするものである。

【００２６】この検出信号のサンプリングは、コリオリ
力に起因する弾性波が弾性表面波Ｗに対して位相が９０
°ずれて発生し、弾性表面波Ｗの振幅が０となるタイミ
ングではコリオリ力に起因する弾性波の振幅が最大とな
るから、このタイミングで検出電極２３から出力される
電圧を抽出することにより、コリオリ力に対応する電圧
のみを検出するものである。なお、コリオリ力の検出の
詳細については後述する。

【００２７】積分器６は、スイッチ回路５でサンプリン
グされた検出電極２３の検出電圧を所定時間（すなわ
ち、所定のサンプリング数）だけ整流積分するものであ
る。このジャイロスコープ１は、弾性表面波Ｗ及びコリ
オリ力に起因する弾性波が検出電極２３上を進行し、圧
電効果によりこの検出電極２３に発生する電圧を瞬間的
にサンプリングして検出するもので、１回のサンプリン
グでは検出レベルが非常に小さくなるので、サンプリン
グされた検出信号を整流積分することにより検出信号の
レベルを高くするものである。

【００２８】Ａ／Ｄ変換器７は、積分器６から出力され
る検出信号をアナログ信号からデジタル信号に変換する
ものである。Ａ／Ｄ変換された検出信号は図略のマイク
ロコンピュータからなる演算回路に入力され、この演算
回路で検出信号に基づき圧電素子２に加えられた回転方
向の速度（回転角速度）が演算される。

【００２９】上記構成において、高周波電源３から駆動
電極２２に所定周波数の高周波が印加されると、図２に
示すように、逆圧電効果により圧電基板２１の表面に弾
性表面波Ｗが発生し、この弾性表面波Ｗは、検出電極２
３側に進行する。検出電極２３上を弾性表面波Ｗが進行
すると、圧電効果により検出電極２３に電圧が誘起され
る。この電圧波形は、弾性表面波Ｗに基づくものである
から、弾性表面波Ｗの進行に応じて変化する交流波形と
なっている。

【００３０】弾性表面波Ｗにより圧電基板２１を振動さ
せた状態で、この圧電基板２１が回転運動を行なうと、
コリオリ力が作用する。このコリオリ力ｆ_Cは、圧電基
板２１の粒子密度ρ、楕円運動をしている粒子の振動速
度Ｖ及び圧電基板２１の回転角速度Ωに関係し、下記
のベクトル式で表される。なお、式において、ゴシッ
ク体の記号はベクトルであることを示す。

【００３１】

【数１】

【００３２】今、図１に示すように、ｘｙ平面が圧電基
板２１の表面にあり、ｚ軸を圧電基板２１の表面の法線
方向、ｘ軸を弾性表面波Ｗの進行方向とするｘｙｚの直
交座標系を設定すると、ｘｚ面内で楕円運動をしている
粒子の振動速度Ｖは、ｘ軸方向の成分Ｖ_xとｚ軸方向の
成分Ｖ_zとに分離することができる。

【００３３】圧電基板２１がｚ軸の回りに回転角速度Ω
_zで回転運動を行なった場合、振動速度成分Ｖ_zの方向と
回転軸（ｚ軸）方向とが平行であるから、粒子の振動速
度成分Ｖ_xに対してのみ、図４に示すように、ｘ軸と直
交するｘｙ平面に平行なコリオリ力ｆ_Cy（＝−２ρ・Ｖ
_x・Ω_z）が作用する。このコリオリ力ｆ_Cyは、弾性表面
波Ｗに基づく粒子の楕円運動との相互作用により発生す
るから、図５に示すように、弾性表面波Ｗの伝播に伴い
この弾性表面波Ｗに同期して伝播する弾性波となってい
る。

【００３４】なお、圧電基板２１がｙ軸の回りに回転角
速度Ω_yで回転運動を行なった場合とｘ軸の回りに回転
角速度Ω_xで回転運動を行なった場合のコリオリ力ｆ
_Cは、以下のようになる。

【００３５】すなわち、圧電基板２１がｙ軸の回りに回
転角速度Ω_yで回転運動を行なった場合は、回転軸（ｙ
軸）方向が両振動速度成分Ｖ_x，Ｖ_zと直交しているの
で、両振動速度成分Ｖ_x，Ｖ_zに対してそれぞれコリオリ
力ｆ_Cz（＝２ρ・Ｖ_x・Ω_y）とｆ_Cx（＝−２ρ・Ｖ_z・
Ω_y）とが作用し、圧電基板２１がｘ軸の回りに回転角
速度Ω_xで回転運動を行なった場合は、回転軸（ｘ軸）
方向が振動速度成分Ｖ_xの方向と平行であるから、粒子
の振動速度成分Ｖ_zに対してのみコリオリ力ｆ_Cy（＝２
ρ・Ｖ_x・Ω_z）が作用する。

