JPH09258260A - 液晶表示装置 - Google Patents

液晶表示装置

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JPH09258260A
JPH09258260A JP6663496A JP6663496A JPH09258260A JP H09258260 A JPH09258260 A JP H09258260A JP 6663496 A JP6663496 A JP 6663496A JP 6663496 A JP6663496 A JP 6663496A JP H09258260 A JPH09258260 A JP H09258260A
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JP
Japan
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liquid crystal
polymer
pixel electrode
dispersed liquid
display device
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Application number
JP6663496A
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English (en)
Inventor
Mitsushi Ikeda
光志 池田
Yoko Fukunaga
容子 福永
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】高分子分散型液晶を用いた表示装置であって、
接続不良を防止できるとともに、製造工程を簡略化でき
る液晶表示装置を提供することを目的とする。 【解決手段】TFT11Rと画素電極13Rとは、コン
タクトホール22Rを介して接続されている。TFT1
1Gと画素電極13Gとは、コンタクトホール22Gを
介して接続され、コンタクトホール22Gにおける画素
電極13R及び共通電極16aの露出部分は絶縁膜23
により絶縁されている。TFT11Bと画素電極13B
とは、コンタクトホール22Bを介して接続され、コン
タクトホール22Bにおける画素電極13R、共通電極
16a、及び画素電極13Gの露出部分は絶縁膜24に
より絶縁されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、液晶表示装置に
係り、特に高分子分散液晶を用いた液晶表示装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】近年、パーソナルコンピュータのディス
プレイや小型テレビなどに用いられる表示装置として、
薄型軽量の液晶表示装置が注目されている。さらに、こ
の液晶表示装置は、壁掛けテレビやコンピュータ用の大
型ディスプレイとしての用途も期待されている。
【0003】液晶表示装置における表示容量の大型化に
際しての問題点は、第1に、従来多く用いられているT
N型若しくはSTN型液晶は、視角依存性があるために
画面の上下左右や見る位置によって色が違って見えた
り、コントラスト比が低下することである。第2の問題
点は、TN型液晶では、偏向板が2枚必要となり、これ
らの偏向板により光が吸収されて透過率が低くなるた
め、表示画面が暗くなることである。また、カラー表示
を可能とするために、カラーフィルタにより光の3元
素、例えば赤(R)、緑(G)、及び青(B)を形成し
ているため、光の利用効率が1/3以下になるという問
題もある。
【0004】このような問題点を解決するために、高分
子材料中に液晶を分散させた高分子/液晶複合膜、すな
わち高分子分散型液晶が注目されている。この高分子分
散型液晶は、光の散乱及び透過を利用して画面を表示さ
せるため、原理的に視角依存性がない。このため、画面
が大きくなった場合でも、見る位置によって画面の上下
左右で色が変わって見えたり、コントラスト比が低下す
るようなことはない。ところで、このような高分子分散
型液晶を用いてカラー表示させる場合、液晶層が複数層
に積層される。例えば、特願平4−103082号によ
れば、それぞれ独立した共通電極、高分子分散型液晶
層、及び画素電極を含むR、G、B用の各セルをアレイ
基板上に積層した構造の液晶表示装置が提案されてい
る。この液晶表示装置は、アレイ基板上にR、G、B各
セルを駆動するために、アレイ基板上に形成された薄膜
トランジスタ(TFT)を備えている。各セルの画素電
極は、液晶層を貫通して設けられた柱状の電極によりア
レイ基板上のTFTに接続されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
積層構造を有する高分子分散型液晶を用いた表示装置を
製造する場合、複数の薄膜を基板表面から順に縦方向に
積層するため、画素電極と基板上の配線パターン、例え
ばTFTとの接続において、両者の間に大きな段差が存
在し、断線などの接続不良が発生しやすい。
【0006】また、柱状の電極を形成するために、液晶
層を貫通することにより、液晶が漏れ出して閉じこめて
おくことができないというような問題が発生する。
【0007】さらに、各色のセルを形成する毎に柱状の
電極を形成するため、製造工程が煩雑となり製造コスト
を高くする問題も生じる。
【0008】そこで、この発明の目的は、高分子分散型
液晶を用いた表示装置であって、接続不良を防止できる
とともに、製造工程を簡略化できる液晶表示装置を提供
することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記目的を
達成するために、高分子分散液晶に2色性色素を混合し
た複数の液晶層を有する液晶表示装置において、層間の
電極は、電着によって形成された絶縁膜により他の電極
と絶縁されているとともに、金属メッキによって形成さ
れた金属膜により能動素子に導通されていることを特徴
とする液晶表示装置を提供するものである。
【0010】また、この発明によれば、高分子材料中に
2色性色素及び液晶分子を分散させることにより形成さ
れ、積層された複数の高分子分散液晶層に対応して各高
分子分散液晶層の一方の主面に形成された複数の画素電
極と、前記複数の高分子分散液晶層に少なくとも1層に
おける他方の主面に形成された共通電極と、前記複数の
画素電極をそれぞれ独立して駆動する複数の能動素子
と、を備えた液晶表示装置であって、この液晶表示装置
は、前記能動素子と前記画素電極との間の中間層を貫通
する孔と、前記孔における前記中間層に含まれる他の画
素電極及び共通電極の露出部分に電着された絶縁膜と、
前記能動素子及び前記画素電極を導通するために前記孔
にメッキされた金属と、を備えていることを特徴とする
液晶表示装置が提供される。
【0011】さらに、この発明によれば色分解された第
1の色成分に対応する色素及び液晶分子を光硬化性の高
分子材料中に分散させることにより形成された第1高分
子分散液晶層と、前記第1高分子分散液晶層の一方の主
面上にマトリクス状に形成された複数の画素電極を含む
第1画素電極部と、前記第1の色成分とは異なる第2の
色成分に対応する色素及び液晶分子を光硬化性の高分子
材料中に分散させることにより形成された第2高分子分
散液晶層と、前記第2高分子分散液晶層の一方の主面上
にマトリクス状に形成された複数の画素電極を含む第2
画素電極部と、前記第1及び第2の色成分とは異なる第
3の色成分に対応する色素及び液晶分子を光硬化性の高
分子材料中に分散させることにより形成された第3高分
子分散液晶層と、前記第3高分子分散液晶層の一方の主
面上にマトリクス状に形成された複数の画素電極を含む
第3画素電極部と、前記第1乃至第3画素電極部に含ま
れる複数の画素電極をそれぞれ独立して駆動する複数の
能動素子と、前記第1乃至第3高分子分散液晶層のうち
少なくとも1層の他方の主面上に形成され、前記第1乃
至第3画素電極に対向して配置されているとともに、前
記第1乃至第3画素電極部との間で電位差を生じさせて
前記第1乃至第3高分子分散液晶層の各液晶分子を駆動
する共通電極と、前記複数の能動素子が配列されている
とともに、前記複数の能動素子上に前記第1乃至第3高
分子分散液晶層、前記第1乃至第3画素電極、及び前記
共通電極が積層されている基板と、を備えた液晶表示装
置であって、前記基板上の能動素子と前記画素電極との
間の中間層を貫通する孔を形成し、この孔における前記
中間層に含まれる他の画素電極部及び共通電極の露出部
分に絶縁膜を電着した後、前記孔に金属をメッキするこ
とにより、前記能動素子及び前記画素電極が導通され、
前記能動素子及び前記画素電極と前記中間層に含まれる
他の画素電極部及び共通電極とが絶縁されていることを
特徴とする液晶表示装置が提供される。
【0012】さらにまた、この発明によれば、高分子分
散液晶に2色性色素を混合した複数の液晶層を有する液
晶表示装置において、層間の電極及びこの電極と能動素
子との間を貫通する孔に充填される導電性部材は、流動
性材料によって形成されていることを特徴とする液晶表
示装置が提供される。
【0013】またさらに、この発明によれば、高分子分
散液晶に2色性色素を混合した複数の液晶層を有する液
晶表示装置において、画素間は、絶縁膜により分離され
ていることを特徴とする液晶表示装置が提供される。
【0014】さらにまた、この発明によれば、高分子材
料中に2色性色素及び液晶分子を分散させることにより
形成され、積層された複数の高分子分散液晶層に対応し
て各高分子分散液晶層の一方の主面に形成された複数の
