JPH09205764A - 単相リニアモータ - Google Patents
単相リニアモータInfo
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- JPH09205764A JPH09205764A JP8029998A JP2999896A JPH09205764A JP H09205764 A JPH09205764 A JP H09205764A JP 8029998 A JP8029998 A JP 8029998A JP 2999896 A JP2999896 A JP 2999896A JP H09205764 A JPH09205764 A JP H09205764A
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- Japan
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- magnet
- holding frame
- linear motor
- movable magnet
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁力の低減や可動磁石保持枠の厚みの増加が
ない可動磁石ユニットを用いた単相リニアモータを提供
する。 【構成】 上ヨーク、上ヨークに巻かれた単相コイル、
上ヨークに対向して下部に配置した下ヨークから成る固
定子と、固定子の上ヨークと下ヨークの間に配置されこ
れらに沿って移動する可動子である可動磁石ユニットと
から成る単相リニアモータにおいて、可動磁石ユニット
は、磁石と磁石を保持する可動磁石保持枠とから成り、
可動磁石保持枠は吸引防止するためのストッパを有し、
磁石は可動磁石保持枠と同一の厚みを有しかつ可動磁石
保持枠のストッパと係合するために可動磁石保持枠のス
トッパの形状の補完形状の部分を有する。
ない可動磁石ユニットを用いた単相リニアモータを提供
する。 【構成】 上ヨーク、上ヨークに巻かれた単相コイル、
上ヨークに対向して下部に配置した下ヨークから成る固
定子と、固定子の上ヨークと下ヨークの間に配置されこ
れらに沿って移動する可動子である可動磁石ユニットと
から成る単相リニアモータにおいて、可動磁石ユニット
は、磁石と磁石を保持する可動磁石保持枠とから成り、
可動磁石保持枠は吸引防止するためのストッパを有し、
磁石は可動磁石保持枠と同一の厚みを有しかつ可動磁石
保持枠のストッパと係合するために可動磁石保持枠のス
トッパの形状の補完形状の部分を有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、単相リニアモータに関
し、特に、上ヨーク、上ヨークに巻かれた単相コイル、
上ヨークに対向して下部に配置した下ヨークから成る固
定子と、該固定子の上ヨークと下ヨークの間に配置され
これらに沿って移動する可動子である可動磁石ユニット
（磁石及び磁石を保持する磁石保持枠）とから成る単相
リニアモータに関する。
し、特に、上ヨーク、上ヨークに巻かれた単相コイル、
上ヨークに対向して下部に配置した下ヨークから成る固
定子と、該固定子の上ヨークと下ヨークの間に配置され
これらに沿って移動する可動子である可動磁石ユニット
（磁石及び磁石を保持する磁石保持枠）とから成る単相
リニアモータに関する。
【０００２】
【従来の技術】図７は、一部を分解して示す従来例の単
相リニアモータの斜視図である。図７において、従来例
の単相リニアモータ１０は、以下のように構成されてい
る。ステージベース（図示せず）上にガイド１２が固定
されており、ガイド１２上には空気膜等の潤滑手段を介
してステージ１４が走査方向に摺動自在に支持されてい
る。このステージ１４の両側には可動磁石保持枠１６が
固定されており、保持枠内には、詳細には後述するよう
に、磁石３０が保持されており、磁石および可動磁石保
持枠で可動磁石ユニットを構成している。各磁石３０に
対応する各固定子として、ステージの全ストロークにわ
たる上ヨーク１８、下ヨーク２２、上下のヨークの両側
に配置したサイドヨーク２４、上ヨーク１８のストロー
クの全長にわたって巻かれた単相コイル２０が設けられ
ている。そして、固定子全体はステージベース（図示せ
ず）に固定されている。
