JPH09194803A - 半導体用接着テープ - Google Patents
半導体用接着テープInfo
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- JPH09194803A JPH09194803A JP2455796A JP2455796A JPH09194803A JP H09194803 A JPH09194803 A JP H09194803A JP 2455796 A JP2455796 A JP 2455796A JP 2455796 A JP2455796 A JP 2455796A JP H09194803 A JPH09194803 A JP H09194803A
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- Japan
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- epoxy resin
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- adhesive layer
- semiconductor
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 電流リーク特性と接着性、特に高温時の接着
性とに優れた半導体用接着テープを提供する。 【解決手段】 支持体フィルムと接着剤層とからなる半
導体用接着テープにおいて、前記接着剤層が、脂環式固
形エポキシ樹脂及びポリイソシアネートからなるもので
ある半導体用接着テープ。
性とに優れた半導体用接着テープを提供する。 【解決手段】 支持体フィルムと接着剤層とからなる半
導体用接着テープにおいて、前記接着剤層が、脂環式固
形エポキシ樹脂及びポリイソシアネートからなるもので
ある半導体用接着テープ。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体デバイスの
組立工程に使用されるリードフレーム固定用テープ、T
AB用テープ等の半導体用接着テープに関する。
組立工程に使用されるリードフレーム固定用テープ、T
AB用テープ等の半導体用接着テープに関する。
【0002】
【従来の技術】半導体デバイスは、ウェハー製造工程、
チップ製造工程、IC組み立て工程を経て製造される。
IC組み立て工程においては、まず、リードピンが動い
て変形しないようにリードピン間がリードフレーム固定
用テープにより固定される。ついで、リードピンにより
形成されるリードフレーム上にICが搭載され、リード
ピンと半導体端子とが接合された後、リードフレームは
樹脂、セラミック等のパッケージに封止される(以下
「樹脂封止」という)。
チップ製造工程、IC組み立て工程を経て製造される。
IC組み立て工程においては、まず、リードピンが動い
て変形しないようにリードピン間がリードフレーム固定
用テープにより固定される。ついで、リードピンにより
形成されるリードフレーム上にICが搭載され、リード
ピンと半導体端子とが接合された後、リードフレームは
樹脂、セラミック等のパッケージに封止される(以下
「樹脂封止」という)。
【0003】リードピン間を固定する際に使用されるリ
ードフレーム固定用テープは、所定の大きさに切断され
た後、リードフレーム上にテーピングされ、樹脂封止の
後は半導体デバイスのパッケージ内に取り込まれるもの
である。
ードフレーム固定用テープは、所定の大きさに切断され
た後、リードフレーム上にテーピングされ、樹脂封止の
後は半導体デバイスのパッケージ内に取り込まれるもの
である。
【0004】従来、このようなリードフレーム固定用テ
ープとしては、例えば、ポリイミドフィルム等の耐熱性
フィルムからなる支持体フィルム上に、ポリアクリロニ
トリル、ポリアクリル酸エステル、エポキシ樹脂、アク
リロニトリル−ブタジエン共重合体等の合成ゴム系樹脂
を単独若しくは他の樹脂で変性したもの、又は、他の樹
脂と混合したものからなる接着剤層を形成したものが使
用されてきた。
ープとしては、例えば、ポリイミドフィルム等の耐熱性
フィルムからなる支持体フィルム上に、ポリアクリロニ
トリル、ポリアクリル酸エステル、エポキシ樹脂、アク
