JPH09205031A - 積層型インダクタンス素子の製造方法 - Google Patents
積層型インダクタンス素子の製造方法Info
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- JPH09205031A JPH09205031A JP3138996A JP3138996A JPH09205031A JP H09205031 A JPH09205031 A JP H09205031A JP 3138996 A JP3138996 A JP 3138996A JP 3138996 A JP3138996 A JP 3138996A JP H09205031 A JPH09205031 A JP H09205031A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 フェロックスプレーナーフェライト粉末を用
い高周波数領域での適用を可能とした積層型インダクタ
ンス素子の製造方法を提供すること。 【解決手段】 ＢａＯ：１０〜３０ｍｏｌ％、Ｆｅ
2Ｏ3：５６〜６５ｍｏｌ％、ＭｅＯ：８〜２５ｍｏｌ％
（ただし、ＭｅはＺｎ，Ｃｏ，Ｍｎのうち少なくとも一
種以上の二価の金属イオン）で示されるフェロックスプ
レーナーフェライトの粉末を用いた積層型インダクタン
ス素子の製造方法において、Ｆｅ，Ｂａを必須とし、Ｚ
ｎ，Ｃｏ，Ｍｎの少なくとも一種を主成分とし、上記金
属の硝酸塩とアミノ酸との錯体の溶液を加熱してＹ型フ
ェロックスプレーナーフェライト粉末を得、この粉末に
より形成する磁性体層と、導電体層を印刷法により交互
に積層し、内部に導電体のコイルを形成する。
い高周波数領域での適用を可能とした積層型インダクタ
ンス素子の製造方法を提供すること。 【解決手段】 ＢａＯ：１０〜３０ｍｏｌ％、Ｆｅ
2Ｏ3：５６〜６５ｍｏｌ％、ＭｅＯ：８〜２５ｍｏｌ％
（ただし、ＭｅはＺｎ，Ｃｏ，Ｍｎのうち少なくとも一
種以上の二価の金属イオン）で示されるフェロックスプ
レーナーフェライトの粉末を用いた積層型インダクタン
ス素子の製造方法において、Ｆｅ，Ｂａを必須とし、Ｚ
ｎ，Ｃｏ，Ｍｎの少なくとも一種を主成分とし、上記金
属の硝酸塩とアミノ酸との錯体の溶液を加熱してＹ型フ
ェロックスプレーナーフェライト粉末を得、この粉末に
より形成する磁性体層と、導電体層を印刷法により交互
に積層し、内部に導電体のコイルを形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高性能なＹ型、又
はＺ型フェロックスプレーナー粉末を用い各種電子機器
に適用されて、ＬＣフィルターや共振器として働く積層
型インダクタンス素子の製造方法に関するものである。
はＺ型フェロックスプレーナー粉末を用い各種電子機器
に適用されて、ＬＣフィルターや共振器として働く積層
型インダクタンス素子の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】最近、電子機器の小型化と高周波化に伴
い、電子部品のダウンサイジングが求められている。そ
れに対応し、積層型チップインダクター等が磁性素子と
して開発されている。
い、電子部品のダウンサイジングが求められている。そ
れに対応し、積層型チップインダクター等が磁性素子と
して開発されている。
【０００３】これは、磁性体層と導電体層を印刷法によ
り交互に積層することにより、内部に導電体のコイルを
形成するもので、電子部品のダウンサイジングの要求を
満たしている。又、自動車電話をはじめとして、１００
ＭＨｚ以上の領域で用いられる電子機器に対応したデバ
イスも実用化されつつある。
り交互に積層することにより、内部に導電体のコイルを
形成するもので、電子部品のダウンサイジングの要求を
満たしている。又、自動車電話をはじめとして、１００
