JP7452305B2 - アンジュレータユニットおよびアンジュレータ - Google Patents

Description

本発明は、電子貯蔵リング等に設置されるアンジュレータ（挿入光源）に関する。

真空中において光速近くまで加速された電子ビームが磁界中で曲げられると、電子ビームの移動軌跡の接線方向に放射光を発光し、これをシンクロトロン放射光と呼んでいる。このようなシンクロトロン放射光を発生させる光源を、電子貯蔵リング（電子ビーム蓄積リング）の直線部に設置し、高指向性、高強度、高偏光性などの特性を生かした種々の技術の実用化のための研究が行われている。今日の電子貯蔵リングには、より高いビーム電流、より小さなビーム断面積による高輝度光源であるアンジュレータ（挿入光源）が複数設けられている。

アンジュレータのうち、可変偏光アンジュレータの一つとして、ＡＰＰＬＥ（Ａｄｖａｎｃｅｄ Ｐｌａｎａｒ Ｐｏｌａｒｉｚｅｄ Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｅｒ）ＩＩ 型アンジュレータ（以下ＡＰＰＬＥＩＩ）が知られており、特許文献１や非特許文献１などに紹介されている。ＡＰＰＬＥＩＩは、ギャップ間隔の変更だけでなく、上下２列の対向する磁石列のうち、斜め向かいに対向する1対の磁石列の位置関係を保持したまま、もう1対の磁石列を電子ビームの方向（磁石列の配列方向）に機械的に駆動する構造（以下、ＡＰＰＬＥＩＩの構造と称する）によって、電子軌道上での磁場を変化させ、水平直線偏光～左(右)円偏光～垂直直線偏光の偏光を発生させることが可能であるという特徴を有している。

一方、ＳＰｒｉｎｇ－８など大型の放射光施設に設置されるアンジュレータは、通常ビーム方向の長さが２ｍ程度以上の大きなものであるが、大学などの研究機関にあるような小型の放射光施設においては、できるだけ磁石列の長さが短いアンジュレータが求められることがある。さらに、昨今ＡＰＰＬＥＩＩで発生させる異なる偏光を組み合わせて任意の偏光を得る分割型ＡＰＰＬＥＩＩが望まれており、このタイプのアンジュレータでは、磁石列の長さが従来より短いものを組み合わせて使用する。

特開平１０－２２０９９号公報

角野和義、他３名、「新型可変偏光アンジュレータの解析」ＪＡＥＲＩ－Ｍレポート、日本原子力研究所、１９９３年８月、９３－１５６号

図１０は従来型のＡＰＰＬＥＩＩであり、図１０（ａ）は正面側斜視図、図１０（ｂ）は背面側斜視図である。ＡＰＰＬＥＩＩでは上に述べたように、上下２列の対向する磁石列ｍ１～ｍ４において、斜め向かいに対向する1対の磁石列を電子ビームの方向に機械的に駆動する。このため、位相駆動機構７１、７２は駆動する磁石列に対応して斜め向かいに対向する位置にそれぞれ必要となる。したがって、連結ビーム７４の背面側（支柱側）に位相駆動機構を取り付けるスペースが必要となる。図１０のような従来のＡＰＰＬＥＩＩであれば連結ビーム７４の背面側の支柱７５と支柱７６の間に位相駆動機構を取り付けるための十分なスペースがあるが、磁石列の長さが短くなるにつれて支柱を１本にせざるを得なくなり、連結ビームの背面側に駆動機構を設置するスペースがなくなって、ＡＰＰＬＥＩＩの構造を実現することが困難であるという問題があった。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、支柱が１本でもＡＰＰＬＥＩＩの構造が実現可能なアンジュレータユニットおよび該アンジュレータユニットで形成したアンジュレータを提供することを目的とする。