【００３６】従って、ｘ軸、ｙ軸及びｚ軸の各軸方向の
単位ベクトルをｉ_x，ｉ_y，ｉ_zで表記し、上記式で示
すベクトル式を各方向の成分で表すと、下記式のよう
になる。なお、式において、ゴシック体の記号はベク
トルであることを示す。

【００３７】

【数２】

【００３８】上記式より、コリオリ力ｆ_cは、ｘ軸、
ｙ軸及びｚ軸の各軸方向の成分の合成力となるが、コリ
オリ力ｆ_cの各成分は、圧電基板２１の分極方向、検出
電極２３及び弾性表面波Ｗの相互の関係を所定の関係に
設定することで分離、検出することができる。

【００３９】従って、本実施の形態では、説明の便宜
上、圧電基板２１がｚ軸の回りに回転角速度Ω_zで回転
運動を行なった場合を例に以下の説明を行なう。

【００４０】図６は、弾性表面波とコリオリ力ｆ_Cyによ
り生じたｙ軸方向に変位する弾性波と関係を示す図であ
る。

【００４１】ｚ軸方向に変位する弾性表面波Ｗに対して
コリオリ力ｆ_Cyにより生じたｙ軸方向に変位する弾性波
Ｃは位相が９０°ずれており、弾性表面波Ｗ及び弾性波
Ｃは、図６に示すように、ｘ軸方向に進行する。基板表
面の任意の位置で変位が０となるとき、コリオリ力ｆ_Cy
によるｙ軸方向の変位は最大となるが、弾性表面波Ｗに
より基板表面が収縮状態から伸縮している期間では、そ
の変位方向は＋ｙ方向（紙面手前から紙面後方に向かう
方向。図では、丸付きの「×」印で示す。）となり、伸
長状態から収縮している期間では、その変位方向は−ｙ
方向（紙面後方から紙面手前に向かう方向。図では、丸
付きの「・」印で示す。）となっている。

【００４２】図７は、駆動電極２２から検出電極２３に
伝播される弾性表面波Ｗの様子を示す図である。同図
（ａ），（ｂ），（ｃ）は、弾性表面波Ｗが進行するこ
とによって検出電極２３に生じる変位状態を示すもの
で、（ａ）は、検出電極２３の櫛形電極２３Ａの位置が
深さ方向に収縮した状態、（ｂ）は、同櫛形電極２３Ａ
の位置が静止した状態、（ｃ）は、同櫛形電極２３Ａの
位置が深さ方向に伸長した状態を示している。

【００４３】検出電極２３上を弾性表面波Ｗ及びコリオ
リ力ｆ_Cyによる弾性波Ｃが進行すると、これらの応力に
より櫛形電極２３Ａと櫛形電極２３Ｂとが互いに逆方向
に変位し、櫛形電極２３Ａと櫛形電極２３Ｂ間にその変
位量に応じた電圧が発生する。

【００４４】同図（ａ），（ｃ）の状態では、検出電極
２３の位置は弾性表面波Ｗにより深さ方向にも変位して
いるので、櫛形電極２３Ａと櫛形電極２３Ｂ間に発生す
る電圧には弾性表面波Ｗによる電圧成分が含まれるが、
同図（ｂ）の状態では、検出電極２３の位置は深さ方向
の変位が０であるから、櫛形電極２３Ａと櫛形電極２３
Ｂ間にはコリオリ力ｆ_Cyによる電圧のみが発生する。す
なわち、櫛形電極２３Ａの位置は基板表面と平行に紙面
後方側に変位し、櫛形電極２３Ｂの位置は基板表面と平
行には面手前側に変位し、この変位に起因する圧電基板
２１の分極により図に示す方向の電界Ｅが発生し、この
電界Ｅに対応する電圧Ｖが櫛形電極２３Ａと櫛形電極２
３Ｂ間に発生する。

【００４５】検出電極２３で検出される電圧Ｖはスイッ
チ回路５に出力されるが、スイッチ回路５は、ディレイ
回路４から入力された高周波の振幅が０となるタイミン
グ（検出電極２３の位置の深さ方向の変位が０となるタ
イミング）で微小時間だけ検出電極２３と積分器６とを
接続するので、積分器６にはコリオリ力ｆ_Cyによる電圧
Ｖのみがサンプリングされる。サンプリングされた検出
電圧Ｖは、積分器６で所定のサンプリング数だけ整流積
分される。

【００４６】図８は、積分器６における積分波形を示す
図である。同図において、スイッチ制御信号は検出電極
２３の検出信号のサンプリングを制御する信号であり、
リセット信号は、積分器６の各積分期間を制御する信号
である。また、τは弾性表面波Ｗがλ／２進行する時間
である。τ，３τ，…（２ｎ＋１）τのタイミングで
は、検出電極２３の検出電圧の極性が反転するので、積
分器６では整流して積分されている。この例では、積分
期間を３τ（サンプリング数を「３」）にしているの
で、積分器６からは１回の検出電圧Ｖの３倍のレベルを
有する検出電圧が３ｍτ（ｍ＝１，２，…）の周期でＡ
／Ｄ変換器７に出力される。なお、積分時間は任意に設
定することができ、３τに限定されるものではない。

