JPH09248754A - ワイヤソー - Google Patents
ワイヤソーInfo
- Publication number
- JPH09248754A JPH09248754A JP5473096A JP5473096A JPH09248754A JP H09248754 A JPH09248754 A JP H09248754A JP 5473096 A JP5473096 A JP 5473096A JP 5473096 A JP5473096 A JP 5473096A JP H09248754 A JPH09248754 A JP H09248754A
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- JP
- Japan
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- wire
- tension
- roller
- main
- saw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ワイヤ及びメインローラの状態を細かく検出
し、ワイヤの断線を素早く検出することが可能なワイヤ
ソーを提供すること。 【解決手段】メインローラ１１〜１３間のワイヤ１５を
複数ブロックに区分けし、各ブロック毎にワイヤ１５の
張力を検出するように構成した。これにより、ワイヤ１
５が途中で切れたりしても、そのワイヤ１５の切れを素
早く検出することができる。そして、コントローラＣが
ワイヤ１５の断線を判別した際に、ワイヤソーが自動停
止するように構成すれば、メインローラ１１〜１３の破
損等を防止することができるとともに、加工動作がその
まま続行されないことから、ワーク３１の加工不良の発
生を低下させ、歩留りを向上できる。
し、ワイヤの断線を素早く検出することが可能なワイヤ
ソーを提供すること。 【解決手段】メインローラ１１〜１３間のワイヤ１５を
複数ブロックに区分けし、各ブロック毎にワイヤ１５の
張力を検出するように構成した。これにより、ワイヤ１
５が途中で切れたりしても、そのワイヤ１５の切れを素
早く検出することができる。そして、コントローラＣが
ワイヤ１５の断線を判別した際に、ワイヤソーが自動停
止するように構成すれば、メインローラ１１〜１３の破
損等を防止することができるとともに、加工動作がその
まま続行されないことから、ワーク３１の加工不良の発
生を低下させ、歩留りを向上できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体材料、磁性
材料、セラミック等の脆性材料をワイヤにより切断する
ワイヤソーに関するものである。
材料、セラミック等の脆性材料をワイヤにより切断する
ワイヤソーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】この種のワイヤソーにおいては、加工部
に設けられた多数の溝を有する複数のメインローラ間に
１本のワイヤが所定ピッチで螺旋状に巻き付けられ、同
ワイヤが走行し、そのワイヤ上に砥粒を含むスラリが供
給される。そして、この状態でワイヤにワークが押し付
けられ、ワイヤにより搬送されるスラリによって切断さ
れるようになっている。
に設けられた多数の溝を有する複数のメインローラ間に
１本のワイヤが所定ピッチで螺旋状に巻き付けられ、同
ワイヤが走行し、そのワイヤ上に砥粒を含むスラリが供
給される。そして、この状態でワイヤにワークが押し付
けられ、ワイヤにより搬送されるスラリによって切断さ
れるようになっている。
【０００３】一般にワイヤソーにおいては、ワイヤの張
力の計測を行い、ワイヤの断線防止と加工不良の発生を
防止している。
力の計測を行い、ワイヤの断線防止と加工不良の発生を
防止している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記ワ
イヤソーにおいては次のような問題があった。前記ワイ
ヤはメインローラ間に亘って数百回以上巻回されている
が、メインローラ間におけるワイヤ全長に亘っての張力
の状態は検出することができなかった。すなわち、メイ
ンローラに巻回された全ワイヤの張力を、特定の位置に
おける張力を検出してトータル的な張力としてワイヤの
状態を判定していた。
イヤソーにおいては次のような問題があった。前記ワイ
ヤはメインローラ間に亘って数百回以上巻回されている
が、メインローラ間におけるワイヤ全長に亘っての張力
の状態は検出することができなかった。すなわち、メイ
ンローラに巻回された全ワイヤの張力を、特定の位置に
おける張力を検出してトータル的な張力としてワイヤの
状態を判定していた。
【０００５】例えば、メインローラに巻回されているワ
イヤのある巻回部分でワイヤが断線したりしても、ワイ
ヤのトータル張力はほとんど変化しないことから、ワイ
ヤの断線状態が直ちには検出されず、加工動作が断線し
