JPH09258841A - 電子回路装置及び電子回路装置のクロック供給方法 - Google Patents

電子回路装置及び電子回路装置のクロック供給方法

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JPH09258841A
JPH09258841A JP8069583A JP6958396A JPH09258841A JP H09258841 A JPH09258841 A JP H09258841A JP 8069583 A JP8069583 A JP 8069583A JP 6958396 A JP6958396 A JP 6958396A JP H09258841 A JPH09258841 A JP H09258841A
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wiring
clock
electronic circuit
circuit device
backward
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Yukito Owaki
幸人 大脇
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Original Assignee
Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 プロセスバラツキに強く、クロックを安定に
供給する半導体装置及び半導体装置のクロック供給方法
を提供する。 【解決手段】 クロックソースから往復のクロック配線
を配設し、これを復路、往路に2分し復路と往路の2本
の配線を用い、配線遅延を検出し、クロックの調整を行
う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子回路装置、特
にLSI,IC等の半導体集積回路装置に係わり、これ
ら集積回路装置内あるいは装置間に安定したクロックを
供給する電子回路装置及び電子回路装置のクロック供給
方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、電子回路装置のなかで特にLSI
は、その高速化が進んでおり、現在既に500MHz以
上で動作するLSIも発表されている(K.Suzuk
i et al, ISSCC94p.214〜p.2
15)。こうしたLSIの動作を保証するには動作タイ
ミングの基準となるクロックのLSI内及びLSI間で
の位相のずれ即ち、クロックスキューを最小とする事が
高速化のための重要な鍵である。図10を用いて問題と
なるクロックスキューを説明する。クロックバッファー
60から出力端子61を介して出力されたクロック信号
により第1及び第2の論理回路64及び65が同期し動
作するが、第1の論理回路64がクロックバッファの近
くに位置し、一方、第2の論理回路65までの配線62
が例えばチップの端から端のように長い場合、第1の論
理回路64が受ける信号61−1と比較し、第2の論理
回路65が受ける信号63−1は図に示すように配線遅
延により遅くなってしまう。この信号の位相ずれΔtを
クロックスキューという。
【0003】このクロックスキュー低減方法の一つとし
て従来知られているものにクロックソースから各クロッ
ク供給先のレシーバーまでの配線遅延をこの配線遅延と
同程度の遅延を発生する遅延回路により補償する方法が
ある。しかるに半導体製造工程等工程でのばらつきによ
り配線遅延と遅延補償回路の遅延は異なってしまう。
【0004】即ち、例えば半導体装置の製造工程におい
ては上記配線の幅及び膜厚のばらつきに起因する抵抗の
ばらつき、配線上下の絶縁膜厚のばらつきに起因する配
線の寄生容量のばらつきにより抵抗Rと容量Cで決まる
配線遅延がばらついてしまう。一方、例えば遅延回路を
直列したCMOSインバーター列で構成するとこの遅延
はMOSトランジスタのゲート長、不純物プロファイ
ル、ゲート酸化膜厚等のばらつきに起因するしきい値ば
らつき、電流駆動能力ばらつき等によりばらついてしま
う。上記の配線遅延のばらつきと遅延補償回路の遅延ば
らつきは原因が異なる為、連動して変動せずある半導体
装置で遅延時間をあわせても製造した半導体装置では遅
延時間が異なりクロックスキューが発生してしまい、回
路が正常動作しなくなる場合があった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】このように従来のLS