相リニアモータの斜視図である。図７において、従来例
の単相リニアモータ１０は、以下のように構成されてい
る。ステージベース（図示せず）上にガイド１２が固定
されており、ガイド１２上には空気膜等の潤滑手段を介
してステージ１４が走査方向に摺動自在に支持されてい
る。このステージ１４の両側には可動磁石保持枠１６が
固定されており、保持枠内には、詳細には後述するよう
に、磁石３０が保持されており、磁石および可動磁石保
持枠で可動磁石ユニットを構成している。各磁石３０に
対応する各固定子として、ステージの全ストロークにわ
たる上ヨーク１８、下ヨーク２２、上下のヨークの両側
に配置したサイドヨーク２４、上ヨーク１８のストロー
クの全長にわたって巻かれた単相コイル２０が設けられ
ている。そして、固定子全体はステージベース（図示せ
ず）に固定されている。
【０００３】磁石３０は、図５、図６に示すように、厚
み方向に着磁されている。また、この磁石３０は、ステ
ージ１４の全ストロークにわたり、リニアモータの固定
子と非接触状態を保つようになっている。単相コイルに
電流を流すとフレミングの法則にしたがって、磁石３０
に走査方向の推力を発生する。前述のように、各磁石３
０は各可動磁石保持枠１６に保持されており、また各可
動磁石保持枠１６はステージ１４に固定されているの
で、ステージ１４は、走査方向に、即ち、単相コイル２
０に沿って移動するようになる。
み方向に着磁されている。また、この磁石３０は、ステ
ージ１４の全ストロークにわたり、リニアモータの固定
子と非接触状態を保つようになっている。単相コイルに
電流を流すとフレミングの法則にしたがって、磁石３０
に走査方向の推力を発生する。前述のように、各磁石３
０は各可動磁石保持枠１６に保持されており、また各可
動磁石保持枠１６はステージ１４に固定されているの
で、ステージ１４は、走査方向に、即ち、単相コイル２
０に沿って移動するようになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】図５は、１つの従来例
の単相リニアモータにおける可動磁石保持枠の詳細を説
明するための図であり、具体的には、図５ａは単相リニ
アモータで用いる可動磁石ユニットの分解斜視図であ
り、図５ｂは単相リニアモータの組み立て時のスペーサ
の配置を示す断面図であり、図５ｃは組み立て完了時の
断面図である。磁石３０は、単相コイルが巻かれていな
い側のヨーク（この従来例では、下ヨーク）に吸引され
るために、図５に示すように可動磁石保持枠には吸引力
に対抗するためのストッパ１６ａが走査方向に平行にま
たは直角に（この従来例では、平行に）設けられてい
る。しかし、直方体の磁石３０を可動磁石保持枠１６で
保持すると、ストッパ１６ａの分だけ磁石３０の厚さよ
り可動磁石保持枠１６の厚さが厚くなり、また、磁石か
ら見たときストッパ１６ａの分だけ下ヨークに対するエ
アギャップが大きくなり、磁力が低下するという問題が
あった。なお、図５ｂ中、符号３２はスペーサを示す。
の単相リニアモータにおける可動磁石保持枠の詳細を説
明するための図であり、具体的には、図５ａは単相リニ
アモータで用いる可動磁石ユニットの分解斜視図であ
り、図５ｂは単相リニアモータの組み立て時のスペーサ
の配置を示す断面図であり、図５ｃは組み立て完了時の
断面図である。磁石３０は、単相コイルが巻かれていな
い側のヨーク（この従来例では、下ヨーク）に吸引され
るために、図５に示すように可動磁石保持枠には吸引力
に対抗するためのストッパ１６ａが走査方向に平行にま
たは直角に（この従来例では、平行に）設けられてい
る。しかし、直方体の磁石３０を可動磁石保持枠１６で
保持すると、ストッパ１６ａの分だけ磁石３０の厚さよ
り可動磁石保持枠１６の厚さが厚くなり、また、磁石か
ら見たときストッパ１６ａの分だけ下ヨークに対するエ
アギャップが大きくなり、磁力が低下するという問題が
あった。なお、図５ｂ中、符号３２はスペーサを示す。
【０００５】図６は、他の従来例の単相リニアモータに
おける可動磁石保持枠の詳細を説明するための図であ
り、具体的には、図６ａは単相リニアモータで用いる可
動磁石ユニットの分解斜視図を示し、図６ｂは単相リニ
アモータの組み立て時のスペーサの配置を示す断面図で
あり、図６ｃはスペーサを除去した状態の断面図であ
