JPH09236510A - 偏光板の検査方法および偏光板検査装置 - Google Patents
偏光板の検査方法および偏光板検査装置Info
- Publication number
- JPH09236510A JPH09236510A JP4458496A JP4458496A JPH09236510A JP H09236510 A JPH09236510 A JP H09236510A JP 4458496 A JP4458496 A JP 4458496A JP 4458496 A JP4458496 A JP 4458496A JP H09236510 A JPH09236510 A JP H09236510A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polarizing plate
- inspected
- polarization
- plate
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 標準偏光板または被検査偏光板を回転させる
ことなく、すべての偏光軸の光に対する偏光板の欠陥が
検出できる検査方法および検査装置を提供する。 【解決手段】 光源１と被検査偏光板３の間に、偏光軸
４ａが偏光板の右端から左端に向かって１８０度回転し
連続的に変化するよう構成された標準偏光板２を配置す
る。被検査偏光板３を標準偏光板２と平行に設置し、標
準偏光板２の右端から左端に向かって直線的に移動させ
ると、被検査偏光板３には偏光軸が連続的に変化する光
が照射され、すべての偏光軸の方向に対する完全な検査
が可能である。欠陥の検出は、被検査偏光板３からの最
終的な透過光を目視したり、または受光センサ等の光検
出装置によって透過光の強度の面内分布を測定する。こ
の方法によれば、ロール状の長い偏光板の欠陥検査も容
易に行うことができる。
ことなく、すべての偏光軸の光に対する偏光板の欠陥が
検出できる検査方法および検査装置を提供する。 【解決手段】 光源１と被検査偏光板３の間に、偏光軸
４ａが偏光板の右端から左端に向かって１８０度回転し
連続的に変化するよう構成された標準偏光板２を配置す
る。被検査偏光板３を標準偏光板２と平行に設置し、標
準偏光板２の右端から左端に向かって直線的に移動させ
ると、被検査偏光板３には偏光軸が連続的に変化する光
が照射され、すべての偏光軸の方向に対する完全な検査
が可能である。欠陥の検出は、被検査偏光板３からの最
終的な透過光を目視したり、または受光センサ等の光検
出装置によって透過光の強度の面内分布を測定する。こ
の方法によれば、ロール状の長い偏光板の欠陥検査も容
易に行うことができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、偏光板の欠陥を
検出する検査方法および検査装置に関するものである。
検出する検査方法および検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４は、例えば偏光板の簡便な検査方法
として従来用いられてきた方法を示す図である。図にお
いて１は光源、２は欠陥を有しない標準偏光板、３は標
準偏光板２とお互いの面が平行、または重なるように設
置された被検査偏光板、４ａは標準偏光板２の偏光軸、
４ｂは被検査偏光板３の偏光軸である。
として従来用いられてきた方法を示す図である。図にお
いて１は光源、２は欠陥を有しない標準偏光板、３は標
準偏光板２とお互いの面が平行、または重なるように設
置された被検査偏光板、４ａは標準偏光板２の偏光軸、
４ｂは被検査偏光板３の偏光軸である。
【０００３】次に動作について説明する。光源１から発
生した光のうち、標準偏光板２の偏光軸４ａに一致した
光だけが標準偏光板２を透過する。透過後の偏光軸がそ
ろった光は、被検査偏光板３に入射する。この時、被検
査偏光板３の偏光軸４ｂを、標準偏光板２の偏光軸４ａ
に一致させて設置すると、被検査偏光板３に入射した光
は、そのまま透過する。次いで、被検査偏光板３の偏光
軸４ｂと、標準偏光板２の偏光軸４ａに角度を持たせる
と、被検査偏光板３に入射した光は透過せず遮断され
る。この現象を利用して、被検査偏光板３の偏光軸４ｂ
を、標準偏光板２の偏光軸４ａとそろえて設置したり、
あるいは角度を持たせて設置し、そのときの透過光を検
出する。検出方法としては、被検査偏光板３からの最終
的な透過光を目視し、光が偏光軸の状態により遮断され
たり一様に透過したりする様子を観察することにより、
被検査偏光板３の欠陥の有無が検査できる。また、目視
の代わりに検出器を用いて被検査偏光板３を透過する光
の強度を測定し、面内のばらつきを調べることにより、
より精度の高い欠陥検出が可能となる。
生した光のうち、標準偏光板２の偏光軸４ａに一致した