上記課題を解決するためになされた本発明に係るアンジュレータユニットは、
複数の磁石が列状に配置され、互いに並んで配置される第１駆動磁石列および第１固定磁石列と、前記第１駆動磁石列および第１固定磁石列が取り付け支持される第１駆動磁石支持体および第１固定磁石支持体と、
複数の磁石が列状に配置されるとともに、前記第１駆動磁石列および第１固定磁石列とギャップを介して対向する第２固定磁石列および第２駆動磁石列と、前記第２固定磁石列および第２駆動磁石列が取り付け支持される第２固定磁石支持体および第２駆動磁石支持体と、
前記第１駆動磁石支持体および第１固定磁石支持体と各々一体的に連結された第１駆動連結ビームおよび第１固定連結ビームと、
前記第２固定磁石支持体および第２駆動磁石支持体と各々一体的に連結された第２固定連結ビームおよび第２駆動連結ビームと、
１本の支柱と、
前記ギャップに、電子ビームが通過するための真空槽と、を備え、
前記第１駆動磁石列および前記第２駆動磁石列、前記第１固定磁石列および前記第２固定磁石列は互いに斜め向かいに配置されており、
前記第1駆動磁石列および前記第2固定磁石列は前記支柱に近い側、前記第１固定磁石列および前記第２駆動磁石列は前記支柱から遠い側、に配置されており、
前記第１駆動磁石列を前記第１固定磁石列に対して前記複数の磁石の配列方向に駆動する第１位相駆動機構が前記第1固定連結ビームに取り付けられており、前記第２駆動磁石列を前記第２固定磁石列に対して前記複数の磁石の配列方向に駆動する第２位相駆動機構が前記第２駆動連結ビームに取り付けられており、
前記第１駆動連結ビームと前記第１固定連結ビーム、および、前記第２固定連結ビームと前記第2駆動連結ビームは、リニアガイドによって各々相対的に移動可能に連結されており、
前記ギャップの大きさを変更するため、前記第１駆動磁石支持体および第１固定磁石支持体、および／または、前記第２固定磁石支持体および第２駆動磁石支持体を磁石が向かい合う方向に駆動するためのギャップ駆動機構と、前記第１固定連結ビームおよび前記第２固定連結ビームの少なくとも一方と、前記ギャップ駆動機構とを連結するための駆動連動機構を有し、
前記第１固定連結ビームが第１サドル、および、前記第２固定連結ビームが第２サドルによって、前記駆動連動機構を介して前記支柱に連結されていることを特徴とする。

ある実施形態において、前記第１固定連結ビームおよび前記第２駆動連結ビームは窓部を有し、前記第１位相駆動機構および前記第２位相駆動機構が前記窓部を通じて各々前記第１駆動連結ビームおよび前記第２固定連結ビームに連結されていることを特徴とする。

本発明に係るアンジュレータは、前記アンジュレータユニットを単独で含んで形成されている。

本発明に係るアンジュレータは、前記アンジュレータユニットを複数組み合わせて形成されている。

本発明によれば、支柱が１本でもＡＰＰＬＥＩＩの構造が実現可能なアンジュレータユニットおよび該アンジュレータユニットで形成したアンジュレータを提供することができる。

本発明の実施形態に係るアンジュレータユニット１００の正面側斜視図である。 本発明の実施形態に係るアンジュレータユニット１００の左側面図である。 本発明の実施形態に係るアンジュレータユニット１００の左側面図のうち、磁石列付近の拡大図である。 磁石列の動きを説明するための、第１駆動磁石列ＭＤ１、第１固定磁石列ＭＦ１、第２駆動磁石列ＭＤ２、第２固定磁石列ＭＦ２近傍の拡大斜視図である。 第１連結ビームユニット１１０の図であり、（ａ）は正面から見て左側面図、（ｂ）は正面図である。 第２連結ビームユニット１２０の図であり、（ａ）は正面から見て左側面図、（ｂ）は正面図である。 アンジュレータユニット１００を４台連結して１台のアンジュレータとしたアンジュレータ２００の正面側斜視図である。 アンジュレータ２００の左側面図である。 アンジュレータ２００の正面図である。 従来のアンジュレータを示す斜視図であり、（ａ）は正面側斜視図。（ｂ）は背面側斜視図である。