り、図６ｄは組み立て完了時の断面図である。図６に示
すように、ストッパ１６ａは走査方向に平行に設けられ
ており、ストッパ間の間隔を下ヨークの幅より広くとっ
て、可動磁石保持枠１６の下側に溝１６ｂを設ければ、
エアギャップの増加は防げるが、磁力に逆らってこの状
態（図６ｄに示す状態）に組み付けるのは極めて困難で
あり、実用的でない。
おける可動磁石保持枠の詳細を説明するための図であ
り、具体的には、図６ａは単相リニアモータで用いる可
動磁石ユニットの分解斜視図を示し、図６ｂは単相リニ
アモータの組み立て時のスペーサの配置を示す断面図で
あり、図６ｃはスペーサを除去した状態の断面図であ
り、図６ｄは組み立て完了時の断面図である。図６に示
すように、ストッパ１６ａは走査方向に平行に設けられ
ており、ストッパ間の間隔を下ヨークの幅より広くとっ
て、可動磁石保持枠１６の下側に溝１６ｂを設ければ、
エアギャップの増加は防げるが、磁力に逆らってこの状
態（図６ｄに示す状態）に組み付けるのは極めて困難で
あり、実用的でない。
【０００６】したがって、本発明の目的は、磁力の低減
や可動磁石保持枠の厚みの増加がない可動磁石ユニット
を用いた単相リニアモータを提供することにある。
や可動磁石保持枠の厚みの増加がない可動磁石ユニット
を用いた単相リニアモータを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前述の目的を達成するた
めに、本発明は、上ヨーク、上ヨークに巻かれた単相コ
イル、上ヨークに対向して下部に配置した下ヨークから
成る固定子と、該固定子の上ヨークと下ヨークの間に配
置されこれらに沿って移動する可動子である可動磁石ユ
ニットとから成る単相リニアモータにおいて、可動磁石
ユニットは、磁石と磁石を保持する可動磁石保持枠とか
ら成り、前記可動磁石保持枠は吸引防止するためのスト
ッパを有し、前記磁石は可動磁石保持枠と同一の厚みを
有しかつ可動磁石保持枠のストッパと係合するために可
動磁石保持枠のストッパの形状の補完形状の部分を有す
ることを特徴とする単相リニアモータを採用するもので
ある。
めに、本発明は、上ヨーク、上ヨークに巻かれた単相コ
イル、上ヨークに対向して下部に配置した下ヨークから
成る固定子と、該固定子の上ヨークと下ヨークの間に配
置されこれらに沿って移動する可動子である可動磁石ユ
ニットとから成る単相リニアモータにおいて、可動磁石
ユニットは、磁石と磁石を保持する可動磁石保持枠とか
ら成り、前記可動磁石保持枠は吸引防止するためのスト
ッパを有し、前記磁石は可動磁石保持枠と同一の厚みを
有しかつ可動磁石保持枠のストッパと係合するために可
動磁石保持枠のストッパの形状の補完形状の部分を有す
ることを特徴とする単相リニアモータを採用するもので
ある。
【０００８】
【実施例】次に、本発明の実施例を説明する。
【０００９】（実施例１）図１は、本発明の実施例１の
単相リニアモータを説明するための図であり、具体的に
は、図１ａは、単相リニアモータで用いる可動磁石ユニ
ットの分解斜視図であり、図１ｂは、単相リニアモータ
の組み立て時のスペーサの配置を示す断面図であり、図
１ｃはスペーサを除去した状態の断面図である。
単相リニアモータを説明するための図であり、具体的に
は、図１ａは、単相リニアモータで用いる可動磁石ユニ
ットの分解斜視図であり、図１ｂは、単相リニアモータ
の組み立て時のスペーサの配置を示す断面図であり、図
１ｃはスペーサを除去した状態の断面図である。
【００１０】図１ａに示すように、可動磁石ユニット
は、磁石３０と、可動磁石保持枠１６（以下、単に、保
持枠という場合がある）とから成る。保持枠１６には、
従来例と同様に磁石を保持する窓が設けられており、こ
の窓の下ヨーク２２（図１ｂ）側で、対向する位置に直
方体形状のストッパ１６ａが形成されている。図１ａ〜
図１ｃに示す実施例では、これらのストッパ１６ａは走
査方向に沿って設けられているが、走査方向に直角な方
向に設けられてもよい。
は、磁石３０と、可動磁石保持枠１６（以下、単に、保
持枠という場合がある）とから成る。保持枠１６には、
従来例と同様に磁石を保持する窓が設けられており、こ
の窓の下ヨーク２２（図１ｂ）側で、対向する位置に直
方体形状のストッパ１６ａが形成されている。図１ａ〜
図１ｃに示す実施例では、これらのストッパ１６ａは走
