JPH09193379A - インクジェットヘッドの製造方法及びその装置 - Google Patents
インクジェットヘッドの製造方法及びその装置Info
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- JPH09193379A JPH09193379A JP8021897A JP2189796A JPH09193379A JP H09193379 A JPH09193379 A JP H09193379A JP 8021897 A JP8021897 A JP 8021897A JP 2189796 A JP2189796 A JP 2189796A JP H09193379 A JPH09193379 A JP H09193379A
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- liquid
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- ink chamber
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 インクジェットヘッドのインク室及びインク
吐出口を形成した後に発生する異物を確実に取り除くこ
とができるインクジェットヘッドの製造方法及びその装
置を提供する。 【解決手段】 インク室となる圧力チャンバーが形成さ
れ、カバープレート及びノズルプレートが取り付けられ
た後のインクジェットヘッド１に対し、純水を純水供給
源２０からインク供給口を通じてインク室内に流入する
と共に、駆動回路２４により圧電側壁の電極に電圧を印
加し、圧電側壁を駆動させる。これにより、インク室
内、インク供給口、及びノズルプレートに付着していた
切削粉等の異物を離脱しやすくし、離脱した異物をノズ
ルプレートのノズルから純水と共に排出する。
吐出口を形成した後に発生する異物を確実に取り除くこ
とができるインクジェットヘッドの製造方法及びその装
置を提供する。 【解決手段】 インク室となる圧力チャンバーが形成さ
れ、カバープレート及びノズルプレートが取り付けられ
た後のインクジェットヘッド１に対し、純水を純水供給
源２０からインク供給口を通じてインク室内に流入する
と共に、駆動回路２４により圧電側壁の電極に電圧を印
加し、圧電側壁を駆動させる。これにより、インク室
内、インク供給口、及びノズルプレートに付着していた
切削粉等の異物を離脱しやすくし、離脱した異物をノズ
ルプレートのノズルから純水と共に排出する。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インク液滴を吐出
して記録を行うインクジェット記録装置に用いられるイ
ンクジェットヘッドの製造方法及びその装置に関し、特
に、インク吐出口及びインク室を切削加工により形成し
た後、これらに付着する異物を洗浄により取り除く方法
及び装置に関するものである。
して記録を行うインクジェット記録装置に用いられるイ
ンクジェットヘッドの製造方法及びその装置に関し、特
に、インク吐出口及びインク室を切削加工により形成し
た後、これらに付着する異物を洗浄により取り除く方法
及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、インク液滴を吐出して記録を行う
インクジェット記録装置に用いられるインクジェットヘ
ッドを製造する場合、その製造過程において、圧電セラ
ミックス等でなる基板上に、インク流路となる複数のイ
ンク室と、このインク室と連通させてインク吐出口と
が、切削加工により形成される。この切削加工後には、
切削加工時に発生した切削粉等の異物がインク室及びイ
ンク吐出口に付着する。この異物がインク室及びインク
吐出口に付着したままにしておくと、インクジェットヘ
ッドの使用中に、インク吐出口の目詰まりや、吐出不良
を引き起こし、インクの吐出が不安定になるため、基板
上に被せられるカバープレートに設けられたインク供給
口から純水、洗浄液等を流し込み、インク吐出口から排
出することによってインク室及びインク吐出口を洗浄
し、異物を取り除いている。
インクジェット記録装置に用いられるインクジェットヘ
ッドを製造する場合、その製造過程において、圧電セラ
ミックス等でなる基板上に、インク流路となる複数のイ
ンク室と、このインク室と連通させてインク吐出口と
が、切削加工により形成される。この切削加工後には、
切削加工時に発生した切削粉等の異物がインク室及びイ
ンク吐出口に付着する。この異物がインク室及びインク
吐出口に付着したままにしておくと、インクジェットヘ
ッドの使用中に、インク吐出口の目詰まりや、吐出不良
を引き起こし、インクの吐出が不安定になるため、基板