画素電極と、前記複数の高分子分散液晶層に少なくとも
1層における他方の主面に形成された共通電極と、前記
複数の画素電極をそれぞれ独立して駆動する複数の能動
素子と、を備えた液晶表示装置であって、この液晶表示
装置は、前記能動素子と前記画素電極との間の中間層を
貫通する孔と、前記孔における前記中間層に含まれる他
の画素電極及び共通電極の露出部分に形成された絶縁膜
と、前記能動素子及び前記画素電極を導通するために前
記孔に被覆された導電性部材と、を備えていることを特
徴とする液晶表示装置が提供される。
【0015】またさらに、この発明によれば、高分子材
料中に2色性色素及び液晶分子を分散させることにより
形成され、積層された複数の高分子分散液晶層と、前記
複数の高分子分散液晶層に対応して各高分子分散液晶層
の一方の主面に形成された複数の画素電極と、前記複数
の高分子分散液晶層に少なくとも1層における他方の主
面に形成された共通電極と、前記複数の画素電極をそれ
ぞれ独立して駆動する複数の能動素子と、前記複数の能
動素子が配列されているとともに、前記複数の能動素子
上に前記複数の高分子分散液晶層、前記複数の画素電
極、及び前記共通電極が積層されている基板と、を備え
た液晶表示装置であって、前記基板上に積層された前記
高分子分散液晶層の表面から前記基板上の能動素子まで
の間の中間層を貫通する孔を形成し、前記孔における前
記中間層に含まれる他の画素電極及び共通電極の露出部
分に絶縁膜を形成しつつ、前記孔に導電性部材を被覆し
た後この導電性部材が被覆された前記孔を含む前記高分
子分散液晶層の表面に画素電極を形成することにより、
この画素電極と前記能動素子とが導通され、前記能動素
子及び前記画素電極と前記中間層に含まれる他の画素電
極及び共通電極とが絶縁されていることを特徴とする液
晶表示装置が提供される。
【0016】また、この発明の目的は、以下に示すよう
な液晶表示装置及び液晶表示装置の製造方法によっても
達成できる。
【0017】すなわち、高分子材料中に2色性色素及び
液晶分子を分散させることにより形成され、積層された
複数の高分子分散液晶層と、前記複数の高分子分散液晶
層に対応して各高分子分散液晶層の一方の主面に形成さ
れた複数の画素電極と、前記複数の高分子分散液晶層に
少なくとも1層における他方の主面に形成された共通電
極と、前記複数の画素電極をそれぞれ独立して駆動する
複数の能動素子と、前記複数の能動素子が配列されてい
るとともに、前記複数の能動素子上に前記複数の高分子
分散液晶層、前記複数の画素電極、及び前記共通電極が
積層されている基板と、を備えた液晶表示装置であっ
て、前記基板上の能動素子と前記画素電極との間の中間
層を貫通する孔を形成し、この孔における前記中間層に
含まれる他の画素電極及び共通電極の露出部分に絶縁膜
を電着した後、前記孔に金属をメッキすることにより、
前記能動素子及び前記画素電極が導通され、前記能動素
子及び前記画素電極と前記中間層に含まれる他の画素電
極及び共通電極とが絶縁されていることを特徴とする液
晶表示装置であってもよい。
【0018】また、高分子材料中に2色性色素及び液晶
分子を分散させることにより形成され、積層された複数
の高分子分散液晶層に対応して各高分子分散液晶層の一
方の主面に形成された複数の画素電極と、前記複数の高
分子分散液晶層に少なくとも1層における他方の主面に
形成された共通電極と、前記複数の画素電極をそれぞれ
独立して駆動する複数の能動素子と、を備えた液晶表示
装置であって、この液晶表示装置は、前記能動素子と前
記画素電極との間の中間層を貫通する孔と、前記孔にお
ける前記中間層に含まれる他の画素電極及び共通電極の
露出部分に形成された絶縁膜と、前記能動素子及び前記
画素電極を導通するために前記孔に被覆された導電性部
材と、を備えていることを特徴とする液晶表示装置であ
ってもよい。
【0019】さらに、高分子材料中に2色性色素及び液
晶分子を分散させることにより形成され、積層された複
数の高分子分散液晶層と、前記複数の高分子分散液晶層
に対応して各高分子分散液晶層の一方の主面に形成され
た複数の画素電極と、前記複数の高分子分散液晶層に少
なくとも1層における他方の主面に形成された共通電極
と、前記複数の画素電極をそれぞれ独立して駆動する複
数の能動素子と、前記複数の能動素子が配列されている
とともに、前記複数の能動素子上に前記複数の高分子分
散液晶層、前記複数の画素電極、及び前記共通電極が積
層されている基板と、を備えた液晶表示装置であって、
前記基板上に積層された前記高分子分散液晶層の表面か
ら前記基板上の能動素子までの間の中間層を貫通する孔
を形成し、前記孔における前記中間層に含まれる他の画
素電極及び共通電極の露出部分に絶縁膜を形成しつつ、
前記高分子分散液晶層の表面及び前記孔に導電性部材を
被覆して、前記高分子分散液晶層の表面に画素電極を形
成することにより、この画素電極と前記能動素子とが導
通され、前記能動素子及び画素電極と前記中間層に含ま
れる他の画素電極及び共通電極とが絶縁されていること
を特徴とする液晶表示装置であってもよい。
【0020】またさらに、色分解された第1の色成分に
対応する色素及び液晶分子を光硬化性の高分子材料中に
分散させることにより形成された第1高分子分散液晶層
と、前記第1高分子分散液晶層の一方の主面上にマトリ
クス状に形成された複数の画素電極を含む第1画素電極
部と、前記第1の色成分とは異なる第2の色成分に対応
する色素及び液晶分子を光硬化性の高分子材料中に分散
させることにより形成された第2高分子分散液晶層と、
前記第2高分子分散液晶層の一方の主面上にマトリクス
状に形成された複数の画素電極を含む第2画素電極部
と、前記第1及び第2の色成分とは異なる第3の色成分
に対応する色素及び液晶分子を光硬化性の高分子材料中
に分散させることにより形成された第3高分子分散液晶
層と、前記第3高分子分散液晶層の一方の主面上にマト
リクス状に形成された複数の画素電極を含む第3画素電
極部と、前記第1乃至第3画素電極部に含まれる複数の
画素電極をそれぞれ独立して駆動する複数の能動素子
と、前記第1乃至第3高分子分散液晶層のうち少なくと
も1層の他方の主面上に形成され、前記第1乃至第3画
素電極に対向して配置されているとともに、前記第1乃
至第3画素電極部との間で電位差を生じさせて前記第1
乃至第3高分子分散液晶層の各液晶分子を駆動する共通
電極と、前記複数の能動素子が配列されているととも
に、前記複数の能動素子上に前記第1乃至第3高分子分
散液晶層、前記第1乃至第3画素電極、及び前記共通電
極が積層されている基板と、を備えた液晶表示装置であ
って、前記基板上に積層された前記高分子分散液晶層に
おいて、前記マトリクス状に形成される画素電極の位置
をマスクとして光ビームを照射し、画素電極間に相当す
る位置の高分子分散液晶層に含まれる光硬化性の高分子
材料を硬化させた後、この高分子材料の表面から前記基
板上の能動素子までの間の中間層を貫通する孔を形成
し、前記孔における前記中間層に含まれる他の画素電極
及び共通電極の露出部分に絶縁膜を形成しつつ、前記高
分子分散液晶層の表面及び前記孔に導電性部材を被覆し
て、前記高分子分散液晶層の表面に画素電極を形成する
ことにより、この画素電極と前記能動素子とが導通さ
れ、前記能動素子及び前記画素電極と前記中間層に含ま
れる他の画素電極及び共通電極とが絶縁されていること
を特徴とする液晶表示装置であってもよい。
【0021】さらにまた、色分解された第1の色成分に
対応する色素及び液晶分子を光硬化性の高分子材料中に
分散させることにより形成された第1高分子分散液晶層
と、前記第1高分子分散液晶層の一方の主面上にマトリ
クス状に形成された複数の画素電極を含む第1画素電極
部と、前記第1の色成分とは異なる第2の色成分に対応
する色素及び液晶分子を光硬化性の高分子材料中に分散
させることにより形成された第2高分子分散液晶層と、
前記第2高分子分散液晶層の一方の主面上にマトリクス
状に形成された複数の画素電極を含む第2画素電極部
と、前記第1及び第2の色成分とは異なる第3の色成分
に対応する色素及び液晶分子を光硬化性の高分子材料中
に分散させることにより形成された第3高分子分散液晶
層と、前記第3高分子分散液晶層の一方の主面上にマト
リクス状に形成された複数の画素電極を含む第3画素電
極部と、前記第1乃至第3画素電極部に含まれる複数の
画素電極をそれぞれ独立して駆動する複数の能動素子
と、前記第1乃至第3高分子分散液晶層のうち少なくと
も1層の他方の主面上に形成され、前記第1乃至第3画
素電極に対向して配置されているとともに、前記第1乃
至第3画素電極部との間で電位差を生じさせて前記第1
乃至第3高分子分散液晶層の各液晶分子を駆動する共通
電極と、前記複数の能動素子が配列されているととも
に、前記複数の能動素子上に前記第1乃至第3高分子分
散液晶層、前記第1乃至第3画素電極、及び前記共通電
極が積層されている基板と、を備えた液晶表示装置であ
って、前記基板上に積層された前記高分子分散液晶層に
おいて、前記マトリクス状に形成される画素電極の位置
をマスクとして光ビームを照射し、画素電極間に相当す
る位置の高分子分散液晶層に含まれる光硬化性の高分子
材料を硬化させた後、この高分子材料の表面から前記基
板上の能動素子までの間の中間層を貫通する孔を形成
し、前記孔における前記中間層に含まれる他の画素電極
及び共通電極の露出部分に絶縁膜を形成しつつ、前記孔
に導電性部材を被覆した後、この導電性部材が被覆され
た前記孔を含む前記高分子分散液晶層の表面に画素電極
を形成することにより、この画素電極と前記能動素子と
が導通され、前記能動素子及び前記画素電極と前記中間
