JPH09204997A - アンジュレータ装置 - Google Patents
アンジュレータ装置Info
- Publication number
- JPH09204997A JPH09204997A JP1172596A JP1172596A JPH09204997A JP H09204997 A JPH09204997 A JP H09204997A JP 1172596 A JP1172596 A JP 1172596A JP 1172596 A JP1172596 A JP 1172596A JP H09204997 A JPH09204997 A JP H09204997A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- field generating
- vacuum chamber
- magnet
- magnets
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 磁場発生用磁石の間隔を簡単な操作で箇々に
調整できるようにする。 【解決手段】 同形状の複数の磁場発生用磁石25を隣
接するものの極性が交互に異なるように支持部材19に
支持した一対の磁石列32を備え、該磁石列32を磁性
の異なる磁場発生用磁石25が真空チェンバ1を挟んで
対峙するように配置したアンジュレータ装置において、
それぞれの磁場発生用磁石25と支持部材19との間
に、箇々の磁場発生用磁石25を真空チェンバ1に近接
離反する方向へ移動させ得るガイド機構21を介在さ
せ、箇々の磁場発生用磁石25を支持部材19に対して
真空チェンバ1に近接離反する方向へ移動させる移動機
構28を設けている。
調整できるようにする。 【解決手段】 同形状の複数の磁場発生用磁石25を隣
接するものの極性が交互に異なるように支持部材19に
支持した一対の磁石列32を備え、該磁石列32を磁性
の異なる磁場発生用磁石25が真空チェンバ1を挟んで
対峙するように配置したアンジュレータ装置において、
それぞれの磁場発生用磁石25と支持部材19との間
に、箇々の磁場発生用磁石25を真空チェンバ1に近接
離反する方向へ移動させ得るガイド機構21を介在さ
せ、箇々の磁場発生用磁石25を支持部材19に対して
真空チェンバ1に近接離反する方向へ移動させる移動機
構28を設けている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はアンジュレータ装置
に関するものである。
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】光速に近い速度で移動する電子がその進
行方向を磁場や電場で曲げられると、電子の軌道の接線
方向に放射光とよばれる電磁波(光)を放出する。
行方向を磁場や電場で曲げられると、電子の軌道の接線
方向に放射光とよばれる電磁波(光)を放出する。
【0003】近年、高輝度の放射光を発生させる手段と
して、電子蓄積リングの直線部分や線形加速器に設ける
アンジュレータ装置(挿入光源)の研究開発が行われて
いる。
して、電子蓄積リングの直線部分や線形加速器に設ける
アンジュレータ装置(挿入光源)の研究開発が行われて
いる。
【0004】以下、図5によってアンジュレータ装置の
原理を説明する。
原理を説明する。
【0005】アンジュレータ装置は、真空チェンバ1の
左側及び右側に、同形状の複数の磁場発生用磁石(永久
磁石)2を隣接するものの極性が交互に異なるように直
線的に並べた一対の磁石列3を、真空チェンバ1を介し
て対峙する磁場発生用磁石2の極性が異なるように配置
し、この磁石列3によって、真空チェンバ1の内部を進
行する電子ビーム4の軌道面に水平な方向を向き且つ該
電子ビーム4に対して正弦波的な周期を有する磁場を発
生させるようになっている。
左側及び右側に、同形状の複数の磁場発生用磁石(永久
磁石)2を隣接するものの極性が交互に異なるように直
線的に並べた一対の磁石列3を、真空チェンバ1を介し
て対峙する磁場発生用磁石2の極性が異なるように配置
し、この磁石列3によって、真空チェンバ1の内部を進
行する電子ビーム4の軌道面に水平な方向を向き且つ該
電子ビーム4に対して正弦波的な周期を有する磁場を発
生させるようになっている。
