JPH09246113A - 固体電解コンデンサの製造方法 - Google Patents

固体電解コンデンサの製造方法

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JPH09246113A
JPH09246113A JP4718396A JP4718396A JPH09246113A JP H09246113 A JPH09246113 A JP H09246113A JP 4718396 A JP4718396 A JP 4718396A JP 4718396 A JP4718396 A JP 4718396A JP H09246113 A JPH09246113 A JP H09246113A
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JP
Japan
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oxide film
electrolytic capacitor
solid electrolytic
sintered body
porous sintered
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Pending
Application number
JP4718396A
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English (en)
Inventor
Takashi Ida
隆 伊田
Yoshihiro Higuchi
吉浩 樋口
Fuyuki Abe
冬希 阿部
Yoshiki Hashimoto
芳樹 橋本
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 熱分解で劣化した酸化皮膜を熱分解前の状態
に完全に修復することができ、これにより、漏れ電流が
小さく、かつ耐圧の高い固体電解コンデンサが得られる
固体電解コンデンサの製造方法を提供することを目的と
する。 【解決手段】 弁作用を有する金属からなる多孔質焼結
体の表面に陽極酸化により酸化皮膜を形成し、この後、
酸化皮膜を形成した多孔質焼結体に、半導体母液を含浸
させ、これを熱分解することによって前記酸化皮膜上に
半導体層を形成する際に、熱分解で劣化した酸化皮膜の
修復化成を酸化剤である過酸化水素水を添加した修復化
成液で行うようにしたものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は各種電子機器に利用
される固体電解コンデンサの製造方法に関し、特に、半
導体層形成時の修復化成方法の改善に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】一般にこの種の固体電解コンデンサを製
造する場合、弁作用を有する金属からなる多孔質焼結体
の表面に陽極酸化によって酸化皮膜を形成し、そしてこ
の多孔質焼結体の酸化皮膜上に半導体層としての二酸化
マンガン層を形成し、さらにこの二酸化マンガン層の上
に、陰極層としてグラファイト層、銀の導電性物質層を
順次形成するようにしているが、前記二酸化マンガン層
を形成する場合、従来は、陽極酸化により酸化皮膜を形
成した多孔質焼結体に、ある濃度の硝酸マンガン溶液を
含浸させ、そして200〜300℃で熱分解するという
ことを数回繰り返していた。ところが、この熱分解によ
って発生するガスのストレスにより酸化被膜が劣化する
ため、この酸化皮膜が劣化するのを防ぐために、従来に
おいては、熱分解するたびに修復化成溶液である酢酸水
溶液に浸漬し、そして、多孔質焼結体を陽極とし、かつ
酢酸水溶液を陰極として、この陽極、陰極間に直流電圧
を印加することにより、修復化成を行うようにしてい
た。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の方法では酸化皮膜の修復に必要な酸素の供給
に主要な機能を呈する修復化成液中の水酸イオン(反応
式1)の陽極界面への移動がこの反応の律速段階である
ため、図2(a),(b)に示すように、水酸イオンの
欠乏した拡散層の厚さが陽極表面の凹凸よりも厚く、そ
のため、凸部へ水酸イオンの流れが集中してしまって凹
部の酸化皮膜を熱分解前の状態に完全に修復するのは難
しく、その結果、熱分解回数が増えるほど漏れ電流が大
きくなり、かつ耐圧も低くなるという問題点を有してい
た。
【0004】 4OH- → 2H2O+O2+4e- (反応式1) 本発明は上記従来の問題点を解決するもので、熱分解で
劣化した酸化皮膜を熱分解前の状態に完全に修復するこ
とができ、これにより、漏れ電流が小さく、かつ耐圧の
高い固体電解コンデンサが得られる固体電解コンデンサ
の製造方法を提供することを目的とするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の固体電解コンデンサの製造方法は、弁作用を
有する金属からなる多孔質焼結体の表面に陽極酸化によ
り酸化皮膜を形成し、この後、酸化皮膜を形成した多孔
質焼結体に、半導体母液を含浸させ、これを熱分解する
ことによって前記酸化皮膜上に半導体層を形成する際
に、熱分解で劣化した酸化皮膜の修復化成を酸化剤であ
る過酸化水素水を添加した修復化成液で行うようにした
もので、この製造方法によれば、熱分解で劣化した酸化
皮膜を熱分解前の状態に完全に修復することができ、こ
れにより、漏れ電流が小さく、かつ耐圧の高い固体電解
コンデンサが得られるものである。
【0006】
【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、弁作用を有する金属からなる多孔質焼結体の表面に