光だけが標準偏光板２を透過する。透過後の偏光軸がそ
ろった光は、被検査偏光板３に入射する。この時、被検
査偏光板３の偏光軸４ｂを、標準偏光板２の偏光軸４ａ
に一致させて設置すると、被検査偏光板３に入射した光
は、そのまま透過する。次いで、被検査偏光板３の偏光
軸４ｂと、標準偏光板２の偏光軸４ａに角度を持たせる
と、被検査偏光板３に入射した光は透過せず遮断され
る。この現象を利用して、被検査偏光板３の偏光軸４ｂ
を、標準偏光板２の偏光軸４ａとそろえて設置したり、
あるいは角度を持たせて設置し、そのときの透過光を検
出する。検出方法としては、被検査偏光板３からの最終
的な透過光を目視し、光が偏光軸の状態により遮断され
たり一様に透過したりする様子を観察することにより、
被検査偏光板３の欠陥の有無が検査できる。また、目視
の代わりに検出器を用いて被検査偏光板３を透過する光
の強度を測定し、面内のばらつきを調べることにより、
より精度の高い欠陥検出が可能となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の偏光板の検査は
以上のような方法で行われていたので、被検査偏光板３
の欠陥検査は、ある限られた角度の偏光軸を持つ光のみ
で行われており、角度を連続的に変化させた完全な検査
を行うことが困難であった。また、偏光軸の角度を連続
的に変化させるためには、被検査偏光板３または標準偏
光板２を回転させる方法があるが、光学系、回転駆動系
が複雑になるという問題や、長いロール状の偏光板の連
続検査に適用できないという問題があった。
以上のような方法で行われていたので、被検査偏光板３
の欠陥検査は、ある限られた角度の偏光軸を持つ光のみ
で行われており、角度を連続的に変化させた完全な検査
を行うことが困難であった。また、偏光軸の角度を連続
的に変化させるためには、被検査偏光板３または標準偏
光板２を回転させる方法があるが、光学系、回転駆動系
が複雑になるという問題や、長いロール状の偏光板の連
続検査に適用できないという問題があった。
【０００５】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、標準偏光板２または被検査偏光
板３を回転させることなく、すべての偏光軸の光に対す
る被検査偏光板３の欠陥が検出できる検査方法および検
査装置を提供することを目的とする。また、長いロール
状偏光板の欠陥の検出を容易に行える検査方法および検
査装置を提供することを目的とする。
ためになされたもので、標準偏光板２または被検査偏光
板３を回転させることなく、すべての偏光軸の光に対す
る被検査偏光板３の欠陥が検出できる検査方法および検
査装置を提供することを目的とする。また、長いロール
状偏光板の欠陥の検出を容易に行える検査方法および検
査装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明に係わる偏光板
の検査方法は、光源、一端から他端に向かって偏光軸が
１８０度回転し全ての方向の偏光軸を有する標準偏光板
および被検査偏光板をこの順に配設し、被検査偏光板を
標準偏光板の一端から他端に向かって移動させながら、
光源より照射され標準偏光板を透過し偏光軸が連続的に
変化している光を被検査偏光板に照射し、このときの被
検査偏光板からの透過光を観察することにより、すべて
の偏光軸の光に対する被検査偏光板の欠陥を検出するも
のである。また、被検査偏光板からの透過光を、光検出
装置により検出するものである。また、光検出装置は、
被検査偏光板の透過光強度の面内分布を測定し、この測
定値が一定の値未満であれば良品、一定の値以上であれ
ば欠陥品とするものである。さらに、被検査偏光板とし
て、ロール状偏光板を用いるものである。
の検査方法は、光源、一端から他端に向かって偏光軸が
１８０度回転し全ての方向の偏光軸を有する標準偏光板
および被検査偏光板をこの順に配設し、被検査偏光板を
標準偏光板の一端から他端に向かって移動させながら、
光源より照射され標準偏光板を透過し偏光軸が連続的に
変化している光を被検査偏光板に照射し、このときの被
検査偏光板からの透過光を観察することにより、すべて
の偏光軸の光に対する被検査偏光板の欠陥を検出するも
のである。また、被検査偏光板からの透過光を、光検出
装置により検出するものである。また、光検出装置は、
被検査偏光板の透過光強度の面内分布を測定し、この測
定値が一定の値未満であれば良品、一定の値以上であれ
ば欠陥品とするものである。さらに、被検査偏光板とし
て、ロール状偏光板を用いるものである。
【０００７】また、この発明に係わる偏光板の検査装置
は、光源と被検査偏光板との間に配設され、一端から他
端に向かって偏光軸が１８０度回転し全ての方向の偏光
軸を有する標準偏光板と、被検査偏光板を透過した光を
