JPH09252570A - 磁気浮上型リニアアクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 管内観察装置のレンズ駆動等のように小型で
高精度な位置決めが要求される要素を支持するのに適し
た磁気浮上型リニアアクチュエータを提供する。 【解決手段】 磁気浮上型リニアアクチュエータは、筒
体（２）と、この筒体に巻装されたコイル部（３ａ、３
ｂ）と、筒体内に配設され筒体の軸方向に磁化されて筒
体の中空部内を軸方向に非接触で移動可能な磁石体
（４）と、磁石体の外側面に設けられた導体リング部
（５）と、導体リングに渦電流（２２）を生成し磁石体
を筒体の中空部内に浮上させるための浮上用電流（２
０）と磁石体を軸方向に移動させるため移動用電流（２
５ａ、２５ｂ）とを互いに重畳させてコイル部に流すた
めの駆動電流源（１２ａ、１２ｂ）と、を備えたことを
特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気浮上型リニア
アクチュエータに係り、特に管内観察装置のレンズ駆動
等のように小型で高精度な位置決めが要求される場合に
適した磁気浮上型リニアアクチュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】管内観察装置のレンズ駆動には、焦点距
離および焦点位置を調整するための高精度な位置決め機
能が要求される。さらに、近年の管内観察装置において
は、小管内に対応できる装置の小型化が一層求められて
いる。

【０００３】しかしながら、周知のように、小型化にお
いて顕著となる摩擦の問題により、必ずしも十分な高精
度の観察を得ることができなかった。この摩擦の問題を
解消するために、可動体を磁気力で、つまり磁気軸受で
完全非接触に浮上させる方式が考えられる。

【０００４】磁気浮上型のアクチュエータは機械的摺動
部を排除できるので、高精度駆動が期待できる。この種
の代表例としては、例えば、特願平３−２８０１３５号
公報に記載された発明がある。

【０００５】この従来例に記載のアクチュエータは、静
止体とこの静止体の近傍に軸方向へ移動自在に配置され
た可動体と、前記静止体の前記可動体を囲む領域におけ
る軸方向の２箇所以上の位置に設けられた複数の電磁石
群と、前記可動体の半径方向の位置に検出する半径方向
位置検出手段と、この位置検出手段の情報に基づいて前
記複数の電磁石群の磁気力を調整して前記可動体を非接
触に支持する磁気浮上制御手段と、前記可動体の軸方向
移動量を検出する軸方向移動量検出手段と、前記可動体
に軸方向の移動力を与える駆動手段と、前記軸方向移動
量検出手段で得られた情報に応じて前記駆動手段の移動
力を調整し前記可動体を高精度に位置決めを行う軸方向
位置決め制御手段から構成されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな磁気軸受を用いた従来の磁気浮上型アクチュエータ
にあっても次のような問題があった。すなわち、可動体
の軸方向への移動に伴って磁気軸受に対する可動体の重
心位置も移動する。このため、磁気浮上制御系が不安定
になるという問題があった。さらに、複数の電磁石群が
配設されており構成部品が多く、装置の小型化を図るこ
とが困難であるという問題があった。

【０００７】そこで本発明の目的は、上記従来技術の有
する問題を解消し、構造が簡単で構成部品が少なく小型
化に適し、可動体の軸方向の全移動範囲で安定した浮上
特性を有する磁気浮上型アクチュエータを提供すること
である。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る磁気浮上型リニアアクチュエータは、
筒体と、この筒体に巻装されたコイル部と、前記筒体内
に配設され筒体の軸方向に磁化されており前記筒体の中
空部内を軸方向に非接触で移動可能な磁石体と、前記磁
石体の外側面に設けられた導体リング部と、前記導体リ
ング部に渦電流を生成し前記磁石体を前記筒体の中空部
内で非接触に浮上させるための浮上用電流と、前記磁石
体を軸方向に移動させるための移動用電流とを互いに重
畳させて前記コイル部に流すための駆動電流源と、を備
えたことを特徴とする。

