JPH09196865A - X線透視検査装置 - Google Patents

X線透視検査装置

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JPH09196865A
JPH09196865A JP8024574A JP2457496A JPH09196865A JP H09196865 A JPH09196865 A JP H09196865A JP 8024574 A JP8024574 A JP 8024574A JP 2457496 A JP2457496 A JP 2457496A JP H09196865 A JPH09196865 A JP H09196865A
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JP
Japan
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ray
inspection
inspection object
hollow tube
passage
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Application number
JP8024574A
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English (en)
Inventor
Norio Yamaguchi
法男 山口
Tetsuya Kimura
哲也 木村
Mutsuo Endo
睦雄 遠藤
Tamotsu Saruwatari
保 猿渡
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HIHAKAI KENSA KK
PONII KOGYO KK
Original Assignee
HIHAKAI KENSA KK
PONII KOGYO KK
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】検査物の透視画像に死角を生じ難く、異物等の
混入をより確実に発見することの可能なX線透視検査装
置を提供する。 【解決手段】 X線Rを略円錐状に照射するX線照射装
置3と、検査物S1を透過した透過X線の二次元画像を
検出するII装置5と、このII装置5により得られた
二次元画像を表示するモニタ6とを設ける。また、X線
照射装置3及びII装置5の間の検査部Tに検査物S1
を略直線状に上下に昇降通過させるための通過手段7
と、検査物S1の通過経路Wに沿った回転軸L周りで検
査物S1を回転させる回転手段8とを設ける。検査物の
一部に存在する異物等は、リアルタイムの二次元画像と
して、検査物の通過方向に対して異なる角度から撮像さ
れ、回転軸周りでの異なる角度から撮像される。検査物
の回転で、撮像された異物等には遠近感が付与される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、製造ラインにおけ
る製品の異物混入検査、郵便物の受け入れ検査、税関に
おける輸入品の内容物検査、空港における手荷物検査等
の広範囲にわたって適用可能なX線透視検査装置に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】従来のX線透視検査装置としては、例え
ば、特開平6−138252号公報や実公昭63−26
766号公報に記載のものが知られている。前者の公報
にあっては、手荷物等をスポット状のX線ビームにより
ライン状に撮像し、そのライン状の映像を合成すること
により、手荷物等の二次元画像を得ている。また、後者
の公報にあっては、異なる角度に配置した3つのX線照
射装置から一つの撮影装置に向かって順次X線をばく射
し、透視方向の異なる3つの二次元画像を静止画像とし
て得ている。
【0003】しかし、前者の従来技術にあっては、ライ
ン状の撮像を合成して二次元画像を得ているので、一つ
の透視方向からのみの透視画像を得ることしかできず、
撮像の死角を生じて異物等を見落とし易い場合があっ
た。また、後者の従来技術にあっては、角度の異なる静
止画像が順次表示されるだけであって、撮像の死角は存
在し、同様に異物等の混入を見落とし易い場合もあっ
た。また、CT装置のように高速に複雑な演算を大量に
計算処理し、正確な断面像を得るのではなく、簡易な構
造でリアルタイムに死角の生じ難い二次元透視画像を得
ることの可能なX線透視撮影装置の登場が望まれてい