以下、図面を用いて本発明のアンジュレータユニットについて説明する。

図１は本発明の一実施形態に係るアンジュレータユニット１００の正面側斜視図である。図１においては、アンジュレータユニット１００を載置する架台および磁石列の間（ギャップσ）に配置される真空槽や真空槽につながるポンプなどの真空系は省略されている。これらについては次の実施形態において説明する。アンジュレータユニット１００は、単独で1台のアンジュレータとしても、複数組み合わせて1台のアンジュレータとしても用いることができる。なお、本明細書における説明では便宜上、支柱１０と反対側をアンジュレータユニット１００の正面、支柱１０側を背面と呼ぶが、アンジュレータユニット１００の設置方向等を限定するものではない。

図２は本発明の実施形態に係るアンジュレータユニット１００の正面から見て左側面図であり、図３はその磁石列付近の拡大図である。図２、３においても架台と真空系は省略されている。

本発明のアンジュレータユニット１００において磁場を調整する方法としては、磁石列を各々が対向する方向に動かしてギャップσの大きさを調整する方法と、磁石列を磁石の配列方向（電子ビーム方向）に動かして電子ビーム方向の磁石列間の位相を調整することで磁場を変える方法の両方を用いることができる。ギャップの大きさを調整する方法に関しては、従来の公知の方法と同様であるので、以下においては、磁石間の位相の調整を可能にする構成を中心に説明する。ギャップの大きさの調整を可能にする構成についてはその後で簡単に説明する。

まず、磁石列の周辺の構成について説明する。第1駆動磁石列MＤ１、第１固定磁石列ＭＦ１、第２固定磁石列ＭＦ２、第２駆動磁石列ＭＤ２には、複数の磁石が列状に配置されており、図１～３に示すように、第1駆動磁石列MＤ１と第１固定磁石列MＦ１、第２固定磁石列MＦ２と第２駆動磁石列MＤ２が並んで近接配置されている。図３に示すように、第1駆動磁石列MＤ１、第１固定磁石列ＭＦ１、第２固定磁石列ＭＦ２、第２駆動磁石列ＭＤ２はそれぞれ第１駆動磁石支持体１、第１固定磁石支持体２、第２固定磁石支持体３、第２駆動磁石列支持体４に支持されており、取付板５を介してそれぞれ第１駆動連結ビーム１１、第１固定連結ビーム１２、第２固定連結ビーム１３、第２駆動連結ビーム１４に一体的に連結されている。第１駆動磁石支持体１、第１固定磁石支持体２、第２固定磁石支持体３、第２駆動磁石列支持体４は、取付板５を介さずにそれぞれ直接第１駆動連結ビーム１１、第１固定連結ビーム１２、第２固定連結ビーム１３、第２駆動連結ビーム１４に連結されてもよい。第１駆動磁石列MＤ１と第１固定磁石列ＭＦ１、および、第２固定磁石列ＭＦ２と第２駆動磁石列ＭＤ２はギャップσを介して対向しており、第１駆動磁石列MＤ１と第２駆動磁石列ＭＤ２、第１固定磁石列ＭＦ１と第２固定磁石列ＭＦ２はそれぞれが対になって斜め向かいに対向（交差するように対向）している。

続いて、連結ビーム周辺の構成について説明する。本発明においては、連結ビームを駆動側と固定側にわけ、それぞれに磁石列および磁石列支持体を一体的に連結する。そして駆動側の連結ビームを動かすことによって駆動側の磁石列を動かす。