た状態のまま続行される場合がある。この場合、ワーク
の加工不良が発生したり、ワイヤの断線端部によりメイ
ンローラの溝が損傷したりするという問題があった。
イヤのある巻回部分でワイヤが断線したりしても、ワイ
ヤのトータル張力はほとんど変化しないことから、ワイ
ヤの断線状態が直ちには検出されず、加工動作が断線し
た状態のまま続行される場合がある。この場合、ワーク
の加工不良が発生したり、ワイヤの断線端部によりメイ
ンローラの溝が損傷したりするという問題があった。
【０００６】本発明は上記問題点を解消するためになさ
れたものであって、その目的はワイヤの状態を細かく検
出し、ワイヤの断線状態を素早く検出することが可能な
ワイヤソーを提供することにある。
れたものであって、その目的はワイヤの状態を細かく検
出し、ワイヤの断線状態を素早く検出することが可能な
ワイヤソーを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に記載の発明では、複数のメインローラ間
に１本のワイヤを螺旋状に巻き付けて走行させ、そのワ
イヤに対して砥粒を含むスラリを供給しながらワークを
押し付けて、ワークを切断するワイヤソーにおいて、前
記ワイヤをメインローラの軸線方向において複数ブロッ
クに区分けし、各ブロック毎にワイヤの張力を検出する
ワイヤ張力検出手段を備えたことをその要旨とする。
に、請求項１に記載の発明では、複数のメインローラ間
に１本のワイヤを螺旋状に巻き付けて走行させ、そのワ
イヤに対して砥粒を含むスラリを供給しながらワークを
押し付けて、ワークを切断するワイヤソーにおいて、前
記ワイヤをメインローラの軸線方向において複数ブロッ
クに区分けし、各ブロック毎にワイヤの張力を検出する
ワイヤ張力検出手段を備えたことをその要旨とする。
【０００８】従って、請求項１に記載の発明において
は、各ワイヤ張力検出手段により、各ブロック毎のワイ
ヤに加わる張力が検出される。請求項２に記載の発明で
は、前記ワイヤは、前記各ブロック毎に設けられた変位
ローラに巻回され、同変位ローラはワイヤの張力に対応
してメインローラとの相対位置が変化し、前記ワイヤ張
力検出手段は各変位ローラの位置変位に基づいて各ブロ
ック毎にワイヤの張力を検出することをその要旨とす
る。
は、各ワイヤ張力検出手段により、各ブロック毎のワイ
ヤに加わる張力が検出される。請求項２に記載の発明で
は、前記ワイヤは、前記各ブロック毎に設けられた変位
ローラに巻回され、同変位ローラはワイヤの張力に対応
してメインローラとの相対位置が変化し、前記ワイヤ張
力検出手段は各変位ローラの位置変位に基づいて各ブロ
ック毎にワイヤの張力を検出することをその要旨とす
る。
【０００９】従って、請求項２に記載の発明において
は、ワイヤ張力検出手段は各ブロック毎に変位ローラの
位置を検出し、その位置に基づいて各ブロック毎のワイ
ヤに加わる張力を検出する。
は、ワイヤ張力検出手段は各ブロック毎に変位ローラの
位置を検出し、その位置に基づいて各ブロック毎のワイ
ヤに加わる張力を検出する。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
の形態を図面に基づいて説明する。図１〜図３に示すよ
うに、ワイヤソーの加工部を形成する第１のメインロー
ラ１１、第２のメインローラ１２、第３のメインローラ
１３の３個のメインローラは逆トライアングル状に配置
されている。各メインローラ１１〜１３の外周面には多
数の溝１４が所定ピッチで形成されている。鋼線よりな
る切断用ワイヤ１５は前記各メインローラ１１〜１３の
溝１４に連続して螺旋状に巻付けられ、図示しない駆動
モータにより駆動されるメインローラ１１〜１３の回転
により走行される。
の形態を図面に基づいて説明する。図１〜図３に示すよ
うに、ワイヤソーの加工部を形成する第１のメインロー
ラ１１、第２のメインローラ１２、第３のメインローラ
１３の３個のメインローラは逆トライアングル状に配置
されている。各メインローラ１１〜１３の外周面には多
数の溝１４が所定ピッチで形成されている。鋼線よりな
る切断用ワイヤ１５は前記各メインローラ１１〜１３の
溝１４に連続して螺旋状に巻付けられ、図示しない駆動
モータにより駆動されるメインローラ１１〜１３の回転
により走行される。
【００１１】ワイヤ１５を巻き付ける一対のリール１
６，１７は前記メインローラ１１〜１３の側方に配設さ
れている。そして、一方のリール１６から複数のガイド
ローラ１８を介してメインローラ１１〜１３上にワイヤ
１５が供給されるとともに、メインローラ１１〜１３上
から複数のガイドローラ１９を介して他方のリール１７
にワイヤ１５が巻き取られる。なお、ワイヤ１５は一定
量進むと後退するという歩進走行動作を行う。
６，１７は前記メインローラ１１〜１３の側方に配設さ
れている。そして、一方のリール１６から複数のガイド
ローラ１８を介してメインローラ１１〜１３上にワイヤ