【0006】即ち、真空チェンバ1の内部を高真空状態
に減圧したうえ、電子加速器などの手段によって加速さ
れた高エネルギーの電子ビーム4を真空チェンバ1に入
射させると、該真空チェンバ1の内部を進行する電子ビ
ーム4が前記の磁石列3により発生する磁場の影響を受
けて該磁場の周期に応じて蛇行し、蛇行する電子ビーム
4の接線方向に放射光5が発生する。
に減圧したうえ、電子加速器などの手段によって加速さ
れた高エネルギーの電子ビーム4を真空チェンバ1に入
射させると、該真空チェンバ1の内部を進行する電子ビ
ーム4が前記の磁石列3により発生する磁場の影響を受
けて該磁場の周期に応じて蛇行し、蛇行する電子ビーム
4の接線方向に放射光5が発生する。
【0007】図6から図8はアンジュレータ装置の一例
を示すもので、このアンジュレータ装置において、真空
チェンバ1の左側及び右側に配置される磁石列6は、そ
れぞれ同形状の複数の磁場発生用磁石(永久磁石)7及
び補助磁石(永久磁石)8と、真空チェンバ1の左側及
び右側に該真空チェンバ1と平行に配置された支持部材
9とを有している。
を示すもので、このアンジュレータ装置において、真空
チェンバ1の左側及び右側に配置される磁石列6は、そ
れぞれ同形状の複数の磁場発生用磁石(永久磁石)7及
び補助磁石(永久磁石)8と、真空チェンバ1の左側及
び右側に該真空チェンバ1と平行に配置された支持部材
9とを有している。
【0008】磁場発生用磁石7及び補助磁石8は、真空
チェンバ1の長手方向から見ると、図7及び図8に示す
ように、真空チェンバ1に対峙する面の上縁部並びに下
縁部が切り欠かれた形状に形成されている。
チェンバ1の長手方向から見ると、図7及び図8に示す
ように、真空チェンバ1に対峙する面の上縁部並びに下
縁部が切り欠かれた形状に形成されている。
【0009】磁場発生用磁石7は、上下に真空チェンバ
1へ向って突出するフランジ部10aを有する溝形部材
よりなる取付座10に各磁場発生用磁石7ごとに嵌入さ
れている。
1へ向って突出するフランジ部10aを有する溝形部材
よりなる取付座10に各磁場発生用磁石7ごとに嵌入さ
れている。
【0010】取付座10の上下のフランジ部10aに
は、押え板11が磁場発生用磁石7の上縁部並びに下縁
部に当接するようにボルト12により固定されており、
この押え板11によって、磁場発生用磁石7が取付座1
0から脱落しないようになっている。
は、押え板11が磁場発生用磁石7の上縁部並びに下縁
部に当接するようにボルト12により固定されており、
この押え板11によって、磁場発生用磁石7が取付座1
0から脱落しないようになっている。
【0011】前記の取付座10は、磁場発生用磁石7が
真空チェンバ1の長手方向に等間隔に並んで該真空チェ
ンバ1に対峙し且つ隣接する磁場発生用磁石7の極性が
交互に異なるように、ボルト13によって前記の支持部
材9に支持されている。
真空チェンバ1の長手方向に等間隔に並んで該真空チェ
ンバ1に対峙し且つ隣接する磁場発生用磁石7の極性が
交互に異なるように、ボルト13によって前記の支持部
材9に支持されている。
【0012】また、真空チェンバ1を介して対峙する磁
場発生用磁石7は、その極性が互いに異なるようになっ
ている。
場発生用磁石7は、その極性が互いに異なるようになっ
ている。
【0013】さらに、取付座10の背面(反磁石取付
面)には、各取付座10に対応するように支持部材9に
螺合されたボルト14の先端が当接するようになってお
り、取付座10に対するボルト13の螺合状態と支持部
材9に対するボルト14の螺合状態(支持部材9からの
ボルト14の先端部の突出量)とを適宜変化させること
により、磁場発生用磁石7と支持部材9と相対的な位置
を調整できるようになっている。
面)には、各取付座10に対応するように支持部材9に
螺合されたボルト14の先端が当接するようになってお
り、取付座10に対するボルト13の螺合状態と支持部
材9に対するボルト14の螺合状態(支持部材9からの
ボルト14の先端部の突出量)とを適宜変化させること
により、磁場発生用磁石7と支持部材9と相対的な位置
を調整できるようになっている。
【0014】前記の補助磁石8は、上下に真空チェンバ
1へ向って突出するフランジ部15aを有する溝形部材
よりなる取付座15に嵌入されている。