リロニトリル−ブタジエン共重合体等の合成ゴム系樹脂
を単独若しくは他の樹脂で変性したもの、又は、他の樹
脂と混合したものからなる接着剤層を形成したものが使
用されてきた。
【0005】ICの高集積化によりリードピン数は増加
し、リードピンは細くなり、リードピン間は更に狭くな
っている。これに伴い、リードフレーム固定用テープに
対しては、例えば、加工時にリードピン間を充分に固定
することができること、装着したテープ部分を通じて漏
れるリーク電流が少ないこと、樹脂封止時にICパッケ
ージが水蒸気爆発をせず、また、ガス発生によるリード
フレーム汚染が少ないこと等の高度な性能が要求されて
いる。
し、リードピンは細くなり、リードピン間は更に狭くな
っている。これに伴い、リードフレーム固定用テープに
対しては、例えば、加工時にリードピン間を充分に固定
することができること、装着したテープ部分を通じて漏
れるリーク電流が少ないこと、樹脂封止時にICパッケ
ージが水蒸気爆発をせず、また、ガス発生によるリード
フレーム汚染が少ないこと等の高度な性能が要求されて
いる。
【0006】特公平2−28623号公報には、接着剤
層として、アクリロニトリル樹脂、アクリル酸エステル
樹脂、エポキシ樹脂、アクリロニトリル−ブタジエン共
重合体及びブチラール樹脂からなる群より選択された少
なくとも1種と、フェノール樹脂とからなる混合物を使
用したリードフレーム固定用テープが、電流リークが少
ないものとして開示されている。
層として、アクリロニトリル樹脂、アクリル酸エステル
樹脂、エポキシ樹脂、アクリロニトリル−ブタジエン共
重合体及びブチラール樹脂からなる群より選択された少
なくとも1種と、フェノール樹脂とからなる混合物を使
用したリードフレーム固定用テープが、電流リークが少
ないものとして開示されている。
【0007】特公平6−68100号公報には、支持体
フィルムとして、耐熱性フィルムを使用し、接着剤層と
して、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体と、レゾ
ール型フェノール樹脂とからなる混合物を使用したリー
ドフレーム固定用テープが、より一層電流リークが小さ
いものとして開示されている。ここで使用されるレゾー
ル型フェノール樹脂とは、フェノール成分として、ビス
フェノールA、アルキルフェノール及びフェノールより
なる群から選択された少なくとも1種からなるビスフェ
ノールA型、アルキルフェノール型、フェノール型、又
は、これらの共縮合型であるフェノール樹脂を含有する
ものである。
フィルムとして、耐熱性フィルムを使用し、接着剤層と
して、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体と、レゾ
ール型フェノール樹脂とからなる混合物を使用したリー
ドフレーム固定用テープが、より一層電流リークが小さ
いものとして開示されている。ここで使用されるレゾー
ル型フェノール樹脂とは、フェノール成分として、ビス
フェノールA、アルキルフェノール及びフェノールより
なる群から選択された少なくとも1種からなるビスフェ
ノールA型、アルキルフェノール型、フェノール型、又
は、これらの共縮合型であるフェノール樹脂を含有する
ものである。
【0008】しかし、これらの配合系では、塩素イオン
や硫酸イオンが存在するために、電流リーク特性がいま
だ不充分であり、また、接着性、特に高温時の接着性に
劣る等の問題があった。
や硫酸イオンが存在するために、電流リーク特性がいま
だ不充分であり、また、接着性、特に高温時の接着性に
劣る等の問題があった。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記に鑑
み、電流リーク特性と接着性、特に高温時の接着性とに
優れた半導体用接着テープを提供することを目的とする
ものである。
み、電流リーク特性と接着性、特に高温時の接着性とに
優れた半導体用接着テープを提供することを目的とする
ものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、支持体
フィルムと接着剤層とからなる半導体用接着テープにお
いて、前記接着剤層が、脂環式固形エポキシ樹脂及びポ
