JPH09248514A - 液状材料吐出装置 - Google Patents
液状材料吐出装置Info
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- JPH09248514A JPH09248514A JP8336796A JP8336796A JPH09248514A JP H09248514 A JPH09248514 A JP H09248514A JP 8336796 A JP8336796 A JP 8336796A JP 8336796 A JP8336796 A JP 8336796A JP H09248514 A JPH09248514 A JP H09248514A
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Abstract
させることのできる液状材料吐出装置を提供するもので
ある。 【解決手段】 液状材料2を蓄積及び放出する第1の供
給手段と、第1の供給手段に接続され、第1の供給手段
が放出する液状材料の少なくとも一部を蓄積又は放出す
る第2の供給手段と、第2の供給手段に接続され、第2
の供給手段が蓄積又は放出する液状材料を順次吐出する
吐出手段と、第2の供給手段が蓄積又は放出する液状材
料の量を制御する制御手段とを備えた液状材料吐出装置
において、第2の供給手段は、一部透光性を有し、蓄積
又は放出する液状材料の液面を含む一部と共に受光及び
投影可能に構成された液料表示手段を有し、制御手段
は、液料表示手段が表示する蓄積又は放出する液状材料
に対応する制御信号を光学的に検出する検出手段を有す
ることを特徴とする。
Description
などを所定量繰り返し吐出し、ポッティングまたは塗布
させる自動機などに用いる液状材料吐出装置に関し、特
に、微量の液状材料を正確に吐出させる液状材料吐出装
置に関する。
装置には、図5に示すものがあった。図5は、従来の自
動機に用いられる液状材料吐出装置を示す概略ブロック
図である。同図において、101は液状の吐出用のオイ
ル102を貯蔵し供給するタンクであり、圧縮された空
気(エアー)が圧力調整バルブ103により所定の空気
圧に調整されてタンク内が一定の圧力で加圧されるよう
に構成されている。
して液状材料を吐出するためのノズル105に接続され
ている。従来の液状材料吐出装置は以上のように構成さ
れて、所定の圧力が加わったタンク内のオイルを、図示
しない制御装置を用いてバルブ104を断続的に開閉す
ることにより、一定量のオイルをノズル105から順次
吐出させて、塗布対象物に塗布するように制御してい
た。
は、タンク101に加えるエアー圧や、ノズル105の
射出径や、バルブ104の開閉時間等を調整することに
より変化するので、予め、エアー圧、ノズル射出径、バ
ルブ開閉時間等により塗布量を間接的に設定することに
より、塗布対象物に塗布するオイルの量を管理してい
た。
造のものが要求されている、このような機器に用いられ
る構造部品の各部には、潤滑油や接着剤などが随所に用
いられている。これらの潤滑油や接着剤などは、微量で
しかも適格な量を用いることによりその性能が効果的に
発揮される。
の液状材料吐出装置を用いて吐出しようとすると、吐出
するオイルの量は直接測定することができず、実際に塗
布された量を正確に確認することができなかった。
開閉時間等が予め安定するように固定されるので、吐出
される量は一定であり、同一塗布対象物の異なる部位に
それぞれに対応する量のオイルを塗布する場合、エアー
圧や、ノズル射出径、バルブ開閉時間等を再設定する
か、または、吐出装置を複数台用いなければならず、塗
布に時間がかかり、製造コストが増大してしまうといっ
た欠点があった。また、従来の調整方法で行う場合に、
調整に時間がかかり、安定して吐出することができる量
を微量に調整するのにも限界があった。
に鑑みなされたものであり、微量の液状材料を正確にし
かも安定して吐出させることのできる液状材料吐出装置
を提供するものである。
液状材料を蓄積及び放出する第1の供給手段と、第1の
供給手段に接続され、第1の供給手段が放出する液状材
料の少なくとも一部を蓄積又は放出する第2の供給手段
と、第2の供給手段に接続され、第2の供給手段が蓄積
又は放出する液状材料を順次吐出する吐出手段と、第2
の供給手段が蓄積又は放出する液状材料の量を制御する