具体的には、図１～３の例において、第１固定磁石列ＭＦ１が連結されている第１固定連結ビーム１２は、第１サドル４１によって駆動連動機構２２を介して支柱１０に連結されている。そして、第１駆動磁石列ＭＤ１が連結されている第１駆動連結ビーム１１は2本のリニアガイド１５によって第２固定連結ビーム１２に磁石の配列方向に相対的に移動可能に連結されている。

同様に、第２固定磁石列ＭＦ２が連結されている第２固定連結ビーム１３は、第２サドル４２によって駆動連動機構２２を介して支柱１０に連結されている。そして、第２駆動磁石列ＭＤ２が連結されている第２駆動連結ビーム１４は2本のリニアガイド１５によって第２固定連結ビーム１３に磁石の配列方向に相対的に移動可能に連結されている。

第１駆動磁石列ＭＤ１を第１固定磁石列ＭＦ１に対して磁石の配列方向に駆動させる第１位相駆動機構３１が第１固定連結ビーム１２に、第２駆動磁石列ＭＤ２を第２固定磁石列ＭＦ２に対して磁石の配列方向に駆動させる第２位相駆動機構３２が第２駆動連結ビーム１４に、すなわち、位相駆動機構は両方とも正面側の連結ビームに取り付けられている。

この、連結ビームを駆動側と固定側で別々にし、第1サドル４１および第2サドル４２によって固定側の連結ビーム（第１固定連結ビーム１２および第２固定連結ビーム１３）を支柱１０に連結し、固定側の連結ビームと駆動側の連結ビーム（第１駆動連結ビーム１１および第２駆動連結ビーム１４）をリニアガイド１５によって連結する構造によって、第１位相駆動機構３１および第２位相駆動機構３２を共に支柱１０と反対側に配置することができるので、支柱１０が１本であり、支柱１０側に位相駆動機構を配置する十分なスペースがなくても、両方の位相駆動機構をアンジュレータユニット１００に配置することが可能となる。なお、本発明におけるアンジュレータユニットに含まれる支柱１０は1本のみであるが、数本の部材が合わさって形成され、当該部材間に他の機構を配置できるような隙間がない場合も実質的に1本の支柱１０とみなすこととする。

次に、磁石列の動きについて説明する。図４は第１駆動磁石列ＭＤ１、第１固定磁石列ＭＦ１、第２固定磁石列ＭＦ２、第２駆動磁石列ＭＤ２近傍の拡大斜視図である。図４でも真空槽などの真空系は省略されている。第１位相駆動機構３１によって第１駆動連結ビーム１１が磁石の配列方向に移動するのに伴って、第１駆動連結ビーム１１に取付板５を介して連結されている第１駆動磁石列ＭＤ１および第１駆動磁石支持体１が図の矢印の方向に移動し、同じく、第２位相駆動機構３２によって第２駆動連結ビーム１４が磁石の配列方向に移動するのに伴って、第２駆動連結ビーム１４に取付板５を介して連結されている第２駆動磁石列ＭＤ２および第２駆動磁石支持体４が図の矢印の方向に移動する。図４の例は、第１固定磁石列ＭＦ１と第２固定磁石列ＭＦ２に対して、第１駆動磁石列ＭＤ１と第２駆動磁石列ＭＤ２が磁石の配列方向（アンジュレータユニット１００の正面から見て右側）に動いたところである。

続いて、第１位相駆動機構３１および第２位相駆動機構３２による連結ビームの動きについて説明する。図５は、第１連結ビームユニット１１０の図であり、図５（ａ）は正面側から見て左側面図、図５（ｂ）は正面図である。第１連結ビームユニット１１０は、第１駆動磁石列ＭＤ１、第１固定磁石列ＭＦ２、第１駆動磁石支持体１、第１固定磁石支持体２、第１駆動連結ビーム１１、第１固定連結ビーム１２、リニアガイド１５、第１位相駆動機構３１、第１サドル４１、スライダー４３を含む。図５の例では、第１駆動磁石支持体１、第１固定磁石支持体２は、取付板５を介してそれぞれ第１駆動連結ビーム１１、第１固定連結ビーム１２に一体的に連結されている。

