JPH0923689A - サーフェイスモータの脱調自動復帰装置 - Google Patents
サーフェイスモータの脱調自動復帰装置Info
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- JPH0923689A JPH0923689A JP7191124A JP19112495A JPH0923689A JP H0923689 A JPH0923689 A JP H0923689A JP 7191124 A JP7191124 A JP 7191124A JP 19112495 A JP19112495 A JP 19112495A JP H0923689 A JPH0923689 A JP H0923689A
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- axis
- parallel
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 移動部が脱調状態になった場合、自動的にか
つ正確に正常な状態に復帰できるサーフェイスモータの
脱調自動復帰装置を提供する。 【構成】 碁盤目状に凸極を備えた平板状のプラテン部
１と、直交する座標軸の各軸方向にパルスまたは正弦波
電流指令に応じて移動磁界を発生する磁極を設け前記プ
ラテン部上を移動し得る移動部２とを備えたサーフェイ
スモータの脱調自動復帰装置において、前記直交する座
標軸のうちいずれか一方の座標軸に平行に支持された矯
正バー６と、前記一方の座標軸に平行な基準軸に沿って
設けたストッパ３と、矯正バー６を前記基準軸の方向に
平行移動させ得るリニアアクチュエータ５とを備え、移
動部２が脱調状態のとき、移動部２を前記矯正バー６に
より移動させるようにしたものである。
つ正確に正常な状態に復帰できるサーフェイスモータの
脱調自動復帰装置を提供する。 【構成】 碁盤目状に凸極を備えた平板状のプラテン部
１と、直交する座標軸の各軸方向にパルスまたは正弦波
電流指令に応じて移動磁界を発生する磁極を設け前記プ
ラテン部上を移動し得る移動部２とを備えたサーフェイ
スモータの脱調自動復帰装置において、前記直交する座
標軸のうちいずれか一方の座標軸に平行に支持された矯
正バー６と、前記一方の座標軸に平行な基準軸に沿って
設けたストッパ３と、矯正バー６を前記基準軸の方向に
平行移動させ得るリニアアクチュエータ５とを備え、移
動部２が脱調状態のとき、移動部２を前記矯正バー６に
より移動させるようにしたものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、パルスモータからなる
サーフェイスモータの移動部の脱調を自動的に復帰させ
る装置に関する。
サーフェイスモータの移動部の脱調を自動的に復帰させ
る装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、碁盤目状に凸極を備えた平板状の
プラテン部と、直交する座標軸の２軸方向（Ｘ軸、Ｙ
軸）にパルスまたは正弦波電流指令に応じて移動磁界を
発生する碁盤目状の磁極を設け、前記プラテン部上を移
動し得る移動部とを備えたものが開示されている（例え
ば、実開昭５６−１２０７８９号公報）。このようなパ
ルスモータからなるサーフェイスモータはオープンルー
プ制御であるため、性能以上の推力を指令したり他の物
体に衝突したりすると、移動部は直交する２軸に対して
傾斜し、プラテン部の凸極と移動部の磁極のピッチが狂
うため脱調し、身動きができない状態に陥る。その場
合、人手により移動部の位置を矯正し、脱調しない位置
に復帰させている。
プラテン部と、直交する座標軸の２軸方向（Ｘ軸、Ｙ
軸）にパルスまたは正弦波電流指令に応じて移動磁界を
発生する碁盤目状の磁極を設け、前記プラテン部上を移
動し得る移動部とを備えたものが開示されている（例え
ば、実開昭５６−１２０７８９号公報）。このようなパ
ルスモータからなるサーフェイスモータはオープンルー
プ制御であるため、性能以上の推力を指令したり他の物
体に衝突したりすると、移動部は直交する２軸に対して
傾斜し、プラテン部の凸極と移動部の磁極のピッチが狂
うため脱調し、身動きができない状態に陥る。その場
合、人手により移動部の位置を矯正し、脱調しない位置