た。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】かかる従来の技術に鑑
みて、本発明は、検査物の透視画像に死角を生じ難く、
異物等の混入をより確実に発見することの可能なX線透
視検査装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の特徴は、X線を略円錐状に照射するX線照
射装置と、検査物を透過した透過X線の二次元画像を検
出するための透過線検出装置と、この透過線検出装置に
より得られた二次元画像を表示する表示装置とを備え、
前記X線照射装置及び透過線検出装置の間の検査部に検
査物を略直線状に相対通過させるための通過手段を設け
ると共に、前記検査物の通過経路に沿った回転軸周りで
前記X線照射装置及び透過線検出装置と前記検査物とを
相対回転させる回転手段を設けたことにある。本発明の
「X線照射装置」は、X線をスポット状ではなくて「略
円錐状に照射する」ものであり、また、「透過線検出装
置」は、「検査物を透過した透過X線の二次元画像を検
出する」ものであるため、合成画像ではなくてリアルタ
イムの二次元画像を「表示装置」により得ることができ
る。「X線」は「略円錐状」に照射されるのであるか
ら、検査物の一部に存在する異物等は検査物の通過方向
に対して異なる角度から撮像される。また、「回転手
段」は、「検査物の通過経路に沿った回転軸周りでX線
照射装置及び透過線検出装置と検査物とを相対回転させ
る」ものであるから、回転軸周りでの異なる角度から撮
像が行われる。しかも、「略円錐状」に照射されるX線
により異物等が検査物のうちX線照射装置側であるか透
過線検出装置側であるかによりその透視画像の大きさが
異なり、検査物は回転軸周りで回転するので、撮像され
た異物等には遠近感が付与される。すなわち、通過経路
との交差角及び回転軸周りでの円周角に関して異なる角
度から撮像されるので撮像に死角を生じ難く、しかも、
回転により遠近感が付与されるので、異物等を認識しや
すく且つその位置の特定も容易となる。
【0006】前記X線照射装置及び透過線検出装置は、
これらを構成するにあたって静的に配置してもよい。こ
れら両装置を静的に配置することにより、そのメンテナ
ンスが容易となる。
【0007】また、前記通過手段を、前記通過経路に長
手方向を向け且つ前記検査部を横切る中空管により構成
してもよい。検査物を中空管内に通過させることで、検
査物が検査部から逸脱し難くなり、検査物に対する死角
を生じ難くなる。しかも、中空管はコンベア装置等に比
較してその円周方向からの撮影角度が異なっても、均質
な撮像を得やすいので、中空管の存在が撮像の妨げにな
り難い。
【0008】また、前記回転手段は、前記中空管を前記
回転軸周りに回転させるものとして構成してもよい。す
なわち、中空管ごと回転軸周りに回転させることで、中
空管内の検査物をも同時に回転させることができる。こ
の場合に、前記回転軸を略上下方向に配向することによ
り、検査物が中空管内で重力により掻き回されることを
防止して、異物をより確実に発見し易くできる。
【0009】さらに、前記中空管が前記検査物を前記回
転軸に沿って列状に並べるものであるように構成しても
よい。列状に並べられた検査物は、検査中ないし検査後
に通過方向に対して順列が入れ替わらないので、異物混
入品や欠陥品を精度よく特定できる。
【0010】一方、前記検査物が流動体又は粉状体であ
る場合には、前記流動体又は粉状体を前記通過経路に沿
って螺旋状に回転させる前記中空管内の羽根で前記回転
手段を構成してもよい。
【0011】
【発明の実施の形態】次に、図面を参照しながら、本発
明の実施形態についてさらに詳しく説明する。まず、図
1及び図2に示す第一の実施形態では、X線透視検査装
置1の主要部はフレーム2の中にX線照射装置3、II
装置(イメージインテンシファイア)5、CRTモニタ
6、通過手段7及び回転手段8を収納してなる。フレー
ム2の中央上部に設けられた扉2aは、一対のヒンジ2
b,2bにより枢支され、開閉ノブ2cにより横開き状
に開閉可能である。扉2aにより開閉される検査室2d
の右側にはX線照射装置3を設けてあり、その左側には
II装置5を設けてある。X線照射装置3は、その下部
から略円錐状にX線Rを照射するものである。また、I
I装置5は、検査物S1を透過した透過X線の二次元画
像を検出する透過線検出装置であり、その受像面5aは
円形を呈しており、受像面5aの中心はX線照射装置3
の照射線の中心とほぼ一致させてある。通過手段7はX
線照射装置3、II装置5の間の検査部Tに検査物S1