第１位相駆動機構３１は、モータ３３、ボールねじ３４、ボールねじホルダ３５を含む。第１位相駆動機構３１はボールねじホルダ３５が第１固定連結ビーム１２の窓部１６を通じて第１駆動連結ビーム１１に固定されることによって第１駆動連結ビーム１１に連結されている。また、第１駆動連結ビーム１１と第１固定連結ビーム１２はリニアガイド１５によって磁石の配列方向に移動可能に連結されている。モータ３３の回転に伴ってボールねじ３４が回転するとボールねじホルダ３５が磁石の配列方向（電子ビーム方向）に移動する。第１固定連結ビーム１２は第１サドル４１によって支柱１０（図５（ａ）（ｂ）では不図示）に磁石の配列方向が固定されており、ボールねじホルダ３５は第１駆動連結ビーム１１に固定されているので、ボールねじホルダ３５の動きに伴って第１駆動連結ビーム１１が磁石の配列方向（ボールねじホルダ３５の移動方向と逆方向）に移動し、それに伴い第１駆動磁石列ＭＤ１が磁石の配列方向に移動する。第１固定連結ビーム１２は第１サドル４１によって固定されているので、第１固定磁石列ＭＦ１は動かない。

同様に、図６は、第２連結ビームユニット１２０の図であり、図６（ａ）は正面側から見て左側面図、図６（ｂ）は正面図である。第２連結ビームユニット１２０は、第２固定磁石列ＭＦ２、第２駆動磁石列ＭＤ２、第２固定磁石支持体３、第２駆動磁石支持体４、第２固定連結ビーム１３、第２駆動連結ビーム１４、リニアガイド１５、第２位相駆動機構３２、第２サドル４２、スライダー４３を含む。図６の例では、第２固定磁石支持体３、第２駆動磁石列支持体４は、取付板５を介してそれぞれ第２固定連結ビーム１３、第２駆動連結ビーム１４に一体的に連結されている。

第２位相駆動機構３２は、モータ３３、ボールねじ３４、ボールねじホルダ３５を含む。図５と同じ働きをするものについては同じ符号で説明する。第２位相駆動機構３２はボールねじホルダ３５が第２駆動連結ビーム１４の窓部１６を通じて第２固定連結ビーム１３に固定されることによって、第２固定連結ビーム１３に連結されている。また、第２固定連結ビーム１３と第２駆動連結ビーム１４はリニアガイド１５によって磁石の配列方向に移動可能に連結されている。モータ３３の回転に伴ってボールねじ３４が回転するとボールねじホルダ３５が磁石の配列方向（電子ビーム方向）に移動する。第２固定連結ビーム１３は第２サドル４２によって支柱１０（図６（ａ）（ｂ）では不図示）に固定されており、ボールねじホルダ３５は第２固定連結ビーム１３に固定されているので、図６（ａ）（ｂ）の場合は、ボールねじホルダ３５の動きに伴って固定されていない第２駆動連結ビーム１４が磁石の配列方向（ボールねじホルダ３５の移動方向）に移動し、それに伴い第２駆動磁石列ＭＤ２が磁石の配列方向に移動する。第２固定連結ビーム１３は第２サドル４２によって固定されているので、第２固定磁石列ＭＦ２は動かない。

以上のように、第１位相駆動機構３１および第２位相駆動機構３２は、ボールねじホルダ３５によって図５、図６の両方において、窓部１６を通じて支柱１０側の連結ビームに連結されているので、第１位相駆動機構３１および第２位相駆動機構３２が動くこと、すなわち、ボールねじ３４が回ることによってボールねじホルダ３５が動くこと、によって、位相駆動機構が固定されている連結ビームが固定側の場合、反対側の駆動側の連結ビームが動き、位相駆動機構が固定されている連結ビームが駆動側の場合、駆動側の連結ビームが動く。それにより、斜め向かいに対向する１対の磁石列を動かし他方を固定する、ＡＰＰＬＥＩＩの動きを実現することができる。