層に含まれる他の画素電極及び共通電極とが絶縁されて
いることを特徴とする液晶表示装置であってもよい。
【0022】またさらに、高分子材料中に2色性色素及
び液晶分子を分散させることにより形成され、積層され
た複数の高分子分散液晶層と、前記複数の高分子分散液
晶層に対応して各高分子分散液晶層の一方の主面に形成
された複数の画素電極と、前記複数の高分子分散液晶層
に少なくとも1層における他方の主面に形成された共通
電極と、前記複数の画素電極をそれぞれ独立して駆動す
る複数の能動素子と、を備えた液晶表示装置の製造方法
であって、前記能動素子と前記画素電極との間の中間層
を貫通する孔を形成し、この孔における前記中間層に含
まれる他の画素電極及び共通電極の露出部分に絶縁膜を
電着した後、前記孔に金属をメッキすることにより、前
記能動素子及び前記画素電極を導通するとともに、前記
能動素子及び前記画素電極と前記中間層に含まれる他の
画素電極及び共通電極とを絶縁することを特徴とする液
晶表示装置の製造方法であってもよい。
【0023】さらにまた、光硬化性の高分子材料中に2
色性色素及び液晶分子を分散させることにより形成さ
れ、積層された複数の高分子分散液晶層と、前記複数の
高分子分散液晶層に対応して各高分子分散液晶層の一方
の主面にマトリクス状に形成された複数の画素電極を含
む複数の画素電極部と、前記複数の高分子分散液晶層に
少なくとも1層における他方の主面に形成された共通電
極と、前記複数の画素電極をそれぞれ独立して駆動する
複数の能動素子と、前記複数の能動素子が配列されてい
るとともに、前記複数の能動素子上に前記複数の高分子
分散液晶層、前記複数の画素電極、及び前記共通電極が
積層されている基板と、を備えた液晶表示装置の製造方
法であって、前記基板上に積層された前記高分子分散液
晶層において、前記マトリクス状に形成される画素電極
の位置をマスクとして光ビームを照射し、画素電極間に
相当する位置の高分子分散液晶層に含まれる光硬化性の
高分子材料を硬化させた後、この高分子材料の表面から
前記基板上の能動素子までの間の中間層を貫通する孔を
形成し、前記孔における前記中間層に含まれる他の画素
電極及び共通電極の露出部分に絶縁膜を形成しつつ、前
記高分子分散液晶層の表面及び前記孔に導電性部材を被
覆し、前記高分子分散液晶層の表面に画素電極を形成す
ることにより、この画素電極と前記能動素子とを導通す
るとともに、前記能動素子及び前記画素電極と前記中間
層に含まれる他の画素電極及び共通電極とを絶縁するこ
とを特徴とする液晶表示装置の製造方法であってもよ
い。
【0024】またさらに、光硬化性の高分子材料中に2
色性色素及び液晶分子を分散させることにより形成さ
れ、積層された複数の高分子分散液晶層と、前記複数の
高分子分散液晶層に対応して各高分子分散液晶層の一方
の主面にマトリクス状に形成された複数の画素電極を含
む複数の画素電極部と、前記複数の高分子分散液晶層に
少なくとも1層における他方の主面に形成された共通電
極と、前記複数の画素電極をそれぞれ独立して駆動する
複数の能動素子と、前記複数の能動素子が配列されてい
るとともに、前記複数の能動素子上に前記複数の高分子
分散液晶層、前記複数の画素電極、及び前記共通電極が
積層されている基板と、を備えた液晶表示装置の製造方
法であって、前記基板上に積層された前記高分子分散液
晶層において、前記マトリクス状に形成される画素電極
の位置をマスクとして光ビームを照射し、画素電極間に
相当する位置の高分子分散液晶層に含まれる光硬化性の
高分子材料を硬化させた後、この高分子材料の表面から
前記基板上の能動素子までの間の中間層を貫通する孔を
形成し、前記孔における前記中間層に含まれる他の画素
電極及び共通電極の露出部分に絶縁膜を形成しつつ、前
記孔に導電性部材を被覆した後、この導電性部材が被覆
された前記孔を含む前記高分子分散液晶層の表面に画素
電極を形成することにより、この画素電極と前記能動素
子とが導通され、前記能動素子及び前記画素電極と前記
中間層に含まれる他の画素電極及び共通電極とが絶縁さ
れていることを特徴とする液晶表示装置の製造方法であ
ってもよい。
【0025】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明の
実施の形態について詳細に説明する 図1は、この発明の第1の実施の形態に係る液晶表示装
置を概略的に示す平面図であり、図2は、図1の液晶表
示装置をB−B線で切断した断面図である。
【0026】第1の実施の形態に係る液晶表示装置は、
図1乃至図2に示すように、色分解された各色成分に対
応する複数の高分子分散液晶の層、すなわち赤(R)、
緑(G)及び青(B)に対応する層を積層してカラー表
示を可能としたものである。ここで、赤(R)に対応す
る層とは、赤を吸収するシアン系色素を含む層を意味
し、以下同様に、緑(G)に対応する層は、緑を吸収す
るマゼンタ系色素を含む層、青(B)に対応する層は、
青を吸収するイエロー系色素を含む層をそれぞれ意味し
ているものとする。
【0027】なお、同一の構成要素に対しては、各参照
符号に赤=R、緑=G、青=Bの記号を付加することで
各色成分に対応する構成要素を識別する。
【0028】図1及び図2に示すように、透明ガラス基
板10の上に、能動素子としての薄膜トランジスタ(以
下、TFTと称する)11のアレイが設けられている。
このTFT11は、赤(R)の液晶層14Rに対応して
配置された画素電極13Rを駆動するためのTFT11
R、緑(G)の液晶層14Gに対応して配置された画素
電極13Gを駆動するためのTFT11G、及び青
(B)の液晶層14Bに対応して配置された画素電極1
3Bを駆動するためのTFT11Bを含んでいる。TF
Tアレイ11R、11G、11B上には、パシベーショ
ン膜20が設けられている。なお、TFT11R、11
G、11Bの各ドレイン電極は、信号線18に接続さ
れ、各ゲート電極は、走査線19に接続されている。
【0029】パシベーション膜20の上には、例えばI
TO(Indium Tin Oxide)によって形成され、マトリク
ス状に配置された赤用の画素電極13Rが設けられてい
る。この画素電極13Rは、TFT11Rのソース電極
に接続されている。画素電極13Rを構成しているIT
Oを保護層上に形成するためには、スパッタ、蒸着等に
より形成されてもよいし、ゾル・ゲル法や液状の材料を
塗布してから固化するような方法により形成されてもよ
い。そして、アクリルやポリビニルアルコールまたは他
の有機絶縁膜を塗布し、焼成してから画素のパターンに
レジストを形成し、酸素プラズマまたは溶剤によりエッ
チングするようなパターニング工程により画素電極13
Rが形成される。また、印刷法により画素電極が形成さ
れてもよい。さらに、有機系の導電材料を用いて画素電
極を形成してもよい。
【0030】画素電極13R上には、高分子分散液晶層
14Rが設けられている。この液晶層14Rは、液晶分
子に赤色を吸収する色素を混合することよって形成され
ている。
【0031】すなわち、この赤用の高分子分散液晶層1
4Rの原料は、例えばエチルヘキシルアクリレート9部
及びアクリルオリゴマー(東亜合成化学社製)6部に、
赤色を吸収するシアン系2色性色素を混合したスメクチ
ック液晶を35部、光硬化開始材0.5部を均一に溶解
することによって得られる。なお、液晶と高分子材料と
の混合比は、適宜変更可能である。また、この原料に含
まれる高分子材料は、この実施の形態に限定されること
なく種々変更可能である。
【0032】そして、透明ガラス基板10とは別の剥離
用非密着層、例えば塩化ビニール薄膜を付着したガラス
基板を画素電極13Rに対して所定の間隔をおいて対向
配置する。
【0033】そして、高分子分散液晶14Rの原料を画
素電極13Rとガラス基板との間に注入し、紫外線照射
により硬化させた後、塩化ビニール薄膜を付着したガラ
ス基板を取り外すことにより、赤用の高分子分散液晶層
14Rが形成される。
【0034】なお、液晶分子に含まれる2色性色素は、
液晶分子の配向に伴って、液晶分子と同一方向に配列さ
れる。
【0035】高分子分散液晶層14R上には、ITO等
によって形成されている透明電極、すなわち対向電極1
6aが設けられている。
【0036】この対向電極16a上には、緑(G)用の
高分子分散液晶層14Gが設けられている。この液晶層
14Gは、液晶分子に緑色を吸収する色素を混合するこ
とよって形成されている。
【0037】すなわち、この緑用の高分子分散液晶層1
4Gは、液晶層14Rと同様に、例えばエチルヘキシル
アクリレート9部及びアクリルオリゴマー(東亜合成化
学社製)6部に、緑色を吸収するマゼンタ系2色性色素
を混合したスメクチック液晶を35部、光硬化開始材
0.5部を均一に溶解して画素電極13R上に注入し、
紫外線照射により硬化させることによって得られる。
【0038】高分子分散液晶層14Gの上には、緑用の
画素電極13Gが形成されている。この画素電極13G
も赤用の画素電極13Rと同様にITOを画素に対応し
てパターニングすることにより形成される。この画素電
極13Gは、TFT11Gのソース電極に接続されてい
る。
【0039】なお、対向電極16aは、赤用の液晶層1
4R及び緑用の液晶層14Gの両者に対して作用する共
通電極として機能している。
【0040】画素電極13G上には、SiN等の絶縁膜
21が設けられている。
【0041】絶縁膜21上には、青(B)用の画素電極
13Bが形成されている。この画素電極13Bも赤用の
画素電極13Rと同様にITOを画素に対応してパター
ニングすることにより形成される。この画素電極13B
は、TFT11Bのソース電極に接続されている。