制御手段とを備えた液状材料吐出装置において、第2の
供給手段は、一部透光性を有し、蓄積又は放出する液状
材料の液面を含む一部と共に受光及び投影可能に構成さ
れた液料表示手段を有し、制御手段は、液料表示手段が
表示する蓄積又は放出する液状材料に対応する制御信号
を光学的に検出する検出手段を有し、検出手段が検出す
る制御信号に応じて、第1の供給手段が放出する液状材
料の量及び、第2の供給手段が蓄積又は放出する液状材
料の量を適宜制御することにより、吐出手段が順次吐出
する液状材料の量を制御することを特徴とする。
載の液状材料吐出装置において、液料表示手段は、断面
が中空に形成されたほぼ円筒状の管により形成され、第
2の供給手段が蓄積又は放出する液状材料が、管の中空
部分を一部充填することにより、蓄積又は放出する液状
材料の液面が形成されることを特徴とする。
は2記載の液状材料吐出装置において、第1の供給手段
は、第1のバルブを有し、第2の供給手段は、第2のバ
ルブを有し、制御手段は、検出手段が検出する制御信号
に応じて第1のバルブ又は第2のバルブを開閉すること
により、第1の供給手段又は第2の供給手段が蓄積する
液状材料の少なくとも一部を放出または保持させること
を特徴とする。
は2又は3記載の液状材料吐出装置において、検出手段
は、所定の波長からなる光を、液料表示手段の所定の範
囲を照射する照射部と、照射部によって照射され、液料
表示手段を透過する光を所定範囲において受光する受光
部とを備え、受光部が、液料表示手段又は、液料表示手
段及び第2の供給手段が蓄積又は放出する液状材料の液
面を含む一部、からの透過光を受光し、受光する透過光
の光量に応じて、制御信号を生成することを特徴とす
る。
液状材料を吐出する場合に、第1の供給手段に蓄積され
ている液状材料を放出して、一旦、第2の供給手段に蓄
積する場合に、検出手段が有する照射部によって、液状
材料が一部蓄積される液料表示手段を、液状材料の液面
を含む一部と共に所定範囲照射し、検出手段が有する受
光部によって、液料表示手段を透過する光を所定範囲に
おいて受光し、受光する透過光の光量に応じて生成され
る制御信号によって、制御手段が、第1の供給手段が放
出する液状材料の量及び、第2の供給手段が蓄積又は放
出する液状材料の量を適宜制御するようにしたので、吐
出手段から順次吐出する液状材料を微量に設定すること
ができ、その量は正確にしかも安定する。
乃至図3に基づいて以下に説明する。
材料吐出装置の概略ブロック図である。同図において、
1は、図示しない塗布対象物に塗布するための例えば潤
滑油や接着剤からなる液状材料2を貯蔵し供給するタン
クであり、圧縮された空気(エアー)が圧力調整バルブ
3により所定の空気圧に調整されてタンク1内が一定の
圧力で加圧されるように構成されている。
有し、透明な材料で形成されている。また、タンク1
は、バルブ(V1)4及びバルブ(V2)5を介して液
状材料2を供給し吐出するためのノズル6に接続されて
いる。バルブ(V1)4及びバルブ(V2)5は、それ
ぞれ開閉可能に構成され、液状材料2の流れを、通過ま
たは停止可能に構成する。
空気(エアー)が先に述べた圧力調整バルブ3と並列に
接続された圧力調整バルブ8により、所定の空気圧に調
整されて平滑タンク7内が一定の圧力で加圧されるよう
に構成されている。また、平滑タンク7は、バルブ(V
3)9を介してガラス管10の一端に接続され、さらに
ガラス管10の他端はバルブ(V1)4とバルブ(V
2)5の中間に連通し接続される。
に構成されていて、バルブ(V1)4が閉状態でかつ、
バルブ(V2)5が開状態の場合に、バルブ(V3)9
を開くと、平滑タンク7に蓄えられた所定圧の空気によ
ってガラス管10内を加圧して、ガラス管10内部に充
填された液状材料を押し出すように構成する。
さを有する直線状の細い中空管で形成され、管内部の中
空部分に液状材料2が通過可能に構成されている。
射部11及び受光部12が設けられている。レーザ照射
部11は、所定の波長を有するレーザ光が生成され、コ
リメータレンズ等を用いて所定の範囲でほぼ平行に放出
されるように光路補正されて、ガラス管10の片側の所
定の領域を均一に照射するように構成されている。
受光素子16を有し、ガラス管10を介してレーザ照射
部11と対向配置され、レーザ照射部11によって照射
されたガラス管10を通過する光を集光レンズ15及び
受光素子16によって所定範囲で集光し、受光した光を