を略直線状に通過させるものである。この通過手段7
は、リニアガイド10の可動部に取り付けた昇降アーム
10aを昇降モータ10bの駆動回転により上下方向に
昇降させるものであって、検査室2dの右角奥に取付治
具10cを介して取り付けてある。
【0012】昇降アーム10aの上面には検査物S1を
載置し上下方向に沿う回転軸Lを中心に回転可能なター
ンテーブルをベアリング11aを介して取り付けてあ
る。このターンテーブル11は、昇降アーム10aに設
けられた回転モータ11bの駆動力をベルト11cの伝
達により回転させるように構成してある。すなわち、こ
れらターンテーブル11等により構成される回転手段8
は、検査物S1の検査物の通過経路Wに沿った回転軸L
周りで検査物S1を回転させることとなる。
【0013】図2に示すように、ターンテーブル11の
上部に載置された検査物S1は、上下方向に沿う回転軸
L周りで回転しながら上下方向Wに沿って昇降する。す
なわち、通過手段7及び回転手段8の連携により、検査
物S1は螺旋状に回転運動することとなる。この螺旋運
動は、X線照射装置3及びII装置5の間の検査部Tに
おいて行われる。X線照射装置3より照射され検査物S
1を透過したX線Rは、受像面5aにより受光され、図
示しない処理装置で画像処理された後、リアルタイムで
CRTモニタ6により二次元画像として表示される。本
装置は、受像面5aにより受光された二次元画像をその
ままCRTモニタ6により表示するのであるから、CT
等とは原理が異なっている。
【0014】本実施形態によれば、検査物S1は検査部
Tを単に通過するだけでなく回転軸L周りで回転するた
め、その二次元画像には死角が生じ難く、混入した異物
等の発見が容易となる。また、上下に昇降すること及び
X線Rが略円錐状に広がっていることによっても撮像の
死角を生じ難くなる。すなわち、図2(b)に示すよう
に、検査物S1の上部に存在する異物FをX線Rのうち
下側の撮像線Sb上で撮影する場合には、検査物S1の
上部の異物Fは見下ろされるように撮影される。これに
対しターンテーブル11を上側に向かって移動させた図
2(c)の場合には、先の異物Fは上向きの撮像線Su
上で撮影され、この異物Fは見上げるように撮影される
こととなる。このように回転と相まって広角のX線Rを
直線状に通過させることにより、異物Fを様々な角度で
撮影することができて、異物Fの混入をより容易に発見
しやすくなる。さらに、図2(c)に示すように、同形
状の異物Fw,Fnのうち、X線照射装置3から遠い側
の異物Fnが撮像範囲Snによって撮像される二次元画
像よりも、同装置3に近い側の異物Fwが撮像範囲Sw
によって撮像される二次元画像の方が大きくなるので、
ターンテーブル11の回転と相まって、異物Fn,Fw
の回転軸L周りにおける位置をも把握することが可能と
なる。
【0015】次に図3を参照しつつ本発明の第二実施形
態について説明する。なお、以下の実施形態で上記第一
実施形態とほぼ同様の部材には同様の符号を付してあ
る。
【0016】本実施形態における検査物S2は、繊維製
品や工業製品を梱包したダンボール箱であって、このダ
ンボール箱をコンベア装置21により搬送する手前で異
物の混入を検査するためのX線透視検査装置として実施
した例を示している。検査物S2は、上部に配置した受
入管22から投入され、内面に複数のゴム片23aを有
する中空管23の内部に保持される。これら複数のゴム
片23aは、中空管23の内周面から中央側上方に向か
って突出しており、下側のものほどより検査物S2の保
持力が強くなっている。従って、検査物S2を上から一
個投入するごとに中空管23の最下端から検査済みの検
査物S2が落下し、コンベア装置21上に搬送されるこ
ととなる。すなわち、中空管23及びゴム片23aは、
上述の通過手段7に相当することとなる。また、中空管
23はその上下においてベアリング24により回転可能
に支持されている。すなわち、ベアリング24により中
空管23は上下方向に沿った検査物の通過経路Wと同方
向の回転軸L周りに回転することとなり、検査物S2と
ともに回転する。中空管23の下部周辺にはプーリ環2
5が設けられており、回転モータ28に取り付けた小プ
ーリ26とベルト27を介して回転駆動力を伝達可能に
構成してある。すなわち、これら24〜28の部材によ
り上述の回転手段8が構成されることとなる。
【0017】次に、本実施形態による検査手順について
説明する。受入管22の上部から検査物S2を投入する
とこれら検査物S2は複数の23aにより保持される。
23aに保持された検査物S2は、自重により徐々に下