ＭＨｚ以上の領域で用いられる電子機器に対応したデバ
イスも実用化されつつある。
【０００４】これらの領域での磁性材料としては、現
在、Ｎｉフェライトが用いられているが、１０程度のμ
の低い材料でも、１００ＭＨｚ以上では、いわゆるスネ
ーク（Ｓｎｏｅｋ）の限界に達し、損失が著しく増大
し、高周波域では使用できなくなる。
在、Ｎｉフェライトが用いられているが、１０程度のμ
の低い材料でも、１００ＭＨｚ以上では、いわゆるスネ
ーク（Ｓｎｏｅｋ）の限界に達し、損失が著しく増大
し、高周波域では使用できなくなる。
【０００５】しかし、フェロックスプレーナーフェライ
トは、スピネルフェライトの前記スネーク（Ｓｎｏｅ
ｋ）の限界を破る高周波磁性材料であり、Ｂａ2Ｍｅ2Ｆ
ｅ12Ｏ22で示されるＹ型構造をとるもの、Ｂａ3Ｃｏ2Ｆ
ｅ24Ｏ41で示されるＺ型構造をとるもの等がある。従っ
て、従来のＮｉフェライトを用いた積層型チップインダ
クターと比較して、高周波帯域でのインダクタンスの減
衰が小さく、近年の電子機器の高周波化に対応可能な軟
磁性材料である。
トは、スピネルフェライトの前記スネーク（Ｓｎｏｅ
ｋ）の限界を破る高周波磁性材料であり、Ｂａ2Ｍｅ2Ｆ
ｅ12Ｏ22で示されるＹ型構造をとるもの、Ｂａ3Ｃｏ2Ｆ
ｅ24Ｏ41で示されるＺ型構造をとるもの等がある。従っ
て、従来のＮｉフェライトを用いた積層型チップインダ
クターと比較して、高周波帯域でのインダクタンスの減
衰が小さく、近年の電子機器の高周波化に対応可能な軟
磁性材料である。
【０００６】フェロックスプレーナーフェライト粉末の
製造方法としては、構成する金属元素の酸化物または炭
酸塩の原料を秤量し、秤量した原料に水、分散剤を一定
量加えボールミル等にて混合し、ろ過を行う。
製造方法としては、構成する金属元素の酸化物または炭
酸塩の原料を秤量し、秤量した原料に水、分散剤を一定
量加えボールミル等にて混合し、ろ過を行う。
【０００７】次に、予焼し、この粉末を数μｍまでボー
ルミル等で解砕することにより、得られる。
ルミル等で解砕することにより、得られる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところが、予焼工程に
おいて、Ｙ型構造やＺ型構造のフェロックスプレーナー
の単相を得るための予焼温度は、１３００℃程度と高温
が必要になっている。このために、粉末の粒成長が著し
く、焼結体の状態に近くなっているため、解砕工程にお
いて、解砕時間の増加によるコストアップという問題が
ある。
おいて、Ｙ型構造やＺ型構造のフェロックスプレーナー
の単相を得るための予焼温度は、１３００℃程度と高温
が必要になっている。このために、粉末の粒成長が著し
く、焼結体の状態に近くなっているため、解砕工程にお
いて、解砕時間の増加によるコストアップという問題が
ある。
【０００９】また、長時間の解砕が可能としても、ボー
ルミル等のボール、ポットからのコンタミネーションに
よる組成ずれが大きく、しかも、製造ロットによるばら
つきも大きいため、工業的規模で安定した品質で製造す
ることは、非常に困難であった。従って、この粉末をイ
ンダクタンス素子に適用させることは非常に困難であっ
た。
ルミル等のボール、ポットからのコンタミネーションに
よる組成ずれが大きく、しかも、製造ロットによるばら
つきも大きいため、工業的規模で安定した品質で製造す
ることは、非常に困難であった。従って、この粉末をイ
ンダクタンス素子に適用させることは非常に困難であっ
た。
【００１０】また、長時間の解砕が必要なため、粉末の
形状は比較的等方的になっている。
形状は比較的等方的になっている。
【００１１】ところで、一般に、フェロックスプレーナ
ーは、磁場配向によりμ’が向上することが知られてい
る。
ーは、磁場配向によりμ’が向上することが知られてい
る。