リイソシアネートからなるものであるところに存する。
以下に本発明を詳述する。
フィルムと接着剤層とからなる半導体用接着テープにお
いて、前記接着剤層が、脂環式固形エポキシ樹脂及びポ
リイソシアネートからなるものであるところに存する。
以下に本発明を詳述する。
【0011】本発明における接着剤層は、脂環式固形エ
ポキシ樹脂及びポリイソシアネートからなるものであ
る。上記脂環式固形エポキシ樹脂としては、水酸基を有
し、高官能基数による優れた耐熱性を有するので、下記
一般式(1)で表される化合物が好ましい。脂環式固形
エポキシ樹脂の融点は、通常40〜200℃、好ましく
は、60〜150℃である。
ポキシ樹脂及びポリイソシアネートからなるものであ
る。上記脂環式固形エポキシ樹脂としては、水酸基を有
し、高官能基数による優れた耐熱性を有するので、下記
一般式(1)で表される化合物が好ましい。脂環式固形
エポキシ樹脂の融点は、通常40〜200℃、好ましく
は、60〜150℃である。
【0012】
【化2】
【0013】上記脂環式固形エポキシ樹脂は、塩素を含
有しない原料から、例えば、下記式(2)に示す過酢酸
による二重結合の直接酸化法により調製することができ
る。
有しない原料から、例えば、下記式(2)に示す過酢酸
による二重結合の直接酸化法により調製することができ
る。
【0014】
【化3】
【0015】上記塩素を含有しない脂環式固形エポキシ
樹脂を使用することにより、本発明の半導体用接着テー
プは、電流リーク特性に優れたものとなる。上記脂環式
固形エポキシ樹脂は、金属に対する優れた接着性を有す
るものであるので、本発明の半導体用接着テープは、リ
ードピンに対する接着性が優れたものとなる。
樹脂を使用することにより、本発明の半導体用接着テー
プは、電流リーク特性に優れたものとなる。上記脂環式
固形エポキシ樹脂は、金属に対する優れた接着性を有す
るものであるので、本発明の半導体用接着テープは、リ
ードピンに対する接着性が優れたものとなる。
【0016】上記ポリイソシアネートとしては特に限定
されず、例えば、ジフェニルメタンジイソシアネート、
トリレンジイソシアネート、トルイジンジイソシアネー
ト、キシリジンジイソシアネート、ナフタレンジイソシ
アネート、イソホロンジイソシアネート、ヘキサメチレ
ンジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタンジイソシ
アネート、p−フェニレンジイソシアネート、トリフェ
ニルメタントリイソシアネート等のモノマー;これらと
多価アルコール、ポリオールとのプレポリマー等が挙げ
ることができる。本発明においては、接着剤成分中のエ
ポキシ樹脂を上記ポリイソシアネートで変性させること
により、高温時の接着性に優れたものとなる。
されず、例えば、ジフェニルメタンジイソシアネート、
トリレンジイソシアネート、トルイジンジイソシアネー
ト、キシリジンジイソシアネート、ナフタレンジイソシ
アネート、イソホロンジイソシアネート、ヘキサメチレ
ンジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタンジイソシ
アネート、p−フェニレンジイソシアネート、トリフェ
ニルメタントリイソシアネート等のモノマー;これらと
多価アルコール、ポリオールとのプレポリマー等が挙げ
ることができる。本発明においては、接着剤成分中のエ
ポキシ樹脂を上記ポリイソシアネートで変性させること
により、高温時の接着性に優れたものとなる。
【0017】本発明においては、上記ポリイソシアネー
トの配合量は、脂環式固形エポキシ樹脂100重量部に
対して5〜50重量部が好ましい。5重量部未満である
と、本発明の半導体用接着テープの高温時の接着性が充
分ではなく、50重量部を超えると、接着剤の塗工性が
悪くなる。より好ましくは7〜20重量部である。
トの配合量は、脂環式固形エポキシ樹脂100重量部に
対して5〜50重量部が好ましい。5重量部未満である
と、本発明の半導体用接着テープの高温時の接着性が充
分ではなく、50重量部を超えると、接着剤の塗工性が
悪くなる。より好ましくは7〜20重量部である。
【0018】本発明においては、上記ポリイソシアネー
トを用いるに際しては、上記脂環式固形エポキシ樹脂
