JPH09238039A

JPH09238039A - 表面スキミング・バルク波基板を含む素子および方法

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Publication number: JPH09238039A
Application number: JP22438096A
Authority: JP
Inventors: David Penunuri; デービッド・ペヌヌリ
Original assignee: Motorola Inc
Current assignee: Motorola Solutions Inc
Priority date: 1995-08-15
Filing date: 1996-08-06
Publication date: 1997-09-09
Also published as: DE69607264T2; DK0758818T3; EP0758818A1; US5896636A; DE69607264D1; EP0758818B1; US5777419A

Abstract

(57)【要約】【課題】音響伝搬損失が少ない圧電基板およびこれを
用意する方法を提供する。【解決手段】本方法は、(i)圧電物質のボウルを用意
する段階、(ii)部分的にメタライズされた表面に適合す
る境界条件を与えるように選択されたオイラー角にボウ
ルを方位付けする段階、(iii)少なくとも一方が平面を
含む第１および第２表面を有する、少なくとも第１のス
ライスに、ボウルを切り出す段階を含む。本方法は、更
に、(iv)第１および第２表面の少なくとも一方を研磨
し、ほぼ平坦な研磨面を設ける段階、(v)第１および第
２表面の少なくとも一方の上に金属層を配する段階、お
よび(vi)金属層にパターニングを行い、音響波変換器を
含む少なくとも１つの交互配置パターンを設ける段階も
含むが、これらの段階は必須ではない。音響波変換器
は、部分的にメタライズされた表面に適合した境界条件
を与える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、一般的に周波数選
択素子の分野に関し、特に音響波周波数選択素子(acous
tic wave frequency selection component)に関し、更
に特定すれば、損失を改善した表面スキミング・バルク
音響波周波数選択素子(surface-skimmingbulk acoustic
wave frequency selection component)を内蔵した素子
(device）、およびこれを用いた無線周波数素子に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】種々の実用的な応用分野において、音響
波フィルタおよび遅延線の必要性が高まりつつある。音
響波素子は、電子信号処理機器、特に無線機の製造にお
いて、重要になりつつある。その理由は、これら音響波
素子は容易に大量生産可能で、小型であり、また使用可
能な無線スペクトルを効率的に使用する必要性が高まり
つつあるからである。音響波素子は、通常、集積回路の
製造に用いられるのと同様の技術を用いて、平面上に形
成される。

【０００３】特定用途に適した具体的な性能目標を満足
し、指定された製造上の制約に合わせるために、温度補
償、広帯域および帯域外信号排除の改善を含む、多数の
低損失音響波フィルタおよび変換器の設計手法が開発さ
れている。これらの手法には、多相単一方向音響波変換
器(multiphase uni-directional acoustic wave transd
ucer)、多変換器音響波フィルタ(multi-transducer aco
ustic wave filters)、共振器、分散型音響反射変換器
（DART:distributed acoustic reflection transduce
r)、および反射器が背面に設けられた音響波変換器が含
まれ、これら各タイプの音響波素子はフィルタ性能上の
長所も短所も有している。音響波の伝搬および変換特性
を改良するために、特定の基板方位(substrate orienta
tions)や物質も開発されている。かかる特性の改良に
は、電磁結合係数の増大、温度に対する感度の低下、音
響伝搬損失の低下、設計および製造に対する過敏性の低
下、ならびに複雑度の減少やその他のファクタが含まれ
る。