上に被せられるカバープレートに設けられたインク供給
口から純水、洗浄液等を流し込み、インク吐出口から排
出することによってインク室及びインク吐出口を洗浄
し、異物を取り除いている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来のインク室及びインク吐出口を洗浄する方法
では、インク室及びインク吐出口が微細に形成されてお
り、純水、洗浄液等を流し込んでも流体力学的抵抗が高
いために、純水、洗浄液等の流速を大きくすることがで
きない等の原因から、インク室及びインク吐出口に付着
した異物を完全に取り除くことができないことがある。
その結果、インクジェットヘッドの使用中に、インク吐
出口の目詰まりや、吐出不良を引き起こすことが考えら
れる。本発明は、上述した問題点を解決するためになさ
れたものであり、インクジェットヘッドのインク室及び
インク吐出口を切削加工等により形成した後に発生する
異物を確実に取り除くことが可能なインクジェットヘッ
ドの製造方法及びその装置を提供することを目的とす
る。
ような従来のインク室及びインク吐出口を洗浄する方法
では、インク室及びインク吐出口が微細に形成されてお
り、純水、洗浄液等を流し込んでも流体力学的抵抗が高
いために、純水、洗浄液等の流速を大きくすることがで
きない等の原因から、インク室及びインク吐出口に付着
した異物を完全に取り除くことができないことがある。
その結果、インクジェットヘッドの使用中に、インク吐
出口の目詰まりや、吐出不良を引き起こすことが考えら
れる。本発明は、上述した問題点を解決するためになさ
れたものであり、インクジェットヘッドのインク室及び
インク吐出口を切削加工等により形成した後に発生する
異物を確実に取り除くことが可能なインクジェットヘッ
ドの製造方法及びその装置を提供することを目的とす
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１に記載の発明に係るインクジェットヘッドの
製造方法は、圧電素子の変形により容積が変化する複数
のインク室と、インクが供給されるインク供給口と、イ
ンク室と連通し、インクが吐出されるインク吐出口とを
有し、圧電素子の変形により、インク室内に圧力を与え
てインクを噴射するインクジェットヘッドの製造方法で
あって、インク吐出口及びインク室を形成した後、液体
又は気体をインク供給口よりインク室内に流入すると共
に、圧電素子を変形させ、インク吐出口から液体又は気
体を排出することによってインク室内及びインク吐出口
の洗浄を行うものである。
に請求項１に記載の発明に係るインクジェットヘッドの
製造方法は、圧電素子の変形により容積が変化する複数
のインク室と、インクが供給されるインク供給口と、イ
ンク室と連通し、インクが吐出されるインク吐出口とを
有し、圧電素子の変形により、インク室内に圧力を与え
てインクを噴射するインクジェットヘッドの製造方法で
あって、インク吐出口及びインク室を形成した後、液体
又は気体をインク供給口よりインク室内に流入すると共
に、圧電素子を変形させ、インク吐出口から液体又は気
体を排出することによってインク室内及びインク吐出口
の洗浄を行うものである。
【０００５】上記構成においては、インク供給口から液
体又は気体をインク室内に流入すると共に、圧電素子を
変形させ、インク吐出口から液体又は気体を排出するこ
とによってインク室内及びインク吐出口の洗浄を行うの
で、液体等をインク室内に流し込むことによる洗浄では
取り除くことができなかった、インク室内及びインク吐
出口に付着した異物を取り除くことができる。従って、
インクジェットヘッドの使用中に、インク吐出口の目詰
まりや、吐出不良を引き起こすことを解消することがで
きる。
体又は気体をインク室内に流入すると共に、圧電素子を
変形させ、インク吐出口から液体又は気体を排出するこ
とによってインク室内及びインク吐出口の洗浄を行うの
で、液体等をインク室内に流し込むことによる洗浄では
取り除くことができなかった、インク室内及びインク吐
出口に付着した異物を取り除くことができる。従って、
インクジェットヘッドの使用中に、インク吐出口の目詰
まりや、吐出不良を引き起こすことを解消することがで
きる。
【０００６】また、請求項２に記載の発明に係るインク
ジェットヘッドの製造方法は、圧電素子の変形により容
積が変化する複数のインク室と、インクが供給されるイ
ンク供給口と、インク室と連通し、インクが吐出される
インク吐出口とを有し、圧電素子の変形により、インク
室内に圧力を与えてインクを噴射するインクジェットヘ
ッドの製造方法であって、インク吐出口及びインク室を
形成した後、液体又は気体をインク吐出口よりインク室
内に流入すると共に、圧電素子を変形させ、インク供給