【０００９】また、前記磁石体の軸方向の移動量を検出
する移動量検出手段と、この移動量検出手段による検出
結果を参照し前記磁石体の移動位置を制御する移動位置
制御手段を備えている。

【００１０】また、本発明に係る磁気浮上型リニアアク
チュエータは、筒体と、この筒体に巻装されたコイル部
と、前記筒体内に配設され筒体の軸方向に磁化されてお
り前記筒体の中空部内を軸方向に非接触で移動可能な磁
石体と、前記磁石体の外側面に設けられた導体リング部
と、前記導体リング部に渦電流を生成し前記磁石体を前
記筒体の中空部内で非接触に浮上させるための浮上用電
流と、前記磁石体を軸方向に移動させるための移動用電
流とを互いに重畳させて前記コイル部に流すための駆動
電流源と、を備え、前記磁石体は、軸方向に磁化された
磁石部と、前記磁石部の軸方向両端に固着された透磁体
とからなることを特徴とする。

【００１１】また、前記磁石体の軸方向の移動量を検出
する移動量検出手段と、この移動量検出手段による検出
結果を参照し前記磁石体の移動位置を制御する移動位置
制御手段を備え、前記移動量検出手段は、前記透磁体の
移動に伴い変化する前記コイル部のインダクタンスを検
出して前記磁石体の軸方向の移動量を検出することを特
徴とする。

【００１２】また、前記コイル部は前記筒体の軸方向に
間隔をおいて巻装された複数のコイル部分からなり、前
記駆動電流源は隣接する前記コイル部分に互いに逆方向
に磁力線が生じるように前記移動用電流を流すことを特
徴とする。

【００１３】また、本発明に係る磁気浮上型リニアアク
チュエータは、隣接する前記コイル部分は互いに逆方向
に巻装されるとともに一本の線として接続されているこ
とを特徴とする。

【００１４】また、軸方向に磁化された筒体状の磁石体
と、前記磁石体の内側面に設けられた導体リング部と、
前記磁石体の中空部内を軸方向に非接触で移動可能な可
動体と、この可動体に巻装されたコイル部と、前記導体
リング部に渦電流を生成し前記可動体を前記磁石体の中
空部内に浮上させるための浮上用電流と、前記可動体を
軸方向に移動させるための移動用電流とを互いに重畳さ
せて前記コイル部に流すための駆動電流源と、を備えた
ことを特徴とする。

【００１５】上記発明において、コイル部に交流電流か
らなる浮上用電流を流し導体リングに渦電流を生成し、
この渦電流により生成される磁界とコイル部に流した交
流電流により生成される磁界との相互作用により、磁気
的な反発力が生じ、磁石体が筒体内に浮上させられる。

【００１６】また、コイル部に直流的な移動用電流を流
し、軸方向に磁化された磁石体により生成される磁界と
移動用電流とに対しフレミングの左手の法則を適用し、
軸方向に移動力が生成される。

【００１７】浮上用電流と移動用電流とは互いに重畳し
てコイル部に印加される。

【００１８】このように、可動体を非接触に支持する反
発力を利用する構成としているので、従来のように吸引
力を利用した場合と比べて閉ループ制御系が不必要とな
り装置全体の簡素化を図ることができる。

【００１９】また、浮上用電流と軸方向移動量検出手段
で得られた情報に基づいて制御される移動用電流とを互
いに重畳してコイル部に印加するようにしているので、
非接触支持を行うための浮上力と軸方向の移動力との双
方を１台の電流供給手段で供給することができる。

【００２０】可動体の軸方向移動量の検出は、浮上用電
流の逆起電力からインダクタンスを測定するようにして
いるので、軸方向移動量を検出するためにコイル部に新
たな正弦波交流信号を必要とせず、浮上用電流で正弦波
交流電流を兼用するようにしているので装置の一層の簡
素化を図ることができる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下に図面を参照しながら本発明
の実施形態について説明する。