【０００４】基板材料および方位の選択を含む、これら
およびその他のタイプの音響波素子手法の例が記載され
ている文献には、K. YamanouchiおよびK. Shibayama に
よる"Propagation and Amplification of Rayleigh Wav
es and Piezoelectric LeakySurface Waves in LiNbO₃"
(J. App. Phys. Vol. 43, No. 3)、 M. F. Lewisに特
許された、"Acoustic Surface Wave Devices Employing
Surface Skimming Bulk Waves"と題する米国特許第4,1
59,435号、Y. Ebata et al.に特許された、"Temperatur
e Compensated Surface Acoustic Wave Device"と題す
る米国特許第4,489,250号、J. Andleに特許された"Doub
ly Rotated Orientations of Cut AnglesFor Quartz Cr
ystal For Novel Surface Acoustic Wave Devices"と題
する米国特許第4,670,680号、 B. Chai et al.に特許さ
れた"Temperature Compensated Orientations of Berli
nite for Surface Acoustic Wave Devices"と題する米
国特許第4,525,643号および第4,511,817号、ならびにA.
Slobodnikに特許された"Low Diffraction Loss-Low Sp
urious Response LiTaO₃ Substrate for Surface Acous
tic Wave Devices"と題する米国特許第4,001,767号があ
る。これらの内容は、本願においても使用可能である。
しかしながら、これらおよびその他の従来技術の手法に
は、当技術では既知の多くの欠点がある。かかる欠点
は、動作周波数が高くなるにつれて、増々重大になる傾
向にある。

【０００５】特に関心があるのは、表面スキミング・バ
ルク音響波を支持する基板である。これらは、電気機械
的結合係数を増加させる傾向があり、その結果、挿入損
失、帯域外排除(out of band rejection)、帯域幅およ
びその他の特性の望ましい組み合わせが得られる。更
に、かかる波に伴う水平方向に偏った粒子の運動の結果
として、表面汚染に対する素子の挿入損失の感度が低下
するため、潜在的に、素子のパッケージングおよび製造
上の制約を大幅に簡素化し、製造コストの削減、パッケ
ージ・フットプリントの小型化、軽量化を促進し、この
ような傾向も、かかる基板(substrata)を含む音響波素
子のロバスト性(robustness)向上にも関係がある。図３
および関連するYamanouchi（上述）の論文にも示されて
いるように、Ｙカット、回転LiNbO₃(Y-cut, rotatead L
iNbO₃)に対する、バルク音響波への散乱(scattering)に
よる損失は、切断角度(cut angle)のストロング・ファ
ンクション(strong function)である。これらの損失が
最少となる回転角は、基板表面が開放か短絡かによって
異なる。４１゜および６４゜回転ｙ−切断LiNbO₃基板
は、それぞれ、開放および短絡の場合に、最小の挿入損
失を有する。いずれの条件も、交互配置型変換器(inter
digitated transducer)において得られるものには対応
しないので、かかる変換器を使用する素子において、音
響エネルギが他の望ましくない音響伝搬モードへ散乱す
る現象、したがってある付加的な成分、即ち、フィルタ
挿入損失が見られる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】したがって、広帯域お
よび表面スキミング・バルク波に関しては全体的に挿入
損失が減少するという利点を有するが（他の技術との比
較において）、挿入損失が少なく、特に音響波変換器の
ような部分的にメタライズされた領域に生じる音響伝搬
損失に関連する損失が少ない、基板および周波数選択素
子、ならびにこれを提供し使用する方法が必要とされて
いる。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、音響伝搬損失
が少ない圧電基板、およびこれを用意する方法を提供す
るものである。本発明による方法は、(i)圧電物質のボ
ウルを用意する段階、(ii)部分的にメタライズされた表
面に適合する境界条件を与えるように選択されたオイラ
ー角にボウルを方位付けする段階、(iii)少なくとも一
方が平面を含む第１および第２表面を有する、少なくと
も第１のスライスに、ボウルを切り出す段階を含む。本
方法は、更に、(iv)第１および第２表面の少なくとも一
方を研磨し、ほぼ平坦な研磨面を設ける段階、(v)第１
および第２表面の少なくとも一方の上に金属層を配する
段階、および(vi)金属層にパターニングを行い、音響波
変換器を含む少なくとも１つの交互配置パターンを設け
る段階も含むが、これらの段階は必須ではない。音響波
変換器は、部分的にメタライズされた表面に適合した境
界条件を与える。

