JPH09208020A - 坩堝の運搬用治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 単結晶原料２２が充填された坩堝２１を人力
で直接的に把持・運搬しており、坩堝２１が滑り易いの
で持ち難く、落とす危険があると共に、多くの労力を必
要とするという問題があった。また最近、坩堝２１の大
形化、及びこれに伴う重量増が予想されており、この問
題を早急に解決する必要があった。 【解決手段】 スリット１２を有し、フッ素樹脂等の弾
性材料を用いて形成されたリング形状の治具本体１１
と、スリット１２近傍に形成された継ぎ手部１３と、継
ぎ手部１３を締め付ける締め付け手段１４と、治具本体
１１に形成された把持部１５とを備えている坩堝の運搬
用治具１０。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は坩堝の運搬用治具に
関し、より詳細には単結晶引き上げの際等に使用される
坩堝の運搬用治具に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般的に単結晶引き上げ装置は、チャン
バーと、該チャンバー内に配設された坩堝の支持軸と、
該支持軸上に取り付けられた略有底円筒形状の坩堝と、
該坩堝の周囲に配設されたヒータと、前記坩堝上方に吊
設された引き上げ軸等とを含んで構成されている。この
ように構成された単結晶引き上げ装置を用いて単結晶を
引上げる場合、別の場所において前記坩堝内に所定の単
結晶原料を所定量充填した後、これを人力により把持し
て前記単結晶引き上げ装置まで運搬し、前記支持軸上に
取り付ける。次に前記チャンバを組み立て、前記チャン
バ内の圧力を所定の真空度に設定した後、前記ヒータに
より前記坩堝を加熱して前記単結晶原料を溶解し、その
溶融液を所定温度に制御・維持する。次に前記引き上げ
軸の下端部に取り付けられた種結晶を前記溶融液に接触
させ、前記坩堝を回転させつつ前記引き上げ軸を回転さ
せながら所定速度で引き上げると、前記溶融液が凝固・
成長して単結晶が引き上げられる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来の坩堝の
運搬方法においては、上述したように単結晶原料が充填
された坩堝を人力で直接的に把持・運搬しており、前記
坩堝が滑り易いので持ち難く、落とす危険があると共
に、多くの労力を必要とするという問題があった。また
最近、より大径化された単結晶に関する需要が高まり、
前記坩堝の大形化、及びこれに伴う重量増が予想されて
おり、上記問題を早急に解決する必要があるという課題
があった。

【０００４】本発明は上記課題に鑑みなされたものであ
り、坩堝を確実に把持して人力でも安全に運搬すること
ができると共に、吊具を装着すると、機械力を用いて容
易に運搬することができる坩堝の運搬用治具を提供する
ことを目的としている。

【０００５】

【課題を解決するための手段及びその効果】上記目的を
達成するために本発明に係る坩堝の運搬用治具は、弾性
材料を用いて形成された少なくとも１つのスリットを有
するリング形状の治具本体と、前記スリット近傍に形成
された継ぎ手部と、該継ぎ手部を締め付ける締め付け手
段と、前記治具本体に形成された把持部とを備えている
ことを特徴としている。

【０００６】上記した坩堝の運搬用治具によれば、前記
締め付け手段を締め付けると、この締め付け力により前
記継ぎ手部を介して前記スリットが押し縮められ、前記
治具本体の内周面が前記坩堝の外周面に密接して該坩堝
と前記治具本体とが確実に一体化される。そして前記把
持部を掴んで持ち上げると、前記坩堝とこの内部に充填
された単結晶原料とを人力により安全に運搬することが
できると共に、前記把持部に吊具を装着して用いると、
機械力を利用してこれらを容易に運搬することができ
る。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る坩堝の運搬用
治具の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は実
施の形態１に係る坩堝の運搬用治具を概略的に示した斜
視図であり、図中２１は坩堝を示している。坩堝２１は
例えば石英材料を用いて略有底円筒形状に形成されてお
り、坩堝２１内には所定量の単結晶原料２２が充填され
ている。一方、坩堝２１の外周には治具本体１１が配設
され、治具本体１１は弾性を有する例えばフッ素樹脂材
料を用いて略リング形状に形成されている。治具本体１
１の内周面１１ａには例えばローレット加工が施されて
おり、締め付け手段１４を用いて治具本体１１を締め付
けた際、このローレット加工により形成された凹凸部
（図示せず）と坩堝２１の外周面との間に大きな摩擦力
が生じ、治具本体１１と坩堝２１とが滑ることなく一体
化され易いようになっている。また治具本体１１には例
えば１つのスリット１２が形成され、スリット１２近傍
の治具本体１１端部からは略直方体板形状の継ぎ手部１
３がそれぞれ延設されている。各継ぎ手部１３の所定箇
所には孔１３ａが形成され、孔１３ａ内にはボルト１４
ａが挿通され、ボルト１４ａ端部にはワッシャ１４ｂを
介してナット１４ｃが螺合されている。これらボルト１
４ａ、ナット１４ｃ等を含んで締め付け手段１４が構成
されている。また治具本体１１における坩堝２１を挟ん
で対向する所定箇所には、長孔１５ａがそれぞれ形成さ
れており、この長孔１５ａとその近傍の治具本体１１部
分とを含んで把持部１５が構成されている。これら治具
本体１１、スリット１２、継ぎ手部１３、締め付け手段
１４、把持部１５等を含んで運搬用治具１０が構成され
ている。

