JPH09203623A - 形状測定装置及び方法 - Google Patents
形状測定装置及び方法Info
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- JPH09203623A JPH09203623A JP3294496A JP3294496A JPH09203623A JP H09203623 A JPH09203623 A JP H09203623A JP 3294496 A JP3294496 A JP 3294496A JP 3294496 A JP3294496 A JP 3294496A JP H09203623 A JPH09203623 A JP H09203623A
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Abstract
ォーカスがはずれたときに、被測定物との衝突を防ぎ、
フォーカス引き込み範囲に復帰可能とする。 【解決手段】 光学式変位計を非接触プローブ2として
備え、該非接触プローブ2を被測定物1の表面に沿って
走査させて、被測定物1の表面形状を測定する。非接触
プローブ2の対物レンズを位置信号により制御し、被測
定面からの反射光を受光して被測定面に非接触プローブ
の対物レンズをフォーカス状態に引き込み、引き込んだ
フォーカス状態を維持する。非接触プローブと被測定面
を一定距離に保ち、非接触プローフを被測定物表面に沿
って走査させ、フォーカス引き込み状態にあるかどうか
を判断する。フォーカス状態判別信号に基づいて、フォ
ーカス制御を切り替え、走査速度を変化させ、フォーカ
スはずれによる非接触プローブの暴走や、被測定物との
衝突の危険性を防止する。
Description
方法に係り、より詳細には、レンズ,ミラー等の光学素
子の形状測定、特に、非球面形状の測定装置及び方法に
関する。
としては、接触式プローブにより被測定物表面を走査
し、プローブの移動量により被測定物の形状を求める方
法が一般的であるが、この測定方法によると、被測定物
の表面に傷がつくという問題があった。そのため、被測
定物の表面の損傷が問題となるような測定の場合は、非
接触プローブを用いた非接触式測定方法が用いられるよ
うになってきている。この非接触測定方法は、非接触プ
ローブに設けられた物対レンズを被測定物の表面にフォ
ーカシングさせ、被測定面を走査し、物対レンズの移動
量から面形状を測定するものである。
測定面上にゴミや傷等があると、光が散乱し、受光され
る反射光が減少し、フォーカスはずれとなり、フォーカ
ス状態判別動作が不能となる場合が生じる。これは、形
状測定が不能になるだけでなく、非接触プローブが被測
定物に衝突してしまうなどの危険性が生じ、また、走査
方向へ移動した結果、被測定面上に傷,ゴミ等のない状
態になっても、フォーカス状態に復帰することができ
ず、測定を続行することが不可能になるなどの問題があ
った。
記載の発明では、フォーカス引き込み範囲をはずれたと
き、自動的に位置決めサーボ機構ループに切り替え、オ
ートフォーカス顕微鏡をその位置にロックし、これによ
り、対物レンズの焦点位置を、傷,ゴミ等を通過する直
前の位置にロックし、この状態で、非接触式プローブを
走査し、傷,ゴミ等を通過した時点で、再び、フォーカ
ス引き込み範囲に復し、これを検知することにより、自
動的にオートフォーカシングサーボ機構ループに復帰さ
せている。また、フォーカス状態判別は、受光素子の信
号が受光素子の中心付近にあることによって、フォーカ
ス状態を判別している。
の発明では、フォーカス引き込み範囲を越えるような段
差によりフォーカスがはずれた場合を想定し、フォーカ
スがはずれたときに位置制御系に切り替え、その位置を
保持し、対物レンズを上下してフォーカス引き込み範囲
を探し、フォーカス位置に復帰するようにしている。
カスがはずれた時に、フオーカス引き込み範囲に復帰さ
せる場合において、特開昭63−223513号公報の
発明では、対物レンズの焦点位置を傷,ゴミ等を通過す
る直前の位置にロックし、この状態で、非接触式プロー
ブを走査し、傷,ゴミ等を通過した時点で、再び、フォ
ーカス引き込み範囲に復している。これは、旋回走査に
よる極座標測定であるから、微小走査範囲においては、
被測定面のフォーカス方向における変位は微小であり、
無視できるためである。
ては、微小走査範囲における被測定面のフォーカス方向
における変位は微小ではなく、無視できない。従って、
特開昭63−223513号公報に記載の発明のよう