1へ向って突出するフランジ部15aを有する溝形部材
よりなる取付座15に嵌入されている。
【0015】この補助磁石8の極性は、真空チェンバ1
の一端側がN極あるいはS極に、また、真空チェンバ1
の他端側がS極あるいはN極となっている。
の一端側がN極あるいはS極に、また、真空チェンバ1
の他端側がS極あるいはN極となっている。
【0016】取付座15の上下のフランジ部15aに
は、押え板16が補助磁石8の上縁部並びに下縁部に当
接するようにボルト17により固定されており、この押
え板16によって、補助磁石8が取付座15から脱落し
ないようになっている。
は、押え板16が補助磁石8の上縁部並びに下縁部に当
接するようにボルト17により固定されており、この押
え板16によって、補助磁石8が取付座15から脱落し
ないようになっている。
【0017】前記の取付座15は、補助磁石8が先に述
べた磁石7の間にはまり込んで真空チェンバ1に対峙し
且つ隣接する補助磁石8の極性が交互に異なるように、
ボルト18によって前記の支持部材9に固定されてお
り、これら、磁場発生用磁石7、補助磁石8、支持部材
9などの各部材で構成される磁石列6により、真空チェ
ンバ1の内部を進行する電子ビーム4の軌道面に水平な
方向を向き且つ該電子ビーム4に対して正弦波的な周期
を有する磁場が発生するようになっている。
べた磁石7の間にはまり込んで真空チェンバ1に対峙し
且つ隣接する補助磁石8の極性が交互に異なるように、
ボルト18によって前記の支持部材9に固定されてお
り、これら、磁場発生用磁石7、補助磁石8、支持部材
9などの各部材で構成される磁石列6により、真空チェ
ンバ1の内部を進行する電子ビーム4の軌道面に水平な
方向を向き且つ該電子ビーム4に対して正弦波的な周期
を有する磁場が発生するようになっている。
【0018】更に、支持部材9は、磁石列6の間に生じ
る磁場の強度、すなわち、真空チェンバ1の内部を進行
する電子ビーム4に作用する磁場の強度を変化させるた
めに、支持架構(図示せず)を介してボールねじ等によ
り構成される移動機構(図示せず)に支持されており、
該移動機構を作動させることにより真空チェンバ1を介
して対峙している磁石列6が近接あるいは離反し、上記
の磁場の強度が変化するようになっている。
る磁場の強度、すなわち、真空チェンバ1の内部を進行
する電子ビーム4に作用する磁場の強度を変化させるた
めに、支持架構(図示せず)を介してボールねじ等によ
り構成される移動機構(図示せず)に支持されており、
該移動機構を作動させることにより真空チェンバ1を介
して対峙している磁石列6が近接あるいは離反し、上記
の磁場の強度が変化するようになっている。
【0019】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図6か
ら図8に示すアンジュレータ装置において、磁石列6の
間に発生する磁場の強度分布を適切な状態にするために
は、各取付座10ごとにボルト13,14の螺合状態を
変化させることにより、各磁場発生用磁石7と支持部材
9との相対的な位置を調整し、真空チェンバ1を介して
対する磁場発生用磁石7の間隔が等しく且つ互いに相対
する面が平行になるようにするという煩雑な作業を行う
必要がある。
ら図8に示すアンジュレータ装置において、磁石列6の
間に発生する磁場の強度分布を適切な状態にするために
は、各取付座10ごとにボルト13,14の螺合状態を
変化させることにより、各磁場発生用磁石7と支持部材
9との相対的な位置を調整し、真空チェンバ1を介して
対する磁場発生用磁石7の間隔が等しく且つ互いに相対
する面が平行になるようにするという煩雑な作業を行う
必要がある。
【0020】本発明は上述した実情に鑑みてなしたもの
で、真空チェンバを介して対向する磁場発生用磁石の間
隔を対峙するものごとに箇々に容易に調整することが可
能なアンジュレータ装置を提供することを目的としてい
る。
で、真空チェンバを介して対向する磁場発生用磁石の間
隔を対峙するものごとに箇々に容易に調整することが可
能なアンジュレータ装置を提供することを目的としてい
る。
【0021】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明の請求項1に記載のアンジュレータ装置で