なお、本明細書の図面においては便宜上、第１連結ビームユニット１１０が上側、第２連結ビームユニット１２０が下側に配置されているが、上下が逆でもよい。さらに、支柱１０は垂直方向、各々の磁石列は水平方向に配置されているが、図面の方向に限定されない。例えば支柱１０が水平方向でも斜め方向でもよく、各々の磁石列が垂直方向でも斜め方向でもよい。

次に、ギャップσの大きさを調整する方法であるが、例えば国際公開第２０１８／１４３２５３号などに記載の公知の方法を用いることができる。本明細書では図１、２を参照して簡単に説明する。ギャップ駆動機構２１は、モータ２３、変換部２４を含む。変換部２４は駆動伝達の方向を９０°変換する。駆動連動機構２２はボールねじ２５を含む。ボールねじ２５にはサドル４１とサドル４２の少なくとも一方がスライダー４３によって連結されている。第１駆動連結ビーム１１と第１固定連結ビーム１２、および第２固定連結ビーム１３と第２駆動連結ビーム１４はお互いにリニアガイド１５によって連結されているので、サドル４１および／またはサドル４２の位置を変えることによって第１駆動連結ビーム１１および第１固定連結ビーム１２と第２固定連結ビーム１３および第２駆動連結ビーム１４の磁石列が対向する方向の位置、延いては、第１駆動磁石列ＭＤ１および第１固定磁石列ＭＦ２と第２固定磁石列ＭＦ２および第２駆動磁石列ＭＤ２の磁石列が対向する方向の位置が決まる。したがって、ギャップ駆動機構２１を駆動する（モータ２３の回転を変換部２４によって駆動連動機構に伝え、ボールねじ２５を回転させる）ことで、サドル４１とサドル４２の少なくとも一方を動かしてギャップσの大きさを変更することができる。

続いて、本発明のアンジュレータユニットを複数連結して１台のアンジュレータとして用いる実施形態について説明する。なお、磁石列や駆動機構の動きについてはアンジュレータユニット１００と同様であるので省略する。

図７は、アンジュレータユニット１００を４台連結して１台のアンジュレータとしたアンジュレータ２００の正面側斜視図である。図８は、アンジュレータ２００の正面から見て左側側面図であり、図９はアンジュレータ２００の正面図である。連結するアンジュレータユニット１００の台数に制限はなく、アンジュレータ２００が設置される放射光施設のスペースや、偏光の組み合わせなどによって適宜選定される。

図７～９には、図１～３で省略した架台や真空系も示している。電子ビームが通過する薄型の真空槽５１はギャップσの中央に配置され、正面側に並列配置されたポンプ室５２を通じてポンプ５３につながっている。これらは、支持体６２の上に設置された支持部材６３がポンプ室５２を固定することによって、支持体６２、支持部材６３により架台６１の上に支持されている。

例えば、アンジュレータユニット１００Aとその隣のアンジュレータユニット１００Bの間に不図示の位相器を設置し、アンジュレータユニット１００Aで発生する偏光とアンジュレータユニット１００Bで発生する偏光の間の位相を変えることによって、アンジュレータユニット１００Aで発生する偏光とアンジュレータユニット１００Bで発生する偏光を重ね合わせて任意の偏光を発生させることができる。

アンジュレータユニット１００を単独で１台のアンジュレータとして用いる場合は、１台分の長さの真空槽や架台などの部材をアンジュレータ２００と同様に設置すればよい。

本発明は、支柱が１本でもＡＰＰＬＥＩＩの構造が実現可能であるＡＰＰＬＥＩＩ型アンジュレータユニット、および複数のアンジュレータユニットを組み合わせたアンジュレータを提供できるという点で産業上の利用可能性を有する。

