JPH09243712A - 試料加熱装置 - Google Patents
試料加熱装置Info
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- JPH09243712A JPH09243712A JP8075328A JP7532896A JPH09243712A JP H09243712 A JPH09243712 A JP H09243712A JP 8075328 A JP8075328 A JP 8075328A JP 7532896 A JP7532896 A JP 7532896A JP H09243712 A JPH09243712 A JP H09243712A
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- Japan
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- heating body
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、試料を加熱しながら電気的特性を
評価するための試料加熱装置に関する。 【解決手段】 加熱室内に設けられ、試料の双方の面と
接してこれを加熱するための下部加熱体および上部加熱
手段と、試料の外部リードピンを接続可能なピン孔と、
これに接続して外方へ延出する接続ピンを備えた試料取
付基板と、上記試料取付基板の接続ピンを介して試料取
付基板との隙間を隔てて対向して取付けられると共に、
上記試料取付基板の接続ピンの先端と接続可能な端子コ
ネクターならびに端子コネクターと配線を介して接続す
る試料電気特性計測回路を備えてなる電気特性測定手段
とからなることを特徴とする。 【効果】 下部加熱体ならびに上部加熱手段により試料
を両面から加熱するので、試料に加熱体の高温を試料に
対し効率よく且つ高精度で均一に伝導することができ
る。
評価するための試料加熱装置に関する。 【解決手段】 加熱室内に設けられ、試料の双方の面と
接してこれを加熱するための下部加熱体および上部加熱
手段と、試料の外部リードピンを接続可能なピン孔と、
これに接続して外方へ延出する接続ピンを備えた試料取
付基板と、上記試料取付基板の接続ピンを介して試料取
付基板との隙間を隔てて対向して取付けられると共に、
上記試料取付基板の接続ピンの先端と接続可能な端子コ
ネクターならびに端子コネクターと配線を介して接続す
る試料電気特性計測回路を備えてなる電気特性測定手段
とからなることを特徴とする。 【効果】 下部加熱体ならびに上部加熱手段により試料
を両面から加熱するので、試料に加熱体の高温を試料に
対し効率よく且つ高精度で均一に伝導することができ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する利用分野】この発明は、試料を加熱しな
がら電気的特性を評価するための試料加熱装置に関す
る。
がら電気的特性を評価するための試料加熱装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体素子等の配線設計を確認する評価
方法として、試料に加熱しながら電気的特性評価を行う
方法が知られている。その加熱の方法として、従来は試
料に熱風を当てて加熱していた。しかし、熱風を試験室
内で循環させるために試料の近傍での温度調節が難し
く、試料に正確な温度を伝達することが難しかった。更
に、加熱しながら試料の電気的特性を評価する必要があ
るので、従来は、試料から配線を出して試験室の外部に
設けた計測装置と接続する必要があった。しかし、試料
の周囲は高温に晒されているために、外部との接続が難
しく、また試料によっては配線の抵抗や外部からのノイ
ズの影響を受けてしまい電気的特性を正確に計測しえな
い虞れがあった。
方法として、試料に加熱しながら電気的特性評価を行う
方法が知られている。その加熱の方法として、従来は試
料に熱風を当てて加熱していた。しかし、熱風を試験室
内で循環させるために試料の近傍での温度調節が難し
く、試料に正確な温度を伝達することが難しかった。更
に、加熱しながら試料の電気的特性を評価する必要があ
るので、従来は、試料から配線を出して試験室の外部に
設けた計測装置と接続する必要があった。しかし、試料
の周囲は高温に晒されているために、外部との接続が難
しく、また試料によっては配線の抵抗や外部からのノイ
ズの影響を受けてしまい電気的特性を正確に計測しえな