方に移動すると共に回転手段8により回転軸L周りで回
転させられ、X線照射装置3及びII装置5の間の検査
部Tで螺旋運動をすることとなる。これら検査物S2の
透過画像は、CRTモニタ6により二次元画像として表
示されることとなる。
【0018】次に、図4を参照しながら本発明の第三実
施形態について説明する。本実施形態における検査物S
3は、ハム原料や蒲鉾原料などの流動性のある粘弾性体
の原材料である。すなわち、このような粘弾性の検査物
S3は、フィルター等によって異物を除去することが困
難であるため、本発明による異物の発見がより有益であ
る。本実施形態における中空管32は、入口側の受入口
32aから排出口32bに至るまで順次連続する垂直
部、水平部及び他の垂直部を有している。中空管32の
水平部には、中空管32を叉ぐ状態でX線照射装置3及
びII装置5が配置されており、中空管32の検査部T
にむけてX線Rが放射状に照射される。受入口32aか
ら投入された検査物S3は、自重により又は図示しない
押し出しの圧力により排出口32bに向かって移動す
る。従って、中空管32は上述の通過手段7に相当する
ことになる。また、中空管32の入口側の垂直部及び水
平部の検査部Tの上流側には、その内面に検査物S3を
検査物の通過経路Wに沿って螺旋状に回転させるための
羽根33を設けてある。この羽根33により検査部Tを
通過する検査物S3は螺旋状に回転し、CRTモニタ6
にSのさまざまな角度からの二次元画像が撮影されるこ
ととなる。CRTモニタ6により異物混入を発見した際
には、シャッタ34のシャッタを同図左手方向に移動さ
せ、異物の混入している検査物S3の部分を取り除くこ
とが可能となる。このときシャッタ34を左側に移動さ
せるタイミングは、中空管32の内径及びその流速によ
って定められることとなる。なお、シャッタ34の左手
側には、シャッタ34を右側に復帰させた場合に検査物
S3を掻き落とすための34aを設けてある。本実施形
態では、もちろん粘弾性の流動体に限らず液体や粉体な
どの検査を実施することも可能である。
【0019】次に、図5を参照しながら本発明の第四実
施形態について説明する。本実施形態における検査物S
4は包装紙で包んだ小袋に入った菓子等である。受入口
41により投入された検査物S4は、自重によりその下
部の中空管42に達し、さらに屈曲した誘導管43を通
過して排出口43bから排出されることとなる。中空管
42は、先の第二実施形態同様に上下一対のベアリング
24,24により回転可能に支持され、また、上述の符
号プーリ環25及び回転モータ28よりなる回転手段8
により駆動回転させられる。本実施形態によれば、検査
物S4は中空管42内の検査部Tを自重により螺旋回転
しながら順次通過するため、先の第二実施形態同様、検
査物S4の二次元画像が様々な角度から撮影され、CR
Tモニタ6に表示されることとなる。
【0020】次に、図6〜8を参照しながら本発明の第
五実施形態について説明する。本実施形態における検査
物S5はゴルフボールやピンポン玉であって、その割れ
や異物混入を発見することが可能となる。図6に示す中
空管52は先の通過手段7に相当し、この通過手段7は
図示しない上記実施形態のベアリング24により回転可
能に支持され、また、図示しない上述の符号25〜28
と同様の部材により駆動回転させられることとなる。検
査物S5は上部のろうと状の受入部51から投入され中
空管52に誘導される。この中空管52は、等間隔で上
下方向に貫通された複数の細管52aを有し、また、そ
の中央部に大きな中央管路52bを有している。中央管
路52bの上部は、検査物S5が入り込まないように蓋
52cにより封止されている。
【0021】中空管52の下部には、ほぼ同外形のコレ
ット53が設けられ、コレット53には図7に示すよう
に検査物S5ほぼ一個分の高さに相当する細管53a複
数の細管52aとそれぞれ符合する位置に形成されてい
る。コレット53の下部には、それぞれ排出用の排出管
55が設けられている。これら細管52aから排出管5
5に対する検査物S5の排出は、各細管53aの位置に
設けられた複数の送りシャッタ54の直径方向の移動に
より間欠的に行われる。なお、図6〜8では送りシャッ
タ54は代表して1つのみ描いてある。
【0022】中空管52は上述の図示しない回転手段8
により駆動回転させられ、中空管52及びコレット53
それぞれの細管52a、53aが符合した位置で送りシ
ャッタ54が図示しないシリンダーで中心側に押され
る。すると、送りシャッタ54のフォーク状の上部に形