に復帰させている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来技
術では、移動部が脱調した後、人手によって移動部の位
置を矯正しているため、危険であると共に、復帰した位
置が脱調しない位置になっているかを確認する必要があ
り、人手による多くの時間がかかるという問題があっ
た。本発明は、移動部が脱調状態になった場合、自動的
に正常な状態に復帰できるサーフェイスモータの脱調自
動復帰装置を提供することを目的とするものである。
術では、移動部が脱調した後、人手によって移動部の位
置を矯正しているため、危険であると共に、復帰した位
置が脱調しない位置になっているかを確認する必要があ
り、人手による多くの時間がかかるという問題があっ
た。本発明は、移動部が脱調状態になった場合、自動的
に正常な状態に復帰できるサーフェイスモータの脱調自
動復帰装置を提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、碁盤目状に凸極を備えた平板状のプラテ
ン部と、直交する座標軸の各軸方向にパルスまたは正弦
波電流指令に応じて移動磁界を発生する碁盤目状の磁極
を設け前記プラテン部上を移動し得る移動部とを備えた
サーフェイスモータの脱調自動復帰装置において、前記
直交する座標軸のうちいずれか一方の座標軸に平行に支
持された矯正バーと、前記一方の座標軸に平行な基準軸
に沿って設けたストッパと、前記矯正バーを前記基準軸
の方向に平行移動させ得るリニアアクチュエータとを備
え、前記移動部が脱調状態のとき、前記移動部を前記矯
正バーにより移動させるようにしたものである。
め、本発明は、碁盤目状に凸極を備えた平板状のプラテ
ン部と、直交する座標軸の各軸方向にパルスまたは正弦
波電流指令に応じて移動磁界を発生する碁盤目状の磁極
を設け前記プラテン部上を移動し得る移動部とを備えた
サーフェイスモータの脱調自動復帰装置において、前記
直交する座標軸のうちいずれか一方の座標軸に平行に支
持された矯正バーと、前記一方の座標軸に平行な基準軸
に沿って設けたストッパと、前記矯正バーを前記基準軸
の方向に平行移動させ得るリニアアクチュエータとを備
え、前記移動部が脱調状態のとき、前記移動部を前記矯
正バーにより移動させるようにしたものである。
【０００５】
【作用】上記手段により、移動部が脱調状態になったと
き、矯正バーを基準軸に平行な矯正バーを基準軸の方向
に移動させて移動部を引き寄せるようにしてあるので、
矯正バーを移動させ、移動部を基準軸に沿ったストッパ
に押し当てることにより、プラテン部と移動部の脱調状
態から、プラテン部の碁盤目状の凸極と移動部の碁盤目
状の磁極との角度およびピッチが合致する正常な状態に
復帰させることができる。
き、矯正バーを基準軸に平行な矯正バーを基準軸の方向
に移動させて移動部を引き寄せるようにしてあるので、
矯正バーを移動させ、移動部を基準軸に沿ったストッパ
に押し当てることにより、プラテン部と移動部の脱調状
態から、プラテン部の碁盤目状の凸極と移動部の碁盤目
状の磁極との角度およびピッチが合致する正常な状態に
復帰させることができる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明を図に示す実施例について説明
する。図１は本発明の第１の実施例を示す斜視図であ
る。図において、１は碁盤目状に凸極１１を備えた平板
状のプラテン部、２は直交するＸ，Ｙ２方向にパルスま
たは正弦波電流指令に応じて移動磁界を発生する碁盤目
状の磁極２１（Ｘ方向磁極２１Ｘ，Ｙ方向磁極２１Ｙ）
を備えてプラテン部１上を移動し得る移動部である。な
お、正常状態では図２（ａ），（ｂ）に示すように、プ
ラテン部１の凸極１１と移動部２の磁極２１のピッチ
は、完全に合致した部分と、１／２ピッチずれた部分
と、１／４ピッチ＋側および−側にずれた部分ができて
いる。３はプラテン部１の一方の端部に設定した基準点
Ｘ0 ，Ｙ0 を通り、Ｙ軸に平行な基準軸ｘに沿って設け
たストッパ、４は基準点Ｘ0 ，Ｙ0 を通り、Ｘ軸に平行
な基準軸ｙに沿って設けたガイド、５はガイド４に平行
な方向に移動し得るリニアアクチュエータで、モータ５
１によって回転駆動されるネジ５２と、ネジ５２と噛み
合い、ねじ５２の長手方向に移動し得るナット部５３と
を備えている。６はＹ軸に平行に配置され、一方端はガ