【００２２】図１に本発明の一実施形態である磁気浮上
型リニアアクチュエータを示す。図１において、磁気浮
上型リニアアクチュエータはアクチュエータ本体１とア
クチュエータ制御部１０とを有する。アクチュエータ本
体１は筒体２と磁石体４を備えており、筒体２にはコイ
ル部３ａ，３ｂが間隔をおいて巻装されている。コイル
部３ａとコイル部３ｂとは筒体２の軸方向に対し互いに
逆方向に巻かれている。筒体２の筒内には筒体２の内側
面に非接触に浮上可能で筒内を軸方向に移動可能な永久
磁石からなる円柱状の磁石体４が配設されている。

【００２３】磁石体４の外側面にはリング状の電気伝導
体からなる導体リング部５が磁石体４と同心状に嵌入装
着されている。導体リング部５は例えば銅やアルミ材等
の金属材で形成されている。

【００２４】アクチュエータ制御部１０は、磁石体４の
軸方向の移動量を非接触に検出するための軸方向移動量
検出器１１と、コイル部３ａ，３ｂに電流を供給するた
めの駆動電流源１２と、軸方向移動量検出器１１の検出
結果に基づいて駆動電流源１２を制御する電流制御部１
３とを備えている。

【００２５】軸方向移動量検出器１１は例えばレーザ式
変位計であり、レーザ光１１ａを磁石体４の底部に照射
し反射した反射光を検出し、投射光と反射光との位相変
化量を求めて磁石体４の移動量を演算する。

【００２６】駆動電流源１２は、磁石体４を軸方向に移
動させるための移動用電流をコイル部３ａ，３ｂに供給
する移動用電流源１２ａと、導体リング部５に渦電流を
生成し磁石体４を筒体２の中空部内に浮上させるための
浮上用電流をコイル部３ａ，３ｂに供給する浮上用電流
源１２ｂとを有する。浮上用電流は正弦波状の交流電流
であり、移動用電流は直流電流あるいは移動用電流に比
べて緩やかに変化する電流である。

【００２７】移動用電流源１２ａからの移動用電流と浮
上用電流源１２ｂからの浮上用電流とは、加算器１４で
加算された後、増幅器１５で増幅されてコイル部３ａ，
３ｂに供給される。

【００２８】電流制御部１３の出力信号は駆動電流源１
２のうちの移動用電流源１２ａに送られ、電流制御部１
３は目標とする所望の位置に磁石体４が位置決めするよ
うに、移動用電流源１２ａからコイル部３ａ，３ｂに供
給される移動用電流を制御する。

【００２９】次に図２および図３を参照して、本実施形
態に係る磁気浮上型リニアアクチュエータの動作につい
て説明する。

【００３０】まず、図２を参照して、コイル部３ａ、３
ｂに浮上用電流を流すことにより磁石体４が筒体２の筒
内で非接触に浮上する原理を説明する。

【００３１】図２（ｃ）は正弦波状の浮上用電流２０の
波形を示す。図２（ａ）に示すように、コイル部３ａ、
３ｂに浮上用電流２０を流すと、時間的に変化する交番
磁界２１が発生する。なお、図２（ａ）における交番磁
界２１は図２（ｃ）における時間位置ｔにおける状態を
示す。

【００３２】ここで、導体リング部５には、この磁界２
１の侵入を妨げる方向に電流２２が誘導される。この誘
導電流２２は一般的に渦電流とよばれ、コイル部３ａお
よびコイル部３ｂの印加した浮上用電流２０と電流の流
れる方向が逆向きとなる。渦電流２２は生成される電流
方向に応じて新たに磁界２３を生成する。なお、図中の
記号×および記号・は電流方向を表し、記号×と記号・
は互いに逆向きを示す。

【００３３】そして、図２（ｂ）に示すように、筒体２
の内側面と導体リング部５の外側面との間の領域には、
コイル部３ａおよびコイル部３ｂに印加した浮上用の電
流２０が作る磁界２１と渦電流２２が作る磁界２３とが
重畳して生成される。この結果、筒体２と磁石体４の間
には電磁反発力が発生する。この電磁反発力は筒体２の
内側面と導体リング部５の外側面との間の全周に渡って
均一の強さで生成されるので、磁石体４は筒体２の筒内
に非接触で浮上する。