【００１２】Ｃ面内に磁化容易方向を有する六方晶の結
晶構造を持つフェロックスプレーナー焼結体の組織を一
定方向に配向することは、透磁率の向上には効果的であ
る。
晶構造を持つフェロックスプレーナー焼結体の組織を一
定方向に配向することは、透磁率の向上には効果的であ
る。
【００１３】しかし、この粉末を用いて磁性層の印刷中
に磁場を印加し、配向させた素子を得る場合、粉末に形
状異方性がないため、高い配向度が得られないという問
題があった。
に磁場を印加し、配向させた素子を得る場合、粉末に形
状異方性がないため、高い配向度が得られないという問
題があった。
【００１４】又、１つの粉末の中に数個の結晶粒を含有
することによっても、磁場配向が困難で高い配向度が得
られないという問題も存在している。
することによっても、磁場配向が困難で高い配向度が得
られないという問題も存在している。
【００１５】本発明の目的は、上記した問題点を解決し
たフェロックスプレーナーフェライト粉末を得ることに
よって、前記粉末を用い高周波数領域での適用を可能と
した積層型インダクタンス素子の製造方法を提供するこ
とにある。
たフェロックスプレーナーフェライト粉末を得ることに
よって、前記粉末を用い高周波数領域での適用を可能と
した積層型インダクタンス素子の製造方法を提供するこ
とにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、Ｂａ
Ｏ：１０〜３０ｍｏｌ％、Ｆｅ2Ｏ3：５６〜６５ｍｏｌ
％、ＭｅＯ：８〜２５ｍｏｌ％（ただし、ＭｅはでＺ
ｎ，Ｃｏ，Ｍｎのうち少なくとも一種以上の二価の金属
イオン）で示されるフェロックスプレーナーフェライト
粉末を用いた積層型インダクタンス素子の製造方法にお
いて、Ｆｅ，Ｂａを必須とし、Ｚｎ，Ｃｏ，Ｍｎの少な
くとも一種を主成分とし、前記金属の硝酸塩とアミノ酸
との錯体の溶液を加熱してＹ型フェロックスプレーナー
フェライト粉末を得られることを見い出した。そして、
この粉末により形成する磁性体層と、導電体層を印刷法
により交互に積層することにより、内部に導電体のコイ
ルを形成した積層型インダクタンス素子の製造方法を得
られることを見い出した。
Ｏ：１０〜３０ｍｏｌ％、Ｆｅ2Ｏ3：５６〜６５ｍｏｌ
％、ＭｅＯ：８〜２５ｍｏｌ％（ただし、ＭｅはでＺ
ｎ，Ｃｏ，Ｍｎのうち少なくとも一種以上の二価の金属
イオン）で示されるフェロックスプレーナーフェライト
粉末を用いた積層型インダクタンス素子の製造方法にお
いて、Ｆｅ，Ｂａを必須とし、Ｚｎ，Ｃｏ，Ｍｎの少な
くとも一種を主成分とし、前記金属の硝酸塩とアミノ酸
との錯体の溶液を加熱してＹ型フェロックスプレーナー
フェライト粉末を得られることを見い出した。そして、
この粉末により形成する磁性体層と、導電体層を印刷法
により交互に積層することにより、内部に導電体のコイ
ルを形成した積層型インダクタンス素子の製造方法を得
られることを見い出した。
【００１７】又、ＢａＯ：１５〜２８ｍｏｌ％、Ｆｅ2
Ｏ3：６５〜７５ｍｏｌ％、ＭｅＯ：０〜１５ｍｏｌ％
（ただし、ＭｅＯはＣｏＯ：０〜１５ｍｏｌ％、Ｚｎ
Ｏ：０〜１０ｍｏｌ％）で示されるフェロックスプレー
ナーフェライトの粉末を用いて作製された焼結体におい
て、上記金属の硝酸塩とアミノ酸との錯体の溶液を用
い、上記と同様の製造方法を用いることにより、Ｚ型フ
ェロックスプレーナーフェライト粉末を得ることによ
り、前記粉末を用いた積層型インダクタンス素子の製造
方法を得ることを見い出した。
Ｏ3：６５〜７５ｍｏｌ％、ＭｅＯ：０〜１５ｍｏｌ％
（ただし、ＭｅＯはＣｏＯ：０〜１５ｍｏｌ％、Ｚｎ
Ｏ：０〜１０ｍｏｌ％）で示されるフェロックスプレー
ナーフェライトの粉末を用いて作製された焼結体におい
て、上記金属の硝酸塩とアミノ酸との錯体の溶液を用
い、上記と同様の製造方法を用いることにより、Ｚ型フ