査方向に沿って設けられているが、走査方向に直角な方
向に設けられてもよい。
【００１１】一方、磁石３０は、従来例と同様に、その
厚み方向に着磁されている。磁石３０は、その下側の両
側に、ストッパ１６ａと補完形状である溝３０ａが形成
されており、断面が逆凸字型の形状の磁石となってい
る。したがって、図１ｂに示すように、磁石３０は、保
持枠１６の窓にピッタリと嵌め込まれ、その後、外れな
いように、例えば、接着材を用いて接着される。
厚み方向に着磁されている。磁石３０は、その下側の両
側に、ストッパ１６ａと補完形状である溝３０ａが形成
されており、断面が逆凸字型の形状の磁石となってい
る。したがって、図１ｂに示すように、磁石３０は、保
持枠１６の窓にピッタリと嵌め込まれ、その後、外れな
いように、例えば、接着材を用いて接着される。
【００１２】磁石３０が保持枠１６に装着された可動磁
石ユニットからなる可動子を、上ヨーク１８、上ヨーク
１８に巻かれた単相コイル２０、上ヨーク２０に対向し
て下部に配置した下ヨーク２２から成る固定子に組込ん
で単相リニアモータを形成するには、最初に、図１ｂ、
図４に示すように、スペーサ３２を下ヨーク２２と可動
磁石ユニットとの間にはさんで、可動子と固定子を一体
の状態におく。次に、この状態で可動子の保持枠１６を
レチクルステージ（図示せず）に固定し、その後、スペ
ーサ３２を抜き取ることにより、図１ｃに示すように、
可動子と固定子を非接触状態に保つ。前述のように磁石
の厚みと保持枠の厚みが同じであるので、下ヨーク２２
と磁石３０の間のエアギャップは小さく、保持枠の厚み
の無駄な増加やエアギャップの増加に起因する磁力の低
下を回避できる。なお、図４中の符号で従来例を示す図
７で用いたものと同一の符号は、同一の部材を示す。
石ユニットからなる可動子を、上ヨーク１８、上ヨーク
１８に巻かれた単相コイル２０、上ヨーク２０に対向し
て下部に配置した下ヨーク２２から成る固定子に組込ん
で単相リニアモータを形成するには、最初に、図１ｂ、
図４に示すように、スペーサ３２を下ヨーク２２と可動
磁石ユニットとの間にはさんで、可動子と固定子を一体
の状態におく。次に、この状態で可動子の保持枠１６を
レチクルステージ（図示せず）に固定し、その後、スペ
ーサ３２を抜き取ることにより、図１ｃに示すように、
可動子と固定子を非接触状態に保つ。前述のように磁石
の厚みと保持枠の厚みが同じであるので、下ヨーク２２
と磁石３０の間のエアギャップは小さく、保持枠の厚み
の無駄な増加やエアギャップの増加に起因する磁力の低
下を回避できる。なお、図４中の符号で従来例を示す図
７で用いたものと同一の符号は、同一の部材を示す。
【００１３】（実施例２）図２は、本発明の実施例２の
単相リニアモータを説明するための図であり、具体的に
は、図２ａは、単相リニアモータで用いる可動磁石ユニ
ットの分解斜視図であり、図２ｂは、単相リニアモータ
の組み立て時のスペーサの配置を示す断面図であり、図
２ｃはスペーサを除去した状態の断面図である。
単相リニアモータを説明するための図であり、具体的に
は、図２ａは、単相リニアモータで用いる可動磁石ユニ
ットの分解斜視図であり、図２ｂは、単相リニアモータ
の組み立て時のスペーサの配置を示す断面図であり、図
２ｃはスペーサを除去した状態の断面図である。
【００１４】図２ａに示すように、可動磁石ユニット
は、磁石３０と、保持枠１６とから成る。保持枠１６に
は、従来例と同様に磁石を保持する窓が設けられてお
り、この窓の下ヨーク２２（図１ｂ）側で、対向する位
置にテーパ形状のストッパ１６ｂが形成されている。図
２ａ〜図２ｃに示す実施例では、これらのストッパ１６
ｂは走査方向に直角な方向に設けられているが、走査方
向に沿った方向に設けられてもよい。
は、磁石３０と、保持枠１６とから成る。保持枠１６に
は、従来例と同様に磁石を保持する窓が設けられてお
り、この窓の下ヨーク２２（図１ｂ）側で、対向する位
置にテーパ形状のストッパ１６ｂが形成されている。図
２ａ〜図２ｃに示す実施例では、これらのストッパ１６
ｂは走査方向に直角な方向に設けられているが、走査方
向に沿った方向に設けられてもよい。
【００１５】一方、磁石３０は、従来例と同様に、その
厚み方向に着磁されている。磁石３０は、その下側の両
側に、ストッパ１６ｂと補完形状であるテーパ３０ｂが
