JPH09250876A - 真空置換式雰囲気焼成炉 - Google Patents
真空置換式雰囲気焼成炉Info
- Publication number
- JPH09250876A JPH09250876A JP9459296A JP9459296A JPH09250876A JP H09250876 A JPH09250876 A JP H09250876A JP 9459296 A JP9459296 A JP 9459296A JP 9459296 A JP9459296 A JP 9459296A JP H09250876 A JPH09250876 A JP H09250876A
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- JP
- Japan
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- furnace
- chamber
- vacuum
- ceramic
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Abstract
(57)【要約】
【課題】真空置換時に発熱体の折損のない雰囲気焼成炉
を提供する。 【解決手段】炉室内にヒーターを配置した構造を有する
真空置換式の焼成炉において、雰囲気ガス投入口を下部
炉室と上部端子室との２箇所に配置し、さらに炉内壁に
セラミックボードを用いることを特徴とする真空置換式
雰囲気焼成炉とする。
を提供する。 【解決手段】炉室内にヒーターを配置した構造を有する
真空置換式の焼成炉において、雰囲気ガス投入口を下部
炉室と上部端子室との２箇所に配置し、さらに炉内壁に
セラミックボードを用いることを特徴とする真空置換式
雰囲気焼成炉とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、陶磁器、電子部品
等のセラミックス部材を載置し、焼成するための真空置
換式雰囲気焼成炉に関するものである。
等のセラミックス部材を載置し、焼成するための真空置
換式雰囲気焼成炉に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に抵抗器の電子部品等はセラミック
ス部材へと移行しつつある。こうしたセラミックス抵抗
器は、原料を混合、成形した後に、脱脂、焼成する。抵
抗器の電気導電材には、金属粉末あるいは非酸化物系の
セラミックス粉末を使用する場合が多く、抵抗値を安定
的に得るために一般的に函型雰囲気炉によって焼成され
る。これら函型焼成炉は１サイクルの時間を短くできる
ことが、生産性の向上につながるため、焼成炉の内張り
には、昇温冷却の早い炭素質系、アルミナ質系の耐火断
熱材が使用されている。また、従来セラミック抵抗体の
焼成は温度が高く、しかも金属を導電材として使用する
ため処理品の良好な電気的特性とバラツキを小さくする
ためには、この不活性雰囲気中での保持が必要である。
ス部材へと移行しつつある。こうしたセラミックス抵抗
器は、原料を混合、成形した後に、脱脂、焼成する。抵
抗器の電気導電材には、金属粉末あるいは非酸化物系の
セラミックス粉末を使用する場合が多く、抵抗値を安定
的に得るために一般的に函型雰囲気炉によって焼成され
る。これら函型焼成炉は１サイクルの時間を短くできる
ことが、生産性の向上につながるため、焼成炉の内張り
には、昇温冷却の早い炭素質系、アルミナ質系の耐火断
熱材が使用されている。また、従来セラミック抵抗体の
焼成は温度が高く、しかも金属を導電材として使用する
ため処理品の良好な電気的特性とバラツキを小さくする
ためには、この不活性雰囲気中での保持が必要である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
置換構造では、炉室に雰囲気ガス例えば窒素ガスやアル
ゴンガス等を流すことで置換するため、置換に時間がか
かり、バッチごとに雰囲気が異なるため、製品の電気的
特性にバラツキが生じ、問題であった。また上記問題点
を解決する炉として、管状炉等、外部加熱によるマッフ
ル構造の炉が用いられるが、外部加熱の方式では、急昇
温や急冷却ができないことや、炉内寸法が制限されるな
どの問題があった。
置換構造では、炉室に雰囲気ガス例えば窒素ガスやアル
ゴンガス等を流すことで置換するため、置換に時間がか
かり、バッチごとに雰囲気が異なるため、製品の電気的
特性にバラツキが生じ、問題であった。また上記問題点
を解決する炉として、管状炉等、外部加熱によるマッフ
ル構造の炉が用いられるが、外部加熱の方式では、急昇
温や急冷却ができないことや、炉内寸法が制限されるな
どの問題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記問題点に
かんがみ、なされたもので、炉室内にヒーターを配置し
た構造を有する真空置換式の焼成炉において、雰囲気ガ
ス投入口を下部炉室と上部端子室との２箇所に配置し、
さらに炉内壁にセラミックボードを用いることを特徴と
する真空置換式雰囲気焼成炉とする。
かんがみ、なされたもので、炉室内にヒーターを配置し
た構造を有する真空置換式の焼成炉において、雰囲気ガ
ス投入口を下部炉室と上部端子室との２箇所に配置し、
さらに炉内壁にセラミックボードを用いることを特徴と
する真空置換式雰囲気焼成炉とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明の焼成炉は、雰囲気ガスの
置換に真空置換方式を採用し、真空置換の際、復圧によ
る内張り断熱材の吹きあがりによる発熱体の折損を防止
する炉である。一般に、発熱体は片端子として天井部か
ら釣り下げることが多く、天井部には、セラミックボー
ドを断熱材として使用する場合が多い。しかし、セラミ
ックボードを断熱材として使用し、真空置換を行わない
場合、断熱材の気孔率が大きい理由から、雰囲気ガスと
の置換に多大な時間を要する。また、雰囲気炉は、その
雰囲気を維持するために、端子室も気密構造にする場合
が多いが、炉室からのガス吹き込みでは、やはり置換に
多大な時間を要する。更に、真空置換式での雰囲気ガス
との置換を行う場合、断熱材の気孔率との関係から、そ
の置換効率は真空度に比例する。しかし、真空度を高く
することは、復圧時点での炉室と端子室の圧力差を大き
くする結果になり、天井部の吹きあがり現象が生じる。
ここで、炉室と端子室の両方にガス投入口を設け、さら
にセラミックボードを用いたのは、これらの両方を採用