変換器13に供給する。
レーザ光が、ガラス管10を通過して受光部12に受光
される様子をレーザ光の進行方向を示す矢印を用いて、
ガラス管10の断面方向で表した図であり、(a)は、
ガラス管10の中空部分に空気が存在する場合を表し、
(b)は、ガラス管10の中空部分に液状材料2が充填
されている場合を表している。
空部分に空気が存在する場合は、ガラス管10を通過す
る光は、中空部分において、ガラスの屈折率と空気の屈
折率の急激な変化によってその通過経路を大きく変えて
散乱してしまうので、受光素子16に到達する光の量が
減少することがわかる。また、液状材料2がガラス管1
0中空部分に充填されている場合は、液状材料2の屈折
率が空気の屈折率よりも遥かに大きくなり、ガラスの屈
折率に近づくため、ガラス管10を通過する光は、中空
部分において屈折率の大きな変化を受けることなく通過
するので、受光素子16に到達する光の量が増大するこ
とがわかる。
れたレーザ光を受光する受光素子16の受光量は、ガラ
ス管10の中空部分に占める液状材料12の量が多いほ
ど増大し、空気の占める割合が多いほど減少する。した
がって、中空部分の断面積を一定にすれば、受光素子1
6が検出する受光量は、ガラス管10の中空部分に注入
された液状材料12の液面の高さに正確に比例する。ま
た、中空部分の断面積を小さく形成することにより、液
状材料が微量に変化しても、ガラス管内の中空部分を充
填する割合は大きくなる。
た光量を検出して電圧変換し、得られた電圧を、デジタ
ル変換して制御信号を生成し、制御器14に出力する。
注入された液状材料12の液面の高さに対応する制御信
号の値を複数記憶して、変換器13から供給される制御
信号の値と比較することにより、液状材料の体積の変化
を検出することができ、制御信号の値に対応してバルブ
(V1)4、バルブ(V2)5、バルブ(V3)9を適
宜開閉制御することによりガラス管10の中空部分に注
入された液状材料12を所定量だけノズル6から吐出さ
せるように制御する。
装置は、以上のように構成されるが、次に本装置を用い
て液状材料が所定量づつ、順次吐出する動作を説明す
る。
材料吐出装置の制御器14が、制御信号に基づいて、バ
ルブ(V1)4、バルブ(V2)5、バルブ(V3)9
を適宜開閉制御して所定量の液状材料を吐出させる動作
のフローチャートである。なお、液状材料吐出装置は、
初期状態において、バルブ(V1)4、バルブ(V2)
5、バルブ(V3)9は全て閉じられているものとす
る。
作開始指令を受けると、バルブ(V1)4を開いてタン
ク1に貯蔵される液状材料2を放出させる(ステップS
1)。この場合、バルブ(V2)5は閉じられているの
で、液状材料2は、ガラス管10に順次流れ込み、ガラ
ス管10の中空部分を充填開始する(ステップS2)。
液状材料2が、ガラス管10の中空部分に順次流れ込
み、液状材料2の液面が移動するにつれて受光部12が
受光する光量が増大する。
に対応する制御信号を制御器14に供給し、制御器14
では、供給される制御信号の値を読取りながら予め設定
された値(データA)と比較し(ステップS3)、一致
したらバルブ(V1)4を閉じるように制御する(ステ
ップS4)。データAは、バルブ(V2)5からガラス
管10内まで充填される液状材料2の量を、装置の1回
の吐出量よりも多くなるように、しかも、液状材料2の
液面が、少なくともレーザ照射部11からの照射光を横
切るように設定された制御値である。
開き、ガラス管10内に平滑タンク7からの圧縮空気が
緩やかに供給され、ガラス管10内の液状材料2に吐出
圧を加える(ステップS5)。この場合、バルブ(V
3)9とガラス管10内の液状材料2の液面との間にす
でに平滑タンク7からの圧縮空気の圧力とは異なる圧力
の空気が存在していても、バルブ(V3)9が開けられ
ることによって、液面に加わる吐出圧は、圧力調整バル
ブ8によって調整された圧力となり、液面はその分変位
した後静止する。
止状態の液面の高さにおいて、変換器13から出力され
る制御信号の値を読取り、吐出前の液面の高さに対応す
る基準値(データB)として記憶する(ステップS
6)。ここで、制御器14は、装置がノズル6から1回
に吐出する液状材料2の液量に対応する制御値(T)が
記憶されていて、基準値(データB)が記憶されると、
記憶された制御値(T)が基準値(データB)との差分
となる目標制御値(データC)を算出し記憶する(ステ