イド４によって摺動し得るように案内され、他方端はリ
ニアアクチュエータ５のナット部５３に固定された矯正
バーで、通常は、基準軸ｙからＸ軸方向に離れた位置に
置かれている。７は矯正バー６に係合し得るＸ軸リミッ
トスイッチで、矯正バー６によって押されて移動部２が
基準軸ｙに達したときに動作して、リニアアクチュエー
タ５を停止させるようにしてある。８はＹ軸リミットス
イッチで、移動部２が基準軸ｙ上で基準点Ｘ0 ，Ｙ0 と
反対側の端部にある原点Ｏに達した時に動作し、移動部
２が停止する停止指令を出すようにしてある。
する。図１は本発明の第１の実施例を示す斜視図であ
る。図において、１は碁盤目状に凸極１１を備えた平板
状のプラテン部、２は直交するＸ，Ｙ２方向にパルスま
たは正弦波電流指令に応じて移動磁界を発生する碁盤目
状の磁極２１（Ｘ方向磁極２１Ｘ，Ｙ方向磁極２１Ｙ）
を備えてプラテン部１上を移動し得る移動部である。な
お、正常状態では図２（ａ），（ｂ）に示すように、プ
ラテン部１の凸極１１と移動部２の磁極２１のピッチ
は、完全に合致した部分と、１／２ピッチずれた部分
と、１／４ピッチ＋側および−側にずれた部分ができて
いる。３はプラテン部１の一方の端部に設定した基準点
Ｘ0 ，Ｙ0 を通り、Ｙ軸に平行な基準軸ｘに沿って設け
たストッパ、４は基準点Ｘ0 ，Ｙ0 を通り、Ｘ軸に平行
な基準軸ｙに沿って設けたガイド、５はガイド４に平行
な方向に移動し得るリニアアクチュエータで、モータ５
１によって回転駆動されるネジ５２と、ネジ５２と噛み
合い、ねじ５２の長手方向に移動し得るナット部５３と
を備えている。６はＹ軸に平行に配置され、一方端はガ
イド４によって摺動し得るように案内され、他方端はリ
ニアアクチュエータ５のナット部５３に固定された矯正
バーで、通常は、基準軸ｙからＸ軸方向に離れた位置に
置かれている。７は矯正バー６に係合し得るＸ軸リミッ
トスイッチで、矯正バー６によって押されて移動部２が
基準軸ｙに達したときに動作して、リニアアクチュエー
タ５を停止させるようにしてある。８はＹ軸リミットス
イッチで、移動部２が基準軸ｙ上で基準点Ｘ0 ，Ｙ0 と
反対側の端部にある原点Ｏに達した時に動作し、移動部
２が停止する停止指令を出すようにしてある。
【０００７】いま、移動部２が何らかの原因で異常な力
を受け、図２（ｃ），（ｄ）に示すようにＸ，Ｙ軸方向
に対して傾き、脱調状態となった場合、、図示しない脱
調検出装置からの信号を得て、リニアアクチュエータ５
を動作させ、矯正バー６をＹ軸に平行な状態を維持しな
がら基準軸ｙの方向に移動させる。そうすると、移動部
２は矯正バー６に押し付けられて移動し、基準軸ｙに平
行なストッパ３に当たると共に、Ｘ軸リミットスイッチ
７が動作してリニアアクチュエータ５が停止する。この
状態で、図３に示すように、移動部２は基準軸ｙに平行
になるので、Ｘ，Ｙ軸方向に対して傾きがなくなり、Ｘ
軸方向の脱調状態はなくなる。なお、Ｙ軸方向について
は、いずれかの凸極と磁極のピッチが完全に合致した部
分か、１／２ピッチずれた部分か、１／４ピッチ＋側お
よび−側にずれた部分かのいずれかの状態で正常な状態
に近くなっているので、移動部２に基準軸ｙ上の原点Ｏ
の方向に移動する指令を与えると、原点Ｏまで移動す
る。移動部２が原点Ｏに達すると、リミットスイッチ８
が動作して、移動部２を停止させる。このように、移動
部が脱調状態になったとき、平行移動する矯正バー６に
より移動部２を基準軸ｙまで押し付けられ、さらに原点
Ｏまで移動されるので、確実に脱調状態から正常状態に
復帰させることができる。
を受け、図２（ｃ），（ｄ）に示すようにＸ，Ｙ軸方向
に対して傾き、脱調状態となった場合、、図示しない脱
調検出装置からの信号を得て、リニアアクチュエータ５
を動作させ、矯正バー６をＹ軸に平行な状態を維持しな
がら基準軸ｙの方向に移動させる。そうすると、移動部
２は矯正バー６に押し付けられて移動し、基準軸ｙに平
行なストッパ３に当たると共に、Ｘ軸リミットスイッチ
７が動作してリニアアクチュエータ５が停止する。この
状態で、図３に示すように、移動部２は基準軸ｙに平行
になるので、Ｘ，Ｙ軸方向に対して傾きがなくなり、Ｘ
軸方向の脱調状態はなくなる。なお、Ｙ軸方向について
は、いずれかの凸極と磁極のピッチが完全に合致した部
分か、１／２ピッチずれた部分か、１／４ピッチ＋側お