に、対物レンズをフォーカスがはずれる直前の位置に保
持して、微少量走査方向に移動しても、フォーカス状態
に復帰できるとは限らない。
載の発明では、フォーカス引き込み範囲を越えるような
段差によりフォーカスがはずれた場合を想定し、フォー
カスがはずれたときに位置制御系に切り替え、その位置
を保持し、対物レンズを上下してフォーカス引き込み範
囲を探し、フォーカス位置に復帰するようにしている
が、段差のエッジを通過する際、エッジで光が散乱し、
反射光が減少してしまうので、エッジ上でフォーカス引
き込み範囲に復帰することは不可能である。
鑑み、直線走査による直交座標測定においても、フォー
カスがはずれたときに、被測定物との衝突を防ぎ、フォ
ーカス引き込み範囲に復帰することが可能な形状測定装
置及び形状測定方法を提供することを目的としてなされ
たものである。
フォーカスはずれ以外にも、振動等の外乱、或いは、走
査開始位置の誤差による終了位置のずれなど、被測定物
に起因しない原因により、フォーカスがはずれることが
あり、フォーカス状態復帰動作を行っても、フォーカス
引き込み範囲に復帰できない場合がある。このような場
合、暴走を防ぐため、測定を停止するが、その際、再
度、測定し直さなければならず、時間や労力がかかって
いた。
作を行っても、フォーカス引き込み範囲に復帰できなか
った場合、それまでの形状測定データを無駄にすること
なく利用することのできる形状測定装置を提供すること
を目的としてなされたものである。
回走査による極座標測定では、走査方向における被測定
面の傾きの変化が小さく、反射光の受光量の変化も小さ
いため、受光量によってフォーカス状態を判別してい
る。しかし、直線走査による直交座標測定では、走査方
向における被測定面の傾きが変化し、反射光の受光量の
変化も無視できず、受光量によってフォーカス状態を判
別することは不可能である。
標測定においても有効な、フォーカス状態判別手段を提
供することを目的としてなされたものである。
式変位計を非接触プローブとして備え、該非接触プロー
ブを被測定物の表面に沿って走査させて、該被測定物の
表面形状を測定するプローブ走査式形状測定装置におい
て、前記非接触プローブの対物レンズを位置信号により
制御する第一の制御手段と、被測定物の表面からの反射
光を受光して被測定表面に前記非接触プローブの対物レ
ンズをフォーカス状態に引き込み、引き込んだフォーカ
ス状態を維持し、前記非接触プローブと被測定表面を一
定距離に保つ第二のフォーカス追従制御手段と、前記非
接触プローフを被測定物の表面に沿って走査させる手段
と、フォーカス引き込み状態にあるかどうかを判断する
フォーカス状態判別手段とを有し、フォーカス状態判別
信号に基づいて前記第一及び第二の2つの制御手段を切
り替える手段と、走査速度を変化させる手段とを有する
ことを特徴とするものである。
プローブとして備え、該非接触プローブを被測定物の表
面に沿って走査させて、該被測定物の表面形状を測定す
るプローブ走査式形状測定方法において、前記非接触プ
ローブの対物レンズを位置信号により制御する第一の制
御手段と、被測定物の表面からの反射光を受光して被測
定表面に前記非接触プローブの対物レンズをフォーカス
状態に引き込み、引き込んだフォーカス状態を維持し、
前記非接触プローブと被測定表面を一定距離に保つ第二
のフォーカス追従制御手段と、前記非接触プローフを被
測定物の表面に沿って走査させる手段と、フォーカス引
き込み状態にあるかどうかを判断するフォーカス状態判
別手段とを有し、フォーカス状態判別信号に基づいて前
記2つの制御手段を切り替えて走査速度を変化させる形
状測定方法において、前記フォーカス状態判別信号に基
づいて、フォーカスはずれ信号を検知した場合は、非接
触プローブをフォーカスがはずれる直前の位置に維持
し、走査方向に微少距離移動した点において、前記対物
レンズをフォーカス方向に前後させて、再度フォーカス
引き込み動作を実行し、フォーカス引き込み状態に復帰
させることを特徴とするものである。
測定装置において、前記フォーカスがはずれた位置を記
憶する手段,フォーカスがはずれるまでの形状測定デー
タを記憶する手段,エラー信号を発生する手段のうちい
ずれかを備えたことを特徴とするものである。
測定装置において、前記フォーカス引き込み状態にある
かどうかを判別するフォーカス状態判別手段は、受光素
子の受光量の変化率に基づいてフォーカス状態を判別す
ることを特徴とするものである。
するための概略構成図(図1(A)は平面図、図1