ェロックスプレーナーフェライト粉末を得ることによ
り、前記粉末を用いた積層型インダクタンス素子の製造
方法を得ることを見い出した。
【００１８】更に、前記素子に対して磁性層の印刷工程
時に、印刷面に対して平行に磁場を印加して配向させ、
積層型インダクタンス素子の製造方法を得ることを見い
出した。
時に、印刷面に対して平行に磁場を印加して配向させ、
積層型インダクタンス素子の製造方法を得ることを見い
出した。
【００１９】フェロックスプレーナーフェライトを構成
している各金属元素は、アミノ酸の錯体の溶液状態で混
合されるため、原子レベルで均一な混合が可能となる。
している各金属元素は、アミノ酸の錯体の溶液状態で混
合されるため、原子レベルで均一な混合が可能となる。
【００２０】更に、この溶液を加熱、乾燥することによ
り、溶液の溶媒を除去すると、残留物が自己燃焼を起こ
す。
り、溶液の溶媒を除去すると、残留物が自己燃焼を起こ
す。
【００２１】この燃焼は、極めて狭い範囲で、かつ短時
間で終了するため、粉末粒径が非常に微細で、しかも狭
い粒度分布で、かつ均一な組成である粉末を得ることが
可能となる。
間で終了するため、粉末粒径が非常に微細で、しかも狭
い粒度分布で、かつ均一な組成である粉末を得ることが
可能となる。
【００２２】この粉末を用いて、積層型チップインダク
タンス素子を形成することにより、損失及びμ’の高周
波特性が改善される。
タンス素子を形成することにより、損失及びμ’の高周
波特性が改善される。
【００２３】又、Ｙ型、Ｚ型は、共に結晶構造が六方晶
であるため、板状の物が得られる。このため、従来の技
術で述べたような長時間解砕をせずに済み、かつコンタ
ミネーションによる組成ずれも起こすことなく、板状の
粉末を得ることが可能となる。
であるため、板状の物が得られる。このため、従来の技
術で述べたような長時間解砕をせずに済み、かつコンタ
ミネーションによる組成ずれも起こすことなく、板状の
粉末を得ることが可能となる。
【００２４】即ち、上記素子の磁性層の印刷工程時に、
磁場を印加し配向させることにより、粉末の配向性が向
上する。
磁場を印加し配向させることにより、粉末の配向性が向
上する。
【００２５】更に、得られた粉末は微細であるため、必
要ならば熱処理を行うことで粒成長を起こすことが可能
である。
要ならば熱処理を行うことで粒成長を起こすことが可能
である。
【００２６】熱処理温度としては、６００〜８００℃程
度の温度が好ましく、その理由は、十分な粒成長が得ら
れ、かつ熱処理後の粉末は、ボールミル等にて容易に解
砕することが可能なので、板状の形状を保ち、粉末の配
向性をより向上させることができるためである。
度の温度が好ましく、その理由は、十分な粒成長が得ら
れ、かつ熱処理後の粉末は、ボールミル等にて容易に解
砕することが可能なので、板状の形状を保ち、粉末の配
向性をより向上させることができるためである。
【００２７】又、フェロックスプレーナーの組成をＢａ
Ｏ：１０〜３０ｍｏｌ％、Ｆｅ2Ｏ3：５６〜６５ｍｏｌ
％、ＭｅＯ：８〜２５ｍｏｌ％（ただし、ＭｅはＺｎ，
Ｃｏ，Ｍｎのうち少なくとも一種以上の二価の金属イオ
ン）とした理由は、フェロックスプレーナーの中でも、
高い透磁率のＢａ2Ｍｅ2Ｆｅ12Ｏ22で示されるＹ型構造
がほぼ単層で得られるためである。
Ｏ：１０〜３０ｍｏｌ％、Ｆｅ2Ｏ3：５６〜６５ｍｏｌ
％、ＭｅＯ：８〜２５ｍｏｌ％（ただし、ＭｅはＺｎ，
Ｃｏ，Ｍｎのうち少なくとも一種以上の二価の金属イオ
ン）とした理由は、フェロックスプレーナーの中でも、
高い透磁率のＢａ2Ｍｅ2Ｆｅ12Ｏ22で示されるＹ型構造
がほぼ単層で得られるためである。
【００２８】Ｍｅを二価の金属イオンとした理由は、Ｙ
型フェロックスプレーナー構造を得るための必要条件で
あるためである。
型フェロックスプレーナー構造を得るための必要条件で
あるためである。