【0042】画素電極13B上には、青用の高分子分散
液晶層14Bが設けられている。この液晶層14Bは、
液晶分子に青色を吸収する色素を混合することよって形
成されている。
【0043】すなわち、この青用の高分子分散液晶層1
4Bは、液晶層14Rと同様に、例えばエチルヘキシル
アクリレート9部及びアクリルオリゴマー(東亜合成化
学社製)6部に、青色を吸収するイエロー系2色性色素
を混合したスメクチック液晶を35部、光硬化開始材
0.5部を均一に溶解して画素電極13R上に注入し、
紫外線照射により硬化させることによって得られる。
【0044】高分子分散液晶14B上には、ITOによ
って形成された青用の対向電極16bが設けられてい
る。
【0045】対向電極16b上には、ガラスやアクリル
などの透明基板17が配置され、保護層としても機能す
る。
【0046】なお、透明ガラス基板10上には、青用の
高分子分散液晶14Bまで積層し、対向電極16bが設
けられている透明基板17を別に形成して対向電極16
bと高分子分散液晶14Bとを貼り合わせることによ
り、液晶表示装置を形成してもよいし、透明ガラス基板
10上に、順次各液晶層、画素電極、対向電極等を積層
させることにより、液晶表示装置を形成してもよい。
【0047】次に、各TFT11R、11G、11Bと
各画素電極13R、13G、13Bとの接続方法につい
て説明する。
【0048】まず、赤用の画素電極13RとTFT11
Rとの接続について説明する。すなわち、TFT11R
のソース電極上に相当するパシベーション膜20にコン
タクトホール22Rを形成する。そして、このパシベー
ション膜20上にITOをスパッタにより形成した後、
パターニングすることにより画素電極13Rを形成す
る。このスパッタにより、ITOがコンタクトホール2
2R内にも被覆されるため、TFT11Rのソース電極
と画素電極13Rとが接続される。
【0049】なお、TFT11Rのソース電極に直接I
TOを接触させてからパシベーション膜20を形成して
もよい。このように、TFTとTFTの近傍に位置する
画素電極とを接続するためには、通常のTFTを用いた
平面型の液晶表示装置と同様な方法を利用して接続すれ
ばよい。
【0050】続いて、赤用の画素電極13R上に、高分
子分散液晶層14R、共通電極16a、緑用の高分子分
散液晶層14G、及び画素電極13Gを連続的に積層す
る。続いて、以下のようにして緑用の画素電極13Gと
TFT11Gとを接続する。まず、画素電極13Gから
TFT11Gのソース電極上までコンタクトホール22
Gを形成する。
【0051】そして、コンタクトホール22Gの画素電
極13Rと共通電極16aとが露出している部分に電着
により絶縁膜を形成する。すなわち、このコンタクトホ
ール22Gを、例えばアクリル樹脂にメラミン樹脂、ア
ミン、及び水を加えた電解質溶液に浸漬し、画素電極1
3Rに対応するTFT11R及び共通電極16aに電圧
を印加することにより、コンタクトホール22G内にお
ける画素電極13R及び共通電極16aの露出部分にア
クリルポリマーの有機絶縁膜23が形成される。
【0052】そして、コンタクトホール22Gをメッキ
し、画素電極13G及びTFT11Gのソース電極を導
通させる。すなわち、画素電極13Gに対応するTFT
11Gのゲート電極に電圧を印加して導通させ、ニッケ
ル(Ni)をメッキする。このようにして画素電極13
GとTFT11Gのソース電極とが電気的に接続され
る。
【0053】続いて、緑用の画素電極13G上に絶縁層
21、及び青用の画素電極13Bを連続的に積層する。
【0054】続いて、以下のようにして青用の画素電極
13BとTFT11Bとを接続する。まず、画素電極1
3BからTFT11Bのソース電極上までコンタクトホ
ール22Bを形成する。
【0055】そして、コンタクトホール22Bの画素電
極13R、共通電極16a、及び画素電極13Gが露出
している部分に電着により絶縁膜を形成する。すなわ
ち、このコンタクトホール22Bを、例えばアクリル樹
脂にメラミン樹脂、アミン、及び水を加えた電解質溶液
に浸漬し、画素電極13Rに対応するTFT11R、共
通電極16a及び画素電極13Gに電圧を印加すること
により、コンタクトホール22B内における画素電極1
3R、共通電極16a、及び画素電極13Gの露出部分
にアクリルポリマーの有機絶縁膜24が形成される。
【0056】そして、コンタクトホール22Bをメッキ
し、画素電極13B及びTFT11Bのソース電極を導
通させる。すなわち、画素電極13Bに対応するTFT
11Bのゲート電極に電圧を印加して導通させ、ニッケ
ル(Ni)をメッキする。このようにして画素電極13
BとTFT11Bのソース電極とが電気的に接続され
る。
【0057】このように、各色成分毎に配置された画素
電極とTFTとを電気的に接続し、それぞれ独立して駆
動することにより、赤、緑、青を表示し、3層全体でカ
ラー表示させることが可能となる。このカラー表示は、
液晶表示装置の背面、すなわち透明ガラス基板10の裏
面側から白色光を照射し、赤、緑、青の光の吸収強度を
3種類の高分子分散液晶層により制御することによって
達成される透過モードで行われる。
【0058】上述したように、電着とメッキによりTF
Tと画素電極とを電気的に接続させることができる。こ
れにより、積層構造の深いコンタクトホールに対して
も、容易に電極のコンタクトをとることができる。IT
Oをマスクにして高分子分散液晶層を黒色に染色して光
散乱防止層を形成することにより各色の混色を防止する
とともに、コントラストを向上させるのに効果的であ
る。
【0059】また、カラーフィルター及び偏光板を使用
することなくカラー表示装置を構成することができるの
で、光の利用効率を向上させることができると共に、装
置の構造を簡素化できる。
【0060】さらに、高分子分散液晶に染料(2色性色
素)を混合することにより、ある波長の光吸収強度を制
御することができる。すなわち、光の3元素に対応した
染料をそれぞれ添加した3種類の液晶層を積層すること
により、光の3原色の強度を制御し、フルカラー表示が
可能となる。この時、色の制御は、液晶表示装置の背面
側、すなわち透明ガラス基板10の裏面側から照射され
た白色光を分光することにより行われるため、光の利用
効率はほぼ100%である。
【0061】次に、この発明の第2の実施の形態に係る
液晶表示装置ついて説明する。なお、第1の実施の形態
に係る液晶表示装置と同一の構成要素に対しては、同一
の参照符号を付して詳細な説明を省略する。
【0062】すなわち、第2の実施の形態に係る液晶表
示装置は、図3に示すように、透明ガラス基板10の上
に、TFT11R、TFT11G、TFT11Bを備え
ている。TFTアレイ11R、11G、11B上には、
パシベーション膜20が設けられている。なお、TFT
11R、11G、11Bの各ドレイン電極は、信号線に
接続され、各ゲート電極は、走査線に接続されている。
【0063】パシベーション膜20の上には、ITO
(Indium Tin Oxide)によって形成され、マトリクス状
に配置された赤用の画素電極13Rが設けられている。
この画素電極13Rは、ITOをパターニングすること
によって形成され、TFT11Rのソース電極に接続さ
れている。
【0064】画素電極13R上には、高分子分散液晶層
14Rが設けられている。この液晶層14Rは、液晶分
子に赤色を吸収する色素を混合することよって形成され
ている。
【0065】この高分子分散液晶層14R上には、緑
(G)用の画素電極13Gが形成されている。この画素
電極13Gは、透明な導電膜をコーティングし、画素に
対応してパターニングすることにより形成される。この
画素電極13Gは、TFT11Gのソース電極に接続さ
れている。
【0066】画素電極13G上には、緑用の高分子分散
液晶層14Gが設けられている。この液晶層14Gは、
液晶分子に緑色を吸収する色素を混合することよって形
成されている。
【0067】高分子分散液晶層14Gの上には、青
(B)用の画素電極13Bが形成されている。この画素
電極13Bは、緑用の画素電極13Gと同様に透明な導
電膜を画素に対応してパターニングすることにより形成
される。この画素電極13Bは、TFT11Bのソース
電極に接続されている。
【0068】画素電極13B上には、青用の高分子分散
液晶層14Bが設けられている。この液晶層14Bは、
液晶分子に青色を吸収する色素を混合することよって形
成されている。
【0069】高分子分散液晶14B上には、ITOによ
って形成された対向電極16が設けられている。
【0070】対向電極16上には、ガラスやアクリルな
どの透明基板17が配置され、保護層としても機能す
る。
【0071】なお、透明ガラス基板10上には、青用の
高分子分散液晶14Bまで積層し、対向電極16bが設
けられている透明基板17を別に形成して対向電極16
bと高分子分散液晶14Bとを貼り合わせることによ
り、液晶表示装置を形成してもよいし、透明ガラス基板
10上に、順次各液晶層、画素電極、対向電極等を積層
させることにより、液晶表示装置を形成してもよい。
【0072】次に、各TFT11R、11G、11Bと
各画素電極13R、13G、13Bとの接続方法につい
て説明する。
【0073】まず、赤用の画素電極13RとTFT11
Rとの接続について説明する。すなわち、TFT11R
のソース電極上に相当するパシベーション膜20にコン
タクトホール22Rを形成する。そして、このパシベー
ション膜20上にITOをスパッタにより形成した後、
画素の形状に対応してパターニングすることにより画素
電極13Rを形成する。このスパッタにより、ITOが
コンタクトホール22R内にも被覆されるため、TFT