受光する光検出部と、被検査偏光板を標準偏光板の一端
から他端まで移動させる搬送機構を備えたものである。
また、光検出部として、ＣＣＤカメラおよび画像処理装
置を用いるものである。
は、光源と被検査偏光板との間に配設され、一端から他
端に向かって偏光軸が１８０度回転し全ての方向の偏光
軸を有する標準偏光板と、被検査偏光板を透過した光を
受光する光検出部と、被検査偏光板を標準偏光板の一端
から他端まで移動させる搬送機構を備えたものである。
また、光検出部として、ＣＣＤカメラおよび画像処理装
置を用いるものである。
【０００８】
実施の形態１．以下、この発明の実施の形態１を図につ
いて説明する。図１は、本発明による偏光板の検査方法
を示す図である。図において、１は面光源等の光源、２
は欠陥を有しない標準偏光板、３は被検査偏光板、４ａ
は標準偏光板２の偏光軸、４ｂは被検査偏光板３の偏光
軸をそれぞれ示す。標準偏光板２の偏光軸４ａは、偏光
板の右端から左端に向かって１８０度回転し、連続的に
変化するよう構成されている。
いて説明する。図１は、本発明による偏光板の検査方法
を示す図である。図において、１は面光源等の光源、２
は欠陥を有しない標準偏光板、３は被検査偏光板、４ａ
は標準偏光板２の偏光軸、４ｂは被検査偏光板３の偏光
軸をそれぞれ示す。標準偏光板２の偏光軸４ａは、偏光
板の右端から左端に向かって１８０度回転し、連続的に
変化するよう構成されている。
【０００９】次に、動作について説明する。光源１から
発生した光は、標準偏光板２を透過する。この時、透過
光の偏光軸は、標準偏光板２の右端部で透過した光を基
準に考えると、左に向かうとともに１８０度回転し、連
続的に変化している。従って、被検査偏光板３を標準偏
光板２に重ね合わせ、またはそれぞれの面を平行に設置
し、標準偏光板２の例えば右端から左端に向かって直線
的に移動させると、被検査偏光板３には偏光軸が連続的
に変化する光が照射され、すべての偏光軸の方向に対す
る完全な検査が行われる。
発生した光は、標準偏光板２を透過する。この時、透過
光の偏光軸は、標準偏光板２の右端部で透過した光を基
準に考えると、左に向かうとともに１８０度回転し、連
続的に変化している。従って、被検査偏光板３を標準偏
光板２に重ね合わせ、またはそれぞれの面を平行に設置
し、標準偏光板２の例えば右端から左端に向かって直線
的に移動させると、被検査偏光板３には偏光軸が連続的
に変化する光が照射され、すべての偏光軸の方向に対す
る完全な検査が行われる。
【００１０】欠陥検出の方法としては、被検査偏光板３
を右から左へ移動させながら、透過光を目視して欠陥を
検出する方法や、さらに精度の高い検査を行うためには
透過光の強度の面内分布を受光センサ等により測定する
方法がある。被検査偏光板３に欠陥が無い場合には、標
準偏光板２の偏光軸４ａと被検査偏光板３の偏光軸４ｂ
がそろっている場合のみ光源１からの光を透過し、その
透過光は目視あるいは受光センサにより確認される。次
いで被検査偏光板３を直線的に移動させ、標準偏光板２
の偏光軸４ａと被検査偏光板３の偏光軸４ｂが角度を持
つようになると、光源１から標準偏光板２を透過した光
は被検査偏光板３を透過せず、目視あるいは受光センサ
により確認されない。ところが、被検査偏光板３に欠陥
がある場合、標準偏光板２の偏光軸４ａと被検査偏光板
３の偏光軸４ｂが角度を持っている場合においても欠陥
部より光を透過してしまい、目視あるいは受光センサ等
により検出される。
を右から左へ移動させながら、透過光を目視して欠陥を
検出する方法や、さらに精度の高い検査を行うためには
透過光の強度の面内分布を受光センサ等により測定する
方法がある。被検査偏光板３に欠陥が無い場合には、標
準偏光板２の偏光軸４ａと被検査偏光板３の偏光軸４ｂ
がそろっている場合のみ光源１からの光を透過し、その
透過光は目視あるいは受光センサにより確認される。次
いで被検査偏光板３を直線的に移動させ、標準偏光板２
の偏光軸４ａと被検査偏光板３の偏光軸４ｂが角度を持
つようになると、光源１から標準偏光板２を透過した光
は被検査偏光板３を透過せず、目視あるいは受光センサ
により確認されない。ところが、被検査偏光板３に欠陥
がある場合、標準偏光板２の偏光軸４ａと被検査偏光板
３の偏光軸４ｂが角度を持っている場合においても欠陥
部より光を透過してしまい、目視あるいは受光センサ等
により検出される。
【００１１】図２は、本実施の形態による偏光板の検査
方法を用いた偏光板の欠陥検査装置の構成を示す概略図
である。図において、５は被検査偏光板３の透過光を検
出する光検出部であり、例えばＣＣＤカメラおよび画像
処理装置、６は被検査偏光板３と光検出部５を標準偏光
板２と平行に直線的に移動させるための搬送装置であ
る。光検出部５は、被検査偏光板３の微少な欠陥を漏れ