１５が供給されるとともに、メインローラ１１〜１３上
から複数のガイドローラ１９を介して他方のリール１７
にワイヤ１５が巻き取られる。なお、ワイヤ１５は一定
量進むと後退するという歩進走行動作を行う。
【００１２】ダンサレバー２０は前記メインローラ１１
〜１３と各リール１６，１７との間において、ワイヤ１
５の走行経路内に支点２１を中心に回動可能に配設さ
れ、それらの先端にはダンサローラ２２及びウエイト２
４が取り付けられている。そして、これらのウエイト２
４により、メインローラ１１〜１３間のワイヤ１５に所
定のテンションが付与されている。
〜１３と各リール１６，１７との間において、ワイヤ１
５の走行経路内に支点２１を中心に回動可能に配設さ
れ、それらの先端にはダンサローラ２２及びウエイト２
４が取り付けられている。そして、これらのウエイト２
４により、メインローラ１１〜１３間のワイヤ１５に所
定のテンションが付与されている。
【００１３】一対のスラリ供給パイプ２６，２７は前記
第１のメインローラ１１及び第２のメインローラ１２の
上方に配設され、このスラリ供給パイプ２６，２７から
第１のメインローラ１１と第２のメインローラ１２との
間のワイヤ１５に対して、砥粒を含むスラリが流下供給
される。ワーク３１はメインローラ１１の上方に図示し
ない送り装置に上下動可能に保持され、このワーク３１
が第１のメインローラ１１と第２のメインローラ１２間
のワイヤ１５に押し付けられることにより、スラリーの
ラッピング作用にてウエハ状に切断される。
第１のメインローラ１１及び第２のメインローラ１２の
上方に配設され、このスラリ供給パイプ２６，２７から
第１のメインローラ１１と第２のメインローラ１２との
間のワイヤ１５に対して、砥粒を含むスラリが流下供給
される。ワーク３１はメインローラ１１の上方に図示し
ない送り装置に上下動可能に保持され、このワーク３１
が第１のメインローラ１１と第２のメインローラ１２間
のワイヤ１５に押し付けられることにより、スラリーの
ラッピング作用にてウエハ状に切断される。
【００１４】前記ワイヤ１５はメインローラ１１，１
２，１３の軸線方向において複数ブロック（例えば、ワ
イヤ１５の５０巻回分を１ブロックとする）に区分けさ
れている。本実施の形態では、前記ワイヤ１５は８ブロ
ック（Ｂ１〜Ｂ８）に区分けされている。
２，１３の軸線方向において複数ブロック（例えば、ワ
イヤ１５の５０巻回分を１ブロックとする）に区分けさ
れている。本実施の形態では、前記ワイヤ１５は８ブロ
ック（Ｂ１〜Ｂ８）に区分けされている。
【００１５】各ブロックＢ１〜Ｂ８毎にワイヤ張力検出
手段４０が設けられている。前記ワイヤ張力検出手段４
０は第１のガイドローラ４１、第２のガイドローラ４
２、滑車式の変位ローラとしてのダンサローラ４３、さ
らに、ロータリエンコーダよりなるダンサローラ位置検
出器４４より構成されている。ダンサローラ４３とダン
サローラ位置検出器４４とはカウンタウエイト４５ａを
支持するダンサレバー４５により連結されている。各ブ
ロックＢ１〜Ｂ８中のワイヤ１５は、第１及び第２のガ
イドローラ４１，４２を介して第３のメインローラ１３
から第１のメインローラ１１に、また、第２のメインロ
ーラ１２から第３のメインローラ１３にそれぞれ巻回さ
れている。
手段４０が設けられている。前記ワイヤ張力検出手段４
０は第１のガイドローラ４１、第２のガイドローラ４
２、滑車式の変位ローラとしてのダンサローラ４３、さ
らに、ロータリエンコーダよりなるダンサローラ位置検
出器４４より構成されている。ダンサローラ４３とダン
サローラ位置検出器４４とはカウンタウエイト４５ａを
支持するダンサレバー４５により連結されている。各ブ
ロックＢ１〜Ｂ８中のワイヤ１５は、第１及び第２のガ
イドローラ４１，４２を介して第３のメインローラ１３
から第１のメインローラ１１に、また、第２のメインロ
ーラ１２から第３のメインローラ１３にそれぞれ巻回さ
れている。
【００１６】ダンサローラ４３はカウンタウエイト４６
を支持するダンサレバー４５を介してダンサローラ位置
検出器４４に連結され、同ダンサローラ位置検出器４４
を支点として回動する。ダンサローラ４３はワイヤ１５
の張力の変化に対応してその高さ位置が変化する。そし
て、ダンサローラ位置検出器４４は、ダンサローラ４３
の高さ位置を回転量として検出する。前記各ダンサロー
ラ位置検出器４４はコントローラＣに接続され、同コン
トローラＣは各ダンサローラ位置検出器４４から出力さ
れる信号（回転量）に基づき、各ダンサローラ４３の高
さ位置を判別する。そして、コントローラＣはダンサロ
ーラ４３の高さ位置が予め設定された許容位置から外れ
ているか否かを判別する。すなわち、ダンサローラ４３
の位置変位に基づき、コントローラＣは各ブロックにお
けるワイヤ１５の張力を判別する。
を支持するダンサレバー４５を介してダンサローラ位置
検出器４４に連結され、同ダンサローラ位置検出器４４