【００４７】なお、前述のように、本実施の形態では説
明を容易にするために駆動電極２２と検出電極２３との
空間的な位相差を９０°としているが、前記位相差は前
述のように任意に設定可能である。その場合、９０°か
らの位相のずれに応じて前記サンプリングのタイミング
を遅延あるいは早めてやればよい。

【００４８】また、本発明は、弾性表面波Ｗの定在波を
利用するものではなく、駆動電極２２と検出電極２３と
の間の位相差に応じて検出信号のサンプリングのタイミ
ングを変更することによって正確なコリオリ力の検出が
可能となるので、圧電基板の製作に必要な製作精度を下
げることが可能となる。

【００４９】なお、本実施の形態では、定在波を発生さ
せないので、反射器用電極を設けてないが、弾性表面波
Ｗの発生効率を高めるため、駆動電極２２より基板エッ
ジ側に駆動用の反射器用電極を設けるようにしてもよ
い。また、コリオリ力の検出効率を高めるため、検出電
極２３より基板エッジ側に検出用の反射器用電極を設け
るようにしてもよい。

【００５０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明よれば、圧
電基板の表面を弾性表面波により所定周期で振動させ、
この振動と圧電基板の回転運動との相互作用により基板
表面に発生したコリオリ力を検出する弾性表面波ジャイ
ロスコープにおいて、圧電基板の弾性表面波の伝播路上
に第２の電極部材を形成し、この第２の電極部材の位置
における弾性表面波が零となるタイミングで、圧電効果
により第２の電極部材に発生する電圧を検出し、外部回
路に出力するようにしたので、弾性表面波の影響をうけ
ることなくコリオリ力に対応する電気信号のみを正確に
検出することができる。

【００５１】また、圧電基板の振動源として定在波を用
いていないので、従来のように定在波を生成するための
弾性表面波反射用の電極を設ける必要がなく、この分、
圧電基板の小型化が可能になる。

【００５２】また、本発明によれば、各タイミングで検
出されたコリオリ力に対応する電気信号を積分するよう
にしたので、微小信号を確実に検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る弾性表面波ジャイロスコープの構
成図である。

【図２】駆動電極と検出電極間に生じる弾性表面波の様
子を示す図である。

【図３】レイリー波における基板表面の粒子の変位を示
す図である。

【図４】弾性表面波による粒子の楕円運動に対するコリ
オリ力の発生方向を示す図である。

【図５】弾性表面波とコリオリ力に基づく弾性波の伝播
を示す図である。

【図６】弾性表面波とコリオリ力ｆ_Cyにより生じたｙ軸
方向に変位する弾性波との関係を示す図である。

【図７】駆動電極から検出電極に伝播される弾性表面波
の様子を示す図である。

【図８】積分器の積分波形を示す図である。

【符号の説明】

１ ジャイロスコープ ２ 検出素子 ２１ 圧電基板 ２２ 駆動電極（第１の電極部材） ２３ 検出電極（第２の電極部材） ３ 高周波電源（高周波生成手段） ４ ディレイ回路 ５ スイッチ回路（信号出力手段） ６ 積分器（積分手段）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 樋口 俊郎 神奈川県横浜市港北区茅ヶ崎南４−14−１ −１ (72)発明者 黒澤 実 神奈川県横浜市緑区すすき野１−６−11 (72)発明者 福田 祥愼 神奈川県川崎市高津区新作３−８−３

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電基板の表面を弾性表面波により所定
   周期で振動させ、この振動と圧電基板の回転運動との相
   互作用により基板表面に発生したコリオリ力を検出する
   弾性表面波ジャイロスコープにおいて、上記圧電基板の
   表面に形成された第１の電極部材と、上記弾性表面波を
   発生させるべく上記第１の電極部材に印加される高周波
   を生成する高周波生成手段と、上記圧電基板の表面の上
   記弾性表面波の伝播路上に形成された第２の電極部材
   と、上記第２の電極部材の位置において弾性表面波が零
   となるタイミングで上記第２の電極部材に発生している
   電気信号をサンプリングし、コリオリ力の検出信号とし
   て出力する信号出力手段とを備えたことを特徴とする弾
   性表面波ジャイロスコープ。
2. 【請求項２】 請求項１記載の弾性表面波ジャイロスコ
   ープにおいて、上記信号出力手段から出力されるサンプ
   リング信号を予め設定された所定回数だけ積分する積分
   手段を備えたことを特徴とする弾性表面波ジャイロスコ
   ープ。