は、同形状の複数の磁場発生用磁石を隣接するものの極
性が交互に異なるように支持部材により支持した一対の
磁石列を備え、該磁石列を磁性の異なる磁場発生用磁石
が真空チェンバを挟んで対峙するように配置したアンジ
ュレータ装置において、それぞれの磁場発生用磁石と支
持部材との間に、箇々の磁場発生用磁石を真空チェンバ
に近接離反する方向へ移動させ得るガイド機構を介在さ
せ、箇々の磁場発生用磁石を支持部材に対して真空チェ
ンバに近接離反する方向へ移動させる移動機構を設けて
いる。
め、本発明の請求項1に記載のアンジュレータ装置で
は、同形状の複数の磁場発生用磁石を隣接するものの極
性が交互に異なるように支持部材により支持した一対の
磁石列を備え、該磁石列を磁性の異なる磁場発生用磁石
が真空チェンバを挟んで対峙するように配置したアンジ
ュレータ装置において、それぞれの磁場発生用磁石と支
持部材との間に、箇々の磁場発生用磁石を真空チェンバ
に近接離反する方向へ移動させ得るガイド機構を介在さ
せ、箇々の磁場発生用磁石を支持部材に対して真空チェ
ンバに近接離反する方向へ移動させる移動機構を設けて
いる。
【0022】また、本発明の請求項2に記載のアンジュ
レータ装置では、同形状の複数の磁場発生用磁石を隣接
するものの極性が交互に異なるように支持部材により等
間隔に支持し且つ同形状の複数の補助磁石を前記の磁場
発生用磁石の間に位置するように支持部材により支持し
た一対の磁石列を備え、該磁石列を磁性の異なる磁場発
生用磁石が真空チェンバを挟んで対峙するように配置し
たアンジュレータ装置において、各磁場発生用磁石と支
持部材との間に、箇々の磁場発生用磁石を真空チェンバ
に近接離反する方向へ移動させ得るガイド機構を介在さ
せ、箇々の磁場発生用磁石を支持部材に対して真空チェ
ンバに近接離反する方向へ移動させる移動機構を設けて
いる。
レータ装置では、同形状の複数の磁場発生用磁石を隣接
するものの極性が交互に異なるように支持部材により等
間隔に支持し且つ同形状の複数の補助磁石を前記の磁場
発生用磁石の間に位置するように支持部材により支持し
た一対の磁石列を備え、該磁石列を磁性の異なる磁場発
生用磁石が真空チェンバを挟んで対峙するように配置し
たアンジュレータ装置において、各磁場発生用磁石と支
持部材との間に、箇々の磁場発生用磁石を真空チェンバ
に近接離反する方向へ移動させ得るガイド機構を介在さ
せ、箇々の磁場発生用磁石を支持部材に対して真空チェ
ンバに近接離反する方向へ移動させる移動機構を設けて
いる。
【0023】本発明の請求項1あるいは請求項2に記載
のアンジュレータ装置のいずれにおいても、移動させる
べき磁場発生用磁石に対応する移動機構を作動させる
と、磁場発生用磁石が該磁場発生用磁石と支持部材との
間に介在させたガイド機構に沿って移動し、真空チェン
バを挟んで対峙する磁場発生用磁石間の間隔が変化す
る。
のアンジュレータ装置のいずれにおいても、移動させる
べき磁場発生用磁石に対応する移動機構を作動させる
と、磁場発生用磁石が該磁場発生用磁石と支持部材との
間に介在させたガイド機構に沿って移動し、真空チェン
バを挟んで対峙する磁場発生用磁石間の間隔が変化す
る。
【0024】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態例を図
面に基づいて説明する。
面に基づいて説明する。
【0025】図1及び図2は本発明のアンジュレータ装
置の実施の形態の一例を示すものである。
置の実施の形態の一例を示すものである。
【0026】19は支持部材であり、該支持部材19
は、真空チェンバ1が搭載されている架構20の上面
に、真空チェンバ1の下方空間を挟んで所定の間隔を置
いて互いに平行し且つ真空チェンバ1に平行するように
延設・固定されている。
は、真空チェンバ1が搭載されている架構20の上面
に、真空チェンバ1の下方空間を挟んで所定の間隔を置
いて互いに平行し且つ真空チェンバ1に平行するように
延設・固定されている。
【0027】各支持部材19の上面には、それぞれ真空
チェンバ1の延設方向へ所定の間隔を置いて並ぶガイド
機構21(例えばリニアガイドなど)が配置されてい
る。
チェンバ1の延設方向へ所定の間隔を置いて並ぶガイド
機構21(例えばリニアガイドなど)が配置されてい
る。