【００２９】ＭｅをＺｎ，Ｃｏ，Ｍｎの少なくとも一種
の金属イオンとした理由は、これらの金属イオンであれ
ば、大きな透磁率が得られるためである。
の金属イオンとした理由は、これらの金属イオンであれ
ば、大きな透磁率が得られるためである。
【００３０】なお、これらの金属イオンは、一種類でも
組み合わせても良く、必要とする透磁率とその周波数特
性に応じて選択される。
組み合わせても良く、必要とする透磁率とその周波数特
性に応じて選択される。
【００３１】又、フェロックスプレーナーの組成をＢａ
Ｏ：１５〜２８ｍｏｌ％、Ｆｅ2Ｏ3：６５〜７５ｍｏｌ
％、ＭｅＯ：０〜１５ｍｏｌ％（ただし、ＭｅＯはＣｏ
Ｏ：０〜１５ｍｏｌ％で、かつＺｎＯ：０〜１０ｍｏｌ
％）とした理由は、フェロックスプレーナーの中でも、
高い透磁率のＢａ3Ｃｏ2Ｆｅ24Ｏ41で示されるＺ型構造
がほぼ単層で得られるためである。
Ｏ：１５〜２８ｍｏｌ％、Ｆｅ2Ｏ3：６５〜７５ｍｏｌ
％、ＭｅＯ：０〜１５ｍｏｌ％（ただし、ＭｅＯはＣｏ
Ｏ：０〜１５ｍｏｌ％で、かつＺｎＯ：０〜１０ｍｏｌ
％）とした理由は、フェロックスプレーナーの中でも、
高い透磁率のＢａ3Ｃｏ2Ｆｅ24Ｏ41で示されるＺ型構造
がほぼ単層で得られるためである。
【００３２】ＭｅＯとしてＺｎＯ量を０〜１０ｍｏｌ％
とした理由は、図３に示すように、ＣｏＯをＺｎＯで置
換することにより、透磁率を増加させることができる
が、１０ｍｏｌ％以上では、逆に減少するからである。
とした理由は、図３に示すように、ＣｏＯをＺｎＯで置
換することにより、透磁率を増加させることができる
が、１０ｍｏｌ％以上では、逆に減少するからである。
【００３３】
【発明の実施の形態】以下、本発明を実施例を用いて説
明する。
明する。
【００３４】（実施例１）高純度のＦｅ（ＮＯ3）3，Ｂ
ａ（ＮＯ3）2，Ｚｎ（ＮＯ3）2をＦｅ2Ｏ3，ＢａＯ，Ｚ
ｎＯ換算として、ＢａＯが９〜３１ｍｏｌ％、Ｆｅ2Ｏ3
が５５〜６５.５ｍｏｌ％、Ｚｎが７〜２６ｍｏｌ％の
組成となるように秤量し、純水中に溶解した。
ａ（ＮＯ3）2，Ｚｎ（ＮＯ3）2をＦｅ2Ｏ3，ＢａＯ，Ｚ
ｎＯ換算として、ＢａＯが９〜３１ｍｏｌ％、Ｆｅ2Ｏ3
が５５〜６５.５ｍｏｌ％、Ｚｎが７〜２６ｍｏｌ％の
組成となるように秤量し、純水中に溶解した。
【００３５】この溶液中にアミノ酢酸をＦｅ（Ｎ
Ｏ3）3，Ｂａ（ＮＯ3）2，Ｚｎ（ＮＯ3）2の総重量に対
し１５ｗｔ％となるように添加し、混合した。
Ｏ3）3，Ｂａ（ＮＯ3）2，Ｚｎ（ＮＯ3）2の総重量に対
し１５ｗｔ％となるように添加し、混合した。
【００３６】次に、この混合した溶液を３００℃に加熱
し、水分を蒸発させた。この時、溶液の残留物は自己発
火し、Ｙ型フェロックスプレーナーフェライト粉末が得
られた。
し、水分を蒸発させた。この時、溶液の残留物は自己発
火し、Ｙ型フェロックスプレーナーフェライト粉末が得
られた。
【００３７】同様に、Ｚｎ（ＮＯ3）2の替わりにＣｏ
（ＮＯ3）3，Ｍｎ（ＮＯ3）2をＣｏＯ，ＭｎＯ換算とし
て、ＣａＯが２０〜２６ｍｏｌ％、ＭｎＯが２０〜２６
ｍｏｌ％の組成となるように秤量し、上記と同様にし
て、Ｙ型フェロックスプレーナーフェライト粉末を得
た。
（ＮＯ3）3，Ｍｎ（ＮＯ3）2をＣｏＯ，ＭｎＯ換算とし
て、ＣａＯが２０〜２６ｍｏｌ％、ＭｎＯが２０〜２６
ｍｏｌ％の組成となるように秤量し、上記と同様にし
て、Ｙ型フェロックスプレーナーフェライト粉末を得
た。
【００３８】次に、各々の粉末をボールミルにて解砕
し、平均粒径が約０.５μｍの粉末を得た。この粉末に
バインダー、溶剤を添加し、混合物を混練して磁性部用
ペーストを作製した。
し、平均粒径が約０.５μｍの粉末を得た。この粉末に
バインダー、溶剤を添加し、混合物を混練して磁性部用
ペーストを作製した。
【００３９】次に、導電体層用粉末として平均粒径０.