を支点として回動する。ダンサローラ４３はワイヤ１５
の張力の変化に対応してその高さ位置が変化する。そし
て、ダンサローラ位置検出器４４は、ダンサローラ４３
の高さ位置を回転量として検出する。前記各ダンサロー
ラ位置検出器４４はコントローラＣに接続され、同コン
トローラＣは各ダンサローラ位置検出器４４から出力さ
れる信号（回転量）に基づき、各ダンサローラ４３の高
さ位置を判別する。そして、コントローラＣはダンサロ
ーラ４３の高さ位置が予め設定された許容位置から外れ
ているか否かを判別する。すなわち、ダンサローラ４３
の位置変位に基づき、コントローラＣは各ブロックにお
けるワイヤ１５の張力を判別する。
【００１７】上記のように、本実施の形態では、ワイヤ
ソーを構成したことにより次のような効果を得ることが
できる。 （１）メインローラ１１〜１３間のワイヤ１５を複数ブ
ロック（８ブロック）に区分けし、各ブロック毎にワイ
ヤ１５の張力を検出するように構成した。これにより、
ワイヤ１５が各ブロックの途中で断線した場合も、その
ワイヤ１５の切れを素早く検出することができる。そし
て、コントローラＣがワイヤ１５の断線を判別した際
に、ワイヤソーが自動停止するように構成すれば、メイ
ンローラ１１〜１３の破損等を防止することができると
ともに、メインローラ１１〜１３を停止させて加工動作
が続行されないことから、ワーク３１の加工不良の発生
を防止でき、歩留りを向上できる。
ソーを構成したことにより次のような効果を得ることが
できる。 （１）メインローラ１１〜１３間のワイヤ１５を複数ブ
ロック（８ブロック）に区分けし、各ブロック毎にワイ
ヤ１５の張力を検出するように構成した。これにより、
ワイヤ１５が各ブロックの途中で断線した場合も、その
ワイヤ１５の切れを素早く検出することができる。そし
て、コントローラＣがワイヤ１５の断線を判別した際
に、ワイヤソーが自動停止するように構成すれば、メイ
ンローラ１１〜１３の破損等を防止することができると
ともに、メインローラ１１〜１３を停止させて加工動作
が続行されないことから、ワーク３１の加工不良の発生
を防止でき、歩留りを向上できる。
【００１８】なお、本発明は次のように構成することも
できる。各ブロックのダンサローラ４３にレバーを介し
てアクチュエータ（図示せず）を連結する。そして、コ
ントローラにより、各アクチュエータを駆動制御して、
各ブロックのワイヤ１５の張力を調整するように構成し
てもよい。
できる。各ブロックのダンサローラ４３にレバーを介し
てアクチュエータ（図示せず）を連結する。そして、コ
ントローラにより、各アクチュエータを駆動制御して、
各ブロックのワイヤ１５の張力を調整するように構成し
てもよい。
【００１９】次に、以上の各実施例によって把握される
請求項以外の技術的思想について、その効果とともに以
下に記載する。複数のメインローラ間に１本のワイヤを
螺旋状に巻き付けて走行させ、そのワイヤに対して砥粒
を含むスラリを供給しながらワークを押し付けて、ワー
クを切断するワイヤソーにおいて、前記ワイヤをメイン
ローラの軸線方向において複数ブロックに区分けし、各
ブロック毎に、ワイヤの張力を調整する張力調整手段が
設けられているワイヤソー。
請求項以外の技術的思想について、その効果とともに以
下に記載する。複数のメインローラ間に１本のワイヤを
螺旋状に巻き付けて走行させ、そのワイヤに対して砥粒
を含むスラリを供給しながらワークを押し付けて、ワー
クを切断するワイヤソーにおいて、前記ワイヤをメイン
ローラの軸線方向において複数ブロックに区分けし、各
ブロック毎に、ワイヤの張力を調整する張力調整手段が
設けられているワイヤソー。
【００２０】この構成によれば、各張力手段により各ブ
ロック毎のワイヤの張力を調整できるので、より高精度
の加工が可能となる。
ロック毎のワイヤの張力を調整できるので、より高精度
の加工が可能となる。
【００２１】
【発明の効果】請求項１及び請求項２に記載のワイヤソ
ーによれば、各ブロック毎に設けられたワイヤ張力検出
手段により、各ブロック毎のワイヤに加わる張力を細か
く検出することができる。これにより、ワイヤが途中で
切れてもワイヤの張力を細かく検出していることから、
素早くその切れを検出でき、延いてはメインローラの破
損及びワークの加工不良の発生を抑制することができ
る。
ーによれば、各ブロック毎に設けられたワイヤ張力検出
手段により、各ブロック毎のワイヤに加わる張力を細か
く検出することができる。これにより、ワイヤが途中で
切れてもワイヤの張力を細かく検出していることから、
素早くその切れを検出でき、延いてはメインローラの破
損及びワークの加工不良の発生を抑制することができ
る。
【図１】ワイヤソーの斜視図。
【図２】ワイヤソーの側面図。
【図３】ワイヤソーの平面図。
１１〜１３…メインローラ、１５…ワイヤ、３１…ワー
ク、４０…ワイヤ張力検出手段、４１…第１のガイドロ
ーラ、４２…第２のガイドローラ、４３…ダンサロー