い虞れがあった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この発明は上記事情に
鑑みて創案されたものであって、その主たる課題は、加
熱温度を正確に制御することができ、その温度下におい
て配線抵抗および外部からのノイズの影響を防止しつつ
迅速に電気的特性を計測することが可能な試料加熱装置
を提供することにある。
鑑みて創案されたものであって、その主たる課題は、加
熱温度を正確に制御することができ、その温度下におい
て配線抵抗および外部からのノイズの影響を防止しつつ
迅速に電気的特性を計測することが可能な試料加熱装置
を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明は上記課題を解
決するため、（ａ）加熱室内に試料の一方の面と接して
これを加熱するための下部加熱体を設ける、（ｂ）加熱
室内に試料の他の面から加熱するための上部加熱手段を
設ける、（ｃ）該加熱体上に載置される試料試料の外部
リードピンを接続可能なピン孔と、これに接続して外方
へ延出する接続ピンを備えた試料取付基板を設ける、
（ｄ）上記試料取付基板の接続ピンを介して試料取付基
板との隙間を隔てて対向して取付けられると共に、上記
試料取付基板の接続ピンの先端と接続可能な端子コネク
ターならびに該端子コネクターと配線を介して接続する
試料電気特性計測回路を備えてなる電気特性測定手段を
設ける、（ｅ）試料を加熱下でその電気的特性を計測す
る、という技術的手段を講じている。
決するため、（ａ）加熱室内に試料の一方の面と接して
これを加熱するための下部加熱体を設ける、（ｂ）加熱
室内に試料の他の面から加熱するための上部加熱手段を
設ける、（ｃ）該加熱体上に載置される試料試料の外部
リードピンを接続可能なピン孔と、これに接続して外方
へ延出する接続ピンを備えた試料取付基板を設ける、
（ｄ）上記試料取付基板の接続ピンを介して試料取付基
板との隙間を隔てて対向して取付けられると共に、上記
試料取付基板の接続ピンの先端と接続可能な端子コネク
ターならびに該端子コネクターと配線を介して接続する
試料電気特性計測回路を備えてなる電気特性測定手段を
設ける、（ｅ）試料を加熱下でその電気的特性を計測す
る、という技術的手段を講じている。
【０００５】なお、下部および上部加熱体の温度を調整
する温度調整機構をさらに設けるようにしてもよい。さ
らに、上部加熱体としては弾性体ヒータからなるものが
好ましい。さらに、加熱室が引出し式容器内に設けると
ともに、このような引出し式容器を複数重ねて設け、こ
れらを総合的に温度制御するようにしてもよい。
する温度調整機構をさらに設けるようにしてもよい。さ
らに、上部加熱体としては弾性体ヒータからなるものが
好ましい。さらに、加熱室が引出し式容器内に設けると
ともに、このような引出し式容器を複数重ねて設け、こ
れらを総合的に温度制御するようにしてもよい。
【０００６】この発明の試料加熱装置によれば、加熱し
た加熱体へ直接に試料を接触させて高温を伝えるので、
正確な高温を伝達することができる。また、加熱体を直
接に温度調節することもできるので、試料への温度供給
が正確に行われる。また、試料の電気的特性を計測する
に際して、試料取付基板と電気特性調整基板の間を接続
ピンにより最短距離で連結するので高温下において配線
抵抗や外部からのノイズの影響を防止することができ
る。更に、下部加熱体ならびに上部加熱手段により試料
を両面から加熱するので、試料に加熱体の高温を試料に
対し効率よく且つ高精度で均一に伝導することができ
る。
た加熱体へ直接に試料を接触させて高温を伝えるので、
正確な高温を伝達することができる。また、加熱体を直
接に温度調節することもできるので、試料への温度供給
が正確に行われる。また、試料の電気的特性を計測する
に際して、試料取付基板と電気特性調整基板の間を接続
ピンにより最短距離で連結するので高温下において配線
抵抗や外部からのノイズの影響を防止することができ
る。更に、下部加熱体ならびに上部加熱手段により試料
を両面から加熱するので、試料に加熱体の高温を試料に
対し効率よく且つ高精度で均一に伝導することができ
る。
【０００７】
【実施例】以下に、この発明の試料加熱装置の好適実施
例を図面を参照しつつ説明する。この発明の試料加熱装
置１の基本的構成は、図１から図５に示すようなものか
らなる。すなわち、後述する加熱室内にブロック状の下
部加熱体２が設けられ、その上面に検査される試料３が
載置されるようになっている。この下部加熱体２は内部
に抵抗加熱ヒータ（図示しない）が内蔵されていて別途