５μｍのＡｇ粉末及びＰｄ粉末を８：２の割合とし、バ
インダー、溶剤を添加し、混合物を混練して導電体層用
ペーストを作製した。
５μｍのＡｇ粉末及びＰｄ粉末を８：２の割合とし、バ
インダー、溶剤を添加し、混合物を混練して導電体層用
ペーストを作製した。
【００４０】次に、作製した磁性部用ペーストを印刷法
により所定の厚さ（０.５ｍｍ）に積層した。その上
に、導電体層用ペーストとマトリックス用ペーストを用
いて、５.５ターンの導電体の積層巻線を形成するよう
に印刷積層を行った。
により所定の厚さ（０.５ｍｍ）に積層した。その上
に、導電体層用ペーストとマトリックス用ペーストを用
いて、５.５ターンの導電体の積層巻線を形成するよう
に印刷積層を行った。
【００４１】この時、一層の積層厚は、マトリックス層
で約３０μｍ、導電体層では約１５μｍで行った。その
上にマトリックス用ペーストを印刷法により所定の厚さ
（０.５ｍｍ）に積層した。全体の積層厚さは約１.３ｍ
ｍである。
で約３０μｍ、導電体層では約１５μｍで行った。その
上にマトリックス用ペーストを印刷法により所定の厚さ
（０.５ｍｍ）に積層した。全体の積層厚さは約１.３ｍ
ｍである。
【００４２】上記作製した積層体を所望の大きさに切断
し、１０５０℃で４時間保持して焼結した。
し、１０５０℃で４時間保持して焼結した。
【００４３】上記焼結した積層インダクタンス素子に、
導電体の積層巻線のリ−ドが露出している面にＡｇを主
成分とした導電性ペーストを塗布し、約３００℃で焼き
付けを行い、外部電極を形成した。
導電体の積層巻線のリ−ドが露出している面にＡｇを主
成分とした導電性ペーストを塗布し、約３００℃で焼き
付けを行い、外部電極を形成した。
【００４４】上記のように作製した積層インダクタンス
素子の利得（Ｑ）の最大値（以下、Ｑmaxと記す）、イ
ンダクタンスの共振周波数の測定結果を表１に示す。
素子の利得（Ｑ）の最大値（以下、Ｑmaxと記す）、イ
ンダクタンスの共振周波数の測定結果を表１に示す。
【００４５】
【表１】
【００４６】表１より、本発明範囲外の組成の場合、Ｑ
max、共振周波数が範囲内と比較し劣化していることが
判る。
max、共振周波数が範囲内と比較し劣化していることが
判る。
【００４７】（実施例２）高純度のＦｅ（ＮＯ3）3，Ｂ
ａ（ＮＯ3）2，Ｃｏ（ＮＯ3）3，Ｚｎ（ＮＯ3）2をＦｅ
2Ｏ3，ＢａＯ，ＣｏＯ，ＺｎＯ換算として、ＢａＯが１
４〜２９ｍｏｌ％、Ｆｅ2Ｏ3が６５〜７６ｍｏｌ％、Ｃ
ｏＯが０〜１６ｍｏｌ％、ＺｎＯが０〜１０ｍｏｌ％の
組成となるように秤量し、実施例１と同様にして、Ｚ型
フェロックスプレーナーフェライト粉末を得た。
ａ（ＮＯ3）2，Ｃｏ（ＮＯ3）3，Ｚｎ（ＮＯ3）2をＦｅ
2Ｏ3，ＢａＯ，ＣｏＯ，ＺｎＯ換算として、ＢａＯが１
４〜２９ｍｏｌ％、Ｆｅ2Ｏ3が６５〜７６ｍｏｌ％、Ｃ
ｏＯが０〜１６ｍｏｌ％、ＺｎＯが０〜１０ｍｏｌ％の
組成となるように秤量し、実施例１と同様にして、Ｚ型
フェロックスプレーナーフェライト粉末を得た。
【００４８】この粉末を用いて、実施例１と同様に、積
層インダクタンス素子を作製した。作製した素子を実施
例１と同様の評価を行った。その結果を表２に示す。
層インダクタンス素子を作製した。作製した素子を実施
例１と同様の評価を行った。その結果を表２に示す。
【００４９】
【表２】
【００５０】表２より、本発明範囲外の組成の場合、Ｑ
max、共振周波数が範囲内と比較し、劣化していること
が判る。
max、共振周波数が範囲内と比較し、劣化していること
が判る。
【００５１】（実施例３）実施例１と同様に、粉末を作
製し、この粉末を用いて磁性層の印刷工程時に印刷面に
対し平行に磁場を印加させ、実施例１と同様に、積層イ
ンダクタンス素子を作製した。作製した素子を実施例１
と同様の評価を行った。その結果を表３に示す。
製し、この粉末を用いて磁性層の印刷工程時に印刷面に
対し平行に磁場を印加させ、実施例１と同様に、積層イ
ンダクタンス素子を作製した。作製した素子を実施例１
と同様の評価を行った。その結果を表３に示す。
【００５２】
【００５３】表１及び表３より、本発明範囲外の組成の
場合、Ｑmax、共振周波数が範囲内と比較し、劣化して
いることが判る。
場合、Ｑmax、共振周波数が範囲内と比較し、劣化して