ップS7)。
開き、バルブ(V2)5とバルブ(V3)9の間に保持
していた液状材料2をノズル6に加圧供給し、ノズル6
から吐出開始させる(ステップS8)。
の液状材料が次第に減るので液面が移動し、それに伴っ
て、受光部12が受光する光量も変化するため、制御器
14に出力される制御信号の値は変化して行く。
御信号の値が、すでに記憶している目標制御値(データ
C)と一致するのを検出し、即ち、供給される制御信号
の値と基準値(データB)との差分が制御値(T)と一
致するのを検出し(ステップS9)、一致した場合は、
バルブ(V2)5及びバルブ(V3)9を閉じる(ステ
ップS10)。この結果、ノズル6からは、液状材料2
が予め微量に指定されても、指定された液量が正確に吐
出される。以降これらを繰り返すことにより、液状材料
2が予め指定された量で順次吐出される。
は、液状材料吐出装置の制御器は、1回に吐出させる液
料が一定となるように、液量に対応する制御値(T)を
記憶して、制御値(T)に基づいて目標制御値(データ
C)を一定の値で算出するようにしたが、吐出する液量
は必ずしも一定に指定する必要はなく、例えば図4のそ
の他の実施の形態に示すように、予めマイコン17が、
塗布対象物の塗布位置に対応して塗布量の制御値を記憶
し、塗布位置に応じて、制御器にその都度対応する制御
値を更新供給するようにしても良い。
は、液状材料を透明な材料で形成したが、必ずしも透明
である必要はなく、ガラス管の中空部分に充填されるこ
とによって、受光部によって受光される光量が、中空部
分が空気によって満たされている場合と比較して十分な
光量差で検出できるのであれば、半濁または不透明な材
料で形成されていて良いし、屈折率も必ずしもガラスに
近いものである必要はない。
定量の液状材料を吐出する場合に、第1の供給手段に蓄
積されている液状材料を放出して、一旦、第2の供給手
段に蓄積する場合に、検出手段が有する照射部によっ
て、液状材料が一部蓄積される液料表示手段を、液状材
料の液面を含む一部と共に所定範囲照射し、検出手段が
有する受光部によって、液料表示手段を透過する光を所
定範囲において受光し、受光する透過光の光量に応じて
生成される制御信号によって、制御手段が、第1の供給
手段が放出する液状材料の量及び、第2の供給手段が蓄
積又は放出する液状材料の量を適宜制御するようにした
ので、吐出手段から順次吐出する液状材料を微量に設定
することができ、その量は正確にしかも安定する。
の概略ブロック図である。
レーザ照射部から放出されたレーザ光が、ガラス管を通
過して受光部に受光される様子をレーザ光の進行方向を
示す矢印を用いて、ガラス管の断面方向で表した図であ
る。
が有する制御器が、制御信号に基づいて、装置の各バル
ブを適宜開閉制御して所定量の液状材料を吐出させる動
作のフローチャートである。
出装置の概略ブロック図である。
示す概略ブロック図である。
などを所定量繰り返し吐出し、ポッティングまたは塗布
させる自動機などに用いる液状材料吐出装置に関し、特
に、微量の液状材料を正確に吐出させる液状材料吐出装
置に関する。
装置には、図5に示すものがあった。図5は、従来の自
動機に用いられる液状材料吐出装置を示す概略ブロック
図である。同図において、101は液状の吐出用のオイ
ル102を貯蔵し供給するタンクであり、圧縮された空
気(エアー)が圧力調整バルブ103により所定の空気
圧に調整されてタンク内が一定の圧力で加圧されるよう
に構成されている。
して液状材料を吐出するためのノズル105に接続され
ている。従来の液状材料吐出装置は以上のように構成さ
れて、所定の圧力が加わったタンク内のオイルを、図示
しない制御装置を用いてバルブ104を断続的に開閉す
ることにより、一定量のオイルをノズル105から順次
吐出させて、塗布対象物に塗布するように制御してい
た。
は、タンク101に加えるエアー圧や、ノズル105の
射出径や、バルブ104の開閉時間等を調整することに
より変化するので、予め、エアー圧、ノズル射出径、バ
ルブ開閉時間等により塗布量を間接的に設定することに
より、塗布対象物に塗布するオイルの量を管理してい
た。
造のものが要求されている、このような機器に用いられ
る構造部品の各部には、潤滑油や接着剤などが随所に用
いられている。これらの潤滑油や接着剤などは、微量で
しかも適格な量を用いることによりその性能が効果的に
発揮される。