よび−側にずれた部分かのいずれかの状態で正常な状態
に近くなっているので、移動部２に基準軸ｙ上の原点Ｏ
の方向に移動する指令を与えると、原点Ｏまで移動す
る。移動部２が原点Ｏに達すると、リミットスイッチ８
が動作して、移動部２を停止させる。このように、移動
部が脱調状態になったとき、平行移動する矯正バー６に
より移動部２を基準軸ｙまで押し付けられ、さらに原点
Ｏまで移動されるので、確実に脱調状態から正常状態に
復帰させることができる。
【０００８】図４は第２の実施例を示す斜視図で、プラ
テン部１の上に２個の移動部２、２’を設けた場合の実
施例で、２個のＸ軸リミットスイッチ７、７’および２
個のＹ軸リミットスイッチ８、８’を設けたものであ
る。この場合、一方のＸ軸リミットスイッチ７はＸ軸の
基準点Ｘ0 ，Ｙ0 から移動部２のＸ軸方向長さだけ離れ
た位置に設け、他方のＸ軸リミットスイッチ７’はＸ軸
リミットスイッチ７からさらに、移動部２のＸ軸方向の
長さだけＸ軸方向に離して設けてある。また、Ｙ軸リミ
ットスイッチ８は移動部２が原点Ｏに達した位置に設
け、Ｙ軸リミットスイッチ８’は移動部２が基準点Ｘ
0 ，Ｙ0 に達した位置に設けてある。一つのプラテン部
１の上に移動部を２個設けると、２個の移動部２のいず
れか一方または両方が脱調状態になったとき、矯正バー
６を基準軸ｙの方向に平行移動すると、図３に示すよう
に、先に矯正バーに当たったいずれか一方の移動部が他
の移動部を押し付けて、２個の移動部２がＸ軸方向に重
なることがある。このとき、リニアアクチュエータ５を
動作して矯正バー６を移動させて２個とも基準軸ｙの方
向に押し付ける。矯正バー６によってＸ軸リミットスイ
ッチ７’が動作すると、移動部２、２’にそれぞれＹ軸
方向の互いに反対方向に移動する指令を与える。このと
き、移動部２、２’がＸ軸方向に重なっていると、二つ
の移動部２、２’のうち、少なくともストッパ３に当た
っている移動部２はＸ，Ｙ方向に対して傾きがなくな
り、Ｘ軸方向の脱調状態はなくなっているので、原点Ｏ
に向かって移動し、Ｙ軸リミットスイッチ８を動作させ
て停止する。この状態で移動部２’の脱調状態がなくな
っていれば、Ｙ軸の第２原点Ｏ’の方向に正常な状態で
移動する。移動部２’がまだ脱調状態になっていれば、
移動部２が原点Ｏの方向に移動して、移動部２と２’は
Ｙ軸方向に離れているので、リニアアクチュエータ５に
よって矯正バー６を再び基準軸ｙの方向に移動させるこ
とができ、移動部２’をストッパ３に押し当てる。移動
部２’はＸ，Ｙ方向に対して傾きがなくなり、Ｘ軸方向
の脱調状態はなくなっているので、基準点Ｘ0 ，Ｙ0 に
向かって移動し、Ｙ軸リミットスイッチ８’を動作させ
て停止する。この状態で二つの移動部２、２’は脱調状
態から正常状態に復帰した状態となる。
テン部１の上に２個の移動部２、２’を設けた場合の実
施例で、２個のＸ軸リミットスイッチ７、７’および２
個のＹ軸リミットスイッチ８、８’を設けたものであ
る。この場合、一方のＸ軸リミットスイッチ７はＸ軸の
基準点Ｘ0 ，Ｙ0 から移動部２のＸ軸方向長さだけ離れ
た位置に設け、他方のＸ軸リミットスイッチ７’はＸ軸
リミットスイッチ７からさらに、移動部２のＸ軸方向の
長さだけＸ軸方向に離して設けてある。また、Ｙ軸リミ
ットスイッチ８は移動部２が原点Ｏに達した位置に設
け、Ｙ軸リミットスイッチ８’は移動部２が基準点Ｘ
0 ，Ｙ0 に達した位置に設けてある。一つのプラテン部
１の上に移動部を２個設けると、２個の移動部２のいず
れか一方または両方が脱調状態になったとき、矯正バー
６を基準軸ｙの方向に平行移動すると、図３に示すよう
に、先に矯正バーに当たったいずれか一方の移動部が他
の移動部を押し付けて、２個の移動部２がＸ軸方向に重
なることがある。このとき、リニアアクチュエータ５を
動作して矯正バー６を移動させて２個とも基準軸ｙの方
向に押し付ける。矯正バー６によってＸ軸リミットスイ
ッチ７’が動作すると、移動部２、２’にそれぞれＹ軸
方向の互いに反対方向に移動する指令を与える。このと
き、移動部２、２’がＸ軸方向に重なっていると、二つ
の移動部２、２’のうち、少なくともストッパ３に当た
っている移動部２はＸ，Ｙ方向に対して傾きがなくな
り、Ｘ軸方向の脱調状態はなくなっているので、原点Ｏ
に向かって移動し、Ｙ軸リミットスイッチ８を動作させ