口から液体又は気体を排出することによってインク室内
及びインク吐出口の洗浄を行うものである。
ジェットヘッドの製造方法は、圧電素子の変形により容
積が変化する複数のインク室と、インクが供給されるイ
ンク供給口と、インク室と連通し、インクが吐出される
インク吐出口とを有し、圧電素子の変形により、インク
室内に圧力を与えてインクを噴射するインクジェットヘ
ッドの製造方法であって、インク吐出口及びインク室を
形成した後、液体又は気体をインク吐出口よりインク室
内に流入すると共に、圧電素子を変形させ、インク供給
口から液体又は気体を排出することによってインク室内
及びインク吐出口の洗浄を行うものである。
【０００７】上記構成においては、インク吐出口から液
体又は気体をインク室内に流入すると共に、圧電素子を
変形させ、インク供給口から液体又は気体を排出するこ
とによってインク室内及びインク吐出口の洗浄を行うの
で、液体等をインク室内に流し込む洗浄では取り除くこ
とができなかった、インク室内及びインク吐出口に付着
した異物を取り除くことができる。従って、インクジェ
ットヘッドの使用中に、インク吐出口の目詰まりや、吐
出不良を引き起こすことを解消することができる。
体又は気体をインク室内に流入すると共に、圧電素子を
変形させ、インク供給口から液体又は気体を排出するこ
とによってインク室内及びインク吐出口の洗浄を行うの
で、液体等をインク室内に流し込む洗浄では取り除くこ
とができなかった、インク室内及びインク吐出口に付着
した異物を取り除くことができる。従って、インクジェ
ットヘッドの使用中に、インク吐出口の目詰まりや、吐
出不良を引き起こすことを解消することができる。
【０００８】また、請求項３に記載の発明に係るインク
ジェットヘッドの製造方法は、請求項１又は請求項２に
記載のインクジェットヘッドの製造方法であって、イン
ク室に液体を流入する場合、その液体を純水又は洗浄液
としたものである。
ジェットヘッドの製造方法は、請求項１又は請求項２に
記載のインクジェットヘッドの製造方法であって、イン
ク室に液体を流入する場合、その液体を純水又は洗浄液
としたものである。
【０００９】上記構成においては、インク室に流入する
液体を純水又は洗浄液としたので、インク室及びインク
吐出口を汚染することなく洗浄でき、インク室内及びイ
ンク吐出口に付着した異物を取り除くことができる。
液体を純水又は洗浄液としたので、インク室及びインク
吐出口を汚染することなく洗浄でき、インク室内及びイ
ンク吐出口に付着した異物を取り除くことができる。
【００１０】また、請求項４に記載の発明に係るインク
ジェットヘッドの製造方法は、請求項１乃至請求項３の
いずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法であ
って、切削加工により形成されたインク室の洗浄を行う
ものである。
ジェットヘッドの製造方法は、請求項１乃至請求項３の
いずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法であ
って、切削加工により形成されたインク室の洗浄を行う
ものである。
【００１１】上記構成においては、切削加工により形成
されたインク室の洗浄を行うので、液体等をインク室内
に流し込むだけでは取り除くことができなかったインク
室内及びインク吐出口に付着した切削粉等の異物を取り
除くことができる。
されたインク室の洗浄を行うので、液体等をインク室内
に流し込むだけでは取り除くことができなかったインク
室内及びインク吐出口に付着した切削粉等の異物を取り
除くことができる。
【００１２】また、請求項５に記載の発明に係るインク
ジェットヘッドの製造装置は、圧電素子の変形により容
積が変化する複数のインク室と、インクが供給されるイ
ンク供給口と、インク室と連通して一体的に設けられ、
インクが吐出されるインク吐出口とを有し、圧電素子の
変形により、インク室内に圧力を与えてインクを噴射す
るインクジェットヘッドの製造装置であって、形成され
た後のインク吐出口及びインク室に、インク供給口又は
インク吐出口から液体又は気体を流入する供給手段と、
供給手段によってインク吐出口及びインク室に液体又は
気体が流入されている時に、圧電素子に電気エネルギー
を与え、圧電素子を変形させる電気エネルギー供給手段
とを備えたものである。
ジェットヘッドの製造装置は、圧電素子の変形により容
積が変化する複数のインク室と、インクが供給されるイ
ンク供給口と、インク室と連通して一体的に設けられ、
インクが吐出されるインク吐出口とを有し、圧電素子の
変形により、インク室内に圧力を与えてインクを噴射す
るインクジェットヘッドの製造装置であって、形成され
た後のインク吐出口及びインク室に、インク供給口又は