【０００８】

【発明の実施の形態】図１は、本発明による音響波フィ
ルタ１００の簡略平面図である。以後説明を簡略化し理
解を容易にするために、表面スキミング・バルク波のこ
とを「音響波」と呼ぶことにする。音響波は、一般的
に、音響波伝搬基板１２０のバルク内（例えば、以下の
図２におけるｘ₃）に、多くの場合音響波長よりも大幅
に大きな距離にわたって広がる粒子運動によって特徴付
けられる音響伝搬モードである。しかしながら、この粒
子運動は必ずしも平面波に近い訳ではなく、少なくとも
大まかに基板の表面に沿って導かれる傾向を有する。か
かる音響波は、例えば、Yamanouchi（上述）に記載され
ているように、音響エネルギの伝搬方向を横切り、基板
表面の平面内の剪断変位(shear displacement)によって
主に特徴付けられる、粒子運動を有する。これらのタイ
プの音響波は、多くの場合非常に高い電気機械的結合係
数も有するが、最適値からずれた切断角度では大きな音
響損失を含む傾向がある。音響波フィルタ１００は、音
響基板１２０と、リード１３２，１３４および１４２，
１４４を通じてそれぞれ信号源１３０および負荷１４０
に結合された変換器１０５，１１０とを有効に含む。更
に、音響波変換器１０５は、バス即ちバス・バー１１５
および櫛型電極１０７，１０９を含む。「部分的にメタ
ライズされる」という表現がここでは用いられるが、こ
れは、音響伝搬経路内に配され、伝搬する音響波との電
気音響的相互作用を促進するピッチ即ち周期を有する櫛
型電極（即ち、１０７，１０９）を含む、基板表面上の
領域に言及することを意図している。音響波変換器１１
０は、更に、バス１１５および櫛型電極１１２，１１４
を含む。音響波フィルタ１００は、２つの音響波変換器
１０５，１１０を含むものとして図示されているが、必
要に応じてこれ以上または以下の変換器を、所与の周波
数選択素子に採用し、特定用途に適した仕様に対応可能
であることは認められよう。

【０００９】音響波伝搬基板１２０によく採用される物
質、即ち、表面スキミング・バルク波を支持する基板の
多くは、ニオブ化リチウム(LiNO₃)（例えば、上述のLew
isの米国特許第4,159,435号を参照）、タンタル化リチ
ウム(LiTaO₃ )（例えば、上述のSlobodnikの米国特許第
4,001,767号を参照）、四硼酸リチウム(Li₂B₄O₇) (例え
ば、上述のEbata et al.の米国特許第4,489,250号を参
照）、酸化ゲルマニウム・ビスマス(BiGeO₂₀)、酸化シ
リコン・ビスマス(BiSiO₂₀)、砒化ガリウム(GaAs)、硫
化カドミウム(CdS)、窒化アルミニウム(AlN)、酸化亜鉛
(ZnO)、二酸化シリコン(クオーツ。例えば、上述のLewi
sの米国特許第4,159,435およびAndleの米国特許第4,67
0,680号を参照) 等を含み、表面がきめ細かく研磨さ
れ、主要なまたは好適な音響伝搬方向を含む好適な結晶
面(crystallographic plane)に、基板表面が一致するよ
うに方位付けられた、薄い板または円盤状、あるいは層
として形作られている。上述の物質には正規組成化学式
(stoichiometric chemical formulae)が適用されるが、
基板物質を整える種々の方法では、化学量論からの逸脱
は珍しいことではなく、かかるばらつきは、基板１２０
を形成する物質の記述に含まれるものとすることは理解
されたい。