形成されており、断面がさら型の磁石となっている。し
たがって、図２ｂに示すように、磁石３０は、保持枠１
６の窓にピッタリと嵌め込まれ、その後、外れないよう
に、例えば、接着材を用いて接着される。
厚み方向に着磁されている。磁石３０は、その下側の両
側に、ストッパ１６ｂと補完形状であるテーパ３０ｂが
形成されており、断面がさら型の磁石となっている。し
たがって、図２ｂに示すように、磁石３０は、保持枠１
６の窓にピッタリと嵌め込まれ、その後、外れないよう
に、例えば、接着材を用いて接着される。
【００１６】磁石３０が保持枠１６に装着された可動磁
石ユニットからなる可動子を、上ヨーク１８、上ヨーク
１８に巻かれた単相コイル２０、上ヨーク２０に対向し
て下部に配置した下ヨーク２２から成る固定子に組込ん
で単相リニアモータを形成するには、最初に、図２ｂ、
図４に示すように、スペーサ３２を下ヨーク２２と可動
磁石ユニットとの間にはさんで、可動子と固定子を一体
の状態におく。次に、この状態で可動子の保持枠１６を
レチクルステージ（図示せず）に固定し、その後、スペ
ーサ３２を抜き取ることにより、図２ｃに示すように、
可動子と固定子を非接触状態に保つ。前述のように磁石
の厚みと保持枠の厚みが同じであるので、下ヨーク２２
と磁石３０の間のエアギャップは小さく、保持枠の厚み
の無駄な増加やエアギャップの増加に起因する磁力の低
下を回避できる。
石ユニットからなる可動子を、上ヨーク１８、上ヨーク
１８に巻かれた単相コイル２０、上ヨーク２０に対向し
て下部に配置した下ヨーク２２から成る固定子に組込ん
で単相リニアモータを形成するには、最初に、図２ｂ、
図４に示すように、スペーサ３２を下ヨーク２２と可動
磁石ユニットとの間にはさんで、可動子と固定子を一体
の状態におく。次に、この状態で可動子の保持枠１６を
レチクルステージ（図示せず）に固定し、その後、スペ
ーサ３２を抜き取ることにより、図２ｃに示すように、
可動子と固定子を非接触状態に保つ。前述のように磁石
の厚みと保持枠の厚みが同じであるので、下ヨーク２２
と磁石３０の間のエアギャップは小さく、保持枠の厚み
の無駄な増加やエアギャップの増加に起因する磁力の低
下を回避できる。
【００１７】（実施例３）図３は、本発明の実施例３の
単相リニアモータで用いる可動磁石ユニットの分解斜視
図である。図３に示すように、可動磁石ユニットは、磁
石３０と、保持枠１６とから成る。保持枠１６には、磁
石を保持するための切込みが設けられており、この切込
みの両側壁の中央部分に沿って直方体形状の突起である
ストッパ１６ｃが形成されている。
単相リニアモータで用いる可動磁石ユニットの分解斜視
図である。図３に示すように、可動磁石ユニットは、磁
石３０と、保持枠１６とから成る。保持枠１６には、磁
石を保持するための切込みが設けられており、この切込
みの両側壁の中央部分に沿って直方体形状の突起である
ストッパ１６ｃが形成されている。
【００１８】一方、磁石３０は、従来例と同様に、その
厚み方向に着磁されている。磁石３０は、その両側壁
に、ストッパ１６ｃと補完形状である溝３０ｃが形成さ
れており、断面がＩ字型の形状の磁石となっている。し
たがって、磁石３０は、保持枠１６の切込みに沿って摺
動させることによって切込みにピッタリと嵌め込まれ、
その後、外れないように、例えば、接着材を用いて接着
される。
厚み方向に着磁されている。磁石３０は、その両側壁
に、ストッパ１６ｃと補完形状である溝３０ｃが形成さ
れており、断面がＩ字型の形状の磁石となっている。し
たがって、磁石３０は、保持枠１６の切込みに沿って摺
動させることによって切込みにピッタリと嵌め込まれ、
その後、外れないように、例えば、接着材を用いて接着
される。
【００１９】磁石３０が保持枠１６に装着された可動磁
石ユニットからなる可動子を、上ヨーク１８、上ヨーク
１８に巻かれた単相コイル２０、上ヨーク２０に対向し
て下部に配置した下ヨーク２２から成る固定子に組込ん
で単相リニアモータを形成する工程は図１、図２に関連
して説明した実施例１、２と同様であるので、ここで
は、詳細な説明は省略する。
石ユニットからなる可動子を、上ヨーク１８、上ヨーク
１８に巻かれた単相コイル２０、上ヨーク２０に対向し
て下部に配置した下ヨーク２２から成る固定子に組込ん