の液状材料吐出装置を用いて吐出しようとすると、吐出
するオイルの量は直接測定することができず、実際に塗
布された量を正確に確認することができなかった。
開閉時間等が予め安定するように固定されるので、吐出
される量は一定であり、同一塗布対象物の異なる部位に
それぞれに対応する量のオイルを塗布する場合、エアー
圧や、ノズル射出径、バルブ開閉時間等を再設定する
か、または、吐出装置を複数台用いなければならず、塗
布に時間がかかり、製造コストが増大してしまうといっ
た欠点があった。また、従来の調整方法で行う場合に、
調整に時間がかかり、安定して吐出することができる量
を微量に調整するのにも限界があった。
に鑑みなされたものであり、微量の液状材料を正確にし
かも安定して吐出させることのできる液状材料吐出装置
を提供するものである。
液状材料を蓄積及び放出する第1の供給手段と、第1の
供給手段に接続され、第1の供給手段が放出する液状材
料の少なくとも一部を蓄積又は放出する第2の供給手段
と、第2の供給手段に接続され、第2の供給手段が蓄積
又は放出する液状材料を順次吐出する吐出手段と、第2
の供給手段が蓄積又は放出する液状材料の量を制御する
制御手段とを備えた液状材料吐出装置において、第2の
供給手段は、一部透光性を有し、蓄積又は放出する液状
材料の液面を含む一部と共に受光及び投影可能に構成さ
れた液料表示手段を有し、制御手段は、液料表示手段が
表示する蓄積又は放出する液状材料に対応する制御信号
を光学的に検出する検出手段を有し、検出手段が検出す
る制御信号に応じて、第1の供給手段が放出する液状材
料の量及び、第2の供給手段が蓄積又は放出する液状材
料の量を適宜制御することにより、吐出手段が順次吐出
する液状材料の量を制御することを特徴とする。
載の液状材料吐出装置において、液料表示手段は、断面
が中空に形成されたほぼ円筒状の管により形成され、第
2の供給手段が蓄積又は放出する液状材料が、管の中空
部分を一部充填することにより、蓄積又は放出する液状
材料の液面が形成されることを特徴とする。
は2記載の液状材料吐出装置において、第1の供給手段
は、第1のバルブを有し、第2の供給手段は、第2のバ
ルブを有し、制御手段は、検出手段が検出する制御信号
に応じて第1のバルブ又は第2のバルブを開閉すること
により、第1の供給手段又は第2の供給手段が蓄積する
液状材料の少なくとも一部を放出または保持させること
を特徴とする。
は2又は3記載の液状材料吐出装置において、検出手段
は、所定の波長からなる光を、液料表示手段の所定の範
囲を照射する照射部と、照射部によって照射され、液料
表示手段を透過する光を所定範囲において受光する受光
部とを備え、受光部が、液料表示手段又は、液料表示手
段及び第2の供給手段が蓄積又は放出する液状材料の液
面を含む一部、からの透過光を受光し、受光する透過光
の光量に応じて、制御信号を生成することを特徴とす
る。
液状材料を吐出する場合に、第1の供給手段に蓄積され
ている液状材料を放出して、一旦、第2の供給手段に蓄
積する場合に、検出手段が有する照射部によって、液状
材料が一部蓄積される液料表示手段を、液状材料の液面
を含む一部と共に所定範囲照射し、検出手段が有する受
光部によって、液料表示手段を透過する光を所定範囲に
おいて受光し、受光する透過光の光量に応じて生成され
る制御信号によって、制御手段が、第1の供給手段が放
出する液状材料の量及び、第2の供給手段が蓄積又は放
出する液状材料の量を適宜制御するようにしたので、吐
出手段から順次吐出する液状材料を微量に設定すること
ができ、その量は正確にしかも安定する。
乃至図3に基づいて以下に説明する。図1は、本発明の
一実施形態における液状材料吐出装置の概略ブロック図
である。同図において、1は、図示しない塗布対象物に
塗布するための例えば潤滑油や接着剤からなる液状材料
2を貯蔵し供給するタンクであり、圧縮された空気(エ
アー)が圧力調整バルブ3により所定の空気圧に調整さ
れてタンク1内が一定の圧力で加圧されるように構成さ
れている。
有し、透明な材料で形成されている。また、タンク1
は、バルブ(V1)4及びバルブ(V2)5を介して液
状材料2を供給し吐出するためのノズル6に接続されて
いる。バルブ(V1)4及びバルブ(V2)5は、それ
ぞれ開閉可能に構成され、液状材料2の流れを、通過ま
たは停止可能に構成する。
空気(エアー)が先に述べた圧力調整バルブ3と並列に