と、単に混合して使用してもよく、また、予め反応させ
て使用してもよい。上記反応は、公知の反応条件下に行
うことができ、例えば、メチルエチルケトン等の溶媒存
在下、60℃、8時間の条件下に好適に実施することが
できる。単に混合して使用する場合は、接着剤溶液とし
て塗工、加熱乾燥する工程を経ることにより、エポキシ
樹脂の変性を実現することができる。
トを用いるに際しては、上記脂環式固形エポキシ樹脂
と、単に混合して使用してもよく、また、予め反応させ
て使用してもよい。上記反応は、公知の反応条件下に行
うことができ、例えば、メチルエチルケトン等の溶媒存
在下、60℃、8時間の条件下に好適に実施することが
できる。単に混合して使用する場合は、接着剤溶液とし
て塗工、加熱乾燥する工程を経ることにより、エポキシ
樹脂の変性を実現することができる。
【0019】上記接着剤層は、カルボキシル基含有アク
リロニトリル−ブタジエン共重合体ゴム及び潜在性硬化
剤のうち少なくとも1種を含有するものであることが好
ましい。上記カルボキシル基含有アクリロニトリル−ブ
タジエン共重合体ゴムとしては、分子量10000〜2
00000のものが好ましい。10000未満である
と、本発明の半導体用接着テープの接着性が劣り、20
0000を超えると、接着剤加工時の作業性が悪くな
る。上記カルボキシル基含有アクリロニトリル−ブタジ
エン共重合体ゴムとしては、アクリロニトリル含有量2
0〜60重量%のものが好ましい。20重量%未満であ
ると、上記脂環式固形エポキシ樹脂との相溶性が悪くな
り、60重量%を超えると、本発明の半導体用接着テー
プの可とう性が劣る。上記カルボキシル基含有アクリロ
ニトリル−ブタジエン共重合体ゴムとしては、カルボシ
キル基含有量0.01〜0.20ephrのものが好ま
しい。0.01ephr未満であると、本発明の半導体
用接着テープの耐熱性が悪くなり、0.20ephrを
超えると、本発明の半導体用接着テープの接着性が劣
る。
リロニトリル−ブタジエン共重合体ゴム及び潜在性硬化
剤のうち少なくとも1種を含有するものであることが好
ましい。上記カルボキシル基含有アクリロニトリル−ブ
タジエン共重合体ゴムとしては、分子量10000〜2
00000のものが好ましい。10000未満である
と、本発明の半導体用接着テープの接着性が劣り、20
0000を超えると、接着剤加工時の作業性が悪くな
る。上記カルボキシル基含有アクリロニトリル−ブタジ
エン共重合体ゴムとしては、アクリロニトリル含有量2
0〜60重量%のものが好ましい。20重量%未満であ
ると、上記脂環式固形エポキシ樹脂との相溶性が悪くな
り、60重量%を超えると、本発明の半導体用接着テー
プの可とう性が劣る。上記カルボキシル基含有アクリロ
ニトリル−ブタジエン共重合体ゴムとしては、カルボシ
キル基含有量0.01〜0.20ephrのものが好ま
しい。0.01ephr未満であると、本発明の半導体
用接着テープの耐熱性が悪くなり、0.20ephrを
超えると、本発明の半導体用接着テープの接着性が劣
る。
【0020】本発明における上記カルボキシル基含有ア
クリロニトリル−ブタジエン共重合体ゴムの配合量は、
脂環式固形エポキシ樹脂100重量部に対して20〜1
00重量部が好ましい。20重量部未満であると、本発
明の半導体用接着テープの可とう性が劣り、100重量
部を超えると、本発明の半導体用接着テープの耐熱性が
悪くなる。
クリロニトリル−ブタジエン共重合体ゴムの配合量は、
脂環式固形エポキシ樹脂100重量部に対して20〜1
00重量部が好ましい。20重量部未満であると、本発
明の半導体用接着テープの可とう性が劣り、100重量
部を超えると、本発明の半導体用接着テープの耐熱性が
悪くなる。
【0021】上記潜在性硬化剤としては、熱により掛金
が外され、溶解分散により硬化を開始する潜在性硬化剤
が好ましく、例えば、ジシアンジアミド、イミダゾール
化合物、有機酸ヒドラジド、ジアミノマレオニトリル、
メラミン、メラミン誘導体、ポリアミン塩等を挙げるこ
とができる。より好ましくは、半硬化状態での安定性が
優れているので、ジシアンジアミド等を挙げることがで
きる。
が外され、溶解分散により硬化を開始する潜在性硬化剤
が好ましく、例えば、ジシアンジアミド、イミダゾール