【0028】ガイド機構21は、真空チェンバ1の延設
方向へ所定の間隔を置き且つ図2に示すように真空チェ
ンバ1に直交する方向へ水平に延びるレール部材22
と、該レール部材22の上部に摺動自在に嵌設され且つ
上面に後述の磁石固定金具24を取り付け得るように形
成された滑動部材23とにより構成されている。
方向へ所定の間隔を置き且つ図2に示すように真空チェ
ンバ1に直交する方向へ水平に延びるレール部材22
と、該レール部材22の上部に摺動自在に嵌設され且つ
上面に後述の磁石固定金具24を取り付け得るように形
成された滑動部材23とにより構成されている。
【0029】24は磁石固定金具であり、該磁石固定金
具24には、側方から見て略コ字状となる凹部が形成さ
れ、また、磁石固定金具24の下部には、後方側から前
方側に貫通するねじ孔26が穿設されている。
具24には、側方から見て略コ字状となる凹部が形成さ
れ、また、磁石固定金具24の下部には、後方側から前
方側に貫通するねじ孔26が穿設されている。
【0030】この磁石固定金具24は、凹部が真空チェ
ンバ1と対峙するように、前記のガイド機構21の滑動
部材23の上面に固着されている。
ンバ1と対峙するように、前記のガイド機構21の滑動
部材23の上面に固着されている。
【0031】25は四角柱形状の磁場発生用磁石であ
り、該磁場発生用磁石25は、隣接するものの極性が交
互に異なるように各磁石固定金具24に嵌入され且つボ
ルト27によって磁石固定金具24の背面部分に固着さ
れている。
り、該磁場発生用磁石25は、隣接するものの極性が交
互に異なるように各磁石固定金具24に嵌入され且つボ
ルト27によって磁石固定金具24の背面部分に固着さ
れている。
【0032】28は移動機構であり、該移動機構28
は、前記のガイド機構21のレール部材22に対して平
行に延びるねじ棒30と、該ねじ棒30を周方向に回動
させるパルスモータ等のアクチュエータ31とを有して
いる。
は、前記のガイド機構21のレール部材22に対して平
行に延びるねじ棒30と、該ねじ棒30を周方向に回動
させるパルスモータ等のアクチュエータ31とを有して
いる。
【0033】この移動機構28は、アクチュエータ31
がブラケット29によって支持部材19に固定され且つ
ねじ棒30が前記の磁石固定金具24のねじ孔26に螺
合されており、アクチュエータ31を作動させることに
よりねじ棒30を回動させると、磁石固定金具24とと
もに磁場発生用磁石25が真空チェンバ1に対して近接
あるいは離反するようになっている。
がブラケット29によって支持部材19に固定され且つ
ねじ棒30が前記の磁石固定金具24のねじ孔26に螺
合されており、アクチュエータ31を作動させることに
よりねじ棒30を回動させると、磁石固定金具24とと
もに磁場発生用磁石25が真空チェンバ1に対して近接
あるいは離反するようになっている。
【0034】上述した支持部材19、ガイド機構21、
磁石固定金具24、磁場発生用磁石25、移動機構28
によって構成される一対の磁石列32,32は、極性の
異なる磁場発生用磁石25が真空チェンバ1を挟んで対
峙するように構成されており、この磁石列32,32に
よって、真空チェンバ1の内部を進行する電子ビーム4
に軌道面に水平な方向を向き且つ該電子ビーム4に対し
て正弦波的な周期を有する磁場が発生するようになって
いる。
磁石固定金具24、磁場発生用磁石25、移動機構28
によって構成される一対の磁石列32,32は、極性の
異なる磁場発生用磁石25が真空チェンバ1を挟んで対
峙するように構成されており、この磁石列32,32に
よって、真空チェンバ1の内部を進行する電子ビーム4
に軌道面に水平な方向を向き且つ該電子ビーム4に対し
て正弦波的な周期を有する磁場が発生するようになって
いる。
【0035】次に図1及び図2に示すアンジュレータ装
置の作動について説明する。
置の作動について説明する。
【0036】真空チェンバ1の内部を高真空状態に減圧
したうえ、電子加速器などの手段によって加速された高
エネルギーの電子ビーム4を真空チェンバ1に入射させ
ると、該真空チェンバ1の内部を進行する電子ビーム4
が磁石列32,32の磁場発生用磁石25により発生す
る磁場の影響を受けて該磁場の周期に応じて蛇行し、蛇
行する電子ビーム4の接線方向に放射光5が発生する。