I,IC等の半導体装置において、プロセスバラツキ等
に対して強くクロックの供給を安定に行なえ、回路の正
常動作を保証できるものは無かった。
【0006】本発明はこのような従来の問題点を解決し
たLSI内あるいはLSI間のクロック供給を行なえる
電子回路装置及び電子回路装置のクロック供給方法を提
供するものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の骨子は、クロッ
クソースから往復のクロック配線を配設しこれを復路、
往路に2分し、復路と往路のクロック信号の位相差ある
いは遅延差を検出し、この2つの信号のほぼ中間のクロ
ックを発生させることにある。
【0008】本発明によれば、往路と復路の2本の配線
を用い配線遅延を検出し、両者の平均化されたクロック
を出力するため、クロックの安定的供給を行なうことが
できる。また、往路及び復路に対して複数のレシーバー
を設ければ複数のレシーバーの位相を合わせることが可
能となる。また配線遅延を配線そのもので検知する為プ
ロセスバラツキ等に対して耐性が強い。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施例を説明する。図1は本発明の第1の実施例に係
る概略構成図である。1はクロック信号の入力端子であ
り2、3がクロック信号伝達を行う配線である。特に2
は往路配線、3は復路配線である。4は終端であり、5
は配線の中点に当たる折り返し点である。6−1は第1
のレシーバー8の第1の入力端子であり往路配線2と接
続している事が特徴である。6−2は第1のレシーバー
の第2の入力端子であり6−1の物理的近傍で復路配線
と接続していることが特徴である。レシーバー8及び1
4は位相検知器11、17とそれぞれ二つ一組で直列接
続された可変制御遅延回路9、10及び15、16より
構成される。
【0010】次に、図4を用いて信号入力端子6−1及
び6−2での信号の状態について説明する。ここでTa
をクロックの入力端子1から折り返し点5までの遅延時
間、Tbを入力端子1からレシーバーの第1の入力端子
6−1までの遅延時間とする。従って6−1での信号は
クロックの入力からTb遅延している。また第2の入力
端子6−2点については折り返し点5から終端4までの
遅延時間が入力端1から折り返し点5までの時間Taに
等しく、第2の入力端子6−2点から終端4までの遅延
時間は第2の入力端子6−2が6−1第1の入力端子の
物理的近傍である事からTbと等しくなる。従って、6
−2点での遅延は2XTa−Tbとなる。 6−1点 Tb 6−2点 2Ta−Tb 従って6−1点と6−2点の遅延時間の平均をとれば平
均値は(2Ta−Tb+Tb)/2=TaとなりTbの
位置には依存しない即ち、入力端子の位置に依存しない
一定値となる。つまり、往路及び復路のそれぞれに互い
に物理的近傍に位置された2つの入力端子が設けられれ
ば、前記クロック配線2,3上のいずれの場所からもほ
ぼ一定化された位相信号を取り出すことが出来、この事
はチップ上どこでも同じ位相の信号を合成出来る事を示
している。
【0011】ここで、本発明における物理的近傍に位置
する入力端子の設け方の他の実施例について図8を用い
て説明する。実際にLSI等の半導体装置が電子回路装
置に適用する場合、図8(a)〜(d)に示す様にクロ
ック配線2,3に対して複数のレシーバー81 ,82
3 を介して複数の論理回路(図では省略)を接続する
ことが考えられる。この場合、クロック配線2,3に対
するレシーバー81 ,82 ,83 への入力端子6−1,
6−2の位置としては、図8(a)に示す様にクロック
配線2,3と直交する直線上に配置してもよいし、図8
(b),(c)に示す様にΔl1 ,Δl2 だけ全体的に
左右どちらかにずらして配置してもよい。図8(b),
(c)の様にするとクロック配線2,3からレシーバー
1 ,82 ,83 への配線レイアウトが容易となる。
【0012】また、図8(d)に示す様に折り返し点5
は必ずしも点でなくて良く往路2と復路3の間が所定距
離Lあっても良い。要は、第1の入力端子6−1と第2
の入力端子6−2におけるクロック位相またはクロック
遅延の平均がクロック配線のどの位置でもほぼ一定とな
ることが重要であり、物理的近傍とはここでは、その様
な位置関係を満たすものをいう。
【0013】図8(d)において、Lを意図的に大きく
し、クロック配線2,3に囲まれる領域にレシーバー、
論理回路を配置することも出来る。また、変形例として
複数の論理回路のうち、特定の論理回路に対しては、他
とは位相をずらしたクロック信号を与えたい場合には、