【００１０】音響波変換器１０５，１１０は、電気エネ
ルギの音響エネルギへの変換、あるいはその逆の変換を
行う。交互配置櫛型電極１０７，１０９および１１２，
１１４は、バス１１５によって相互接続されている。櫛
型電極１０７，１０９および１１２，１１４ならびにバ
ス１１５は、典型的に、薄膜金属（例えば、アルミニウ
ムおよびその合金）で作られ、例えば、蒸着またはＲＦ
スパッタ堆積によって、全体的にまたは部分的に圧電物
質である、音響波伝搬基板１２０の研磨面上に堆積され
る。音響波変換器１０５，１１０を構成する櫛型電極１
０７，１０９および１１２，１１４ならびにバス１１５
は、通常、当技術では既知の集積回路を製造するために
用いられるものと同様のプロセスを用いて、フォトリソ
グラフ的に規定される。

【００１１】図２は、基板１２０の表面から距離ｈだけ
上に懸垂された、完全な（即ち、質量または剛性負荷(s
tiffness loading)、あるいは音響または抵抗性損失を
誘発しない）導電体２０５を示す。音響波基板に好適な
回転角（「オイラー角」としても知られている）を決定
する手法を、図２に示す幾何学的構造に関連付けて説明
する。しかしながら、望ましい結果は、別の特徴化(cha
racterization)およびエミュレーション技法によっても
得られることは理解されよう。

【００１２】通常、圧電基板は、(i)音響波伝搬物質
（多くの場合圧電物質が望ましい）のボウル(boule)を
成長させ、(ii)部分的にメタライズされた表面に対する
境界条件を満足するような、所望の特性を与えるように
選択されたオイラー角に、ボウルを方位付け、(iii)全
体的に平面で互いに平行な第１および第２平面を有する
「スライス」または「ウエハ」にボウルを切り出し、(i
v)第１および第２表面の少なくとも一方を研磨して、実
質的に平坦な研磨面を得る。以上の工程に続いて、(v)
フォトリソグラフィまたはその他の工程によって、ウエ
ハにパターニングを行い、続いて(vi)個々の素子にソー
イング(sawing)、即ち、「切り出し」を行い、(viii)パ
ッケージング処理を行い、(ix)電気相互接続部を接合
し、(x)検査し、続いて最終ユーザに送り届ける工程が
行われる。

【００１３】米国特許第4,001,767号、第4,159,435号、
第4,511,817号、第4,525,643号、第4,670,680号、およ
び第5,081,389号（上述）に示され、更に関連する文献
において論じられているように、図２に示す座標系ｘ₁
−ｘ3によって、回転物質(rotated material)の音響波
およびその他の特性の計算が可能になる。分離距離ｈ
を、短絡面（例えば、６４°LiNbO₃)に対応するｈ＝０
から、開放回路面（例えば、４１°LiNbO₃)に対応する
ｈ＝無限まで変化させることにより、選択された音響波
伝搬モードに対する音響波速度の変化を計算する。かか
る計算から、音響波速度Ｖと調整された分離間隔(scale
d separation)ωｈ（ωは既知のラディアン周波数）の
有理的近似（例えば、１つの多項式を他の多項式で除算
する）が得られ、以下の式で表わされる。 V(ωh)=4.47541+3.1・ωh/(1+11.28956・ωh) （１）この結果は、図４に示すように、実験素子に採用された
金属の厚さに対して示された、金属の厚さが実験に及ぼ
す影響（例えば、質量および剛性負荷）を考慮すると、
実験的に判定された結果と比較することができる。質量
負荷による影響を含まない音響波特性をモデリングする
コンピュータ・プログラムを用いて速度やその他の伝搬
特性を予測するためには、基板表面の無限質量短絡(mas
s-less shorting)に最適な条件の予測も有用である。

【００１４】図３は、音響波速度の実数成分（曲線３０
５、左側の縦軸目盛に対応する）および虚数成分（曲線
３１０、右側の縦軸目盛に対応する）対LiNbO₃基板表面
上の調整された短絡面の高さωｈの関係を示すグラフで
ある。曲線３１０が示すのは、複素速度、特に速度の虚
数成分は、調整された短絡面高さωｈに比較して、非常
に急速に変化し、無短絡面に対応する値に急速に収束す
ることである。