陽極酸化により酸化皮膜を形成し、この後、酸化皮膜を
形成した多孔質焼結体に、半導体母液を含浸させ、これ
を熱分解することによって前記酸化皮膜上に半導体層を
形成する際に、熱分解で劣化した酸化皮膜の修復化成を
酸化剤である過酸化水素水を添加した修復化成液で行う
ようにしたもので、修復化成液として、酸化剤である過
酸化水素水を添加した修復化成液を用いているため、水
素イオンだけでなく過酸化水素も酸化皮膜の生成に必要
な酸素の供給源となり(反応式2,3)、その結果、水
酸イオンの陽極界面への移動が酸化皮膜生成の律速とは
ならないため、熱分解で劣化した多孔質焼結体の表面の
凹部や多孔質焼結体の内部の酸化皮膜も均一に修復させ
ることができ、これにより、漏れ電流が小さく、かつ耐
圧の高い固体電解コンデンサを得ることができるもので
ある。
【0007】 2H22 → 2H2O+O2 (反応式2) H22+2OH- → H2O+O2+2e- (反応式3) 以下、本発明の一実施の形態を従来例と比較しながら説
明する。
【0008】(従来例)弁作用を有する金属であるタン
タル粉末を周知の方法で形成し、かつ焼結することによ
りφ2.3mm×3.0mmの多孔質焼結体を構成し、そし
てこの多孔質焼結体を0.1モル/lのリン酸水溶液中
に浸漬し、120mA/gの一定電流で電圧を印加して
100Vまで昇圧させ、そしてこの昇圧状態を2時間保
持して陽極酸化を行うことにより、多孔質焼結体の表面
に酸化皮膜を形成する。次いで、比重が1.5の硝酸マ
ンガン水溶液を常温で多孔質焼結体の表面の酸化皮膜上
に浸漬して付着させた後、250℃の温度で熱分解する
ことによって酸化皮膜上に二酸化マンガン層を形成し、
さらに、この多孔質焼結体を修復化成液である0.1モ
ル/lの酢酸水溶液に浸漬し、そして多孔質焼結体を陽
極とし、かつ酢酸水溶液を陰極として、この陽極、陰極
間に100Vの直流電圧を10分間印加して修復化成を
行う。そしてこの熱分解と修復化成の操作を6回繰り返
した後、グラファイト層、銀ペースト層および半田層の
陰極導電体部を順次形成し、最後に樹脂外装を施して固
体電解コンデンサを構成した。
【0009】(本発明の一実施の形態)従来例と異なる
点は、0.1モル/lの酢酸水溶液に酸化剤である10
vol%の過酸化水素水を添加したものを修復化成液と
して用い、そしてこの修復化成液中で熱分解で劣化した
酸化皮膜の修復を行うようにした点で、その他は従来例
と同じ内容で固体電解コンデンサを構成した。
【0010】上記した本発明の一実施の形態における固
体電解コンデンサの各種電気特性と従来例における固体
電解コンデンサの各種電気特性とを比較した結果を(表
1)と図1(a),(b)に示す。
【0011】
【表1】
【0012】(表1)と図1(a),(b)の結果から
明らかなように、本発明の一実施の形態における固体電
解コンデンサは、酢酸水溶液のみを用いて修復化成を行
っていた従来例における固体電解コンデンサに比べて、
漏れ電流と耐圧特性を改善することができるものであ
る。
【0013】なお、上記本発明の一実施の形態において
は、修復化成液として酢酸水溶液に過酸化水素水を添加
したものを用いたが、この修復化成液は水酸イオンを含
み、かつ過酸化水素水が溶解する溶液であればどのよう
な液でも良く、また、その時の最適な添加量は水酸イオ
ンの量によって決定されるものである。
【0014】
【発明の効果】以上のように本発明の固体電解コンデン
サの製造方法は、弁作用を有する金属からなる多孔質焼
結体の表面に陽極酸化により酸化皮膜を形成し、この
後、酸化皮膜を形成した多孔質焼結体に、半導体母液を
含浸させ、これを熱分解することによって前記酸化皮膜
上に半導体層を形成する際に、熱分解で劣化した酸化皮
膜の修復化成を酸化剤である過酸化水素水を添加した修
復化成液で行うようにしたもので、修復化成液として、
酸化剤である過酸化水素水を添加した修復化成液を用い
ているため、水素イオンだけでなく過酸化水素も酸化皮
膜の生成に必要な酸素の供給源となり、その結果、水酸
イオンの陽極界面への移動が酸化皮膜生成の律速とはな
らないため、熱分解で劣化した多孔質焼結体の表面の凹
部や多孔質焼結体の内部の酸化皮膜も均一に修復させる
ことができ、これにより、漏れ電流が小さく、かつ耐圧
の高い固体電解コンデンサを得ることができるものであ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)本発明の一実施の形態と従来例における
固体電解コンデンサの漏れ電流の比較を示す特性図 (b)本発明の一実施の形態と従来例における固体電解
コンデンサの耐圧の比較を示す特性図
【図2】(a)陽極表面の模式図 (b)水酸イオン濃度と拡散層の関係を示す特性図
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 橋本 芳樹 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 弁作用を有する金属からなる多孔質焼結
    体の表面に陽極酸化により酸化皮膜を形成し、この後、
    酸化皮膜を形成した多孔質焼結体に、半導体母液を含浸
    させ、これを熱分解することによって前記酸化皮膜上に
    半導体層を形成する際に、熱分解で劣化した酸化皮膜の
    修復化成を酸化剤である過酸化水素水を添加した修復化
    成液で行うことを特徴とする固体電解コンデンサの製造
    方法。
JP4718396A 1996-03-05 1996-03-05 固体電解コンデンサの製造方法 Pending JPH09246113A (ja)

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