設けられた制御装置により加熱温度を適当に調節し得る
ようになっている。したがって、この下部加熱体２によ
り試料３はその接する一方の面から加熱されることにな
る。さらに、この加熱室内には板状の上部加熱体４（上
部加熱手段）が下部加熱体２上に載置された試料３の上
面に接してまたは近接して配置されるようになってい
る。この板状の上部加熱体４としては弾性体ヒータ（例
えばシリコーンラバー・ヒータ）を用いることが好まし
い。なぜならば、上部加熱体４の下方に配置される試料
３上面あるいは上部加熱体４の上方に配置される試料取
付基板の凹凸面の影響を弾性体ヒータの弾性により緩和
することが可能となるからである。
例を図面を参照しつつ説明する。この発明の試料加熱装
置１の基本的構成は、図１から図５に示すようなものか
らなる。すなわち、後述する加熱室内にブロック状の下
部加熱体２が設けられ、その上面に検査される試料３が
載置されるようになっている。この下部加熱体２は内部
に抵抗加熱ヒータ（図示しない）が内蔵されていて別途
設けられた制御装置により加熱温度を適当に調節し得る
ようになっている。したがって、この下部加熱体２によ
り試料３はその接する一方の面から加熱されることにな
る。さらに、この加熱室内には板状の上部加熱体４（上
部加熱手段）が下部加熱体２上に載置された試料３の上
面に接してまたは近接して配置されるようになってい
る。この板状の上部加熱体４としては弾性体ヒータ（例
えばシリコーンラバー・ヒータ）を用いることが好まし
い。なぜならば、上部加熱体４の下方に配置される試料
３上面あるいは上部加熱体４の上方に配置される試料取
付基板の凹凸面の影響を弾性体ヒータの弾性により緩和
することが可能となるからである。
【０００８】上部加熱体４の上方には試料取付基板５が
上下動自在に配置されている。この試料取付基板５は例
えば半導体装置などの試料を保持固定するためのもので
あり、例えば半導体装置の外部リード６を挿入、接続さ
せるための多数の小孔７が下面に設けられ、かつ、その
反対側面には接続ピン８がこれら小孔７に対応して反対
側に向けて突設されている。図３ないし図５は試料取付
基板５に設けられた小孔７の構造例を示すもので、この
小孔７は例えば半導体装置の外部リードの配列に合わせ
て２列に並列して設けられ、かつ、上面においてが小さ
く開口し（図３、４参照）、下面においては大きく開口
されている（図４、５参照）。なお、図３ないし図５は
１個の試料を固定する場合を例示しているが、図１、２
に示すように試料を複数、並設して同時に検査するよう
にすることも当然可能である。さらに、この試料取付基
板５の上方には電気特性測定手段（図示しない）が設け
られている。図示例ではこの電気特性測定手段の端子コ
ネクター１１のみを示す。この電気特性測定手段（図示
しない）の端子コネクター１１は試料取付基板５の接続
ピン８に対応して多数、並設されている。さらにこの電
気特性測定手段には、端子コネクター１１に接続する計
測回路、例えばマッチング回路（図示しない）が設けら
れていて、試料の電気特性を測定し得るようになってい
る。この端子コネクター１１に試料取付基板５の接続ピ
ン８の先端部が挿入され、この接続ピン８からの電気信
号が端子コネクター１１を介して計測回路に送られ、試
料の電気特性が測定されるようになっている。図中、１
２はこの接続ピン８からの電気信号を伝達するためのリ
ード線を示している。
上下動自在に配置されている。この試料取付基板５は例
えば半導体装置などの試料を保持固定するためのもので
あり、例えば半導体装置の外部リード６を挿入、接続さ
せるための多数の小孔７が下面に設けられ、かつ、その
反対側面には接続ピン８がこれら小孔７に対応して反対
側に向けて突設されている。図３ないし図５は試料取付
基板５に設けられた小孔７の構造例を示すもので、この
小孔７は例えば半導体装置の外部リードの配列に合わせ
て２列に並列して設けられ、かつ、上面においてが小さ
く開口し（図３、４参照）、下面においては大きく開口
されている（図４、５参照）。なお、図３ないし図５は
１個の試料を固定する場合を例示しているが、図１、２
に示すように試料を複数、並設して同時に検査するよう
にすることも当然可能である。さらに、この試料取付基
板５の上方には電気特性測定手段（図示しない）が設け
られている。図示例ではこの電気特性測定手段の端子コ
ネクター１１のみを示す。この電気特性測定手段（図示
しない）の端子コネクター１１は試料取付基板５の接続
ピン８に対応して多数、並設されている。さらにこの電
気特性測定手段には、端子コネクター１１に接続する計