(B)は側面図)で、図中、1は被測定物、2は非接触
プローブで、該非接触プローブ2は、ここでは、X,
Y,Z軸の3軸(3,4,5)とし、被測定物1と非接
触プローブ2は水平に配置されている。従って、Y軸方
向がフォーカス方向であり、X、或いは、Z方向に走査
する。他に、被測定物1と非接触プローブ2を垂直(上
下)に配置し、Z方向をフォーカス方向とし、X,Y方
向に走査してもかまわない。また、フォーカス方向と1
走査方向の2軸でもかまわない。なお、6は被測定物1
の取付治具である。
図2に示すようなS字カーブを描き、bがフォーカス引
き込み範囲であり、ゼロクロス点aがフォーカ状態であ
る。被測定物の形状を測定するにあたり、位置制御によ
り、フォーカス引き込み範囲近傍に非接触プローブを設
定し、フォーカス追従制御に切り替える。この状態で走
査を開始する。それにより、非接触プローブの位置変化
と、フォーカス信号とにより形状を測定する。
る場合においても、フォーカス追従制御を行いつつ、走
査方向へ非接触プローブを移動させているとき、被測定
面上に傷,ゴミ或いは段差等何らかの影響により、図2
に示すフォーカス引き込み範囲をはずれた場合の処理フ
ローを図3に示す。
被測定面1のc点でフォーカスエラーが発生したとする
と、非接触プローブ2のフォーカス追従制御はフォーカ
スはずれ信号を出力し(S1)、フォーカス追従制御を
位置制御に切り替え(S3)、非接触プローブ2は、現
在位置を維持する(Rc)。これにより、非接触プロー
ブ2がフォーカスを失って暴走し、被測定物に衝突する
危険性を防止している。走査方向は、フォーカスはずれ
信号を受けて、走査を一時停止(S2)する(Xc)。
で、走査方向に微少量(ΔX)移動(S5)させる(X
d)。この点において、フォーカス方向の変化量ΔRは
無視できないので、再度フォーカス状態引き込み動作を
行(S6)う。フォーカス方向の変化量ΔRは無視でき
ないが微少であるため、非接触プローブはフォーカス引
き込み範囲の近傍に位置しているので、フォーカス方向
に変動させることにより、容易にフォーカス状態に設定
(S7)できる(Rd)。
量(微少量)移動した後停止してもよく、また、減速し
所定量移動した後、フォーカス引き込み可能な低速度と
してもよい。上述のように、フォーカス状態に復帰可能
であれば、フォーカス状態に復帰したことにより、測定
モードに戻り(S8)、走査しながらフォーカス追従制
御し形状測定を行う。
カス状態復帰動作を実行しても、フォーカス状態に復帰
不可能な場合が生じる。その場合は、測定続行は不可能
であり、エラー信号(フォーカスはずれ信号とは異な
る)を出力し(S10)、非接触プローブ(フォーカス
方向)をロックする(S11)。走査方向のコントロー
ラはエラー信号を受けて、走査方向もロック(S12)
すると同時に、フォーカスがはずれる直前の走査方向の
位置、及び、測定データを記憶し保存する(S13,S
14)。形状測定装置としては、この状態で待機(初期
状態)となる(S15)。再度、同一の被測定物を測定
する場合、保存した位置に非接触プローブを移動し、そ
の点から計測を再開する。これにより、フォーカスがは
ずれるまでの測定データを有効に利用することができ
る。
ス状態判別手段について説明する。図5は、非接触プロ
ーブの変位に対する応答と受光量の関係を示す図で、非
接触プローブの変位に対する応答eに対し、受光量は、
対物レンズと被測定面が垂直な場合fに対し、傾きgが
ある場合は少なくなっている。よって、旋回走査による
極座標測定では走査方向における被測定面の傾きは小さ
く、ほぼ垂直なので、受光量の変化は小さく、受光量に
対してスレッショルドhを設けてフォーカス状態を判別
している。しかし、直線走査による直交座標測定では、
走査方向における傾きは変化し、反射光の受光量の変化
も無視できないので、受光量によってフォーカス状態を
判別することは不可能である。そのため、測定時に受光
量の変化率を求め、受光量の変化率の所定の値をスレッ
ショルドとして設け、フォーカス状態を判別する。
を非接触プローブとして備え、該非接触プローブを被測
定物の表面に沿って走査させて、該被測定物の表面形状
を測定するプローブ走査式形状測定装置において、前記
非接触プローブの対物レンズを位置信号により制御する
第一の制御手段と、被測定物の表面からの反射光を受光
して被測定表面に前記非接触プローブの対物レンズをフ
ォーカス状態に引き込み、引き込んだフォーカス状態を
維持し、前記非接触プローブと被測定表面を一定距離に