て停止する。この状態で移動部２’の脱調状態がなくな
っていれば、Ｙ軸の第２原点Ｏ’の方向に正常な状態で
移動する。移動部２’がまだ脱調状態になっていれば、
移動部２が原点Ｏの方向に移動して、移動部２と２’は
Ｙ軸方向に離れているので、リニアアクチュエータ５に
よって矯正バー６を再び基準軸ｙの方向に移動させるこ
とができ、移動部２’をストッパ３に押し当てる。移動
部２’はＸ，Ｙ方向に対して傾きがなくなり、Ｘ軸方向
の脱調状態はなくなっているので、基準点Ｘ0 ，Ｙ0 に
向かって移動し、Ｙ軸リミットスイッチ８’を動作させ
て停止する。この状態で二つの移動部２、２’は脱調状
態から正常状態に復帰した状態となる。
【０００９】図５は本発明の第３の実施例を示す斜視図
で、第１および第２の実施例でリニアアクチュエータ５
に用いたモータとネジの代わりに、リニアアクチュエー
タ５’をＸ軸方向に移動するリニアパルスモータによっ
て構成し、矯正バー６を移動させるようにしたものであ
る。この場合、リニアアクチュエータ５’の固定子はサ
ーフェイスモータのプラテン部１の端部を使用し、電源
も共用できるので、構造が簡単となる。なお、リニアア
クチュエータ５’の電源は、サーフェイスモータの脱調
が生じた時、サーフェイスモータの入力配線（Ａ相、Ｂ
相）をリニアアクチュエータの入力配線に切り替えるよ
うにしておけばよい。図６は本発明の第４の実施例を示
す斜視図で、第３の実施例と同様に、リニアアクチュエ
ータ５’をリニアパルスモータによって構成し、矯正バ
ー６の中央部をリニアアクチュエータ５’によって支持
させるようにしたものである。この場合、プラテン部お
よび電源を共用できると共に、矯正バー６を案内するガ
イドも必要としないので、構造が更に簡単になる。な
お、上記実施例では、矯正バーをＹ軸に平行に維持して
Ｘ軸方向に移動するようにした例について説明したが、
矯正バーをＸ軸に平行に維持してＹ軸方向に移動するよ
うにしてもよい。
で、第１および第２の実施例でリニアアクチュエータ５
に用いたモータとネジの代わりに、リニアアクチュエー
タ５’をＸ軸方向に移動するリニアパルスモータによっ
て構成し、矯正バー６を移動させるようにしたものであ
る。この場合、リニアアクチュエータ５’の固定子はサ
ーフェイスモータのプラテン部１の端部を使用し、電源
も共用できるので、構造が簡単となる。なお、リニアア
クチュエータ５’の電源は、サーフェイスモータの脱調
が生じた時、サーフェイスモータの入力配線（Ａ相、Ｂ
相）をリニアアクチュエータの入力配線に切り替えるよ
うにしておけばよい。図６は本発明の第４の実施例を示
す斜視図で、第３の実施例と同様に、リニアアクチュエ
ータ５’をリニアパルスモータによって構成し、矯正バ
ー６の中央部をリニアアクチュエータ５’によって支持
させるようにしたものである。この場合、プラテン部お
よび電源を共用できると共に、矯正バー６を案内するガ
イドも必要としないので、構造が更に簡単になる。な
お、上記実施例では、矯正バーをＹ軸に平行に維持して
Ｘ軸方向に移動するようにした例について説明したが、
矯正バーをＸ軸に平行に維持してＹ軸方向に移動するよ
うにしてもよい。
【００１０】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、移
動部が脱調状態になったとき、基準軸に平行な矯正バー
を基準軸の方向に移動させて移動部を引き寄せ、基準軸
に沿ったストッパに押し当てて正常な状態に復帰させる
ので、人手によらず、移動部を自動的にかつ正確に正常
な状態に復帰させることができる効果がある。
動部が脱調状態になったとき、基準軸に平行な矯正バー
を基準軸の方向に移動させて移動部を引き寄せ、基準軸
に沿ったストッパに押し当てて正常な状態に復帰させる
ので、人手によらず、移動部を自動的にかつ正確に正常
な状態に復帰させることができる効果がある。
【図１】 本発明の第１の実施例を示す斜視図である。
【図２】 本発明の第１の実施例のプラテン部の凸極と
移動部の磁極部との関係を示す説明図である。
移動部の磁極部との関係を示す説明図である。
【図３】 本発明の第１の実施例の動作中の状態を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図４】 本発明の第２の実施例の動作中の状態を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図５】 本発明の第３の実施例を示す斜視図である。