で単相リニアモータを形成する工程は図１、図２に関連
して説明した実施例１、２と同様であるので、ここで
は、詳細な説明は省略する。
【００２０】（変形例）ストッパは、図１〜図３に示し
た形状に限定されない。また、ストッパは、走査方向と
平行な方向および直角な方向の両方に設けてもよい。そ
の場合、磁石は、当然、そのストッパの形状の補完形状
に形成する。
た形状に限定されない。また、ストッパは、走査方向と
平行な方向および直角な方向の両方に設けてもよい。そ
の場合、磁石は、当然、そのストッパの形状の補完形状
に形成する。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
保持枠の厚みの無駄な増加、またはエアギャップの増加
による磁力の低下をなくした単相リニアモータが得られ
る。
保持枠の厚みの無駄な増加、またはエアギャップの増加
による磁力の低下をなくした単相リニアモータが得られ
る。
【図１】図１は、本発明の実施例１の単相リニアモータ
を説明するための図であり、その内、図１ａは、単相リ
ニアモータで用いる可動磁石ユニットの分解斜視図であ
り、図１ｂは、単相リニアモータの組み立て時のスペー
サの配置を示す断面図であり、図１ｃはスペーサを除去
した状態の断面図である。
を説明するための図であり、その内、図１ａは、単相リ
ニアモータで用いる可動磁石ユニットの分解斜視図であ
り、図１ｂは、単相リニアモータの組み立て時のスペー
サの配置を示す断面図であり、図１ｃはスペーサを除去
した状態の断面図である。
【図２】図２は、本発明の実施例２の単相リニアモータ
を説明するための図であり、その内、図２ａは、単相リ
ニアモータで用いる可動磁石ユニットの分解斜視図であ
り、図２ｂは、単相リニアモータの組み立て時のスペー
サの配置を示す断面図であり、図２ｃはスペーサを除去
した状態の断面図である。
を説明するための図であり、その内、図２ａは、単相リ
ニアモータで用いる可動磁石ユニットの分解斜視図であ
り、図２ｂは、単相リニアモータの組み立て時のスペー
サの配置を示す断面図であり、図２ｃはスペーサを除去
した状態の断面図である。
【図３】図３は、本発明の実施例３の単相リニアモータ
で用いる可動磁石ユニットの分解斜視図である。
で用いる可動磁石ユニットの分解斜視図である。
【図４】図４は、本発明の各実施例における組み立てを
説明するための斜視図である。
説明するための斜視図である。
【図５】図５は、従来例の１つの単相リニアモータを説
明するための図である。
明するための図である。
【図６】図６は、従来例の他の１つの単相リニアモータ
を説明するための図である。
を説明するための図である。
【図７】図７は、単相リニアモータの全体を示す斜視図
である。
である。
１６ 保持枠 １８ 上ヨーク ２０ 単相コイル ２２ 下ヨーク ３０ 磁石 １６ａ、１６ｂ、１６ｃ 保持枠のストッパ ３０ａ、３０ｂ、３０ｃ 磁石の溝または突起
Claims (4)
- 【請求項１】 上ヨーク、上ヨークに巻かれた単相コイ
ル、上ヨークに対向して下部に配置した下ヨークから成
る固定子と、該固定子の上ヨークと下ヨークの間に配置
されこれらに沿って移動する可動子である可動磁石ユニ
ットとから成る単相リニアモータにおいて、可動磁石ユ
ニットは、磁石と磁石を保持する可動磁石保持枠とから
成り、前記可動磁石保持枠は吸引防止するためのストッ
パを有し、前記磁石は可動磁石保持枠と同一の厚みを有
しかつ可動磁石保持枠のストッパと係合するために可動
磁石保持枠のストッパの形状の補完形状の部分を有する
ことを特徴とする単相リニアモータ。 - 【請求項２】 請求項１記載の単相リニアモータにおい
て、前記可動磁石保持枠はストッパとして走査方向に、
または走査方向と直角に、またはそれら両方の方向に延
びる直方体形状部分を吸引側の窓の部分に有し、前記磁
石は前記可動磁石保持枠の直方体形状の補完形状である
溝を有することを特徴とする単相リニアモータ。 - 【請求項３】 請求項１記載の単相リニアモータにおい
て、前記可動磁石保持枠はストッパとして走査方向に、
または走査方向と直角に、またはそれら両方の方向に延
びるテーパ形状部分を吸引側の窓の部分に有し、前記磁
石は前記可動磁石保持枠の直方体形状の補完形状である
テーパ形状部分を有することを特徴とする単相リニアモ