したうえ、電子加速器などの手段によって加速された高
エネルギーの電子ビーム4を真空チェンバ1に入射させ
ると、該真空チェンバ1の内部を進行する電子ビーム4
が磁石列32,32の磁場発生用磁石25により発生す
る磁場の影響を受けて該磁場の周期に応じて蛇行し、蛇
行する電子ビーム4の接線方向に放射光5が発生する。
【0037】更に、前記のアクチュエータ31を作動さ
せて、ねじ棒30を所定の方向へ回転させると、該ねじ
棒30に螺合した磁石固定金具24とともに磁場発生用
磁石25が真空チェンバ1に対して前進あるいは後進す
る。
せて、ねじ棒30を所定の方向へ回転させると、該ねじ
棒30に螺合した磁石固定金具24とともに磁場発生用
磁石25が真空チェンバ1に対して前進あるいは後進す
る。
【0038】このように図1及び図2に示すアンジュレ
ータ装置では、真空チェンバ1を挟んで対峙する磁場発
生用磁石25,25の間隔を簡単な操作で箇々に調整す
ることができ、磁石列32,32の間に発生する磁場の
強度分布を極めて容易に適切な状態にすることができ
る。
ータ装置では、真空チェンバ1を挟んで対峙する磁場発
生用磁石25,25の間隔を簡単な操作で箇々に調整す
ることができ、磁石列32,32の間に発生する磁場の
強度分布を極めて容易に適切な状態にすることができ
る。
【0039】図3及び図4は本発明のアンジュレータ装
置の実施の形態の他の例を示すものであり、図中、図1
及び図2と同じものには同じ符号を付して説明を省略す
る。
置の実施の形態の他の例を示すものであり、図中、図1
及び図2と同じものには同じ符号を付して説明を省略す
る。
【0040】図3及び図4に示すアンジュレータ装置で
は、支持部材19の上面に配置されるガイド機構21の
間隔を図1及び図2に示すアンジュレータ装置よりも大
きくして、隣接する磁石固定金具24,24の間に、側
方から見て略コ字状となる凹部が形成された補助磁石固
定金具34を凹部が真空チェンバ1と対峙するように配
置している。
は、支持部材19の上面に配置されるガイド機構21の
間隔を図1及び図2に示すアンジュレータ装置よりも大
きくして、隣接する磁石固定金具24,24の間に、側
方から見て略コ字状となる凹部が形成された補助磁石固
定金具34を凹部が真空チェンバ1と対峙するように配
置している。
【0041】この補助磁石固定金具34は、ボルト37
によって支持部材19に固着されている。
によって支持部材19に固着されている。
【0042】また、補助磁石固定金具34の凹部には、
四角柱形状の補助磁石33が嵌入されており、該補助磁
石33は、ボルト36によって補助磁石固定金具34の
背面部分に固着されている。
四角柱形状の補助磁石33が嵌入されており、該補助磁
石33は、ボルト36によって補助磁石固定金具34の
背面部分に固着されている。
【0043】上記の補助磁石33は、真空チェンバ1の
一端側がN極あるいはS極となり且つ真空チェンバ1の
他端側がS極あるいはN極となるように、また磁場発生
用磁石25を挟んで隣接するものの極性が交互に異なる
ようになっている。
一端側がN極あるいはS極となり且つ真空チェンバ1の
他端側がS極あるいはN極となるように、また磁場発生
用磁石25を挟んで隣接するものの極性が交互に異なる
ようになっている。
【0044】上述した支持部材19、ガイド機構21、
磁石固定金具24、磁場発生用磁石25、補助磁石3
3、補助磁石固定金具34によって構成される一対の磁
石列38,38、極性の異なる磁場発生用磁石25が真
空チェンバ1を挟んで対峙するように構成されており、
この磁石列38,38によって、真空チェンバ1の内部
を進行する電子ビーム4に軌道面に水平な方向を向き且
つ該電子ビーム4に対して正弦波的な周期を有する磁場
が発生するようになっている。
磁石固定金具24、磁場発生用磁石25、補助磁石3
3、補助磁石固定金具34によって構成される一対の磁
石列38,38、極性の異なる磁場発生用磁石25が真
空チェンバ1を挟んで対峙するように構成されており、
この磁石列38,38によって、真空チェンバ1の内部
を進行する電子ビーム4に軌道面に水平な方向を向き且
つ該電子ビーム4に対して正弦波的な周期を有する磁場
が発生するようになっている。
【0045】従って、図3及び図4に示すアンジュレー