【００３４】なお、磁石体４のような可動体を磁気力に
よって、つまり磁気軸受を用いて完全非接触に浮上させ
る方式は、吸引力を利用した方式と反発力を利用した方
式とに大別されるが、吸引力方式の磁気軸受では可動体
の半径方向位置を検出する変位計とこの変位計の検出結
果に基づき半径方向位置を制御する変位制御装置とを必
要とし、これらの変位計と変位制御装置とによる閉ルー
プ制御系の構築が不可欠である。

【００３５】これに対し、本実施形態では従来のような
変位計や変位制御装置は不必要である。図２に示す磁気
反発力方式の本実施形態の磁気軸受では、浮上用電流源
１２ｂと電流増幅器１５からなる装置のみで可動体とし
ての磁石体４を筒体２内に浮上させることができ、この
結果、装置全体の簡素化に大きく寄与することができ
る。

【００３６】次に、図３を参照して、可動体である磁石
体４を筒体２の軸方向で位置決め制御するのに必要な移
動力の発生原理について説明する。

【００３７】図３（ａ）に示すように、永久磁石からな
る磁石体４は筒体２の軸方向に磁化されており、磁石体
４は、コイル部３ａおよびコイル部３ｂを横切るように
定常磁界２４を生成する。

【００３８】図３（ｂ）はコイル部３ａ印加される印加
電流の波形を示し、図３（ｃ）はコイル部３ｂに印加さ
れる印加電流の波形を示す。コイル部３ａとコイル部３
ｂとには、共通の浮上用電流２０が印加される。図３
（ｂ）に示すようにコイル部３ａには、正方向にＩa な
る直流の移動用電流２５ａが印加され、図３（ｃ）に示
すようにコイル部３ｂには、負方向にＩb なる直流の移
動用電流２５ｂが印加される。移動用電流２５ａ，２５
ｂの大きさは、軸方向移動量検出器１１の出力信号に基
づいて所望位置に可動体を位置決めするように電流制御
部１３によって制御される。

【００３９】図３（ｂ），（ｃ）において、正弦波状の
浮上用電流２０に対し移動用電流２５ａ，２５ｂがオフ
セット的に重畳されて、電流増幅器１５の出力である駆
動電流２６ａ，２６ｂが形成されている。

【００４０】図３（ａ）は、図３（ｂ）、（ｃ）の時間
位置ｔにおける筒体２内の電磁気的環境状態を示す。

【００４１】コイル３ａおよびコイル３ｂの移動用電流
２５ａ，２５ｂの電流方向は、図３（ａ）に示すように
互いに逆向きに印加される。この結果、磁性体４の作る
磁界２４と移動用電流２５ａ，２５ｂに対してフレミン
グの左手の法則を適用して、コイル３ａ側には電磁気的
な移動力２７ａが生成され、コイル３ｂ側には移動力２
７ａと同方向の電磁気的な移動力２７ｂが生成される。

【００４２】磁石体４は非接触で筒体２の軸方向へ移動
可能になり、移動力２７ａと移動力２７ｂを制御するこ
とにより可動体である磁石体４は目標位置に位置決めさ
れる。移動力２７ａ等は、公知のボイスコイルモータに
よる移動力と全く同じ原理で生成されるものである。

【００４３】図３（ａ）において、可動体である磁石体
４の左端の概略的な可動範囲はＡで示されている。

【００４４】また、コイル３ａおよびコイル３ｂの移動
用電流２５ａ，２５ｂの電流方向を図３（ａ）に示す場
合と逆にすることにより、磁石体４を左方向へ移動させ
ることができる。

【００４５】なお、ここでコイル部として二つのコイル
部３ａ，３ｂが配設されているが、ひとつのコイル部を
配設した場合でも磁石体４は限られた可動範囲で移動す
ることができる。

【００４６】本実施形態によれば、磁石体４を非接触に
支持する反発力は磁石体４とコイル部３ａ，３ｂとの対
面する全域において発生するので、磁石体４の軸方向全
移動距離において安定に浮上支持することができる。こ
の結果、従来において可動体の軸方向への移動に伴って
磁気軸受に対する可動体の重心位置も移動し、このため
磁気浮上制御系が不安定になるという問題を解消するこ
とができる。