ータ。 - 【請求項４】 請求項１記載の単相リニアモータにおい
て、前記可動磁石保持枠はストッパとして切込みの両側
の側壁に沿って延びる直方体形状突起を有し、前記磁石
は前記可動磁石保持枠の直方体形状突起の補完形状であ
る溝を有することを特徴とする単相リニアモータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8029998A JPH09205764A (ja) | 1996-01-24 | 1996-01-24 | 単相リニアモータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8029998A JPH09205764A (ja) | 1996-01-24 | 1996-01-24 | 単相リニアモータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09205764A true JPH09205764A (ja) | 1997-08-05 |
Family
ID=12291602
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8029998A Pending JPH09205764A (ja) | 1996-01-24 | 1996-01-24 | 単相リニアモータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09205764A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6107703A (en) * | 1997-09-24 | 2000-08-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Linear motor mechanism for exposure apparatus, and device manufacturing method using the same |
| KR100442385B1 (ko) * | 2001-10-26 | 2004-07-30 | 엘지전자 주식회사 | 왕복동식 모터의 마그네트 고정구조 |
| KR100446967B1 (ko) * | 2001-06-28 | 2004-09-01 | 주식회사 엘지이아이 | 선형 모터의 진동자 장치 |
| US6838789B2 (en) | 2001-10-26 | 2005-01-04 | Lg Electronics Inc. | Reciprocating motor |
| JP2015089189A (ja) * | 2013-10-29 | 2015-05-07 | 株式会社安川電機 | リニアモータ |
-
1996
- 1996-01-24 JP JP8029998A patent/JPH09205764A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6107703A (en) * | 1997-09-24 | 2000-08-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Linear motor mechanism for exposure apparatus, and device manufacturing method using the same |
| KR100446967B1 (ko) * | 2001-06-28 | 2004-09-01 | 주식회사 엘지이아이 | 선형 모터의 진동자 장치 |
| KR100442385B1 (ko) * | 2001-10-26 | 2004-07-30 | 엘지전자 주식회사 | 왕복동식 모터의 마그네트 고정구조 |
| US6838789B2 (en) | 2001-10-26 | 2005-01-04 | Lg Electronics Inc. | Reciprocating motor |
| JP2015089189A (ja) * | 2013-10-29 | 2015-05-07 | 株式会社安川電機 | リニアモータ |
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