接続された圧力調整バルブ8により、所定の空気圧に調
整されて平滑タンク7内が一定の圧力で加圧されるよう
に構成されている。また、平滑タンク7は、バルブ(V
3)9を介してガラス管10の一端に接続され、さらに
ガラス管10の他端はバルブ(V1)4とバルブ(V
2)5の中間に連通し接続される。
に構成されていて、バルブ(V1)4が閉状態でかつ、
バルブ(V2)5が開状態の場合に、バルブ(V3)9
を開くと、平滑タンク7に蓄えられた所定圧の空気によ
ってガラス管10内を加圧して、ガラス管10内部に充
填された液状材料を押し出すように構成する。
さを有する直線状の細い中空管で形成され、管内部の中
空部分に液状材料2が通過可能に構成されている。ま
た、ガラス管10の両側には、レーザ照射部11及び受
光部12が設けられている。レーザ照射部11は、所定
の波長を有するレーザ光が生成され、コリメータレンズ
等を用いて所定の範囲でほぼ平行に放出されるように光
路補正されて、ガラス管10の片側の所定の領域を均一
に照射するように構成されている。
受光素子16を有し、ガラス管10を介してレーザ照射
部11と対向配置され、レーザ照射部11によって照射
されたガラス管10を通過する光を集光レンズ15及び
受光素子16によって所定範囲で集光し、受光した光を
変換器13に供給する。
レーザ光が、ガラス管10を通過して受光部12に受光
される様子をレーザ光の進行方向を示す矢印を用いて、
ガラス管10の断面方向で表した図であり、(a)は、
ガラス管10の中空部分に空気が存在する場合を表し、
(b)は、ガラス管10の中空部分に液状材料2が充填
されている場合を表している。
空部分に空気が存在する場合は、ガラス管10を通過す
る光は、中空部分において、ガラスの屈折率と空気の屈
折率の急激な変化によってその通過経路を大きく変えて
散乱してしまうので、受光素子16に到達する光の量が
減少することがわかる。また、液状材料2がガラス管1
0中空部分に充填されている場合は、液状材料2の屈折
率が空気の屈折率よりも遥かに大きくなり、ガラスの屈
折率に近づくため、ガラス管10を通過する光は、中空
部分において屈折率の大きな変化を受けることなく通過
するので、受光素子16に到達する光の量が増大するこ
とがわかる。
れたレーザ光を受光する受光素子16の受光量は、ガラ
ス管10の中空部分に占める液状材料12の量が多いほ
ど増大し、空気の占める割合が多いほど減少する。した
がって、中空部分の断面積を一定にすれば、受光素子1
6が検出する受光量は、ガラス管10の中空部分に注入
された液状材料12の液面の高さに正確に比例する。ま
た、中空部分の断面積を小さく形成することにより、液
状材料が微量に変化しても、ガラス管内の中空部分を充
填する割合は大きくなる。
た光量を検出して電圧変換し、得られた電圧を、デジタ
ル変換して制御信号を生成し、制御器14に出力する。
制御器14は、ガラス管10の中空部分に注入された液
状材料12の液面の高さに対応する制御信号の値を複数
記憶して、変換器13から供給される制御信号の値と比
較することにより、液状材料の体積の変化を検出するこ
とができ、制御信号の値に対応してバルブ(V1)4、
バルブ(V2)5、バルブ(V3)9を適宜開閉制御す
ることによりガラス管10の中空部分に注入された液状
材料12を所定量だけノズル6から吐出させるように制
御する。
装置は、以上のように構成されるが、次に本装置を用い
て液状材料が所定量づつ、順次吐出する動作を説明す
る。図3は、本発明の一実施形態における液状材料吐出
装置の制御器14が、制御信号に基づいて、バルブ(V
1)4、バルブ(V2)5、バルブ(V3)9を適宜開
閉制御して所定量の液状材料を吐出させる動作のフロー
チャートである。なお、液状材料吐出装置は、初期状態
において、バルブ(V1)4、バルブ(V2)5、バル
ブ(V3)9は全て閉じられているものとする。
作開始指令を受けると、バルブ(V1)4を開いてタン
ク1に貯蔵される液状材料2を放出させる(ステップS
1)。この場合、バルブ(V2)5は閉じられているの
で、液状材料2は、ガラス管10に順次流れ込み、ガラ
ス管10の中空部分を充填開始する(ステップS2)。
液状材料2が、ガラス管10の中空部分に順次流れ込
み、液状材料2の液面が移動するにつれて受光部12が
受光する光量が増大する。
に対応する制御信号を制御器14に供給し、制御器14