その特定の論理回路の入力端子の位置は他の入力端子と
は変えて設ける様にすることも出来る。次に上記遅延時
間の平均をとる回路について説明する。
【0014】図1に示すように第1の入力端子6−1
は、可変遅延回路9に入力し、さらにそれに直列に可変
遅延回路12が接続されている。可変遅延回路9と12
の遅延の合計と第2の入力端子6−2の配線遅延を受け
た後の信号の位相を位相比較器11で比較し、位相が合
うように可変遅延回路9及び12の遅延を調整する。こ
こで可変遅延回路9と12の遅延時間を等しく設定する
と可変遅延回路9の出力13では第1及び第2の入力端
子6−1と6−2の遅延時間の平均の遅延時間を持った
出力が得られる。次に位相比較器及び可変遅延回路の例
を示す。
【0015】図5に位相比較器を示す。入力31と入力
32が共にHレベルの状態から一方がLレベルに遷移し
た事を検知すると位相比較を開始する。信号32が先に
下がると信号34がアクティブになり信号31が先に下
がると信号33がアクティブとなる。さらにもう一方の
信号が立ち下がるまでの期間を位相差として検知する。
【0016】図6に可変遅延回路の例を示す。位相検知
器からの出力に従い遅れている場合は位相比較器の出力
信号33により図6(a)の可変遅延回路用電位発生回
路スイッチ37が導通し、出力ノード(電流変調用入
力)40の電位が上がり、図6(b)の可変遅延回路デ
ィレイ部のトランジスタ441 ,442 ,443 の電流
駆動能力が上がる為遅延時間が減少する。逆に早い場合
は位相比較器の出力信号34により、図6(a)の可変
遅延回路用電位発生回路のスイッチ38が導通し、出力
ノード40の電位が下がり図6(b)の可変遅延回路デ
ィレイ部のトランジスタ441 ,442 ,443 の電流
駆動能力が減少し遅延が大きくなる。
【0017】以上により位相を比較し、位相をそろえる
事ができる。図6(a)において、35及び36は第1
及び第2の電流源、39はローパスフィルターであり、
図6(b)において40は電流変調用入力、411 ,4
2,413 は各インバータのPMOSロード、42
1 ,422 ,423 は各インバータのnMOSドライバ
ー、441 ,442 ,443 は各インバータの可変電流
源、45は第1のインバータの入力、46は第1のイン
バータの出力、47は第2のインバータの出力、48は
第3のインバータの出力である。又、図5,図6ではN
MOS側のみを制御したが、相補的に構成する事は容易
であり、図7に例を示す。
【0018】次に図2(a)に第2の実施例の概略構成
図を示す。第1の実施例と異なる点は往路を駆動するバ
ッファ20と復路を駆動するバッファ21を設けている
点である。ここでバッファ回路とは通常のCMOSイン
バータを複数段直列接続したものやカレントミラー型作
動増幅器等である。第1の実施例と同じく往路の遅延
(正確にはバッファでの遅延足す配線遅延)と復路(正
確にはバッファでの遅延足す配線遅延)が等しくなるよ
うに設計する。第1の実施例と比較し、特に長大な配線
で伝搬波形の劣化が問題になる場合この構成の方が好ま
しい。さらにレシーバー8,14の入力端子の容量を低
減する為、バッファ22ないし24を具備し、それと遅
延を合わせる為に位相比較器の入力部にもバッファ23
ないしバッファ25を具備している。その他の構成は図
1の第1の実施例と同様である。次に図2(b)に第3
の実施例の概略構成図を示す。第1の実施例と異なる点
はクロックが相補的信号により配線供給される点であ
る。この場合でも1組の配線2a,2b,3a,3bを
いずれも往復配線し、往路2a,2bと復路3a,3b
の位相差を検知することにより往復配線の位置によらな
いクロックを発生させることができる。
【0019】次に図3に本発明の好ましい使用例を示
す。半導体チップ26のほぼ中央に往復配線(ないしは
往復バッファと配線)を設け、位相を合わせたい論理回
路29,30とレシーバー27,28を一組としチップ
内に複数配設する。チップ中央に配線することによりチ
ップ全体にほぼ均等なクロックを供給し易い配置とする
事ができる。又、図3の実施例ではクロック入力をチッ
プ端に設けているがチップ中央を起点としそこからチッ
プ左右にそれぞれ配線しても良い。
【0020】図9に本発明におけるクロック配線への雑
音の影響を抑える実施例を示す。クロック配線2及び3
に隣接配線から容量結合により印可される雑音を減らす
為、Vcc66ないしはVss67のような電源配線を
並行して配設する。電源線は一般の信号線と異なり、振