【００４７】また、多数の電磁石群を配設する必要がな
いので、構成部品を少なくし装置の小型化を図ることが
できる。

【００４８】また、浮上用電流２０と軸方向移動量検出
器１１で得られた情報に基づいて制御される移動用電流
２５ａ，２５ｂとを互いに重畳してコイル部３ａ，３ｂ
に印加するようにしているので、非接触支持を行うため
の浮上力と軸方向の移動力との双方を１台の増幅器１５
を介して供給することができ、装置の構成の単純化を図
ることができる。

【００４９】次に、図４を参照して、コイル部の他の実
施形態としてコイル部３０について説明する。

【００５０】コイル部３０は間隔をおいて巻かれたコイ
ル部３０ａとコイル部３０ｂとからなり、コイル部３０
ａとコイル部３０ｂとは連続した一本の電線で形成され
るとともにコイルの巻き方向が逆に形成されている。

【００５１】各々が独立のコイル部３ａとコイル部３ｂ
である場合に独立に電流を印加する必要があるのに対
し、コイル部３０に図４に示す矢印の方向に電流を流す
ことによりコイル部３０ａとコイル部３０ｂには逆方向
の電流を与えることと等価にすることができ、装置の簡
素化を図ることができる。

【００５２】次に図５を参照して、本発明に係る磁気浮
上型リニアアクチュエータの第２の実施形態について説
明する。

【００５３】本実施形態においては、非導電性材製の筒
体２の筒内を移動する可動体３２の構成が前述の実施形
態と異なる。可動体３２は、筒体の軸線方向に磁化され
た長さの短い磁石部３３と、磁石部３３を挟むように磁
石部３３の軸方向両端に固着された鉄等からなる円筒状
の透磁体３４ａ，３４ｂと、磁石部３３と透磁体３４
ａ，３４ｂの外周部に嵌入装着された導電性材製の導体
リング５とから構成されている。

【００５４】次に、図６を参照して本実施形態のアクチ
ュエータ制御部１０について説明する。本実施例におい
て、可動体３２の軸方向移動量は、コイル部３ａのイン
ダクタンス変化を利用して検出される。

【００５５】図６において、可動体３２が軸方向に移動
すると、可動体３２の透磁体３４ａとコイル部３ａとの
重なり度が変化する。この重なり度の変化によってコイ
ル部３ａのインダクタンスが変化する。従って、コイル
部３ａのインダクタンスの変化を検出することによっ
て、可動体３２の軸方向位置を知ることができる。

【００５６】本実施形態のアクチュエータ制御部１０
は、コイル部３ａのインダクタンスの変化を検出するた
めに、可動体３２が軸方向の移動に伴いコイル３ａに誘
導される位置信号成分のみを検出するための検波器３６
を備えている。

【００５７】コイル部３ａのインダクタンスの変化は次
のようにして検出される。位置信号成分はコイル部３ａ
に印加される正弦波状の浮上用電流と同じ周波数を有
し、位置信号成分の振幅は可動体３２の軸方向の移動に
伴い時間的に変化する。位置信号成分の振幅の時間変化
の大きさはコイル部３ａのインダクタンスの変化を反映
しており、検波器３６は位置信号成分の振幅の時間変化
成分と、浮上用電流源１２ｂから検波器３６に入力され
る浮上用電流の信号を参照信号として比較し、コイル部
３ａのインダクタンスの変化を検出する。

【００５８】検波器３６の出力信号が増幅された後は電
流制御部３７へ送られる。電流制御部３７の出力信号は
駆動電流源１２のうちの移動用電流源１２ａに送られ
る。電流制御部３７は目標とする所望の位置に磁石体４
を位置決めするように、移動用電流源１２ａからコイル
部３ａ，３ｂに供給される移動用電流を制御する。