では、供給される制御信号の値を読取りながら予め設定
された値(データA)と比較し(ステップS3)、一致
したらバルブ(V1)4を閉じるように制御する(ステ
ッブS4)。データAは、バルブ(V2)5からガラス
管10内まで充填される液状材料2の量を、装置の1回
の吐出量よりも多くなるように、しかも、液状材料2の
液面が、少なくともレーザ照射部11からの照射光を横
切るように設定された制御値である。
開き、ガラス管10内に平滑タンク7からの圧縮空気が
緩やかに供給され、ガラス管10内の液状材料2に吐出
圧を加える(ステッブS5)。この場合、バルブ(V
3)9とガラス管10内の液状材料2の液面との間にす
でに平滑タンク7からの圧縮空気の圧力とは異なる圧力
の空気が存在していても、バルブ(V3)9が開けられ
ることによって、液面に加わる吐出圧は、圧力調整バル
ブ8によって調整された圧力となり、液面はその分変位
した後静止する。
止状態の液面の高さにおいて、変換器13から出力され
る制御信号の値を読取り、吐出前の液面の高さに対応す
る基準値(データB)として記憶する(ステップS
6)。ここで、制御器14は、装置がノズル6から1回
に吐出する液状材料2の液量に対応する制御値(T)が
記憶されていて、基準値(データB)が記憶されると、
記憶された制御値(T)が基準値(データB)との差分
となる目標制御値(データC)を算出し記憶する(ステ
ップS7)。
開き、バルブ(V2)5とバルブ(V3)9の間に保持
していた液状材料2をノズル6に加圧供給し、ノズル6
から吐出開始させる(ステップS8)。液状材料2が吐
出すると、ガラス管10内の液状材料が次第に減るので
液面が移動し、それに伴って、受光部12が受光する光
量も変化するため、制御器14に出力される制御信号の
値は変化して行く。
御信号の値が、すでに記憶している目標制御値(データ
C)と一致するのを検出し、即ち、供給される制御信号
の値と基準値(データB)との差分が制御値(T)と一
致するのを検出し(ステップS9)、一致した場合は、
バルブ(V2)5及びバルブ(V3)9を閉じる(ステ
ップS10)。この結果、ノズル6からは、液状材料2
が予め微量に指定されても、指定された液量が正確に吐
出される。以降これらを繰り返すことにより、液状材料
2が予め指定された量で順次吐出される。
は、液状材料吐出装置の制御器は、1回に吐出させる液
料が一定となるように、液量に対応する制御値(T)を
記憶して、制御値(T)に基づいて目標制御値(データ
C)を一定の値で算出するようにしたが、吐出する液量
は必ずしも一定に指定する必要はなく、例えば図4のそ
の他の実施の形態に示すように、予めマイコン17が、
塗布対象物の塗布位置に対応して塗布量の制御値を記憶
し、塗布位置に応じて、制御器にその都度対応する制御
値を更新供給するようにしても良い。
は、液状材料を透明な材料で形成したが、必ずしも透明
である必要はなく、ガラス管の中空部分に充填されるこ
とによって、受光部によって受光される光量が、中空部
分が空気によって満たされている場合と比較して十分な
光量差で検出できるのであれば、半濁または不透明な材
料で形成されていて良いし、屈折率も必ずしもガラスに
近いものである必要はない。
定量の液状材料を吐出する場合に、第1の供給手段に蓄
積されている液状材料を放出して、一旦、第2の供給手
段に蓄積する場合に、検出手段が有する照射部によっ
て、液状材料が一部蓄積される液料表示手段を、液状材
料の液面を含む一部と共に所定範囲照射し、検出手段が
有する受光部によって、液料表示手段を透過する光を所
定範囲において受光し、受光する透過光の光量に応じて
生成される制御信号によって、制御手段が、第1の供給
手段が放出する液状材料の量及び、第2の供給手段が蓄
積又は放出する液状材料の量を適宜制御するようにした
ので、吐出手段から順次吐出する液状材料を微量に設定
することができ、その量は正確にしかも安定する。
Claims (4)
- 【請求項1】 液状材料を蓄積及び放出する第1の供給
手段と、 前記第1の供給手段に接続され、前記第1の供給手段が
放出する液状材料の少なくとも一部を蓄積又は放出する
第2の供給手段と、 前記第2の供給手段に接続され、前記第2の供給手段が
蓄積又は放出する液状材料を順次吐出する吐出手段と、 前記第2の供給手段が蓄積又は放出する液状材料の量を
制御する制御手段とを備えた液状材料吐出装置におい