タ装置においても、真空チェンバ1を挟んで対峙する磁
場発生用磁石25,25の間隔を簡単な操作で箇々に調
整することができ、磁石列38,38の間に発生する磁
場の強度分布を極めて容易に適切な状態にすることがで
きる。
タ装置においても、真空チェンバ1を挟んで対峙する磁
場発生用磁石25,25の間隔を簡単な操作で箇々に調
整することができ、磁石列38,38の間に発生する磁
場の強度分布を極めて容易に適切な状態にすることがで
きる。
【0046】なお、本発明のアンジュレータ装置は上述
した実施の形態のみに限定されるものではなく、本発明
の要旨を逸脱しない範囲内において、種々変更を加え得
ることは勿論である。
した実施の形態のみに限定されるものではなく、本発明
の要旨を逸脱しない範囲内において、種々変更を加え得
ることは勿論である。
【0047】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の請求項1及
び請求項2に記載したアンジュレータ装置のいずれにお
いても、移動機構によって、磁石固定金具に取り付けら
れた磁場発生用磁石を、磁石固定金具とともにガイド機
構に沿って平行移動させるので、真空チェンバを挟んで
対向する磁場発生用磁石の間隔を簡単な操作で箇々に調
整することができ、磁石列の間に発生する磁場の強度分
布を極めて容易に適切な状態にすることができる、とい
う優れた効果を奏し得る。
び請求項2に記載したアンジュレータ装置のいずれにお
いても、移動機構によって、磁石固定金具に取り付けら
れた磁場発生用磁石を、磁石固定金具とともにガイド機
構に沿って平行移動させるので、真空チェンバを挟んで
対向する磁場発生用磁石の間隔を簡単な操作で箇々に調
整することができ、磁石列の間に発生する磁場の強度分
布を極めて容易に適切な状態にすることができる、とい
う優れた効果を奏し得る。
【図1】本発明のアンジュレータ装置の実施の形態の一
例を示す平面図である。
例を示す平面図である。
【図2】図1のII−II矢視図である。
【図3】本発明のアンジュレータ装置の実施の形態の他
の例を示す平面図である。
の例を示す平面図である。
【図4】図3のIV−IV矢視図である。
【図5】アンジュレータ装置の原理を示す斜視図であ
る。
る。
【図6】従来のアンジュレータ装置の一例を示す平面図
である。
である。
【図7】図6のVII−VII矢視図である。
【図8】図6のVIII−VIII矢視図である。
1 真空チェンバ 19 支持部材 21 ガイド機構 25 磁場発生用磁石 28 移動機構 32 磁石列 33 補助磁石 38 磁石列
Claims (2)
- 【請求項1】 同形状の複数の磁場発生用磁石を隣接す
るものの極性が交互に異なるように支持部材により支持
した一対の磁石列を備え、該磁石列を磁性の異なる磁場
発生用磁石が真空チェンバを挟んで対峙するように配置
したアンジュレータ装置において、それぞれの磁場発生
用磁石と支持部材との間に、箇々の磁場発生用磁石を真
空チェンバに近接離反する方向へ移動させ得るガイド機
構を介在させ、箇々の磁場発生用磁石を支持部材に対し
て真空チェンバに近接離反する方向へ移動させる移動機
構を設けたことを特徴とするアンジュレータ装置。 - 【請求項2】 同形状の複数の磁場発生用磁石を隣接す
るものの極性が交互に異なるように支持部材により等間
隔に支持し且つ同形状の複数の補助磁石を前記の磁場発
生用磁石の間に位置するように支持部材により支持した
一対の磁石列を備え、該磁石列を磁性の異なる磁場発生
用磁石が真空チェンバを挟んで対峙するように配置した
アンジュレータ装置において、各磁場発生用磁石と支持
部材との間に、箇々の磁場発生用磁石を真空チェンバに
近接離反する方向へ移動させ得るガイド機構を介在さ
せ、箇々の磁場発生用磁石を支持部材に対して真空チェ
ンバに近接離反する方向へ移動させる移動機構を設けた
ことを特徴とするアンジュレータ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1172596A JPH09204997A (ja) | 1996-01-26 | 1996-01-26 | アンジュレータ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1172596A JPH09204997A (ja) | 1996-01-26 | 1996-01-26 | アンジュレータ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09204997A true JPH09204997A (ja) | 1997-08-05 |