インク吐出口から液体又は気体を流入する供給手段と、
供給手段によってインク吐出口及びインク室に液体又は
気体が流入されている時に、圧電素子に電気エネルギー
を与え、圧電素子を変形させる電気エネルギー供給手段
とを備えたものである。
【００１３】上記構成においては、供給手段によってイ
ンク吐出口及びインク室に液体又は気体が流入されてい
る時に、電気エネルギー供給手段が圧電素子に電気エネ
ルギーを与え、圧電素子を変形させるので、液体等をイ
ンク室内に流し込む洗浄では取り除くことができなかっ
た、インク室内及びインク吐出口に付着した異物を取り
除くことができる。従って、インクジェットヘッドの使
用中に、インク吐出口の目詰まりや、吐出不良を引き起
こすことを解消することができる。
ンク吐出口及びインク室に液体又は気体が流入されてい
る時に、電気エネルギー供給手段が圧電素子に電気エネ
ルギーを与え、圧電素子を変形させるので、液体等をイ
ンク室内に流し込む洗浄では取り除くことができなかっ
た、インク室内及びインク吐出口に付着した異物を取り
除くことができる。従って、インクジェットヘッドの使
用中に、インク吐出口の目詰まりや、吐出不良を引き起
こすことを解消することができる。
【００１４】また、請求項６に記載の発明に係るインク
ジェットヘッドの製造装置は、請求項５に記載のインク
ジェットヘッドの製造装置であって、インク室に液体を
流入する場合、その液体を純水又は洗浄液としたもので
ある。
ジェットヘッドの製造装置は、請求項５に記載のインク
ジェットヘッドの製造装置であって、インク室に液体を
流入する場合、その液体を純水又は洗浄液としたもので
ある。
【００１５】上記構成においては、インク室に流入する
液体を純水又は洗浄液としたので、インク室及びインク
吐出口を汚染することなく洗浄でき、インク室内及びイ
ンク吐出口に付着した異物を取り除くことができる。
液体を純水又は洗浄液としたので、インク室及びインク
吐出口を汚染することなく洗浄でき、インク室内及びイ
ンク吐出口に付着した異物を取り除くことができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の一形態に係
るインクジェットヘッドの製造方法及びその装置につい
て図面を参照して説明する。まず、本発明のインクジェ
ットヘッドの製造方法及びその装置により製造されるイ
ンクジェットヘッドについて説明する。ここで説明する
インクジェットヘッドは、インクジェット式プリンタ等
に適用されるものであり、圧力チャンバーの側壁に圧電
素子を用いて、同素子によるせん断変形による圧力チャ
ンバーの内圧変化を用いてインク液滴を噴出するもので
ある。
るインクジェットヘッドの製造方法及びその装置につい
て図面を参照して説明する。まず、本発明のインクジェ
ットヘッドの製造方法及びその装置により製造されるイ
ンクジェットヘッドについて説明する。ここで説明する
インクジェットヘッドは、インクジェット式プリンタ等
に適用されるものであり、圧力チャンバーの側壁に圧電
素子を用いて、同素子によるせん断変形による圧力チャ
ンバーの内圧変化を用いてインク液滴を噴出するもので
ある。
【００１７】図１（ａ）はインクジェットヘッドの分解
斜視図、（ｂ）はインクジェットヘッドと電極との接続
状況を示す図である。インクジェットヘッド１の圧電基
板２には、ダイシング加工等の切削加工によって互いに
平行な溝が形成され、インク室となる圧力チャンバー３
が多数形成されている。この圧電基板２は、圧電素子で
ある圧電セラミックスからなるものである。圧力チャン
バー３の一方の端には、ノズル４ａ（インク吐出口）を
持つノズルプレート４が取り付けられている。圧力チャ
ンバー３を構成する側壁５（以下、圧電側壁という）は
矢印Ｂ方向に分極された圧電素子により形成されてお
り、圧電側壁５の上半分の表面には該分極方向と直角方
向の電界を印加するための電極６が形成されている。ま
た、圧力チャンバー３が形成された圧電基板２の上部に
は、インク供給口（給液手段）７を有する上部カバー８
が被せられている。圧力チャンバー３は、インク供給口
７を経て、図示しないインクカートリッジに通じてい
る。印字に用いられるインクは、このインクカートリッ
ジから、インク供給口７を通して、圧力チャンバー３に
より構成されるインク室に供給され、ノズルプレート４
のノズル４ａから吐出される。このような構成によっ
て、圧力チャンバー３の断面形状は、圧電側壁５と上部
カバー８に囲まれた長方形を呈することになる。
斜視図、（ｂ）はインクジェットヘッドと電極との接続
状況を示す図である。インクジェットヘッド１の圧電基
板２には、ダイシング加工等の切削加工によって互いに
平行な溝が形成され、インク室となる圧力チャンバー３
が多数形成されている。この圧電基板２は、圧電素子で