て、 前記第2の供給手段は、一部透光性を有し、前記蓄積又
は放出する液状材料の液面を含む一部と共に受光及び投
影可能に構成された液料表示手段を有し、 前記制御手段は、前記液料表示手段が表示する前記蓄積
又は放出する液状材料に対応する制御信号を光学的に検
出する検出手段を有し、前記検出手段が検出する前記制
御信号に応じて、前記第1の供給手段が放出する液状材
料の量及び、前記第2の供給手段が蓄積又は放出する液
状材料の量を適宜制御することにより、前記吐出手段が
順次吐出する液状材料の量を制御することを特徴とす
る。 - 【請求項2】 前記液料表示手段は、断面が中空に形成
されたほぼ円筒状の管により形成され、 前記第2の供給手段が蓄積又は放出する液状材料が、前
記管の中空部分を一部充填することにより、前記蓄積又
は放出する液状材料の液面が形成されることを特徴とす
る請求項1記載の液状材料吐出装置。 - 【請求項3】 前記第1の供給手段は、第1のバルブを
有し、 前記第2の供給手段は、第2のバルブを有し、 前記制御手段は、前記検出手段が検出する前記制御信号
に応じて前記第1のバルブ又は前記第2のバルブを開閉
することにより、前記第1の供給手段又は前記第2の供
給手段が蓄積する液状材料の少なくとも一部を放出また
は保持させることを特徴とする請求項1又は2記載の液
状材料吐出装置。 - 【請求項4】 前記検出手段は、所定の波長からなる光
を、前記液料表示手段の所定の範囲を照射する照射部
と、前記照射部によって照射され、前記液料表示手段を
透過する光を所定範囲において受光する受光部とを備
え、 前記受光部が、前記液料表示手段又は、前記液料表示手
段及び前記第2の供給手段が蓄積又は放出する液状材料
の液面を含む一部、からの透過光を受光し、前記受光す
る透過光の光量に応じて、前記制御信号を生成すること
を特徴とする請求項1又は2又は3記載の液状材料吐出
装置。
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---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
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---|---|
JPH09248514A true JPH09248514A (ja) | 1997-09-22 |
JP3605468B2 JP3605468B2 (ja) | 2004-12-22 |
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ID=13800466
Family Applications (1)
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JP (1) | JP3605468B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006313822A (ja) * | 2005-05-09 | 2006-11-16 | Tokyo Electron Ltd | 処理液吐出装置およびその動作検証方法ならびに同装置の駆動制御方法 |
KR20140136876A (ko) * | 2013-05-21 | 2014-12-01 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 도포 장치 및 액면 검출 방법 |
-
1996
- 1996-03-12 JP JP08336796A patent/JP3605468B2/ja not_active Expired - Fee Related
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US9649655B2 (en) | 2013-05-21 | 2017-05-16 | Tokyo Electron Limited | Coating apparatus and liquid surface detecting method |
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JP3605468B2 (ja) | 2004-12-22 |
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