11Rのソース電極と画素電極13Rとが接続される。
【0074】なお、TFT11Rのソース電極に直接I
TOを接触させてからパシベーション膜20を形成して
もよい。このように、TFTとTFTの近傍に位置する
画素電極とを接続するためには、通常のTFTを用いた
平面型の液晶表示装置と同様な方法を利用して接続すれ
ばよい。
【0075】続いて、赤用の画素電極13R上に、及び
赤用の高分子分散液晶層14Rを積層する。
【0076】続いて、以下のようにして緑用の画素電極
13GとTFT11Gとを接続する。
【0077】まず、高分子分散液晶層14RからTFT
11Gのソース電極上までコンタクトホール22Gを形
成する。すなわち、酸素プラズマによるドライエッチン
グや有機溶剤を用いたエッチングにより、画素電極13
R、及び高分子分散液晶層14Rを貫通してTFT11
Gのソース電極上までコンタクトホール22Gを形成す
る。
【0078】そして、この高分子分散液晶層14R上、
及びコンタクトホール22G内に透明な有機導電膜をス
ピンコートする。ここで、透明有機導電膜は、ポリアニ
リン(PANI)をポリメチルメタクリレイト(PMM
A)に溶解させた溶液をスピンコートすることにより形
成される。PANIの濃度は、用途に応じて調整すれば
よい。溶媒としては、PMMAの他に、ポリスチレン、
ポリビニールアセテート、アモルファスナイロン等を用
いることもできる。また、他の透明有機導電膜として、
カンファサルファイドをメタクレゾルや塩化メチル等に
溶解させた溶液をスピンコートすることにより形成する
ことも可能である。
【0079】さらに、これらの透明有機導電膜の代わり
にITOペーストやITOゲルやゾルを用いてもよい。
これらの場合には、焼成が必要である。また、コンタク
トホール部分に透明度が低く、導電性の良好な有機導電
膜を使用し、電極部分にITO等の透明度の良好な材料
を使用してもよい。
【0080】この時、流動性の高い有機導電膜をスピン
コートするため、深いコンタクトホール22Gにも容易
に有機導電性溶液が入り込み、確実にTFT11Gと画
素電極13Gとが電気的に接続される。
【0081】そして、このようにして形成された透明有
機導電膜を酸素ドライエッチングや、溶剤(機能性正極
性酸やメタクレゾル、塩化メチルなど)でエッチングす
ることにより、画素電極13Gを形成することができ
る。
【0082】続いて、緑用の画素電極13G上に、緑用
の高分子分散液晶層14Gを積層する。そして、以下の
ようにして青用の画素電極13BとTFT11Bとを接
続する。
【0083】まず、高分子分散液晶層14GからTFT
11Bのソース電極上までコンタクトホール22Bを形
成する。すなわち、酸素プラズマによるドライエッチン
グや有機溶剤を用いたエッチングにより、画素電極13
R、高分子分散液晶層14R、画素電極13G、及び高
分子分散液晶層14Gを貫通してTFT11Gのソース
電極上までコンタクトホール22Bを形成する。
【0084】そして、この高分子分散液晶層14G上、
及びコンタクトホール22B内に透明な有機導電膜をス
ピンコートする。この透明有機導電膜は、画素電極13
Gと同様に、ポリアニリン(PANI)をポリメチルメ
タクリレイト(PMMA)に溶解させた溶液等をスピン
コートすることにより形成される。
【0085】この時、流動性の高い有機導電膜をスピン
コートするため、深いコンタクトホール22Bにも容易
に有機導電性溶液が入り込み、確実にTFT11Bと画
素電極13Bとが電気的に接続される。
【0086】そして、このようにして形成された透明有
機導電膜を酸素ドライエッチングや、溶剤(機能性正極
性酸やメタクレゾル、塩化メチルなど)でエッチングす
ることにより、画素電極13Bを形成することができ
る。
【0087】続いて、高分子分散液晶層14B、対向電
極16、及び対向基板17を積層することにより液晶表
示装置が形成される。
【0088】このように、各色成分毎に配置された画素
電極とTFTとを電気的に接続し、それぞれ独立して駆
動することにより、赤、緑、青を表示し、3層全体でカ
ラー表示させることが可能となる。このカラー表示は、
液晶表示装置の背面、すなわち透明ガラス基板10の裏
面側から白色光を照射し、赤、緑、青の光の吸収強度を
3種類の高分子分散液晶層により制御することによって
達成される透過モードで行われる。図3に示した構造の
液晶表示装置の場合、画素に印加されるのは、例えば緑
の画素に対しては、赤の画素の画像信号電圧に緑の画素
の画像信号電圧を重畳すればよい。このためには、赤、
緑、青の画像信号を蓄積するメモリと、それぞれの和信
号を形成する回路などが必要となる。これにより回路は
複雑になるが液晶表示装置の構造は簡素化できる。
【0089】なお、流動性の高い透明有機導電膜を画素
電極、及びコンタクトホールにスピンコートして、対応
する画素電極とTFTのソース電極とを接続する際に、
下層の画素電極に電圧を印加することにより、コンタク
トホール内における下層の画素電極が露出している部分
に有機絶縁膜が形成される。すなわち、画素電極13G
に対応する透明有機導電膜をスピンコートする際に、画
素電極13Rに電圧を印加することにより、コンタクト
ホール22G内で画素電極13Rが露出している部分に
有機絶縁膜30が形成される。したがって、赤用の画素
電極13Rと緑用の画素電極13Gとは、コンタクトホ
ール22Gを介して導通されることはない。同様に、画
素電極13Bに対応する透明有機導電膜をスピンコート
する際に、画素電極13R及び13Gに電圧を印加する
ことにより、コンタクトホール22B内で画素電極13
R及び13Gが露出している部分に有機絶縁膜31が形
成される。したがって、赤用の画素電極13R及び緑用
の画素電極13Gと、青用の画素電極13Bとは、コン
タクトホール22Bを介して導通されることはない。
【0090】また、従来の方法では、コンタクトホール
が形成されるコンタクト部分に液晶の液滴が存在し、コ
ンタクトホールを形成した際に滲み出てくることがあ
り、製造プロセスに障害が発生していた。この問題を解
決するために、高分子分散液晶層を形成した後、画素部
をマスクで覆ってコンタクト部及び画素間の隙間部分の
みに紫外線を照射する。これにより、コンタクト部及び
画素の隙間に優先的に母材の高分子材料が硬化してポリ
マーが形成され、高分子材料中に分散されている液晶分
子は、画素部に集められる。この後、画素部を紫外線ま
たは熱により硬化させることにより、画素部の高分子材
料を硬化させる。このようにして、画素部のみに高分子
分散液晶が形成され、コンタクト部は高分子材料から成
るポリマーのみによって形成されている。したがって、
コンタクト部にコンタクトホールを形成した際に、液晶
が滲み出すことはない。
【0091】また、コンタクト部及び画素の間隙のみを
黒色に染色することにより、コントラストを改善するこ
ともできる。
【0092】上述したように、流動性の高い導電性材料
をスピンコートすることにより、TFTと画素電極とを
電気的に接続させることができる。これにより、積層構
造の深いコンタクトホールに対しても、容易に、且つ確
実に電極のコンタクトをとることができる。このため、
電極間の接続不良を防止できる。
【0093】次に、この発明の第3の実施の形態に係る
液晶表示装置ついて説明する。
【0094】すなわち、第3の実施の形態に係る液晶表
示装置は、図4に示すように、透明ガラス基板10の上
に、TFT11R、TFT11G、TFT11Bを備え
ている。TFTアレイ11R、11G、11B上には、
パシベーション膜20が設けられている。なお、TFT
11R、11G、11Bの各ドレイン電極は、信号線に
接続され、各ゲート電極は、走査線に接続されている。
【0095】パシベーション膜20の上には、ITOよ
って形成され、マトリクス状に配置された赤用の画素電
極13Rが設けられている。この画素電極13Rは、I
TOをパターニングすることによって形成され、TFT
11Rのソース電極に接続されている。
【0096】画素電極13R上には、高分子分散液晶層
14Rが設けられている。この液晶層14Rは、液晶分
子に赤色を吸収する色素を混合することよって形成され
ている。
【0097】この高分子分散液晶層14R上には、緑
(G)用の画素電極13Gが形成されている。この画素
電極13Gは、ITOをパターニングすることにより形
成される。この画素電極13Gは、後述する有機導電材
料によりTFT11Gのソース電極に接続されている。
【0098】画素電極13G上には、緑用の高分子分散
液晶層14Gが設けられている。この液晶層14Gは、
液晶分子に緑色を吸収する色素を混合することよって形
成されている。
【0099】高分子分散液晶層14Gの上には、青
(B)用の画素電極13Bが形成されている。この画素
電極13Bは、ITOをパターニングすることにより形
成される。この画素電極13Bは、後述する有機導電材
料によりTFT11Bのソース電極に接続されている。
【0100】画素電極13B上には、青用の高分子分散
液晶層14Bが設けられている。この液晶層14Bは、
液晶分子に青色を吸収する色素を混合することよって形
成されている。
【0101】高分子分散液晶14B上には、ITOによ
って形成された対向電極16が設けられている。
【0102】対向電極16上には、ガラスやアクリルな
どの透明基板17が配置され、保護層としても機能す
る。
【0103】なお、透明ガラス基板10上には、青用の
高分子分散液晶14Bまで積層し、対向電極16bが設
けられている透明基板17を別に形成して対向電極16
bと高分子分散液晶14Bとを貼り合わせることによ