【００５９】第２の実施形態では次の効果を奏すること
ができる。

【００６０】磁石部３３の軸方向の両端に磁石部３３を
挟むように透磁体３４ａ，３４ｂを設けたので、筒体２
の軸方向の磁石部３３の長さ、すなわち磁化される方向
の長さをかなり短くしても、磁石部３３の生成する磁界
とコイル部３ａ，３ｂに流す移動用電流との相互作用が
可能になり可動体３２を移動させる移動力を得ることが
できる。一般に、永久磁石を製造する場合、磁化方向の
長さを長くかつ細い形状で得ることは容易ではない。し
かしながら、本実施形態では、磁石部３３の軸方向の長
さを短くしても支障がなく、装置の製造を容易にするこ
とができる。

【００６１】また、磁石部３３の軸方向の両端に磁石部
３３を挟むように透磁体３４ａ，３４ｂを設けたので、
コイル部３ａのインダクタンスの変化より可動体３２の
軸方向位置を知ることが可能になり、軸方向の位置を検
出するための他の手段が不要になり、装置の構成を簡単
にすることができる。

【００６２】次に、図７を参照して、本発明の応用適用
例について説明する。

【００６３】図７は、本発明を焦点位置の自動調整可能
な管内観察装置に適用した場合の一実施例を示す。

【００６４】図７において、可動体としての磁石体４０
は中空円筒形状を有し、軸方向に磁化されている。磁石
体４０の外側面に導体リング部５が嵌入装着されてい
る。磁石体４０の中空部には結像レンズ４１が装着され
ている。また、筒体２の端部には結像レンズ４１を経て
得られる映像を光電変換するための電荷結合素子（ＣＣ
Ｄ）等の撮像素子４２と、撮像素子４２による検出信号
を信号処理する信号処理部４３と、制御装置４４が配設
されている。

【００６５】撮像素子４２で検出した画像信号から信号
処理部４３によって信号処理し焦点合致信号を生成す
る。この焦点合致信号に基づき磁石体４０が軸方向の所
定位置に位置決めされるように、制御装置４４はコイル
部３ａ，３ｂに流す移動用電流の大きさを制御する。

【００６６】本応用例によれば、簡易な構成で自動調整
可能な小型の管内観察装置を構成することができる。

【００６７】また、結像レンズ４１は筒体２の内壁に対
し非接触で移動できるので、管内観察装置を小型化する
場合に顕著となる摩擦の問題を解消でき、円滑な移動制
御をでき、高精度に焦点位置を調整することができる。

【００６８】なお、以上、本発明の実施形態の説明にお
いては、静止体としての筒体２は可動体としての磁石体
４等の外側に配設されている場合を例にとり説明した。
しかしながら、本発明において静止体と可動体との配置
関係はこれに限らない。

【００６９】例えば、静止体として軸方向に磁化された
中空筒体状の磁石体をとり、この磁石体の内側面に取り
付けられた導体リングを取り付け、磁石体の中空部内に
コイル部を巻装した可動体を配設してもよい。

【００７０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の構成によ
れば、浮上用電流と移動用電流とを互いに重畳させてコ
イル部に流すようにしたので、構造が簡単で構成部品が
少なく小型化に適し、可動体の軸方向の全移動範囲で安
定した浮上特性を有する磁気浮上型アクチュエータを提
供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係る磁気浮上型アクチュ
エータの概略構成を示す断面ブロック図。

【図２】コイル部に浮上用電流を流すことにより磁石体
を筒体の筒内に浮上させることをできることを説明する
図。

【図３】可動体である磁石体を筒体の軸方向に移動させ
る移動力の発生原理について説明する図。

【図４】コイル部の他の実施例を示す図。

【図５】本発明の第２の実施形態に係る磁気浮上型アク
チュエータのアクチュエータ本体を示す断面図。

【図６】コイル部のインダクタンス変化を利用して軸方
向の移動量を検出することを説明するための図。

【図７】本発明を焦点位置の自動調整可能な管内観察装
置に適用した例を示す断面図。

【符号の説明】

１ アクチュエータ本体 ２ 筒体 ３ａ，３ｂ コイル部 ４ 磁石体 ５ 導体リング １０ アクチュエータ制御部 １１ 軸方向移動量検出器 １２ 駆動電流源 １２ａ 移動用電流源 １２ｂ 浮上用電流源 １３ 電流制御部 １４ 加算器 １５ 増幅器 ２０ 浮上用電流 ２２ 渦電流 ２５ａ 移動用電流 ２５ｂ 移動用電流