なく検出し、目視による検査に比べ精度の高い検査を行
うことが可能である。本検査装置では、光検出部５を被
検査偏光板３と同じ搬送装置６に搭載し、被検査偏光板
３からの透過光を受光させ、画像処理装置等により被検
査偏光板３の透過光の面内分布測定を行うものである。
このように構成された偏光板検査装置では、被検査偏光
板３の透過光の面内分布が所定の値内であれば良品、所
定の値を超えた場合には欠陥品として分別し、精度の高
い偏光板の欠陥検査を自動で行うことができる。さら
に、偏光軸の角度を連続的に変化させるために、被検査
偏光板３または標準偏光板２を回転させる従来の方法で
は、光学系、回転駆動系が複雑になるという問題があっ
たが、本装置は被検査偏光板３を直線的に移動させるだ
けで良いので、非常に単純な構成で、安価に作製するこ
とができる。
方法を用いた偏光板の欠陥検査装置の構成を示す概略図
である。図において、５は被検査偏光板３の透過光を検
出する光検出部であり、例えばＣＣＤカメラおよび画像
処理装置、６は被検査偏光板３と光検出部５を標準偏光
板２と平行に直線的に移動させるための搬送装置であ
る。光検出部５は、被検査偏光板３の微少な欠陥を漏れ
なく検出し、目視による検査に比べ精度の高い検査を行
うことが可能である。本検査装置では、光検出部５を被
検査偏光板３と同じ搬送装置６に搭載し、被検査偏光板
３からの透過光を受光させ、画像処理装置等により被検
査偏光板３の透過光の面内分布測定を行うものである。
このように構成された偏光板検査装置では、被検査偏光
板３の透過光の面内分布が所定の値内であれば良品、所
定の値を超えた場合には欠陥品として分別し、精度の高
い偏光板の欠陥検査を自動で行うことができる。さら
に、偏光軸の角度を連続的に変化させるために、被検査
偏光板３または標準偏光板２を回転させる従来の方法で
は、光学系、回転駆動系が複雑になるという問題があっ
たが、本装置は被検査偏光板３を直線的に移動させるだ
けで良いので、非常に単純な構成で、安価に作製するこ
とができる。
【００１２】以上のように、本実施の形態の偏光板の検
査方法および検査装置によれば、標準偏光板２の一端か
ら他端に向かって偏光軸を１８０度回転させ連続的に変
化させたので、被検査偏光板３を直線的に移動するだけ
の簡単な検出系で、すべての方向の偏光軸の光に対する
精度の高い欠陥の検出を容易に行うことができる。ま
た、本実施の形態では、標準偏光板２を固定し、被検査
偏光板３を移動させたが、この逆であっても同様の効果
が得られる。
査方法および検査装置によれば、標準偏光板２の一端か
ら他端に向かって偏光軸を１８０度回転させ連続的に変
化させたので、被検査偏光板３を直線的に移動するだけ
の簡単な検出系で、すべての方向の偏光軸の光に対する
精度の高い欠陥の検出を容易に行うことができる。ま
た、本実施の形態では、標準偏光板２を固定し、被検査
偏光板３を移動させたが、この逆であっても同様の効果
が得られる。
【００１３】実施の形態２．上記実施の形態１では、被
検査偏光板が矩形の場合について示したが、本発明の偏
光板の検査方法によれば、被検査偏光板がロール状のよ
うな長いものであっても、すべての偏光軸の光による完
全な検査を行うことができる。図３は、本発明の実施の
形態２であるロール状の被検査偏光板３１の欠陥を検出
する検査方法を示す図である。図において、１は面光源
等の光源、２は欠陥を有しない標準偏光板、３１はロー
ル状の被検査偏光板、４ａは標準偏光板２の偏光軸、４
ｂは被検査偏光板３１の偏光軸をそれぞれ示す。標準偏
光板２の偏光軸４ａは、偏光板の右端から左端に向かっ
て１８０度回転し、連続的に変化するよう構成されてい
る。
検査偏光板が矩形の場合について示したが、本発明の偏
光板の検査方法によれば、被検査偏光板がロール状のよ
うな長いものであっても、すべての偏光軸の光による完
全な検査を行うことができる。図３は、本発明の実施の
形態２であるロール状の被検査偏光板３１の欠陥を検出
する検査方法を示す図である。図において、１は面光源
等の光源、２は欠陥を有しない標準偏光板、３１はロー
ル状の被検査偏光板、４ａは標準偏光板２の偏光軸、４
ｂは被検査偏光板３１の偏光軸をそれぞれ示す。標準偏
光板２の偏光軸４ａは、偏光板の右端から左端に向かっ
て１８０度回転し、連続的に変化するよう構成されてい
る。
【００１４】次に、動作について説明する。光源１から
発生した光は、標準偏光板２を透過する。この時、透過
光の偏光軸は、標準偏光板２の右端部で透過した光を基
準に考えると、左に向かうとともに回転し、連続的に変
化している。従って、被検査偏光板３１を標準偏光板２
に平行に設置し、標準偏光板２の例えば右端から左端に
向かって直線的に移動させると、被検査偏光板３１には
偏光軸が連続的に変化する光が照射され、すべての偏光