り、液晶表示装置を形成してもよいし、透明ガラス基板
10上に、順次各液晶層、画素電極、対向電極等を積層
させることにより、液晶表示装置を形成してもよい。
【0104】次に、各TFT11R、11G、11Bと
各画素電極13R、13G、13Bとの接続方法につい
て説明する。
【0105】赤用の画素電極13RとTFT11Rとの
接続方法は、第1及び第2の実施の形態で既に述べたよ
うに、TFT11Rのソース電極上に相当するパシベー
ション膜20にコンタクトホール22Rを形成し、この
パシベーション膜20上にITOをスパッタにより形成
した後、画素の形状に対応してパターニングすることに
より画素電極13Rを形成する。このスパッタにより、
ITOがコンタクトホール22R内にも被覆されるた
め、TFT11Rのソース電極と画素電極13Rとが接
続される。
【0106】続いて、赤用の画素電極13R上に、及び
赤用の高分子分散液晶層14Rを積層する。
【0107】続いて、以下のようにして緑用の画素電極
13GとTFT11Gとを接続する。
【0108】まず、高分子分散液晶層14RからTFT
11Gのソース電極上までコンタクトホール22Gを形
成する。すなわち、このコンタクトホール22Gは、第
2の実施の形態と同様に、酸素プラズマによるドライエ
ッチングや有機溶剤を用いたエッチングにより、画素電
極13R、及び高分子分散液晶層14Rを貫通してTF
T11Gのソース電極上まで形成することができる。
【0109】そして、このコンタクトホール22G内に
透明な有機導電材料32を埋め込む。すなわち、有機導
電材料32としてのポリプロールやテトラシアノキノジ
メタンを溶媒に溶解することにより、流動性の高い有機
導電性溶液を形成し、コンタクトホール22Gにスピン
コートする。このようにして、コンタクトホール22G
に有機導電材料32を埋め込むことができる。なお、有
機導電性溶液は、有機導電材料を熱溶融することによっ
て形成されてもよい。また、コンタクトホール22Gか
ら溢れて、高分子分散液晶層14R上に残った有機導電
性の膜は、アセトニトリルやジメチルホルムアミド等の
溶剤によりエッチングすることによって容易に除去でき
る。
【0110】このように、流動性の高い有機導電材料3
2をコンタクトホール22Gにスピンコートするため、
深いコンタクトホール22Gにも容易に有機導電性溶液
が入り込み、確実に有機導電材料32とTFT11Gと
が導通される。
【0111】続いて、高分子分散液晶層14R上、及び
有機導電材料32で満たされたコンタクトホール22G
上にITO膜をスパッタにより形成し、画素に対応した
形状にパターニングすることにより、画素電極13Gが
形成される。
【0112】したがって、画素電極13Gは、有機導電
材料32と導通され、その結果、画素電極13GとTF
T11Gとが電気的に接続される。
【0113】続いて、緑用の画素電極13G上に、緑用
の高分子分散液晶層14Gを積層する。
【0114】続いて、以下のようにして青用の画素電極
13BとTFT11Bとを接続する。
【0115】まず、高分子分散液晶層14GからTFT
11Bのソース電極上までコンタクトホール22Bを形
成する。すなわち、このコンタクトホール22Bは、第
2の実施の形態と同様に、酸素プラズマによるドライエ
ッチングや有機溶剤を用いたエッチングにより、画素電
極13R、高分子分散液晶層14R、画素電極13G、
及び高分子分散液晶層14Gを貫通してTFT11Bの
ソース電極上まで形成することができる。
【0116】そして、このコンタクトホール22B内に
透明な有機導電材料33を埋め込む。すなわち、コンタ
クトホール22G内に埋め込んだ有機導電材料32と同
様の材料を同様の方法で埋め込む。
【0117】そして、コンタクトホール22Gから溢れ
て、高分子分散液晶層14G上に残った有機導電性の膜
は、アセトニトリルやジメチルホルムアミド等の溶剤に
よりエッチングすることによって容易に除去できる。
【0118】このように、流動性の高い有機導電材料3
3をコンタクトホール22Bにスピンコートするため、
深いコンタクトホール22Bにも容易に有機導電性溶液
が入り込み、確実に有機導電材料33とTFT11Bと
が導通される。
【0119】続いて、高分子分散液晶層14G上、及び
有機導電材料33で満たされたコンタクトホール22B
上にITO膜をスパッタにより形成し、画素に対応した
形状にパターニングすることにより、画素電極13Bが
形成される。
【0120】したがって、画素電極13Bは、有機導電
材料33と導通され、その結果、画素電極13BとTF
T11Bとが電気的に接続される。
【0121】続いて、画素電極13B上に高分子分散液
晶層14B,対向電極16、及び対向基板17を積層す
ることにより、液晶表示装置が形成される。
【0122】このように、各色成分毎に配置された画素
電極とTFTとを電気的に接続し、それぞれ独立して駆
動することにより、赤、緑、青を表示し、3層全体でカ
ラー表示させることが可能となる。このカラー表示は、
液晶表示装置の背面、すなわち透明ガラス基板10の裏
面側から白色光を照射し、赤、緑、青の光の吸収強度を
3種類の高分子分散液晶層により制御することによって
達成される透過モードで行われる。図4に示した構造の
液晶表示装置の場合、画素に印加されるのは、例えば緑
の画素に対しては、赤の画素の画像信号電圧に緑の画素
の画像信号電圧を重畳すればよい。このためには、赤、
緑、青の画像信号を蓄積するメモリと、それぞれの和信
号を形成する回路などが必要となる。これにより回路は
複雑になるが液晶表示装置の構造は簡素化できる。
【0123】なお、この第3の実施の形態でも同様に、
流動性の高い透明有機導電材料をコンタクトホールにス
ピンコートして、TFTのソース電極とを導通する際
に、下層の画素電極に電圧を印加することにより、コン
タクトホール内における下層の画素電極が露出している
部分に有機絶縁膜が形成される。すなわち、コンタクト
ホール22Gに透明有機導電材料をスピンコートする際
に、画素電極13Rに電圧を印加することにより、コン
タクトホール22G内で画素電極13Rが露出している
部分に有機絶縁膜34が形成される。したがって、赤用
の画素電極13Rと緑用の画素電極13Gとは、コンタ
クトホール22Gを介して導通されることはない。同様
に、コンタクトホール22Bに透明有機導電膜をスピン
コートする際に、画素電極13R及び13Gに電圧を印
加することにより、コンタクトホール22B内で画素電
極13R及び13Gが露出している部分に有機絶縁膜3
5が形成される。したがって、赤用の画素電極13R及
び緑用の画素電極13Gと、青用の画素電極13Bと
は、コンタクトホール22Bを介して導通されることは
ない。
【0124】また、この実施の形態でも第2の実施の形
態と同様に、高分子分散液晶層を形成した後、画素部を
マスクで覆ってコンタクト部及び画素間の隙間部分のみ
に紫外線を照射する。これにより、コンタクト部及び画
素の隙間に優先的に母材の高分子材料が硬化してポリマ
ーが形成され、高分子材料中に分散されている液晶分子
は、画素部に集められる。この後、画素部を紫外線また
は熱により硬化させることにより、画素部の高分子材料
を硬化させる。このようにして、画素部のみに高分子分
散液晶が形成され、コンタクト部は高分子材料から成る
ポリマーのみによって形成されている。したがって、コ
ンタクト部にコンタクトホールを形成した際に、液晶が
滲み出すことはない。
【0125】また、コンタクト部及び画素の間隙のみを
黒色に染色することにより、コントラストを改善するこ
ともできる。
【0126】上述したように、流動性の高い導電性材料
をスピンコートすることにより、TFTと画素電極とを
電気的に接続させることができる。これにより、積層構
造の深いコンタクトホールに対しても、容易に、且つ確
実に電極のコンタクトをとることができる。このため、
電極間の接続不良を防止できる。
【0127】なお、この第1乃至第3の実施の形態で
は、減色法を利用した液晶表示装置について説明した
が、加色法を利用した液晶表示装置にもこの実施の形態
が適用できることはいうまでもない。また、TFTは、
a−Si,p−Si、CdSe等の半導体を用いればよ
く、構造はスタッガ型、コプラナ型であってもよい。さ
らに、液晶層、画素電極等の積層方法は、図2乃至図4
に示した実施の形態に限定されるものではない。例え
ば、各液晶層を一組の画素電極と対向電極とで狭持して
セルを形成し、このようなセルを絶縁層を介して3層積
層させることにより、液晶表示装置を構成してもよい。
また、第2及び第3の実施の形態において、画素電極と
TFTとを接続するのに、有機導電材料を使用したが、
他の導電材料、例えば無機系の導電材料を使用してもよ
い。
【0128】上述したように、第1の実施の形態では、
電着とメッキによりTFTと画素電極とを電気的に接続
させることができる。これにより、積層構造の深いコン
タクトホールに対しても、容易に且つ確実に電極のコン
タクトをとることができる。ITOをマスクにして高分
子分散液晶層を黒色に染色して光散乱防止層を形成する
ことにより各色の混色を防止するとともに、コントラス
トを向上させるのに効果的である。
【0129】また、第2の実施の形態では、上述した第
1の実施の形態における効果の他に、流動性の高い透明
な導電材料により、画素電極を形成するとともに、同時
に画素電極と対応するTFTとを電気的に接続できるた
め、製造工程を簡素化できる。また、3層の画素電極に
対して、1層の共通電極(対向電極)のみで3層の液晶
層をそれぞれ独立に駆動することができるため、液晶表
示装置の構造が簡素化できる。