１００ アンジュレータユニット
２００ アンジュレータ
ＭＤ１ 第１駆動磁石列
ＭＦ１ 第１固定磁石列
ＭＤ２ 第２駆動磁石列
ＭＦ２ 第２固定磁石列
１ 第１駆動磁石支持体
２ 第１固定磁石支持体
３ 第２固定磁石支持体
４ 第２駆動磁石支持体
１０ 支柱
１１ 第１駆動連結ビーム
１２ 第１固定連結ビーム
１３ 第２固定連結ビーム
１４ 第２駆動連結ビーム
１５ リニアガイド
１６ 窓部
２１ ギャップ駆動機構
２２ 駆動連動機構
３１ 第１位相駆動機構
３２ 第２位相駆動機構
４１ 第１サドル
４２ 第2サドル
５１ 真空槽
６１ 架台

Claims (4)

1. 複数の磁石が列状に配置され、互いに並んで配置される第１駆動磁石列および第１固定磁石列と、前記第１駆動磁石列および第１固定磁石列が取り付け支持される第１駆動磁石支持体および第１固定磁石支持体と、
   複数の磁石が列状に配置されるとともに、前記第１駆動磁石列および第１固定磁石列とギャップを介して対向する第２固定磁石列および第２駆動磁石列と、前記第２固定磁石列および第２駆動磁石列が取り付け支持される第２固定磁石支持体および第２駆動磁石支持体と、
   前記第１駆動磁石支持体および第１固定磁石支持体と各々一体的に連結された第１駆動連結ビームおよび第１固定連結ビームと、
   前記第２固定磁石支持体および第２駆動磁石支持体と各々一体的に連結された第２固定連結ビームおよび第２駆動連結ビームと、
   １本の支柱と、
   前記ギャップに、電子ビームが通過するための真空槽と、を備え、
   前記第１駆動磁石列および前記第２駆動磁石列、前記第１固定磁石列および前記第２固定磁石列は互いに斜め向かいに配置されており、
   前記第1駆動磁石列および前記第2固定磁石列は前記支柱に近い側、前記第１固定磁石列および前記第２駆動磁石列は前記支柱から遠い側、に配置されており、
   前記第１駆動磁石列を前記第１固定磁石列に対して前記複数の磁石の配列方向に駆動する第１位相駆動機構が前記第1固定連結ビームに取り付けられており、前記第２駆動磁石列を前記第２固定磁石列に対して前記複数の磁石の配列方向に駆動する第２位相駆動機構が前記第２駆動連結ビームに取り付けられており、
   前記第１駆動連結ビームと前記第１固定連結ビーム、および、前記第２固定連結ビームと前記第2駆動連結ビームは、リニアガイドによって相対的に移動可能に連結されており、
   前記第１駆動磁石支持体および第１固定磁石支持体、および／または、前記第２固定磁石支持体および第２駆動磁石支持体を磁石が向かい合う方向に駆動するためのギャップ駆動機構と、前記第１固定連結ビームおよび前記第２固定連結ビームの少なくとも一方と、前記ギャップ駆動機構とを連結するための駆動連動機構を有し、
   前記第１固定連結ビームが第１サドル、および、前記第２固定連結ビームが第２サドルによって、前記駆動連動機構を介して前記支柱に連結されている、
   ことを特徴とするアンジュレータユニット。
2. 前記第１固定連結ビームおよび前記第２駆動連結ビームは窓部を有し、前記第１位相駆動機構および前記第２位相駆動機構が前記窓部を通じて各々前記第１駆動連結ビームおよび前記第２固定連結ビームに連結されていることを特徴とする、請求項１記載のアンジュレータユニット。
3. 請求項１または２記載のアンジュレータユニットを単独で含んで形成したことを特徴とするアンジュレータ。
4. 請求項１または２記載のアンジュレータユニットを複数組み合わせて形成したことを特徴とするアンジュレータ。