測回路、例えばマッチング回路（図示しない）が設けら
れていて、試料の電気特性を測定し得るようになってい
る。この端子コネクター１１に試料取付基板５の接続ピ
ン８の先端部が挿入され、この接続ピン８からの電気信
号が端子コネクター１１を介して計測回路に送られ、試
料の電気特性が測定されるようになっている。図中、１
２はこの接続ピン８からの電気信号を伝達するためのリ
ード線を示している。
【０００９】なお、図中、１３は試料取付基板５と電気
特性測定手段（図示しない）とを固定するための固定ピ
ンを示し、１４はジグ支持バー、１５は電気特性測定手
段支持バー、１６は試料３を挟んだ状態で、下部加熱体
２と上部加熱体４との間を締め付け固定するための固定
ピンである。なお、この締め付けを目的として電気特性
測定手段支持バー１５と試料取付基板５との間にコイル
スプリング１７が介設されている。この試料加熱装置１
において、上記構成の他、温度調整のため冷却装置を設
けるようにしてもよい。
特性測定手段（図示しない）とを固定するための固定ピ
ンを示し、１４はジグ支持バー、１５は電気特性測定手
段支持バー、１６は試料３を挟んだ状態で、下部加熱体
２と上部加熱体４との間を締め付け固定するための固定
ピンである。なお、この締め付けを目的として電気特性
測定手段支持バー１５と試料取付基板５との間にコイル
スプリング１７が介設されている。この試料加熱装置１
において、上記構成の他、温度調整のため冷却装置を設
けるようにしてもよい。
【００１０】このような構成からなる試料加熱装置１に
おいて、試料の電気特性を測定する場合、試料３を下部
加熱体２の上面に載置し、ついで上部加熱体４を試料３
の上方に配設し、試料取付基板５およびコイルスプリン
グ１７による押圧力により試料３をその上下面から圧接
し、その状態で試料３を上部加熱体４および下部加熱体
２により所定温度に加熱し、同時に試料の外部リード６
からの電流信号を試料取付基板５の接続ピン８を介して
電気特性測定手段（図７参照）の計測回路に送り、これ
に基づいて、試料の電気特性を測定することができる。
なお、このような構成からなる試料加熱装置１は、図６
に示すように複数の引出し２１にそれぞれ収納した引出
し方式で設け、多数の種類の試料を同時に検査するよう
にしてもよい。また、その場合、検査の経過、結果を図
７に示すようにパソコンモニター２２で観察することも
できる。図８はこの引出し方式の試料加熱検査装置２３
の側面図を示しており、特にその引出し２１の１つを引
き出した状態を示している。図９はこの引出し方式の試
料加熱検査装置２３の平面図を示している。
おいて、試料の電気特性を測定する場合、試料３を下部
加熱体２の上面に載置し、ついで上部加熱体４を試料３
の上方に配設し、試料取付基板５およびコイルスプリン
グ１７による押圧力により試料３をその上下面から圧接
し、その状態で試料３を上部加熱体４および下部加熱体
２により所定温度に加熱し、同時に試料の外部リード６
からの電流信号を試料取付基板５の接続ピン８を介して
電気特性測定手段（図７参照）の計測回路に送り、これ
に基づいて、試料の電気特性を測定することができる。
なお、このような構成からなる試料加熱装置１は、図６
に示すように複数の引出し２１にそれぞれ収納した引出
し方式で設け、多数の種類の試料を同時に検査するよう
にしてもよい。また、その場合、検査の経過、結果を図
７に示すようにパソコンモニター２２で観察することも
できる。図８はこの引出し方式の試料加熱検査装置２３
の側面図を示しており、特にその引出し２１の１つを引
き出した状態を示している。図９はこの引出し方式の試
料加熱検査装置２３の平面図を示している。
【００１１】
【発明の効果】以上のように、この発明の試料加熱装置
によれば、加熱した加熱体へ直接に試料を接触させて高
温を伝えるので、正確な高温を伝達することができる。
また、加熱体を直接に温度調節することもできるので、
試料への温度供給が正確に行われる。また、試料の電気
的特性を計測するに際して、試料取付基板と電気特性調
整基板の間を接続ピンにより最短距離で連結するので高
温下において配線抵抗や外部からのノイズの影響を防止
することができる。更に、下部加熱体ならびに上部加熱
手段により試料を両面から加熱するので、試料に加熱体
の高温を試料に対し効率よく且つ高精度で均一に伝導す
ることができる。
によれば、加熱した加熱体へ直接に試料を接触させて高
温を伝えるので、正確な高温を伝達することができる。
また、加熱体を直接に温度調節することもできるので、
試料への温度供給が正確に行われる。また、試料の電気