幅しない為のシールドの役割をはたす。特にLSIチッ
プにおいては片方をVcc線からVss線へ電流を流す
とVcc線の電位は低下しその電荷が流れ込んだVss
線の電位は上昇する即ちLSIチップにおいてはVcc
線とVss線は同じタイミングで逆方向(一方は下がり
一方は上がる)に変化する。従ってクロック配線のシー
ルドの一方をVcc、一方をVssとし、それらとクロ
ック配線間に同程度の容量結合をもつようにする事で容
量結合による雑音は低減あるいはキャンセルされる。上
記は平面上(左右)の実施例であるがシールドは上下に
設けてもあるいは上下左右に設けても良い。又、Vc
c、Vss線を入力端1の近傍で取り、配線する事によ
り66と67の配線遅延が2,3と同じであるので伝搬
するクロックに従い雑音も66ないし67を伝搬する為
配線上どの位置のレシーバーにも同様な影響を与える事
が出来るため場所に応じて最適設計する必要が無くさら
に好ましい。さらにまた、この実施例においても前述し
た各実施例の構成を採用することはもちろん可能であ
る。
【0021】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、分散
した回路に回路の位置によらず同期したクロックを供給
する事ができる。また本発明に置いて配線遅延を配線遅
延により検知するためプロセスばらつきにより効果が劣
化する事はない。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施例を示す概略構成図。
【図2】 本発明の第2,第3の実施例を示す概略構成
図。
【図3】 本発明の好ましい使用例を示す概略構成図。
【図4】 本発明のクロックタイミングを説明するため
の説明図。
【図5】 本発明の実施例に用いられる位相検知回路の
回路図。
【図6】 本発明の実施例に用いられる可変遅延回路の
回路図。
【図7】 本発明の実施例に用いられる可変遅延回路の
他の例を示す回路図。
【図8】 本発明のその他の実施例を示す概略構成図。
【図9】 本発明のクロック配線のレイアウトの一例を
説明するための図。
【図10】 従来の問題点を説明するための図。
【符号の説明】
1…信号入力端子、2…往路、3…復路、4…終端、5
…折り返し点(中点)、6−1…第1のレシーバーの第
1の入力端子、6−2…第1のレシーバーの第2の入力
端子、7−1…第2のレシーバーの第1の入力端子、7
−2…第2のレシーバーの第2の入力端子、8…第1の
レシーバー、9…第1のレシーバーの第1の可変ディレ
イ回路、10…第1のレシーバーの第2の可変ディレイ
回路、11…第1のレシーバーの位相検知回路、12…
第1のレシーバーの位相検知の出力、、13…第1のレ
シーバーの出力、14…第2のレシーバー、15…第2
のレシーバーの第1の可変ディレイ回路、16…第2の
レシーバーの第2の可変ディレイ回路、17…第2のレ
シーバーの位相検知回路、18…第2のレシーバーの位
相検知の出力、19…第1のレシーバーの出力
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H04L 7/00

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 クロックソースと、基体上に設けられた
    往路及び復路を有し、前記クロックソースからクロック
    が供給されるクロック配線と、前記往路及び復路のクロ
    ックの位相差を検知し、前記往復配線の位置によらない
    クロックを発生せしめる手段とを備えたことを特徴とす
    る電子回路装置。
  2. 【請求項2】 前記往路配線を駆動するバッファと復路
    配線を駆動するバッファが往路、復路それぞれの配線に
    設けられたことを特徴とする請求項1記載の電子回路装
    置。
  3. 【請求項3】 前記2つのバッファはそれぞれほぼ同程
    度のクロックの遅延時間を有する様に設定されているこ
    とを特徴とする請求項2記載の電子回路装置。
  4. 【請求項4】 前記基体は半導体チップであることを特
    徴とする請求項1記載の電子回路装置。
  5. 【請求項5】 前記往復配線は前記半導体チップ上のほ
    ぼ中央に延在せしめられていることを特徴とする請求項
    4記載の電子回路装置。
  6. 【請求項6】 前記往路配線と復路配線の配線幅はほぼ
    等しくされたことを特徴とする請求項1記載の電子回路
    装置。
  7. 【請求項7】 クロックソースと、基体上に設けられた
    往路及び復路を有し、前記クロックソースからクロック