軸の方向に対する完全な検査が可能である。欠陥検出の
方法としては、被検査偏光板３１を右から左へ移動させ
ながら、透過光を目視して欠陥を検出する方法や、さら
に精度の高い検査を行うためには透過光の強度の面内分
布を受光センサ等により測定する。
発生した光は、標準偏光板２を透過する。この時、透過
光の偏光軸は、標準偏光板２の右端部で透過した光を基
準に考えると、左に向かうとともに回転し、連続的に変
化している。従って、被検査偏光板３１を標準偏光板２
に平行に設置し、標準偏光板２の例えば右端から左端に
向かって直線的に移動させると、被検査偏光板３１には
偏光軸が連続的に変化する光が照射され、すべての偏光
軸の方向に対する完全な検査が可能である。欠陥検出の
方法としては、被検査偏光板３１を右から左へ移動させ
ながら、透過光を目視して欠陥を検出する方法や、さら
に精度の高い検査を行うためには透過光の強度の面内分
布を受光センサ等により測定する。
【００１５】標準偏光板あるいは被検査偏光板を回転さ
せて偏光軸を変化させる従来の検査方法では、ロール状
の長い偏光板３１の検査を行うのが困難であったが、本
実施の形態によれば、被検査偏光板３１を直線的に移動
させるという簡単な検査方法であるので、ロール状やそ
の他の複雑な形状の偏光板にも容易に適用することがで
きる。
せて偏光軸を変化させる従来の検査方法では、ロール状
の長い偏光板３１の検査を行うのが困難であったが、本
実施の形態によれば、被検査偏光板３１を直線的に移動
させるという簡単な検査方法であるので、ロール状やそ
の他の複雑な形状の偏光板にも容易に適用することがで
きる。
【図１】 この発明の実施の形態１である偏光板の欠陥
を検出するための検査方法を示す図である。
を検出するための検査方法を示す図である。
【図２】 この発明の実施の形態１である偏光板の欠陥
を検出するための検査装置を示す図である。
を検出するための検査装置を示す図である。
【図３】 この発明の実施の形態２であるロール状偏光
板の欠陥を検出するための検査方法を示す図である。
板の欠陥を検出するための検査方法を示す図である。
【図４】 従来の偏光板の欠陥を検出するための検査方
法を示す図である。
法を示す図である。
１ 光源、２ 標準偏光板、３ 被検査偏光板、４ａ
標準偏光板の偏光軸、４ｂ 被検査偏光板の偏光軸、５
光検出部、６ 搬送装置、３１ ロール状被検査偏光
板。
標準偏光板の偏光軸、４ｂ 被検査偏光板の偏光軸、５
光検出部、６ 搬送装置、３１ ロール状被検査偏光
板。
Claims (6)
- 【請求項１】 光源、一端から他端に向かって偏光軸が
１８０度回転し全ての方向の偏光軸を有する標準偏光板
および被検査偏光板をこの順に配設し、上記被検査偏光
板を上記標準偏光板の一端から他端に向かって移動させ
ながら、上記光源より照射され上記標準偏光板を透過
し、偏光軸が連続的に変化している光を上記被検査偏光
板に照射し、このときの被検査偏光板からの透過光を観
察することにより、すべての偏光軸の光に対する被検査
偏光板の欠陥を検出することを特徴とする偏光板の検査
方法。 - 【請求項２】 被検査偏光板からの透過光を、光検出装
置により検出することを特徴とする請求項１記載の偏光
板の検査方法。 - 【請求項３】 光検出装置は、被検査偏光板の透過光強
度の面内分布を測定し、この測定値が一定の値未満であ
れば良品、一定の値以上であれば欠陥品とすることを特
徴とする請求項２記載の偏光板の検査方法。 - 【請求項４】 被検査偏光板は、ロール状偏光板である
ことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか一項記
載の偏光板の検査方法。 - 【請求項５】 光源と被検査偏光板との間に配設され、
一端から他端に向かって偏光軸が１８０度回転し全ての
方向の偏光軸を有する標準偏光板、上記被検査偏光板を
透過した光を受光する光検出部、上記被検査偏光板を上
記標準偏光板の一端から他端まで移動させる搬送機構を
備えたことを特徴とする偏光板の検査装置。 - 【請求項６】 光検出部は、ＣＣＤカメラおよび画像処
理装置であることを特徴とする請求項５記載の偏光板の
検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4458496A JPH09236510A (ja) | 1996-03-01 | 1996-03-01 | 偏光板の検査方法および偏光板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4458496A JPH09236510A (ja) | 1996-03-01 | 1996-03-01 | 偏光板の検査方法および偏光板検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09236510A true JPH09236510A (ja) | 1997-09-09 |