【００１５】図４は、音響波速度対LiNbO₃基板表面上の
メタライゼーション比率ρ_i（曲線４１０）の関係を示
すグラフであり、一方、図５は、音響波速度対LiNbO₃基
板表面上の金属の厚さη_i（曲線５１０）の関係を示す
グラフである。これらの曲線により、実験的データを用
いてＶ（０，ρ_i）を外挿補間(extrapolation)し、実験
素子のメタライゼーション比率に対して、実験的に観察
された速度Ｖ（η_i，ρ_i）を補正することができる。一
方、同様の曲線を用いて、他の物質および方位の類似計
算も可能である。これら２つの速度は、実際に検出され
る可能性のある速度範囲を確定するのに役立ち、質量負
荷を考慮に入れない漏洩波モデルから得られる結果を外
挿補間し、測定データに対応させること、またはその逆
も可能にする。Ｖ（η_i，ρ_i）から決定される低いまた
はゼロの減衰カットも、質量負荷に対して低い減衰率を
示すことが期待される。例えば、先に与えた式（１）お
よびデータを用いると、ωｈ＝０．０２６６ｋｍ／ｓｅ
ｃの対応値が得られ、実験で用いた音響波変換器に関連
した有効な電気境界条件の測定値が得られる。このωｈ
の値は、音響速度虚数値がゼロでない場合に対応する。
値ωｈを一定に保持し、虚数部を局所的な最小値または
ゼロにする切断角度値を検索することにより、音響波変
換器が存在する場合に対応する境界条件と一貫性があ
る、所望の結果が得られる。

【００１６】図６は、図３ないし図５に関して説明した
本発明および方法による、音響波速度の実数成分（曲線
６２０、左側の縦軸目盛に対応する）および虚数成分
（曲線６１０、右側の縦軸目盛に対応する）対、LiNbO₃
基板のｙ−切断回転面上の切断角度対、回転角度の関係
を示すグラフである。曲線６２０は、音響波速度の実数
成分の比較的遅い変動対切断角度を示し、一方、曲線６
１０は、結晶Ｙ軸（即ち、ｘ₁軸を中心とする回転。上
述の図２を参照）からの５５．５゜の回転角における、
他の音響伝搬モードへの散乱(scattering)によるゼロ減
衰に対応する、矢印６３０で示した角度における局所的
最少値を示し、（０，−３４．５，０）のオイラー角に
対応する（図２に関して）。同様の計算をωｈ＝０につ
いて行うと、Yamanouchi（上述）らによって報告された
結果と一致する、結晶Ｙ軸から６４゜の角度が得られ
る。これらの近似値、実験的誤差およびその他のファク
タ（例えば、所望の動作温度範囲、実験的温度、基板内
の応力、基板の化学量論等）から、ここで計算されたも
のに近く、有用で望ましい特性を有する切断角度の範囲
が得られる。これらの角度は、実際に、ある必要性に対
して好ましい場合がある。例えば、ある用途では、４
５．７゜ないし６３．５゜、または４２゜ないし５０゜
の切断角度（即ち、結晶Ｙ軸からスライス即ちウエハの
表面法線(surface normal)）が好ましい場合があり、別
の用途では、５０゜ないし６０゜の範囲の角度が好まし
い場合があり、更に他の用途では、５５．５゜の角度
（オイラー角（０，−３４．５゜，０）に対応する）が
有用となる。

【００１７】図７は、本発明による１つ以上の音響波フ
ィルタを含む無線機またはその他の通信機器の一部分１
２００のブロック図である。装置１２００は、一例とし
て、信号の送受信を行うために用いられるアンテナ１２
０１、およびアンテナ・リード１２０４を含む。