いることが判る。
【００５４】（実施例４）実施例２と同様に、粉末を作
製し、この粉末を用いて磁性層の印刷工程時に印刷面に
対し平行に磁場を印加させ、実施例１と同様に、積層イ
ンダクタンス素子を作製した。作製した素子を実施例１
と同様の評価を行った。その結果を表４に示す。
製し、この粉末を用いて磁性層の印刷工程時に印刷面に
対し平行に磁場を印加させ、実施例１と同様に、積層イ
ンダクタンス素子を作製した。作製した素子を実施例１
と同様の評価を行った。その結果を表４に示す。
【００５５】
【００５６】表２及び表４より、本発明範囲外の組成の
場合、Ｑmax、共振周波数が範囲内と比較し、劣化して
いることが判る。
場合、Ｑmax、共振周波数が範囲内と比較し、劣化して
いることが判る。
【００５７】（比較例）高純度のＦｅ2Ｏ3，ＮｉＯ，Ｃ
ｕＯを各々４５ｍｏｌ％、４９ｍｏｌ％、６ｍｏｌ％と
なるように秤量し、秤量した原料に水、分散剤を一定量
加え、ボールミルにて２０時間混合し、ろ過した。
ｕＯを各々４５ｍｏｌ％、４９ｍｏｌ％、６ｍｏｌ％と
なるように秤量し、秤量した原料に水、分散剤を一定量
加え、ボールミルにて２０時間混合し、ろ過した。
【００５８】次に、この粉末を大気中８００℃で２時間
予焼を行い、ボールミルにて３時間解砕し、粉末を得
た。
予焼を行い、ボールミルにて３時間解砕し、粉末を得
た。
【００５９】この粉末を用いて実施例１と同様に、積層
インダクタンス素子を作製した。作製した素子を実施例
１と同様の評価を行った。その結果を表５に示す。
インダクタンス素子を作製した。作製した素子を実施例
１と同様の評価を行った。その結果を表５に示す。
【００６０】
【００６１】上記実施例１〜実施例４と比較し、表５の
比較例が、Ｑmax、共振周波数が劣化していることが判
る。
比較例が、Ｑmax、共振周波数が劣化していることが判
る。
【００６２】又、Ｑとインダクタンスの周波数特性を図
１、図２に示した。図１において、Ａは実施例１の試料
Ｎｏ.１、Ｂは実施例３の試料Ｎｏ.４１、Ｃは比較例で
あり、図２において、Ｄは実施例２の試料Ｎｏ.２１、
Ｅは実施例４の試料Ｎｏ.５１、Ｃは比較例である。
１、図２に示した。図１において、Ａは実施例１の試料
Ｎｏ.１、Ｂは実施例３の試料Ｎｏ.４１、Ｃは比較例で
あり、図２において、Ｄは実施例２の試料Ｎｏ.２１、
Ｅは実施例４の試料Ｎｏ.５１、Ｃは比較例である。
【００６３】図１、図２より、実施例において、周波数
特性が優れていることがわかる。
特性が優れていることがわかる。
【００６４】
【発明の効果】以上、述べたように、本発明によれば、
フェロックスプレーナーフェライト粉末を用い高周波数
領域での適用を可能とした積層型インダクタンス素子の
製造方法を提供することができる。
フェロックスプレーナーフェライト粉末を用い高周波数
領域での適用を可能とした積層型インダクタンス素子の
製造方法を提供することができる。
【図１】Ｙ型フェロックスプレーナーフェライト粉末を
用いて得られた積層インダクタンス素子のＱとインダク
タンスの周波数特性を示す図。
用いて得られた積層インダクタンス素子のＱとインダク
タンスの周波数特性を示す図。
【図２】Ｚ型フェロックスプレーナーフェライト粉末を
用いて得られた積層インダクタンス素子のＱとインダク
タンスの周波数特性を示す図。
用いて得られた積層インダクタンス素子のＱとインダク
タンスの周波数特性を示す図。
【図３】ＣｏＯのＺｎＯ置換量と透磁率の関係を示す
図。
図。
Claims (3)
- 【請求項１】 ＢａＯ：１０〜３０ｍｏｌ％、Ｆｅ
2Ｏ3：５６〜６５ｍｏｌ％、ＭｅＯ：８〜２５ｍｏｌ％
（ただし、ＭｅはＺｎ，Ｃｏ，Ｍｎのうち少なくとも一
種以上の二価の金属イオン）で示されるフェライト粉末
を用いた積層型インダクタンス素子の製造方法におい
て、Ｆｅ，Ｂａを必須とし、Ｚｎ，Ｃｏ，Ｍｎの少なく
とも一種を主成分とし、上記金属の硝酸塩とアミノ酸と
の錯体の溶液を加熱してＹ型フェロックスプレーナーフ
ェライト粉末を得、この粉末により形成する磁性体層
と、導電体層を印刷法により交互に積層し、内部に導電
体のコイルを形成することを特徴とする積層型インダク
タンス素子の製造方法。 - 【請求項２】 ＢａＯ：１５〜２８ｍｏｌ％、Ｆｅ