化合物、有機酸ヒドラジド、ジアミノマレオニトリル、
メラミン、メラミン誘導体、ポリアミン塩等を挙げるこ
とができる。より好ましくは、半硬化状態での安定性が
優れているので、ジシアンジアミド等を挙げることがで
きる。
【0022】本発明における上記潜在性硬化剤の配合量
は、脂環式固形エポキシ樹脂100重量部に対して2〜
40重量部が好ましい。2重量部未満であると、本発明
の半導体用接着テープの耐熱性が悪くなり、40重量部
を超えると、イオン性不純物濃度が高くなる。
は、脂環式固形エポキシ樹脂100重量部に対して2〜
40重量部が好ましい。2重量部未満であると、本発明
の半導体用接着テープの耐熱性が悪くなり、40重量部
を超えると、イオン性不純物濃度が高くなる。
【0023】本発明においては、上記接着剤層は、半硬
化状態であるものが好ましい。
化状態であるものが好ましい。
【0024】本発明においては、上記接着剤層に、例え
ば、硬化促進用触媒;有機フィラー;無機フィラー;溶
剤可溶性ゴム、熱可塑性エラストマー等の可とう性付与
剤;顔料;耐候性等を付与する各種安定剤等を必要に応
じて添加してもよい。
ば、硬化促進用触媒;有機フィラー;無機フィラー;溶
剤可溶性ゴム、熱可塑性エラストマー等の可とう性付与
剤;顔料;耐候性等を付与する各種安定剤等を必要に応
じて添加してもよい。
【0025】本発明で使用される支持体フィルムとして
は特に限定されず、例えば、ポリイミド、ポリエーテル
エーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリフェニレン
サルファイド、ポリパラバン酸等の耐熱性フィルム;エ
ポキシ樹脂−ガラスクロス、エポキシ樹脂−ポリイミド
−ガラスクロス等の複合耐熱性フィルム等を挙げること
ができる。
は特に限定されず、例えば、ポリイミド、ポリエーテル
エーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリフェニレン
サルファイド、ポリパラバン酸等の耐熱性フィルム;エ
ポキシ樹脂−ガラスクロス、エポキシ樹脂−ポリイミド
−ガラスクロス等の複合耐熱性フィルム等を挙げること
ができる。
【0026】上記支持体フィルムの厚さは、10〜15
0μmが好ましい。10μm未満であると、強度が不足
し、150μmを超えると、リードフレームに対する密
着性等、接着加工に問題が生じる。より好ましくは、2
5〜75μmである。
0μmが好ましい。10μm未満であると、強度が不足
し、150μmを超えると、リードフレームに対する密
着性等、接着加工に問題が生じる。より好ましくは、2
5〜75μmである。
【0027】
【実施例】以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説
明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるもの
ではない。
明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるもの
ではない。
【0028】実施例1 ポリイソシアネート(スミジュールL−75、NCO%
=13.0、固形分75%、溶剤として酢酸エチル使
用、住友バイエルウレタン社製)15重量部、及び、脂
環式固形エポキシ樹脂(EHPE−3150、エポキシ
当量182、融点79℃、ダイセル化学工業社製)10
0重量部に、メチルエチルケトン50重量部を加えて溶
解し、60℃で8時間反応させた。赤外線吸収スペクト
ルにより、イソシアネート基の吸収が消失していること
を確認した。この反応溶液に、カルボキシル基含有アク
リロニトリル−ブタジエン共重合体(FN−3701、
分子量約70000、アクリロニトリル含有量27重量
%、カルボキシル基含有量0.027ephr、日本ゼ
オン社製)50重量部、ジシアンジアミド5重量部を加
え、固形分が30重量%となるようにメチルエチルケト
ンに溶解し、接着剤溶液を得た。得られた接着剤溶液
を、耐熱性フィルム(カプトン200H、膜厚50μ
m、デュポン社製)に、乾燥後の厚みが20μmとなる
ように塗工し、150℃で10分間乾燥させて、幅15
mm×長さ200mmの半硬化状の接着テープを得た。