することで、この復圧時の炉室と端子室の差圧をなく
し、炉壁、天井部の断熱材の吹きあがりがなく、結果と
して発熱体の折損を防止できた。
置換に真空置換方式を採用し、真空置換の際、復圧によ
る内張り断熱材の吹きあがりによる発熱体の折損を防止
する炉である。一般に、発熱体は片端子として天井部か
ら釣り下げることが多く、天井部には、セラミックボー
ドを断熱材として使用する場合が多い。しかし、セラミ
ックボードを断熱材として使用し、真空置換を行わない
場合、断熱材の気孔率が大きい理由から、雰囲気ガスと
の置換に多大な時間を要する。また、雰囲気炉は、その
雰囲気を維持するために、端子室も気密構造にする場合
が多いが、炉室からのガス吹き込みでは、やはり置換に
多大な時間を要する。更に、真空置換式での雰囲気ガス
との置換を行う場合、断熱材の気孔率との関係から、そ
の置換効率は真空度に比例する。しかし、真空度を高く
することは、復圧時点での炉室と端子室の圧力差を大き
くする結果になり、天井部の吹きあがり現象が生じる。
ここで、炉室と端子室の両方にガス投入口を設け、さら
にセラミックボードを用いたのは、これらの両方を採用
することで、この復圧時の炉室と端子室の差圧をなく
し、炉壁、天井部の断熱材の吹きあがりがなく、結果と
して発熱体の折損を防止できた。
【０００６】
【実施例】本発明を実施例に基づき更に詳細に説明す
る。図１は本発明による一実施例を示す真空置換式函型
炉の断面図を示す。図１において真空置換式函型炉は天
井にセラミックボード２〜３を有し、炉室５と端子室６
に分けられ、天井のセラミックボード３に多数のＵ字型
の発熱体４が釣り下げられ設置されている。炉室および
端子室のガス投入口７、８のラインは電磁弁で開閉し、
その真空置換動作はシーケンスプログラムによって制御
されている。本発明の構造で、炉内壁の吹きあがりや、
発熱体の折損がなく、昇温できた。
る。図１は本発明による一実施例を示す真空置換式函型
炉の断面図を示す。図１において真空置換式函型炉は天
井にセラミックボード２〜３を有し、炉室５と端子室６
に分けられ、天井のセラミックボード３に多数のＵ字型
の発熱体４が釣り下げられ設置されている。炉室および
端子室のガス投入口７、８のラインは電磁弁で開閉し、
その真空置換動作はシーケンスプログラムによって制御
されている。本発明の構造で、炉内壁の吹きあがりや、
発熱体の折損がなく、昇温できた。
【０００７】［比較例１］実施例と同じ炉構造で、炉室
ガス投入口７のみからガスを入れ、ガス置換した。炉内
壁が吹きあがり、発熱体が折損して、昇温できなかっ
た。
ガス投入口７のみからガスを入れ、ガス置換した。炉内
壁が吹きあがり、発熱体が折損して、昇温できなかっ
た。
【０００８】［比較例２］実施例と同じ炉構造で、天井
のセラミックボード３の部分に緻密な耐火材を用い、ガ
ス投入口７、８のラインを用いてガス置換した。発熱体
が折損して、昇温できなかった。
のセラミックボード３の部分に緻密な耐火材を用い、ガ
ス投入口７、８のラインを用いてガス置換した。発熱体
が折損して、昇温できなかった。
【０００９】
【発明の効果】以上のように、本発明の真空置換式函型
炉は、従来の雰囲気炉では得られなかった。雰囲気の制
御が可能で、製品のバラツキを減少すると同時に置換の
時間短縮ができ、さらに発熱体の折損も防止できるので
大幅なコストダウンが可能になる。
炉は、従来の雰囲気炉では得られなかった。雰囲気の制
御が可能で、製品のバラツキを減少すると同時に置換の
時間短縮ができ、さらに発熱体の折損も防止できるので
大幅なコストダウンが可能になる。
【図１】本発明による真空置換構造を用いた、真空置換
式函型炉の断面を示した図である。
式函型炉の断面を示した図である。
１．真空置換式函型炉 ２．セラミックボード ３．セラミックボード ４．発熱体 ５．炉室 ６．端子室 ７．炉室ガス投入口 ８．端子室ガス投入口 ９．ガス排気口 １０．電磁弁 １１．気密外穀
Claims (1)
- 【請求項１】 炉室内にヒーターを配置した構造を有す
る真空置換式の焼成炉において、雰囲気ガス投入口を下
部炉室と上部端子室との２箇所に配置し、さらに炉内壁
にセラミックボードを用いることを特徴とする真空置換
式雰囲気焼成炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09459296A JP3663558B2 (ja) | 1996-03-13 | 1996-03-13 | 真空置換式雰囲気焼成炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09459296A JP3663558B2 (ja) | 1996-03-13 | 1996-03-13 | 真空置換式雰囲気焼成炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09250876A true JPH09250876A (ja) | 1997-09-22 |
| JP3663558B2 JP3663558B2 (ja) | 2005-06-22 |
Family
ID=14114560
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09459296A Expired - Lifetime JP3663558B2 (ja) | 1996-03-13 | 1996-03-13 | 真空置換式雰囲気焼成炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3663558B2 (ja) |
-
1996
- 1996-03-13 JP JP09459296A patent/JP3663558B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3663558B2 (ja) | 2005-06-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041027 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050301 |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050317 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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