【0130】さらに、第3の実施の形態では、上述した
第1の実施の形態における効果の他に、コンタクトホー
ル内に埋め込まれた導電性材料を介して、基板上のTF
Tとその上層に積層されている画素電極とを確実に電気
的に接続させることができる。この時、接続された画素
電極とTFTとの間に積層されている他の画素電極に対
しては、絶縁膜により絶縁されているため、導電性材料
により他の画素電極に導通されることはない。
【0131】また、この発明の液晶表示装置は、カラー
フィルター及び偏光板を使用することなくカラー表示装
置を構成することができるので、光の利用効率を向上さ
せることができると共に、装置の構造を簡素化できる。
【0132】さらに、高分子分散液晶に染料(2色性色
素)を混合することにより、ある波長の光吸収強度を制
御することができる。すなわち、光の3元素に対応した
染料をそれぞれ添加した3種類の液晶層を積層すること
により、光の3原色の強度を制御し、フルカラー表示が
可能となる。この時、色の制御は、液晶表示装置の背面
側、すなわち透明ガラス基板10の裏面側から照射され
た白色光を分光することにより行われるため、光の利用
効率はほぼ100%である。
【0133】なお、この発明の液晶表示装置によれば、
上述したような効果に加えて、さらにコントラストを向
上させることが可能である。
【0134】すなわち、第1乃至第3の実施の形態に係
る液晶表示装置における高分子分散液晶層14R、14
G、14Bに、図5に示すような2層構造の高分子分散
液晶層14(14a及び14b)を適用することにより
コントラストを向上することができる。
【0135】高分子分散液晶層14の第1液晶層14a
は、2色性色素を含む高分子分散液晶溶液を略中間の硬
さに硬化させた後、第1の軸方向、例えば図5中のY軸
に平行な方向の互いに逆向き(図中の矢印A)に引っ張
ってテンションを加えることにより、Y軸方向に伸延さ
れる。これにともなって、液晶層は歪を生じ、液晶層に
含まれる液晶分子Laは、Y軸方向に平行な方向に配向
される。この液晶分子Laの配向にともなって2色性色
素もY軸方向に平行に配列される。
【0136】このように液晶分子Laが一軸方向に沿っ
て配向されている状態で、再び紫外線を照射し、液晶層
の高分子材料を完全に硬化させることにより、高分子分
散液晶層14の第1液晶層14aが形成される。
【0137】高分子分散液晶層14の第2液晶層14b
は、2色性色素を含む高分子分散液晶溶液を略中間の硬
さに硬化させた後、第1の軸方向に直交する第2の軸方
向、すなわち図5中のX軸に平行な方向の互いに逆向き
(図中の矢印B)に引っ張ってテンションを加えること
により、液晶層は、X軸方向に伸延される。これにとも
なって、液晶層は歪を生じ、液晶層に含まれる液晶分子
Lbは、第1の液晶層14aに含まれる液晶分子Laに
対して互いに直交する向き、すなわちX軸方向に配向さ
れる。この液晶分子Lbの配向にともなって2色性色素
もX軸方向に平行に配列される。
【0138】このように液晶分子Lbが一軸方向に沿っ
て配向されている状態で、再び紫外線を照射し、液晶層
の高分子材料を完全に硬化させることにより、高分子分
散液晶層14の第2液晶層14bが形成される。
【0139】図6の(a)は、画素電極13と対向電極
16との間に電位差を生じさせていない電圧無印加状態
における第1液晶層14a及び第2液晶層14bのYZ
平面の断面図を示している。また、図6の(b)は、画
素電極13と対向電極16との間に電位差を生じさせて
いる電圧印加状態における第1液晶層14a及び第2液
晶層14bのYZ平面の断面図を示している。
【0140】図6の(a)に示すように、第1液晶層1
4aにおける液晶分子Laは、Y軸方向に平行に配向
し、また、第2液晶層14bにおける液晶分子Lbは、
X軸方向に平行に配向している。このように、電圧無印
加状態において、第1及び第2液晶層14a、14bの
各液晶分子La、Lbは、画素電極13を含むアレイ基
板12及び対向電極16を含む対向基板に対して共に平
行、且つ互いに直交するようにXY平面上に配向されて
いる。
【0141】また、第1及び第2液晶層14a、14b
に含まれる2色性色素は、それぞれ液晶分子La及びL
bの配向にともなって、液晶分子と同一の方向に配列さ
れている。
【0142】したがって、第1及び第2液晶層14a、
14bの各液晶分子La、Lbは、互いに直交する2方
向の偏光ビームをほぼ100%遮蔽するとともに、第1
及び第2液晶層14a、14bに含まれる2色性色素に
より互いに直交する2方向の偏光ビームを略100%吸
収することができる。
【0143】一方、図6の(b)に示すように、電圧印
加状態において、第1及び第2液晶層14a、14bの
各液晶分子La、Lbは、画素電極13を含むアレイ基
板12及び対向電極16を含む対向基板17に対して共
に垂直な方向、すなわちZ軸方向に方向付けられる。
【0144】また、第1及び第2液晶層14a、14b
に含まれる2色性色素は、それぞれ液晶分子La及びL
bと同一の方向に方向付けられる。
【0145】したがって、液晶分子La、Lb及び2色
性色素が画素電極13に対して垂直な方向に方向付けら
れている場合、すなわち光ビームの通過する方向に平行
な方向を向いている場合、互いに直交する2方向の偏光
ビームは、第1及び第2液晶層14a、14bにより遮
蔽されることなく透過する。
【0146】このように、電圧無印加状態における液晶
分子の向き、すなわち画素電極13に対して平行な方向
と、電圧印加状態における液晶分子の向き、すなわち画
素電極13に対して垂直な方向との差が最大となり、液
晶分子により透過または遮蔽される光量比を最大にする
ことができる。
【0147】また、2色性色素により透過または吸収さ
れる光量比を最大にすることができるため、コントラス
トを向上させることができる。
【0148】また、第1乃至第3の実施の形態の液晶表
示装置に適用される高分子分散液晶層14は、図7また
は図8に示すような構造であってもコントラストを向上
することができる。
【0149】図7及び図8に示す高分子分散液晶層14
は、2色性色素を含む高分子分散液晶溶液を略中間の硬
さに硬化させた後、第1の軸方向、例えば図7及び図8
中のZ軸に平行な方向の互いに逆向き(図中の矢印C)
に等方的に加圧してテンションを加えることにより、X
Y平面上に圧延される。
【0150】これにともなって、図7に示した液晶層1
4cは歪を生じ、液晶層14cに含まれる液晶分子Lc
は、XY平面に平行な方向に沿って放射状に配向され
る。
【0151】この液晶分子Lcの配向にともなって、高
分子分散液晶層に含まれる2色性色素は、液晶分子Lc
と同一の方向、すなわちXY平面に平行な方向に沿って
放射状に配列される。
【0152】また、図8に示した液晶層14dに含まれ
る液晶分子Ldは、XY平面に沿ってそれぞれ一軸方向
に配向されると共に、互いに直交するような向き、例え
ばX軸及びY軸方向に平行な向きに配向される。また、
液晶分子Ldは、XY平面内で所定の領域を中心に放射
状に配向させてもよい。
【0153】図9の(a)には、図7及び図8に示した
液晶層14cまたは14dによって形成されている液晶
層14の電圧無印加状態におけるYZ平面の断面図が示
されている。また、図9の(b)には、電圧印加状態に
おける液晶層14のYZ平面の断面図が示されている。
【0154】図9の(a)に示すように、液晶層14に
おける液晶分子Lは、XY平面に平行な方向に配向して
いる。液晶層14の液晶分子Lは、電圧無印加状態にお
いて、画素電極13を含むアレイ基板12及び対向電極
16を含む対向基板に対して共に平行、且つ互いに直交
する成分を含むようにXY平面上に配向されている。し
たがって、液晶層14の各液晶分子Lは、互いに直交す
る2方向の偏光ビームをほぼ100%遮蔽することがで
きる。
【0155】また、液晶層14に含まれる2色性色素
は、液晶分子Lの配向にともなって、アレイ基板12及
び対向基板16に対して平行、かつ互いに直交する成分
を含むようにXY平面上に配列される。
【0156】したがって、液晶層に含まれる2色性色素
により、互いに直交する2方向の偏光ビームをほぼ10
0%吸収することができる。
【0157】図9の(b)に示すように、電圧印加状態
において、液晶層14の各液晶分子Lは、画素電極13
を含むアレイ基板及び対向電極16を含む対向基板に対
して共に垂直な方向、すなわちZ軸方向に方向付けられ
る。
【0158】液晶分子Lが基板に対して垂直な方向に方
向付けられている場合、すなわち光ビームの通過する方
向に平行な方向を向いている場合、互いに直交する2方
向の偏光ビームは、液晶層14に含まれる液晶分子Lに
より遮蔽されることなく透過される。
【0159】また、液晶層14に含まれる2色性色素
は、液晶分子Lにともなって、アレイ基板12及び対向
基板16に対して垂直な方向に方向付けられる。
【0160】2色性色素が基板に対して垂直な方向に方
向付けられている場合、すなわち光ビームの通過する方
向に平行な方向を向いている場合、互いに直交する2方
向の偏光ビームは、液晶層14に含まれる2色性色素に
より吸収されることなく透過される。
【0161】このように、電圧無印加状態における液晶
分子の向き、すなわち基板に対して平行な方向と、電圧
印加状態における液晶分子の向き、すなわち基板に対し
て垂直な方向との差が最大となり、液晶分子により透過
または遮蔽される光量比を最大にすることができる。
【0162】また、2色性色素により透過または吸収さ
れる光量比を最大にすることができるため、コントラス
トを向上させることができる。
【0163】さらに、このように形成された高分子分散