2Ｏ3：６５〜７５ｍｏｌ％、ＭｅＯ：０〜１５ｍｏｌ％
（ただし、ＭｅＯはＣｏＯ：０〜１５ｍｏｌ％で、かつ
ＺｎＯ：０〜１０ｍｏｌ％）で示されるフェロックスプ
レーナーフェライトの粉末を用いた積層インダクタンス
素子の製造方法において、上記金属の硝酸塩とアミノ酸
との錯体の溶液を加熱してＺ型フェロックスプレーナー
フェライト粉末を得、この粉末により形成する磁性体層
と、導電体層を印刷法により交互に積層し、内部に導電
体のコイルを形成することを特徴とする積層型インダク
タンス素子の製造方法。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載の積層型インダクタ
ンス素子の製造方法において、磁性層の印刷工程時に印
刷面に対し平行に磁場を印加し配向させることを特徴と
した積層型インダクタンス素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3138996A JPH09205031A (ja) | 1996-01-24 | 1996-01-24 | 積層型インダクタンス素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3138996A JPH09205031A (ja) | 1996-01-24 | 1996-01-24 | 積層型インダクタンス素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09205031A true JPH09205031A (ja) | 1997-08-05 |
Family
ID=12329917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3138996A Pending JPH09205031A (ja) | 1996-01-24 | 1996-01-24 | 積層型インダクタンス素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09205031A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6660179B2 (en) | 2001-03-01 | 2003-12-09 | Tdk Corporation | Sintered body and high-frequency circuit component |
| US6814883B2 (en) | 2001-08-27 | 2004-11-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | High frequency magnetic material and high frequency circuit element including the same |
| JP2009188027A (ja) * | 2008-02-04 | 2009-08-20 | Hitachi Metals Ltd | コイル部品 |
-
1996
- 1996-01-24 JP JP3138996A patent/JPH09205031A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6660179B2 (en) | 2001-03-01 | 2003-12-09 | Tdk Corporation | Sintered body and high-frequency circuit component |
| US6814883B2 (en) | 2001-08-27 | 2004-11-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | High frequency magnetic material and high frequency circuit element including the same |
| JP2009188027A (ja) * | 2008-02-04 | 2009-08-20 | Hitachi Metals Ltd | コイル部品 |
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