【０００８】このように構成された運搬用治具１０の場
合、坩堝２１上部に治具本体１１を挿入した後、孔１３
ａにボルト１４ａを挿通し、ボルト１４ａにナット１４
ｃを螺合させて締め付ける。そして長孔１５ａに指を通
して把持部１５を把持すると、坩堝２１及び単結晶原料
２２を容易に持ち上げ・運搬することができる。あるい
は把持部１５にワイヤ吊具を装着すると、クレーン（共
に図示せず）等の機械力を利用して持ち上げ・運搬する
ことができる。

【０００９】上記説明から明らかなように、実施の形態
１に係る坩堝の運搬用治具１０では、締め付け手段１４
を締め付けると、この締め付け力により継ぎ手部１３を
介してスリット１２が押し縮められ、治具本体１１の内
周面１１ａが坩堝２１の外周面に密接して坩堝２１と治
具本体１１とが確実に一体化される。そして把持部１５
を掴んで持ち上げると、坩堝２１とこの内部に充填され
た単結晶原料２２とを人力により安全に運搬することが
できると共に、把持部１５に吊具を装着して用いると、
機械力を利用してもこれらを容易に運搬することができ
る。

【００１０】図２は実施の形態２に係る坩堝の運搬用治
具を概略的に示した側面図であり、図中３１は図１に示
したものと略同様の治具本体を示している。治具本体３
１における坩堝２１を挟んで対向する所定箇所には、略
逆Ｕ字形状の把持部３５がそれぞれ形成されている。ま
た治具本体３１の内周面３１ａにはフッ素樹脂等を用い
て形成された略リング形状の軟質部材３６が貼着されて
おり、締め付け手段１４を用いて治具本体３１を締め付
けた際、この軟質部材３６と坩堝２１の外周面との間に
大きな摩擦力が生じ、治具本体３１と坩堝２１とが滑る
ことなく一体化され易いようになっている。その他の構
成は図１に示したものと同様であるので、ここではその
構成の詳細な説明は省略することとする。これら治具本
体３１、把持部３５、スリット１２、継ぎ手部１３、締
め付け手段１４等を含んで運搬用治具３０が構成されて
いる。

【００１１】上記説明から明らかなように、実施の形態
２に係る坩堝の運搬用治具３０では、図１に示したもの
と略同様の効果を得ることができる。

【００１２】なお、上記した実施の形態１、２では、い
ずれも１個のスリット１２が形成されている場合につい
て説明したが、別の実施の形態のものではスリット１２
が２個以上形成されていてもよい。

【００１３】また、上記実施の形態１、２では、治具本
体１１、３１がテフロン材料を用いて形成された場合に
ついて説明したが、何らテフロン材料に限定されるもの
ではなく、所定の強度を有する弾性材料であれば、いか
なるものであって使用可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る坩堝の運搬用治具の実施の形態１
を概略的に示した斜視図である。

【図２】実施例の形態２に係る坩堝の運搬用治具を概略
的に示した側面図である。

【符号の説明】

１０ 坩堝の運搬用治具 １１ 治具本体 １２ スリット １３ 継ぎ手部 １４ 締め付け手段 １５ 把持部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 弾性材料を用いて形成された少なくとも
   １つのスリットを有するリング形状の治具本体と、前記
   スリット近傍に形成された継ぎ手部と、該継ぎ手部を締
   め付ける締め付け手段と、前記治具本体に形成された把
   持部とを備えていることを特徴とする坩堝の運搬用治
   具。