成した上部開口54aが2つの細管52a,53aを連
通させ、細管53a内に一つのみ検査物S5が取り込ま
れる。次いで、送りシャッタ54を放射方向外側に移動
させることにより送りシャッタ54の下側の下部開口5
4bを介してコレットの細管53aと排出管55を連通
させ、排出管55の下方に向けて検査物S5排出する。
すなわち、送りシャッタ54及びコレット53の相対移
動によって、複数の細管52a内に並ぶ検査物S5が符
号Gに示す半径方向の同位置にある一行分ごとに下方に
向けて移動することとなる。
【0023】排出管55の一側には、欠陥のある検査物
S5を排出するための横孔55a及び排出用の廃棄路5
5bが設けてある。通常状態では、排出管55の下部に
設けられた選別シャッタ56は開口しており、送りシャ
ッタ54の稼動により一行Gごとに検査物S5が下部へ
排出される。検査部T部で発見されCRTモニタ6に映
し出された欠陥のある検査物S5の位置は図示しない記
憶装置により記憶され、この位置は送りシャッタ54の
駆動回数と連動し、欠陥のある検査物S5が細管53a
に位置した場合に選別シャッタ56が閉じられる。この
とき一行分Gに相当する検査物S5は閉じられた選別シ
ャッタ56により横孔55aに誘導され、廃棄路55b
を介して外部に廃棄されることとなるのである。
【0024】本実施形態による検査方法では、冷凍のた
こ焼きや缶詰等を検査することも可能である。また、各
細管52a及び53aの位置をCRTモニタ6による不
良品の発見情報と連動させることにより一行分G全体に
相当する検査物S5を不良品と廃棄するのではなく一つ
のみの不良品を廃棄するように構成することも可能であ
る。
【0025】次に、図9を参照しながら本発明の第六実
施形態について説明する。本実施形態における検査物S
6は長尺の電信柱やパイプであって、その割れや孔等を
発見することが可能となる。図9に示すX線透過検査装
置1は、基礎上に敷設したリニアレール61に沿って移
動する移動台62の上に一対の支持アーム63,63を
設け、各支持アームの対向面に一対の回転クランプ6
4,64を突出させてある。回転クランプ64のうちの
一方には図示しない駆動手段を連結してあり、検査物S
6をその長手方向に沿った軸を中心に駆動回転可能であ
るように構成してある。一対の回転クランプ64,64
の上下には検査部Tを挟む形でそれぞれX線照射装置3
とII装置5とを配置してあり、撮影された二次元画像
がCRTモニタ6に映し出される。
【0026】同実施形態にかかる装置を使用して電信柱
等を検査するに際しては、横倒しにした電信柱をホイス
ト等により上記回転クランプ64,64間に配置し、回
転クランプ64,64同士を近接させて電信柱S6を保
持する。そして、リニアレール61上で移動台62を通
過経路Wに沿って移動させると同時に、この通過経路W
に送回転軸L周りで先の回転クランプ64,64により
検査物S6を回転させ、その結果、検査物S6を螺旋状
に移動させて二次元画像を撮影する。なお、本実施形態
では、電信柱や管等の他、冷凍マグロの箱等も検査する
ことが可能である。
【0027】次に、本発明の他の実施の可能性について
列挙する。上記実施形態ではX線照射装置及び透過線検
出装置を静的に配置したが、これらを上記検査物の通過
経路Wに沿って回転させるように構成してもよい。但
し、これらX線照射装置及び透過線検出装置を静的に配
置することによって装置のメンテナンスが容易となる。
上記実施形態では透過線検出装置としてII装置を用い
たが、これ以外の手段を用いることも可能であり、ま
た、表示装置もCRT表示装置に限られるものでない。
なお、本明細書作成段階におけるX線照射装置3のター
ゲット部分はほぼ円形であるため、そこから発せられる
X線Rは略円錐状となる。よって、略円錐状とはX線照
射装置3のターゲットから放射状に広がるX線Rのこと
を差し、X線照射装置3の改変によって四角錐や多角錐
などの形状も含むものとする。
【0028】なお、特許請求の範囲の項に記した符号
は、あくまでも図面との対照を便利にするためのものに
すぎず、該記入により本発明は添付図面の構成に限定さ
れるものではない。
【0029】
【発明の効果】このように、上記本発明にかかるX線透
視検査装置によれば、通過経路との交差角及び回転軸周
りでの円周角に関して異なる角度から撮像されるので、
検査物の透視画像に死角を生じ難く、しかも、回転によ
り遠近感が付与されるので、異物等を認識しやすく且つ
その位置の特定も容易で、異物等の混入をより確実に発
見することが可能となった。