【００１８】あるいは、アンテナ１２０１およびアンテ
ナ・リード１２０４を、光ファイバ・リンクまたはケー
ブル、あるいはその他の信号伝送媒体と置き換えてもよ
い。ダイプレクサ(diplexer)１２０９が、アンテナ１２
０１およびアンテナ・リード１２０４、ならびに送信器
部分（図示せず）に結合されている。ダイプレクサ１２
０９は、受信信号を、リード１２１２を通じて、フィル
タ１２１５に結合する。フィルタ１２１５は、リード１
２２６を通じて、増幅器１２２７に結合されている。

【００１９】増幅器１２２７の出力は、リード１２３３
を通じて、フィルタ１２３９に結合されている。フィル
タ１２３９は、その出力信号を混合器１２６５に結合
し、ここで、リード１２４２によって結合された信号
は、フィルタ１２５５およびリード１２４９，１２５９
を通じて結合された局所発振器からの他の信号と合成(c
ombine)される。リード１２７１を通じて混合器１２６
５から出力された信号は、次にフィルタ１２７７を通過
し、リード１２８０を通じて中間周波数即ちＩＦ信号が
供給される。

【００２０】ダイプレクサ１２０９、フィルタ１２１
５、フィルタ１２３９、フィルタ１２５５および／また
は１２７７は、本発明による音響波フィルタで構成する
ことができる。

【００２１】オイラー角は一義的である必要はなく、即
ち、１組以上のオイラー角が、同等の物質方位に対応す
る場合もあることは、当業者には認められよう。更に、
オイラー角は、座標系の初期選択によって異なり、物理
的に異方性特性を有する物質の方位を特定する１つの方
法である。かかる方位を特定する第２の方法は、結晶方
位に関して方位を特定するものである。いずれの方法を
採用してもよく、これら２つの系の間の等価性(equival
ence)は、当業者には理解されよう。

【００２２】以上、回転角に対して、部分的にメタライ
ズされた状態で最少の音響伝搬損失を有する音響波基
板、およびかかる基板の決定方法について説明した。こ
れらは、従来技術の方法および機構に対して、特定の問
題を克服し、確かな利点を達成するものである。既知の
技術に対する改善は顕著である。従来技術の手法におけ
る出費、複雑性、および挿入損失に関する欠点は、減少
または回避される。同様に、水平方向に偏った剪断モー
ド(horizontally-polarized shear mode)を使用するこ
とにより、パッケージングする必要性が減少し、音響波
フィルタのような素子の堅牢性を高めることが可能とな
る。

【００２３】上述の特定実施例に関する説明は、本発明
の全体的な性質を余すところなく明らかにしたので、他
の者は、現に有する知識を応用することによって、総括
的な概念から逸脱することなく、種々の用途のためにか
かる特定実施例を変更および／または改造することがで
きよう。したがって、かかる改造および変更は、開示さ
れた実施例の意味および均等の範囲内のものとして理解
されるべきであり、そのように意図するものである。

【００２４】また、この明細書で用いた表現や用語は、
説明を目的としたものであり、限定を目的とするもので
はないことは理解されよう。したがって、本発明は、特
許請求の範囲の精神および広範な範囲に該当する、かか
る代替、変更、均等、および改変を全て含むことを意図
するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による音響波フィルタの簡略平面図。

【図２】基板表面上距離ｈに懸垂された完全な導電体を
示す図。

【図３】音響波速度の実数成分および虚数成分対LiNbO₃
基板の表面上の短絡面高さの関係を示すグラフ。

【図４】音響波速度対LiNbO₃基板表面上のメタライゼー
ション比率ρ_iの関係を示すグラフ。

【図５】音響波速度対LiNbO₃基板表面上の金属の厚さη
_iの関係を示すグラフ。

【図６】本発明による、音響波速度の実数成分および虚
数成分対LiNbO₃基板のｙ−切断回転面上の切断角度の関
係を示すグラフ。

【図７】本発明による音響波フィルタを含む無線周波数
装置の一部を示すブロック図。

【符号の説明】

１００音響波フィルタ１０５，１１０音響波変換器１１５バス・バー１０７，１０９，１１２，１１４櫛型電極１２０音響波伝搬基板１３０信号源１４０負荷２０５導電体１２００装置１２０１アンテナ１２０４アンテナ・リード１２０９ダイプレクサ１２１５，１２３９，１２５５，１２７７フィルタ１２２７増幅器１２６５混合器