液晶は、1層の液晶層に含まれる液晶分子が互いに垂直
な2方向の成分を有するため、互いに垂直な2方向の偏
光ビームを十分に遮蔽するとともに、2色性色素により
互いに垂直な2方向の偏光ビームを十分に吸収すること
ができる。このため、配向の向きが互いに直交するよう
な2層の高分子分散液晶層を積層する必要はない。
【0164】上述したように、第1乃至第3の実施の形
態に係る液晶表示装置に、図5、図7、及び図8のいず
れかに示した高分子分散液晶層を適用することにより、
コントラストを向上することが可能となる。
【0165】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、高分子分散型液晶を用いた表示装置であって、接続
不良を防止できるとともに、製造工程を簡略化できる液
晶表示装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、この発明の第1の実施の形態に係る液
晶表示装置を概略的に示す平面図である。
【図2】図2は、図1に示した液晶表示装置をB−B線
で切断した断面を概略的に示す断面図である。
【図3】図3は、この発明の第2の実施の形態に係る液
晶表示装置を概略的に示す断面図である。
【図4】図4は、この発明の第3の実施の形態に係る液
晶表示装置を概略的に示す断面図である。
【図5】図5は、この発明の第1乃至第3の実施の形態
に係る液晶表示装置に適用可能であり、コントラストを
向上が可能な高分子分散液晶層の構造を概略的に示す斜
視図である。
【図6】図6の(a)は、図5に示した高分子分散液晶
層の電圧無印加状態における断面を概略的に示す図であ
り、図6の(b)は、電圧印加状態における断面を概略
的に示す図である。
【図7】図7は、この発明の第1乃至第3の実施の形態
に係る液晶表示装置に適用可能であり、コントラストを
向上が可能な高分子分散液晶層の構造を概略的に示す斜
視図である。
【図8】図8は、この発明の第1乃至第3の実施の形態
に係る液晶表示装置に適用可能であり、コントラストを
向上が可能な高分子分散液晶層の構造を概略的に示す斜
視図である。
【図9】図9の(a)は、図7及び図8に示した高分子
分散液晶層の電圧無印加状態における断面を概略的に示
す図であり、図9の(b)は、電圧印加状態における断
面を概略的に示す図である。
【符号の説明】
10…透明ガラス基板 11(R、G、B)…TFT 13(R、G、B)…画素電極 14(R、G、B)…高分子分散液晶層 16(a、b)…対向電極 17…透明基板 18…信号線 19…走査線 20…パシベーション膜 21…絶縁層 22(R、G、B)…コンタクトホール 23、24、30、31、34、35…絶縁膜 32、33…有機導電材料

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】高分子分散液晶に2色性色素を混合した複
    数の液晶層を有する液晶表示装置において、層間の電極
    は、電着によって形成された絶縁膜により他の電極と絶
    縁されているとともに、金属メッキによって形成された
    金属膜により能動素子に導通されていることを特徴とす
    る液晶表示装置。
  2. 【請求項2】高分子材料中に2色性色素及び液晶分子を
    分散させることにより形成され、積層された複数の高分
    子分散液晶層に対応して各高分子分散液晶層の一方の主
    面に形成された複数の画素電極と、 前記複数の高分子分散液晶層に少なくとも1層における
    他方の主面に形成された共通電極と、 前記複数の画素電極をそれぞれ独立して駆動する複数の
    能動素子と、を備えた液晶表示装置であって、 この液晶表示装置は、前記能動素子と前記画素電極との
    間の中間層を貫通する孔と、前記孔における前記中間層
    に含まれる他の画素電極及び共通電極の露出部分に電着
    された絶縁膜と、前記能動素子及び前記画素電極を導通
    するために前記孔にメッキされた金属と、を備えている
    ことを特徴とする液晶表示装置。
  3. 【請求項3】色分解された第1の色成分に対応する色素
    及び液晶分子を光硬化性の高分子材料中に分散させるこ
    とにより形成された第1高分子分散液晶層と、 前記第1高分子分散液晶層の一方の主面上にマトリクス
    状に形成された複数の画素電極を含む第1画素電極部
    と、 前記第1の色成分とは異なる第2の色成分に対応する色
    素及び液晶分子を光硬化性の高分子材料中に分散させる
    ことにより形成された第2高分子分散液晶層と、 前記第2高分子分散液晶層の一方の主面上にマトリクス
    状に形成された複数の画素電極を含む第2画素電極部
    と、 前記第1及び第2の色成分とは異なる第3の色成分に対
    応する色素及び液晶分子を光硬化性の高分子材料中に分
    散させることにより形成された第3高分子分散液晶層
    と、 前記第3高分子分散液晶層の一方の主面上にマトリクス
    状に形成された複数の画素電極を含む第3画素電極部
    と、 前記第1乃至第3画素電極部に含まれる複数の画素電極
    をそれぞれ独立して駆動する複数の能動素子と、 前記第1乃至第3高分子分散液晶層のうち少なくとも1
    層の他方の主面上に形成され、前記第1乃至第3画素電
    極に対向して配置されているとともに、前記第1乃至第
    3画素電極部との間で電位差を生じさせて前記第1乃至
    第3高分子分散液晶層の各液晶分子を駆動する共通電極
    と、 前記複数の能動素子が配列されているとともに、前記複
    数の能動素子上に前記第1乃至第3高分子分散液晶層、
    前記第1乃至第3画素電極、及び前記共通電極が積層さ
    れている基板と、を備えた液晶表示装置であって、 前記基板上の能動素子と前記画素電極との間の中間層を
    貫通する孔を形成し、この孔における前記中間層に含ま
    れる他の画素電極部及び共通電極の露出部分に絶縁膜を
    電着した後、前記孔に金属をメッキすることにより、前
    記能動素子及び前記画素電極が導通され、前記能動素子
    及び前記画素電極と前記中間層に含まれる他の画素電極
    部及び共通電極とが絶縁されていることを特徴とする液
    晶表示装置。
  4. 【請求項4】高分子分散液晶に2色性色素を混合した複
    数の液晶層を有する液晶表示装置において、層間の電極
    及びこの電極と能動素子との間を貫通する孔に充填され
    る導電性部材は、流動性材料によって形成されているこ
    とを特徴とする液晶表示装置。
  5. 【請求項5】高分子分散液晶に2色性色素を混合した複
    数の液晶層を有する液晶表示装置において、画素間は、
    絶縁膜により分離されていることを特徴とする液晶表示
    装置。
  6. 【請求項6】高分子材料中に2色性色素及び液晶分子を
    分散させることにより形成され、積層された複数の高分
    子分散液晶層に対応して各高分子分散液晶層の一方の主
    面に形成された複数の画素電極と、 前記複数の高分子分散液晶層に少なくとも1層における
    他方の主面に形成された共通電極と、 前記複数の画素電極をそれぞれ独立して駆動する複数の
    能動素子と、を備えた液晶表示装置であって、 この液晶表示装置は、前記能動素子と前記画素電極との
    間の中間層を貫通する孔と、前記孔における前記中間層
    に含まれる他の画素電極及び共通電極の露出部分に形成
    された絶縁膜と、前記能動素子及び前記画素電極を導通
    するために前記孔に被覆された導電性部材と、を備えて
    いることを特徴とする液晶表示装置。
  7. 【請求項7】高分子材料中に2色性色素及び液晶分子を
    分散させることにより形成され、積層された複数の高分
    子分散液晶層と、 前記複数の高分子分散液晶層に対応して各高分子分散液
    晶層の一方の主面に形成された複数の画素電極と、 前記複数の高分子分散液晶層に少なくとも1層における
    他方の主面に形成された共通電極と、 前記複数の画素電極をそれぞれ独立して駆動する複数の
    能動素子と、 前記複数の能動素子が配列されているとともに、前記複
    数の能動素子上に前記複数の高分子分散液晶層、前記複
    数の画素電極、及び前記共通電極が積層されている基板
    と、を備えた液晶表示装置であって、 前記基板上に積層された前記高分子分散液晶層の表面か
    ら前記基板上の能動素子までの間の中間層を貫通する孔
    を形成し、前記孔における前記中間層に含まれる他の画
    素電極及び共通電極の露出部分に絶縁膜を形成しつつ、
    前記孔に導電性部材を被覆した後この導電性部材が被覆
    された前記孔を含む前記高分子分散液晶層の表面に画素
    電極を形成することにより、この画素電極と前記能動素
    子とが導通され、前記能動素子及び前記画素電極と前記
    中間層に含まれる他の画素電極及び共通電極とが絶縁さ
    れていることを特徴とする液晶表示装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002244152A (ja) * 2001-02-20 2002-08-28 Nec Corp 液晶表示装置及びその製造方法
JP2009063643A (ja) * 2007-09-04 2009-03-26 Hitachi Displays Ltd 液晶表示装置

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