Family
ID=11786021
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1172596A Pending JPH09204997A (ja) | 1996-01-26 | 1996-01-26 | アンジュレータ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09204997A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006344466A (ja) * | 2005-06-08 | 2006-12-21 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 電磁石の位置調整装置 |
-
1996
- 1996-01-26 JP JP1172596A patent/JPH09204997A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006344466A (ja) * | 2005-06-08 | 2006-12-21 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 電磁石の位置調整装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4880123B2 (ja) | イオンビーム走査システム | |
US3666977A (en) | Linear positioner | |
US9502166B2 (en) | Variable-cycle permanent-magnet undulator | |
WO2004069052A1 (ja) | 磁界発生装置 | |
US20040070285A1 (en) | Electric motors with reduced stray magnetic fields | |
US4800353A (en) | Micropole undulator | |
EP2975914B1 (en) | Electromagnet support base | |
JPH09204997A (ja) | アンジュレータ装置 | |
JP2016528683A (ja) | 電子ビーム拡散断面用ドレッサー及びドレス方法 | |
JPH07296999A (ja) | アンジュレータ装置 | |
JP2000075100A (ja) | 荷電粒子照射装置 | |
JPH10326700A (ja) | 挿入型偏光発生装置 | |
JPH09204998A (ja) | 挿入光源 | |
JP7452305B2 (ja) | アンジュレータユニットおよびアンジュレータ | |
JP2862459B2 (ja) | 多連偏向電磁石装置 | |
US20240282494A1 (en) | Two-period inverter, associated method, device and installation | |
JPH09204995A (ja) | 挿入光源の組立方法 | |
US20240064887A1 (en) | Force Neutral Adjustable Phase Undulator | |
JPH11142596A (ja) | 荷電粒子ビーム出射装置 | |
JPH05299199A (ja) | アンジュレータ | |
Tirsell et al. | Development of a NdFe-steel hybrid wiggler for SSRL | |
JPH0514400B2 (ja) | ||
JPH10116700A (ja) | 挿入型偏光発生装置 | |
JP2023132648A (ja) | アンジュレータ | |
JP2023129009A (ja) | アンジュレータ |