【0030】また、前記通過手段を上述の如く中空管に
より構成することで、検査物が検査部から逸脱し難いの
で検査物に対する死角をより生じ難くなり、中空管の存
在が撮像の妨げにもなり難い。
【0031】さらに、前記中空管を略上下方向に配向し
た回転軸周りに回転させることで、検査物が掻き回され
ることを防止して、異物をさらに確実に発見し易くなっ
た。
【0032】また、上述の如く複数の細管を設けること
で、効率よく且つ異物混入品や欠陥品を精度よく特定し
て除去できるようになった。
【0033】一方、羽根により流動体又は粉状体の検査
物を螺旋状に回転させることにより、中空管の経路に相
対回転する継ぎ目をなくし、中空管の洗浄等を行い易く
維持しつつより確実に異物等を発見することが可能とな
った。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかるX線透視検査装置の第一実施形
態を示し、(a)は平面図、(b)は正面図をそれぞれ
示す。
【図2】検査状態を説明するための図であって、(a)
は斜視図、(b)は検査物の特定箇所を見下ろすように
検査する状態を示す側面図、(c)は検査物の特定箇所
を見上げるように検査する状態を示す側面図である。
【図3】本発明の第二実施形態を示す概略側面図であ
る。
【図4】本発明の第三実施形態を示す図3相当図であ
る。
【図5】本発明の第四実施形態を示す図3相当図であ
る。
【図6】本発明の第五実施形態を示す回転手段を省略し
た斜視図である。
【図7】コレットと送りシャッタとの関係を示し、
(a)は縦断面図、(b)は斜視図である。
【図8】排出管と選別シャッタとの関係を示す縦断面図
であって、(a)はシャッタを開いた場合、(b)はシ
ャッタを閉じた場合をそれぞれ示す。
【図9】本発明の第六実施形態を示す図3相当図であ
る。
【符号の説明】
3 X線照射装置 5 II装置(透過線検出装置) 6 CRTモニタ(表示装置) 7 通過手段 8 回転手段 L 回転軸 R X線 S1〜S6 検査物 W 検査物の通過経路
フロントページの続き (72)発明者 遠藤 睦雄 大阪市中央区南船場3丁目3番27号 ポニ ー工業株式会社内 (72)発明者 猿渡 保 大阪市中央区南船場3丁目3番27号 ポニ ー工業株式会社内

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 X線(R)を略円錐状に照射するX線照
    射装置(3)と、検査物(S1〜S6)を透過した透過
    X線の二次元画像を検出するための透過線検出装置
    (5)と、この透過線検出装置(5)により得られた二
    次元画像を表示する表示装置(6)とを備え、前記X線
    照射装置(3)及び透過線検出装置(5)の間の検査部
    (T)に検査物(S1〜S6)を略直線状に相対通過さ
    せるための通過手段(7)を設けると共に、前記検査物
    (S1〜S6)の通過経路(W)に沿った回転軸(L)
    周りで前記X線照射装置(3)及び透過線検出装置
    (5)と前記検査物(S1〜S6)とを相対回転させる
    回転手段(8)を設けたX線透視検査装置。
  2. 【請求項2】 前記X線照射装置(3)及び透過線検出
    装置(5)を静的に配置してある請求項1に記載のX線
    透視検査装置。
  3. 【請求項3】 前記通過手段(7)が、前記通過経路
    (W)に長手方向を向け且つ前記検査部(T)を横切る
    中空管(23,32,42,52)である請求項1又は
    2のいずれかに記載のX線透視検査装置。
  4. 【請求項4】 前記回転手段(8)が前記中空管(2
    3,42,52)を前記回転軸(L)周りに回転させる
    ものである請求項1〜3のいずれかに記載のX線透視検
    査装置。
  5. 【請求項5】 前記回転軸(L)を略上下方向に配向し
    てある請求項4に記載のX線透視検査装置。
  6. 【請求項6】 前記中空管(23,52)が前記検査物
    (S2,S5)を前記回転軸(L)に沿って列状に並べ
    るものである請求項3〜5のいずれかに記載のX線透視
    検査装置。
  7. 【請求項7】 前記検査物(S3)が流動体又は粉状体
    であり、前記回転手段(8)が、前記流動体又は粉状体
    を前記通過経路(W)に沿って螺旋状に回転させる前記
    中空管内の羽根(33)である請求項3に記載のX線透
    視検査装置。
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