ラ、４４…ダンサローラ位置検出器、Ｃ…ワイヤ張力検
出手段を構成するコントローラ。
ク、４０…ワイヤ張力検出手段、４１…第１のガイドロ
ーラ、４２…第２のガイドローラ、４３…ダンサロー
ラ、４４…ダンサローラ位置検出器、Ｃ…ワイヤ張力検
出手段を構成するコントローラ。
Claims (2)
- 【請求項１】 複数のメインローラ間に１本のワイヤを
螺旋状に巻き付けて走行させ、そのワイヤに対して砥粒
を含むスラリを供給しながらワークを押し付けて、ワー
クを切断するワイヤソーにおいて、 前記ワイヤをメインローラの軸線方向において複数ブロ
ックに区分けし、各ブロック毎にワイヤの張力を検出す
るワイヤ張力検出手段を備えたワイヤソー。 - 【請求項２】 前記ワイヤは、前記各ブロック毎に設け
られた変位ローラに巻回され、同変位ローラはワイヤの
張力に対応してメインローラとの相対位置が変化し、前
記ワイヤ張力検出手段は各変位ローラの位置変位に基づ
いて各ブロック毎にワイヤの張力を検出する請求項１に
記載のワイヤソー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5473096A JP3425032B2 (ja) | 1996-03-12 | 1996-03-12 | ワイヤソー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5473096A JP3425032B2 (ja) | 1996-03-12 | 1996-03-12 | ワイヤソー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09248754A true JPH09248754A (ja) | 1997-09-22 |
| JP3425032B2 JP3425032B2 (ja) | 2003-07-07 |
Family
ID=12978928
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5473096A Expired - Fee Related JP3425032B2 (ja) | 1996-03-12 | 1996-03-12 | ワイヤソー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3425032B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005110654A1 (en) * | 2004-05-18 | 2005-11-24 | Rec Scanwafer As | Abrasive wire sawing |
| EP2777903A1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-09-17 | Applied Materials Switzerland Sàrl | Ingot feeding system |
-
1996
- 1996-03-12 JP JP5473096A patent/JP3425032B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005110654A1 (en) * | 2004-05-18 | 2005-11-24 | Rec Scanwafer As | Abrasive wire sawing |
| JP2007537888A (ja) * | 2004-05-18 | 2007-12-27 | アール・イー・シー・スキャンウェハー・アー・エス | 摩擦性を有するワイヤによるソーイング |
| US7461648B2 (en) | 2004-05-18 | 2008-12-09 | Rec Scanwafer As | Abrasive wire sawing |
| CN100462173C (zh) * | 2004-05-18 | 2009-02-18 | Rec斯坎沃佛股份有限公司 | 从至少两个基本相同的块形成多个薄片的设备及方法 |
| JP4829234B2 (ja) * | 2004-05-18 | 2011-12-07 | アール・イー・シー・スキャンウェハー・アー・エス | 摩擦性を有するワイヤによるソーイング |
| EP2777903A1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-09-17 | Applied Materials Switzerland Sàrl | Ingot feeding system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3425032B2 (ja) | 2003-07-07 |
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