=13.0、固形分75%、溶剤として酢酸エチル使
用、住友バイエルウレタン社製)15重量部、及び、脂
環式固形エポキシ樹脂(EHPE−3150、エポキシ
当量182、融点79℃、ダイセル化学工業社製)10
0重量部に、メチルエチルケトン50重量部を加えて溶
解し、60℃で8時間反応させた。赤外線吸収スペクト
ルにより、イソシアネート基の吸収が消失していること
を確認した。この反応溶液に、カルボキシル基含有アク
リロニトリル−ブタジエン共重合体(FN−3701、
分子量約70000、アクリロニトリル含有量27重量
%、カルボキシル基含有量0.027ephr、日本ゼ
オン社製)50重量部、ジシアンジアミド5重量部を加
え、固形分が30重量%となるようにメチルエチルケト
ンに溶解し、接着剤溶液を得た。得られた接着剤溶液
を、耐熱性フィルム(カプトン200H、膜厚50μ
m、デュポン社製)に、乾燥後の厚みが20μmとなる
ように塗工し、150℃で10分間乾燥させて、幅15
mm×長さ200mmの半硬化状の接着テープを得た。
【0029】実施例2 ジシアンジアミドを使用しなかったこと以外は、実施例
1と同様にして半硬化状の接着テープを得た。
1と同様にして半硬化状の接着テープを得た。
【0030】比較例1 脂環式固形エポキシ樹脂の代わりに、液状エポキシ樹脂
(エピコート828、エポキシ当量190、油化シエル
エポキシ社製)を用いたこと以外は、実施例1と同様に
して半硬化状の接着テープを得た。
(エピコート828、エポキシ当量190、油化シエル
エポキシ社製)を用いたこと以外は、実施例1と同様に
して半硬化状の接着テープを得た。
【0031】比較例2 ポリイソシアネートを使用しなかったこと以外は、実施
例1と同様にして半硬化状の接着テープを得た。
例1と同様にして半硬化状の接着テープを得た。
【0032】試験法 得られた各接着テープのイオン抽出試験、電導度試験及
び90℃剥離試験を行った。 (1)イオン抽出試験 テフロン製加圧容器に接着テープのサンプル10gをと
り、純水100gを加えた。120℃で20時間イオン
抽出を行い、抽出水を採取した。イオンクロマトグラフ
法により、抽出水中のナトリウムイオン、カリウムイオ
ン、塩素イオン、硫酸イオン濃度を測定し、サンプルの
濃度に換算した。結果を表1に示した。 (2)電導度試験 抽出水について、電気伝導度計(東亞電波社製)によ
り、電導度を測定した。結果を表1に示した。 (3)90℃剥離試験 得られた各接着テープを、160℃のホットプレート上
で、被着体である銅アロイと約1秒間圧着し、試験片を
作製した。得られた試験片について、JIS K 68
54に準拠して、室温及び200℃における90℃剥離
試験を行った。結果を表1に示した。
び90℃剥離試験を行った。 (1)イオン抽出試験 テフロン製加圧容器に接着テープのサンプル10gをと
り、純水100gを加えた。120℃で20時間イオン
抽出を行い、抽出水を採取した。イオンクロマトグラフ
法により、抽出水中のナトリウムイオン、カリウムイオ
ン、塩素イオン、硫酸イオン濃度を測定し、サンプルの
濃度に換算した。結果を表1に示した。 (2)電導度試験 抽出水について、電気伝導度計(東亞電波社製)によ
り、電導度を測定した。結果を表1に示した。 (3)90℃剥離試験 得られた各接着テープを、160℃のホットプレート上
で、被着体である銅アロイと約1秒間圧着し、試験片を
作製した。得られた試験片について、JIS K 68
54に準拠して、室温及び200℃における90℃剥離
試験を行った。結果を表1に示した。
【0033】
【表1】
【0034】
【発明の効果】本発明の半導体用接着テープは、上述の
構成からなるので、電流リーク特性と接着性、特に高温
時の接着性とに優れている。
構成からなるので、電流リーク特性と接着性、特に高温
時の接着性とに優れている。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 C09J 7/02 JKK C09J 7/02 JKK 109/02 JEJ 109/02 JEJ 175/04 JFB 175/04 JFB JFH JFH
Claims (3)
- 【請求項1】 支持体フィルムと接着剤層とからなる半