Family
ID=12695543
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4458496A Pending JPH09236510A (ja) | 1996-03-01 | 1996-03-01 | 偏光板の検査方法および偏光板検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09236510A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016212274A (ja) * | 2015-05-11 | 2016-12-15 | 株式会社クラレ | 偏光フィルムの検査方法 |
-
1996
- 1996-03-01 JP JP4458496A patent/JPH09236510A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016212274A (ja) * | 2015-05-11 | 2016-12-15 | 株式会社クラレ | 偏光フィルムの検査方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6366690B1 (en) | Pixel based machine for patterned wafers | |
| US9140545B2 (en) | Object inspection system | |
| US7643139B2 (en) | Method and apparatus for detecting defects | |
| JPH03267745A (ja) | 表面性状検出方法 | |
| JP4638864B2 (ja) | 試料表面の欠陥検査装置 | |
| TW201435331A (zh) | 缺陷檢查裝置及缺陷檢查方法 | |
| PL189617B1 (pl) | Sposób i urządzenie do optycznej kontroli przezroczystego pojemnika szklanego, zwłaszcza butelki | |
| JP2008175565A (ja) | 光透過性部材の欠陥検出装置及び方法 | |
| US20130107249A1 (en) | Container Inspection Apparatus and Method | |
| WO2011115256A1 (ja) | タイヤの外観検査方法および外観検査装置 | |
| CA2628649C (en) | Apparatus and method for ensuring rotation of a container during inspection | |
| JP3494762B2 (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| US7342654B2 (en) | Detection of impurities in cylindrically shaped transparent media | |
| JP2000028546A (ja) | 光学補償フィルムの欠陥検査方法及び装置 | |
| JP2006242828A (ja) | 表面欠陥検出装置 | |
| JPH09236510A (ja) | 偏光板の検査方法および偏光板検査装置 | |
| US20150014542A1 (en) | Method For Detecting Buried Layers | |
| US6236056B1 (en) | Defect evaluation apparatus for evaluating defects and shape information thereof in an object or on the surface of an object | |
| KR101146922B1 (ko) | 웨이퍼 검사용 광학 검출모듈 | |
| TWI608227B (zh) | 光學表面掃描系統及方法 | |
| JPH09159621A (ja) | 表面検査装置 | |
| JPH06129539A (ja) | Ｏリング検査方法 | |
| JP2008241469A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JP2002214155A (ja) | 被検査物の欠陥検査装置 | |
| JPH07294455A (ja) | 表面疵の検出方法およびその装置 |