    が供給されるクロック配線と、前記往路の第1の所定位
    置と前記復路の第1の所定位置の物理的近傍にある第2
    の所定位置のそれぞれに接続された第1の入力端子と第
    2の入力端子を有し、前記第1の入力端子及び第2の入
    力端子から前記往路及び復路のクロックの遅延を検知
    し、その平均を出力するレシーバー回路とを備えたこと
    を特徴とする電子回路装置。
  8. 【請求項8】 前記往路配線を駆動するバッファと復路
    配線を駆動するバッファが往路、復路それぞれの配線に
    設けられたことを特徴とする請求項7記載の半導体装
    置。
  9. 【請求項9】 前記2つのバッファはそれぞれほぼ同程
    度のクロックの遅延時間を有する様に設定されているこ
    とを特徴とする請求項8記載の電子回路装置。
  10. 【請求項10】 前記基体は半導体チップであることを
    特徴とする請求項7記載の電子回路装置。
  11. 【請求項11】 前記往復配線は前記半導体チップ上の
    ほぼ中央に延在せしめられていることを特徴とする請求
    項10記載の電子回路装置。
  12. 【請求項12】 前記往路配線と復路配線の配線幅はほ
    ぼ等しくされたことを特徴とする請求項7記載の電子回
    路装置。
  13. 【請求項13】 前記往路及び復路に接続されたレシー
    バー回路が複数設けられ、各レシーバー回路からの一定
    化されたクロック出力が半導体回路内あるいは半導体回
    路間に供給される様にしたことを特徴とする請求項7記
    載の電子回路装置。
  14. 【請求項14】 前記レシーバー回路は第1復路の第1
    の入力端子に直列に接続された第1及び第2の可変遅延
    回路と、この可変遅延回路の遅延の合計と第2の入力端
    子に接続され、この端子の信号の位相を比較し、位相が
    合うように遅延の調整を行う位相検知回路とから構成さ
    れることを特徴とする請求項13に記載の電子回路装
    置。
  15. 【請求項15】 前記クロック配線は相補的信号が供給
    される一対の配線からなり、それぞれの配線に対して前
    記往路及び復路のクロック遅延を検知し、その平均を出
    力するレシーバー回路が設けられたことを特徴とする請
    求項7記載の電子回路装置。
  16. 【請求項16】 前記クロック配線は相補的信号が供給
    される一対の配線からなり、それぞれの配線に対して前
    記往路及び復路のクロックの位相差を検知し、前記往復
    配線の位置によらないクロックを発生せしめる手段が設
    けられたことを特徴とする請求項1記載の電子回路装
    置。
  17. 【請求項17】 基体上に設けられた往路及び復路を有
    するクロック配線と、前記クロック配線の左右または上
    下にそれぞれ設けられたVcc線及びVss線とを備
    え、前記Vcc線及びVss線によりクロック配線のシ
    ールドを行うようにしたことを特徴とする電子回路装
    置。
  18. 【請求項18】 前記クロック配線の往路及び復路のク
    ロックの位相差を検知し、前記往復配線の位置によらな
    いクロックを発生せしめる手段をさらに備えたことを特
    徴とする請求項17記載の電子回路装置。
  19. 【請求項19】 前記往路上の第1の所定位置と前記復
    路上にあって第1の所定位置の物理的近傍にある第2の
    所定位置のそれぞれに接続された第1の入力端子と第2
    の入力端子を有し、前記第1の入力端子及び第2の入力
    端子から前記往路及び復路のクロックの遅延を検知し、
    その平均を出力するレシーバー回路とを備えたことを特
    徴とする請求項17記載の電子回路装置。
  20. 【請求項20】 クロック配線を往復配線し、往路及び
    復路にお互いに物理的近傍に位置する第1及び第2の入
    力端子から、前記往路及び復路のクロック遅延を検知
    し、その平均を出力することにより一定化されたクロッ
    ク出力を半導体回路内あるいは半導体回路間に供給する
    ことを特徴とする電子回路装置のクロック供給方法。
JP8069583A 1996-03-26 1996-03-26 電子回路装置及び電子回路装置のクロック供給方法 Pending JPH09258841A (ja)

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