保つ第二のフォーカス追従制御手段と、前記非接触プロ
ーフを被測定物の表面に沿って走査させる手段と、フォ
ーカス引き込み状態にあるかどうかを判断するフォーカ
ス状態判別手段とを有し、フォーカス状態判別信号に基
づいて前記第一及び第二の2つの制御手段を切り替える
手段と、走査速度を変化させる手段とを有することを特
徴とし、フォーカス状態判別信号に基づいて、フォーカ
ス制御を切り替えて走査速度を変化させているので、フ
ォーカスはずれによる非接触プローブの暴走や、被測定
物との衝突の危険性を防止でき、かつ、走査方向の微少
な変動に対するフォーカス方向の変動を無視できない直
線走査による直交座標測定においても、フォーカス状態
に復帰でき、測定を続行することができる。また、段差
などにより、フォーカスがはずれた場合にも、そのエッ
ジによる光の散乱の影響を回避することができ、フォー
カス状態に復帰でき、測定を続行することができる。
非接触プローブとして備え、該非接触プローブを被測定
物の表面に沿って走査させて、該被測定物の表面形状を
測定するプローブ走査式形状測定方法において、前記非
接触プローブの対物レンズを位置信号により制御する第
一の制御手段と、被測定物の表面からの反射光を受光し
て被測定表面に前記非接触プローブの対物レンズをフォ
ーカス状態に引き込み、引き込んだフォーカス状態を維
持し、前記非接触プローブと被測定表面を一定距離に保
つ第二のフォーカス追従制御手段と、前記非接触プロー
フを被測定物の表面に沿って走査させる手段と、フォー
カス引き込み状態にあるかどうかを判断するフォーカス
状態判別手段とを有し、フォーカス状態判別信号に基づ
いて前記2つの制御手段を切り替えて走査速度を変化さ
せる形状測定方法において、前記フォーカス状態判別信
号に基づいて、フォーカスはずれ信号を検知した場合
は、非接触プローブをフォーカスがはずれる直前の位置
に維持し、走査方向に微少距離移動した点において、前
記対物レンズをフォーカス方向に前後させて、再度フォ
ーカス引き込み動作を実行し、フォーカス引き込み状態
に復帰させることを特徴とし、フォーカス判別信号に基
づいて、フォーカスはずれ信号を検知した場合は、非接
触プローブをフォーカスがはずれる直前の位置に維持
し、走査方向に微少距離移動した点において、対物レン
ズをフォーカス方向に前後させて、再度フォーカス引き
込み動作を実行し、フォーカス引き込み状態に復帰させ
ているので、フォーカスはずれによる非接触プローブの
暴走や、被測定物との衝突の危険性を防止でき、かつ、
走査方向の微少な変動に対するフォーカス方向の変動を
無視できない直線走査による直交座標測定においても、
フォーカス状態に復帰でき、測定を続行することができ
る。また、段差などにより、フォーカスがはずれた場合
にも、そのエッジによる光の散乱の影響を回避すること
ができ、フォーカス状態に復帰でき、測定を続行するこ
とができる。
形状測定装置において、フォーカスがはずれた位置を記
憶する手段、及び、フォーカスがはずれるまでの形状測
定データを記憶する手段,エラー信号を発生する手段の
うちいずれかを備えているので、フォーカス状態復帰動
作を行っても、フォーカス状態に復帰できないエラーの
場合、同一の被測定物を測定し直す場合にも、エラーの
生じた位置までの測定データが保存されているので、エ
ラーの生じた位置に非接触プローブを移動し、そこから
計測を開始すればよく、フォーカスがはずれるまでの測
定データを有効に利用でき、時間の短縮が図れる。
形状測定装置において、フォーカス引き込み状態にある
かどうかを判別するのに、受光素子の受光量の変化率に
基づいてフォーカス状態を判別しているので、走査方向
における被測定面の傾きが変化し、反射光の受光量の変
化が無視できない直線走査による直交座標測定において
も、フォーカス状態を判別することができる。
構成図である。
である。
理のフロー図である。
図である。
の関係を示す図である。
6…被測定物取付治具。
Claims (4)
- 【請求項1】 光学式変位計を非接触プローブとして備
え、該非接触プローブを被測定物の表面に沿って走査さ
せて、該被測定物の表面形状を測定するプローブ走査式
形状測定装置において、前記非接触プローブの対物レン
ズを位置信号により制御する第一の制御手段と、被測定
物の表面からの反射光を受光して被測定表面に前記非接
触プローブの対物レンズをフォーカス状態に引き込み、
引き込んだフォーカス状態を維持し、前記非接触プロー
ブと被測定表面を一定距離に保つ第二のフォーカス追従