導体用接着テープにおいて、前記接着剤層が、脂環式固
形エポキシ樹脂及びポリイソシアネートからなるもので
あることを特徴とする半導体用接着テープ。 - 【請求項2】 脂環式固形エポキシ樹脂が、下記一般式
(1)で表される化合物である請求項1記載の半導体用
接着テープ。 【化1】 - 【請求項3】 接着剤層が、カルボキシル基含有アクリ
ロニトリル−ブタジエン共重合体ゴム及び潜在性硬化剤
のうち少なくとも1種を含有するものである請求項1又
は2記載の半導体用接着テープ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2455796A JPH09194803A (ja) | 1996-01-17 | 1996-01-17 | 半導体用接着テープ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2455796A JPH09194803A (ja) | 1996-01-17 | 1996-01-17 | 半導体用接着テープ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09194803A true JPH09194803A (ja) | 1997-07-29 |
Family
ID=12141469
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2455796A Pending JPH09194803A (ja) | 1996-01-17 | 1996-01-17 | 半導体用接着テープ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09194803A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007171812A (ja) * | 2005-12-26 | 2007-07-05 | Showa Denko Kk | ソルダーレジストインキ組成物、その組成物を硬化してなるソルダーレジスト及びソルダーレジストの製造方法 |
JP2008069352A (ja) * | 2006-09-11 | 2008-03-27 | Cheil Industries Inc | 先硬化型半導体組立用接着フィルム組成物 |
EP2986685B1 (en) | 2013-04-19 | 2017-08-09 | Dow Global Technologies Inc. | Adhesive compositions, manufacture and use thereof |
-
1996
- 1996-01-17 JP JP2455796A patent/JPH09194803A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007171812A (ja) * | 2005-12-26 | 2007-07-05 | Showa Denko Kk | ソルダーレジストインキ組成物、その組成物を硬化してなるソルダーレジスト及びソルダーレジストの製造方法 |
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EP2986685B1 (en) | 2013-04-19 | 2017-08-09 | Dow Global Technologies Inc. | Adhesive compositions, manufacture and use thereof |
US10150897B2 (en) * | 2013-04-19 | 2018-12-11 | Dow Global Technologies Llc | Adhesive compositions, manufacture and use thereof |
EP2986685B2 (en) † | 2013-04-19 | 2020-05-13 | Dow Global Technologies Inc. | Adhesive compositions, manufacture and use thereof |
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