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０４Ｒ 17/00 Ｈ０１Ｌ 41/08 Ｃ 31/00 ３３０ 41/22 Ｚ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】圧電基板（１２０）を製造する方法であっ
て：圧電物質のボウルを用意する段階；部分的にメタラ
イズされた表面に対する境界条件を満足するように選択
されたオイラー角に、前記ボウルを方向付ける段階；お
よび第１および第２表面を有し、かつ前記第１および第
２表面の少なくとも一方が平坦な表面より成る少なくと
も１つのスライスに、前記ボウルを切り出す段階；から
成ることを特徴とする方法。
【請求項２】更に：前記第１および第２表面の少なくと
も一方を研磨して、実質的に平坦な研磨面を設ける段
階；前記第１および第２表面の前記少なくとも一方の上
に金属層を配する段階；および前記金属層にパターニン
グを行い、音響波変換器（１０５，１１０）を含む少な
くとも１つの交互配置パターン（１０５，１１０）を設
ける段階であって、前記音響波変換器（１０５，１１
０）は、部分的にメタライズされた表面に対する境界条
件を満足する、段階；を含むことを特徴とする請求項１
記載の方法。
【請求項３】少なくとも実質的に平坦な第１表面を有す
るウエハ（１２０）から成り、前記ウエハ（１２０）は
音響波伝搬物質のボウルから用意され、前記第１表面は
部分的にメタライズされた表面に対する境界条件を満足
するように選択されたオイラー角に、前記第１表面が方
位付けられていることを特徴とする装置。
【請求項４】少なくとも第１表面を含むウエハ（１２
０）から成る装置であって、前記第１表面はほぼ平坦な
表面を有し、前記ウエハ（１２０）は、音響波伝搬物質
のボウルから与えられ、前記第１表面は、部分的にメタ
ライズされた表面に対する境界条件を満足するよう選択
されたオイラー角に、方向付けられており；前記オイラ
ー角は音響波速度を外挿補間することにより決定され、
前記音響波速度は、開放回路条件および短絡回路条件か
ら成る群から選択された条件の少なくとも一方について
既知の方位と既知の音響損失を有する基板（１２０）に
対して、既知のメタライゼーション比率を有する部分的
にメタライズされた領域内を伝搬する音響波に対して測
定されたものであり；前記組の構成要素は、他の音響モ
ードへの音響波の散乱による、音響損失の最小値を与え
る方位から成り；基板（１２０）の方位角を変化させ、
複素音響波速度を計算し、前記複素音響波速度の虚数成
分における局所的最小値に対応する前記オイラー角を決
定することを特徴とする装置。
【請求項５】無線機（１２００）内における装置であっ
て：ニオブ化リチウムから成り、少なくとも第１表面を
有するウエハ（１２０）であって、前記ウエハは音響波
伝搬物質のボウルから得られ、前記第１表面が、部分的
にメタライズされた表面に対する境界条件を満足するよ
うに選択されたオイラー角に方位付けられ、前記第１表
面はほぼ平坦な研磨面である前記ウエハ（１２０）；お
よび前記第１表面上に配された音響波変換器（１０５，
１１０）であって、部分的にメタライズされた表面に対
する前記境界条件を満足する前記音響変換器（１０５，
１１０）；から成り、前記ウエハ（１２０）は、結晶Ｙ軸から５０゜ないし６
０゜の範囲を含む角度の範囲から選択された表面法線を
有するように方位付けられている；ことを特徴とする装
置。