的特性を計測するに際して、試料取付基板と電気特性調
整基板の間を接続ピンにより最短距離で連結するので高
温下において配線抵抗や外部からのノイズの影響を防止
することができる。更に、下部加熱体ならびに上部加熱
手段により試料を両面から加熱するので、試料に加熱体
の高温を試料に対し効率よく且つ高精度で均一に伝導す
ることができる。
【図１】この発明の１実施例に係わる試料加熱装置の側
面図。
面図。
【図２】図１の試料加熱装置の他の側面図。
【図３】試料加熱装置の試料取付基板の上方から見た平
面図。
面図。
【図４】図３に示す試料取付基板の断面図。
【図５】試料加熱装置の試料取付基板の下方から見た平
面図。
面図。
【図６】この発明の１実施例に係わる引出し方式の試料
加熱装置の正面図。
加熱装置の正面図。
【図７】この発明の１実施例に係わる電気特性測定装置
の正面図。
の正面図。
【図８】図６に示す引出し方式の試料加熱装置の側面
図。
図。
【図９】図６に示す引出し方式の試料加熱装置の平面
図。
図。
１・・・試料加熱装置 ２・・・下部加熱体 ３・・・試料 ４・・・上部加熱体 ５・・・試料取付基板 ６・・・外部リード ７・・・小孔 ８・・・接続ピン １１・・・端子コネクター １２・・・リード線 １３・・・固定ピン １４・・・ジグ支持バー １５・・・電気特性測定手段支持バー １６・・・試料取付基板固定ピン １７・・・コイルスプリング ２１・・・引出し ２２・・・パソコンモニター ２３・・・試料加熱検査装置 ２４・・・電気特性測定装置
Claims (4)
- 【請求項１】 加熱室と、該加熱室内に設けられ、試料
の一方の面と接してこれを加熱するための下部加熱体
と、 該加熱室内に設けられ、試料の他の面から加熱するため
の上部加熱手段と、 試料の外部リードピンを接続可能なピン孔と、これに接
続して外方へ延出する接続ピンを備えた試料取付基板
と、 上記試料取付基板の接続ピンを介して試料取付基板との
隙間を隔てて対向して取付けられると共に、上記試料取
付基板の接続ピンの先端と接続可能な端子コネクターな
らびに該端子コネクターと配線を介して接続する試料電
気特性計測回路を備えてなる電気特性測定手段と、 を具備してなり、試料を加熱下でその電気的特性を計測
することを特徴とした試料加熱装置。 - 【請求項２】 該下部および上部加熱体の温度を調整す
る温度調整機構をさらに具備してなることを特徴とする
請求項１に記載の試料加熱装置。 - 【請求項３】 上部加熱体が弾性体ヒータからなること
を特徴とする請求項１に記載の試料加熱装置。 - 【請求項４】 該加熱室が引出し式容器内に設けられて
いることを特徴とする請求項１に記載の試料加熱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7532896A JP3597937B2 (ja) | 1996-03-04 | 1996-03-04 | 試料加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7532896A JP3597937B2 (ja) | 1996-03-04 | 1996-03-04 | 試料加熱装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09243712A true JPH09243712A (ja) | 1997-09-19 |
| JP3597937B2 JP3597937B2 (ja) | 2004-12-08 |
Family
ID=13573091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7532896A Expired - Fee Related JP3597937B2 (ja) | 1996-03-04 | 1996-03-04 | 試料加熱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3597937B2 (ja) |
-
1996
- 1996-03-04 JP JP7532896A patent/JP3597937B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3597937B2 (ja) | 2004-12-08 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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