制御手段と、前記非接触プローフを被測定物の表面に沿
って走査させる手段と、フォーカス引き込み状態にある
かどうかを判断するフォーカス状態判別手段とを有し、
フォーカス状態判別信号に基づいて前記第一及び第二の
2つの制御手段を切り替える手段と、走査速度を変化さ
せる手段とを有することを特徴とする形状測定装置。 - 【請求項2】 光学式変位計を非接触プローブとして備
え、該非接触プローブを被測定物の表面に沿って走査さ
せて、該被測定物の表面形状を測定するプローブ走査式
形状測定方法において、前記非接触プローブの対物レン
ズを位置信号により制御する第一の制御手段と、被測定
物の表面からの反射光を受光して被測定表面に前記非接
触プローブの対物レンズをフォーカス状態に引き込み、
引き込んだフォーカス状態を維持し、前記非接触プロー
ブと被測定表面を一定距離に保つ第二のフォーカス追従
制御手段と、前記非接触プローフを被測定物の表面に沿
って走査させる手段と、フォーカス引き込み状態にある
かどうかを判断するフォーカス状態判別手段とを有し、
フォーカス状態判別信号に基づいて前記2つの制御手段
を切り替えて走査速度を変化させる形状測定方法におい
て、前記フォーカス状態判別信号に基づいて、フォーカ
スはずれ信号を検知した場合は、非接触プローブをフォ
ーカスがはずれる直前の位置に維持し、走査方向に微少
距離移動した点において、前記対物レンズをフォーカス
方向に前後させて、再度フォーカス引き込み動作を実行
し、フォーカス引き込み状態に復帰させることを特徴と
する形状測定方法。 - 【請求項3】 請求項1記載の形状測定装置において、
前記フォーカスがはずれた位置を記憶する手段,フォー
カスがはずれるまでの形状測定データを記憶する手段,
エラー信号を発生する手段のうちいずれかを備えたこと
を特徴とする形状測定装置。 - 【請求項4】 請求項1記載の形状測定装置において、
前記フォーカス引き込み状態にあるかどうかを判別する
フォーカス状態判別手段は、受光素子の受光量の変化率
に基づいてフォーカス状態を判別することを特徴とする
形状測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3294496A JP3526122B2 (ja) | 1996-01-26 | 1996-01-26 | 形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3294496A JP3526122B2 (ja) | 1996-01-26 | 1996-01-26 | 形状測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09203623A true JPH09203623A (ja) | 1997-08-05 |
JP3526122B2 JP3526122B2 (ja) | 2004-05-10 |
Family
ID=12373069
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3294496A Expired - Lifetime JP3526122B2 (ja) | 1996-01-26 | 1996-01-26 | 形状測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3526122B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009216741A (ja) * | 2008-03-07 | 2009-09-24 | Yokogawa Electric Corp | 創薬スクリーニング装置及びこの装置を用いたスクリーニング方法 |
-
1996
- 1996-01-26 JP JP3294496A patent/JP3526122B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009216741A (ja) * | 2008-03-07 | 2009-09-24 | Yokogawa Electric Corp | 創薬スクリーニング装置及びこの装置を用いたスクリーニング方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3526122B2 (ja) | 2004-05-10 |
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