【図６】 本発明の第４の実施例を示す斜視図である。
１ プラテン部、１１ 凸極、２、２’ 移動部、２１
磁極、３ ストッパ、４ ガイド、５ リニアアクチ
ュエータ、５１ モータ、５２ ネジ、５３ナット部、
６ 矯正バー、７、７’ Ｘ軸リミットスイッチ、８、
８’ Ｙ軸リミットスイッチ、
磁極、３ ストッパ、４ ガイド、５ リニアアクチ
ュエータ、５１ モータ、５２ ネジ、５３ナット部、
６ 矯正バー、７、７’ Ｘ軸リミットスイッチ、８、
８’ Ｙ軸リミットスイッチ、
Claims (3)
- 【請求項１】 碁盤目状に凸極を備えた平板状のプラテ
ン部と、直交する座標軸の各軸方向にパルスまたは正弦
波電流指令に応じて移動磁界を発生する碁盤目状の磁極
を設け前記プラテン部上を移動し得る移動部とを備えた
サーフェイスモータの脱調自動復帰装置において、前記
直交する座標軸のうちいずれか一方の座標軸に平行に支
持された矯正バーと、前記一方の座標軸に平行な基準軸
に沿って設けたストッパと、前記矯正バーを前記基準軸
の方向に平行移動させ得るリニアアクチュエータとを備
え、前記移動部が脱調状態のとき、前記移動部を前記矯
正バーにより移動させるようにしたことを特徴とするサ
ーフェイスモータの脱調自動復帰装置。 - 【請求項２】 前記リニアアクチュエータが、前記一方
の座標軸に直交する座標軸に沿って設けたネジと、前記
ネジを駆動するモータと、前記ネジに噛み合うナット部
からなる請求項１記載のサーフェイスモータの脱調自動
復帰装置。 - 【請求項３】 前記リニアアクチュエータが、前記プラ
テン部上を移動し得るリニアステップモータからなる請
求項１記載のサーフェイスモータの脱調自動復帰装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7191124A JPH0923689A (ja) | 1995-07-03 | 1995-07-03 | サーフェイスモータの脱調自動復帰装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7191124A JPH0923689A (ja) | 1995-07-03 | 1995-07-03 | サーフェイスモータの脱調自動復帰装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0923689A true JPH0923689A (ja) | 1997-01-21 |
Family
ID=16269273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7191124A Pending JPH0923689A (ja) | 1995-07-03 | 1995-07-03 | サーフェイスモータの脱調自動復帰装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0923689A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6998738B2 (en) | 2002-10-18 | 2006-02-14 | Ushio Denki Kabushiki Kaisha | Plain surface stage apparatus |
| JP2008145140A (ja) * | 2006-12-06 | 2008-06-26 | Ushio Inc | 磁束センサおよび磁束センサを備えた平面ステージ |
| US8552609B2 (en) | 2009-08-06 | 2013-10-08 | Panasonic Corporation | Synchronous motor and system for driving synchronous motor |
-
1995
- 1995-07-03 JP JP7191124A patent/JPH0923689A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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