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】筒体と、 この筒体に巻装されたコイル部と、 前記筒体内に配設され筒体の軸方向に磁化されており前
   記筒体の中空部内を軸方向に非接触で移動可能な磁石体
   と、 前記磁石体の外側面に設けられた導体リング部と、 前記導体リング部に渦電流を生成し前記磁石体を前記筒
   体の中空部内で非接触に浮上させるための浮上用電流
   と、前記磁石体を軸方向に移動させるための移動用電流
   とを互いに重畳させて前記コイル部に流すための駆動電
   流源と、 を備えたことを特徴とする磁気浮上型リニアアクチュエ
   ータ。
2. 【請求項２】前記磁石体の軸方向の移動量を検出する移
   動量検出手段と、この移動量検出手段による検出結果を
   参照し前記磁石体の移動位置を制御する移動位置制御手
   段を備えたことを特徴とする請求項１に記載の磁気浮上
   型リニアアクチュエータ。
3. 【請求項３】筒体と、 この筒体に巻装されたコイル部と、 前記筒体内に配設され筒体の軸方向に磁化されており前
   記筒体の中空部内を軸方向に非接触で移動可能な磁石体
   と、 前記磁石体の外側面に設けられた導体リング部と、 前記導体リング部に渦電流を生成し前記磁石体を前記筒
   体の中空部内で非接触に浮上させるための浮上用電流
   と、前記磁石体を軸方向に移動させるための移動用電流
   とを互いに重畳させて前記コイル部に流すための駆動電
   流源と、を備え、 前記磁石体は、軸方向に磁化された磁石部と、前記磁石
   部の軸方向両端に固着された透磁体とからなることを特
   徴とする磁気浮上型リニアアクチュエータ。
4. 【請求項４】前記磁石体の軸方向の移動量を検出する移
   動量検出手段と、この移動量検出手段による検出結果を
   参照し前記磁石体の移動位置を制御する移動位置制御手
   段を備え、 前記移動量検出手段は、前記透磁体の移動に伴い変化す
   る前記コイル部のインダクタンスを検出して前記磁石体
   の軸方向の移動量を検出することを特徴とする請求項３
   に記載の磁気浮上型リニアアクチュエータ。
5. 【請求項５】前記コイル部は前記筒体の軸方向に間隔を
   おいて巻装された複数のコイル部分からなり、前記駆動
   電流源は隣接する前記コイル部分に互いに逆方向に磁力
   線が生じるように前記移動用電流を流すことを特徴とす
   る請求項１または請求項３のいずれか１項に記載の磁気
   浮上型リニアアクチュエータ。
6. 【請求項６】隣接する前記コイル部分は互いに逆方向に
   巻装されるとともに一本の線として接続されていること
   を特徴とする請求項５に記載の磁気浮上型リニアアクチ
   ュエータ。
7. 【請求項７】軸方向に磁化された筒体状の磁石体と、 前記磁石体の内側面に設けられた導体リング部と、 前記磁石体の中空部内を軸方向に非接触で移動可能な可
   動体と、 この可動体に巻装されたコイル部と、 前記導体リング部に渦電流を生成し前記可動体を前記磁
   石体の中空部内に浮上させるための浮上用電流と、前記
   可動体を軸方向に移動させるための移動用電流とを互い
   に重畳させて前記コイル部に流すための駆動電流源と、 を備えたことを特徴とする磁気浮上型リニアアクチュエ
   ータ。
8. 【請求項８】前記可動体の軸方向の移動量を検出する移
   動量検出手段と、この移動量検出手段による検出結果を
   参照し前記可動体の移動位置を制御する移動位置制御手
   段を備えたことを特徴とする請求項７に記載の磁気浮上
   型リニアアクチュエータ。