ある圧電セラミックスからなるものである。圧力チャン
バー３の一方の端には、ノズル４ａ（インク吐出口）を
持つノズルプレート４が取り付けられている。圧力チャ
ンバー３を構成する側壁５（以下、圧電側壁という）は
矢印Ｂ方向に分極された圧電素子により形成されてお
り、圧電側壁５の上半分の表面には該分極方向と直角方
向の電界を印加するための電極６が形成されている。ま
た、圧力チャンバー３が形成された圧電基板２の上部に
は、インク供給口（給液手段）７を有する上部カバー８
が被せられている。圧力チャンバー３は、インク供給口
７を経て、図示しないインクカートリッジに通じてい
る。印字に用いられるインクは、このインクカートリッ
ジから、インク供給口７を通して、圧力チャンバー３に
より構成されるインク室に供給され、ノズルプレート４
のノズル４ａから吐出される。このような構成によっ
て、圧力チャンバー３の断面形状は、圧電側壁５と上部
カバー８に囲まれた長方形を呈することになる。
【００１８】さらに、圧電基板２の下部には、電極９が
プリントされたプリント基板１０が配設されている。こ
の電極９と、圧電側壁５表面の電極６とはワイヤ１１で
接続され、さらに、電極９は、インクジェットヘッド１
を駆動するヘッドドライバ１５に接続されている。ヘッ
ドドライバ１５は、接続線１６により電源に、接続線１
７によりグラウンドに接続されており、このヘッドドラ
イバ１５によって電極６に電圧を印加している。また、
ヘッドドライバ１５は信号線１８によって、当該インク
ジェットヘッド１が備えられる記録装置のＣＰＵ（不図
示）に接続され、このＣＰＵによって制御される。尚、
このヘッドドライバ１５は、インクジェットヘッド１が
設けられる記録装置に備えられるものである。
プリントされたプリント基板１０が配設されている。こ
の電極９と、圧電側壁５表面の電極６とはワイヤ１１で
接続され、さらに、電極９は、インクジェットヘッド１
を駆動するヘッドドライバ１５に接続されている。ヘッ
ドドライバ１５は、接続線１６により電源に、接続線１
７によりグラウンドに接続されており、このヘッドドラ
イバ１５によって電極６に電圧を印加している。また、
ヘッドドライバ１５は信号線１８によって、当該インク
ジェットヘッド１が備えられる記録装置のＣＰＵ（不図
示）に接続され、このＣＰＵによって制御される。尚、
このヘッドドライバ１５は、インクジェットヘッド１が
設けられる記録装置に備えられるものである。
【００１９】次に、インクジェットヘッド１によるイン
クの噴射について図２を参照して説明する。図２（ａ）
はインクジェットヘッド１の縦断面図、（ｂ）は電極６
に電圧が印加され、圧電側壁５が歪みを起こした状態を
示す図である。圧電側壁５と、圧電側壁５の上半分部に
形成された電極６（６１，６２）とからアクチュエータ
が構成されている。圧電側壁５の上部には、上部カバー
８が接着剤１１によって取り付けられている。電極６
１，６２はメッキ処理により形成され、この電極６１に
は＋電位、電極６２にはＧＮＤが接続され、これにより
圧電側壁５に矢印１２ａ，１２ｂ方向の電界が発生す
る。すると、電極６１，６２が取り付けられた圧電側壁
５上半分部の圧電厚みすべり変形によって、インク室
（圧力チャンバー３）の容積が変化する。これにより圧
力チャンバー３の内圧が大きくなり、同チャンバー３内
のインクがノズル４ａ（図１（ａ））から噴射される。
上記電圧印加を中止すると、圧電側壁５には電界がなく
なるので、歪みを起こしていた圧電側壁５は元の状態に
戻る。インクジェットヘッド１が備えられる記録装置の
ＣＰＵ及びインクジェットヘッドドライバ（不図示）
が、ホストコンピュータ等から送られてくる印字データ
に基づいて、インクジェットヘッド１の上記動作、即
ち、電圧印加を制御することにより、記録媒体に対して
印字動作が行われる。
クの噴射について図２を参照して説明する。図２（ａ）
はインクジェットヘッド１の縦断面図、（ｂ）は電極６
に電圧が印加され、圧電側壁５が歪みを起こした状態を
示す図である。圧電側壁５と、圧電側壁５の上半分部に
形成された電極６（６１，６２）とからアクチュエータ
が構成されている。圧電側壁５の上部には、上部カバー
８が接着剤１１によって取り付けられている。電極６
１，６２はメッキ処理により形成され、この電極６１に
は＋電位、電極６２にはＧＮＤが接続され、これにより
圧電側壁５に矢印１２ａ，１２ｂ方向の電界が発生す
る。すると、電極６１，６２が取り付けられた圧電側壁
５上半分部の圧電厚みすべり変形によって、インク室
（圧力チャンバー３）の容積が変化する。これにより圧
力チャンバー３の内圧が大きくなり、同チャンバー３内
のインクがノズル４ａ（図１（ａ））から噴射される。
上記電圧印加を中止すると、圧電側壁５には電界がなく
なるので、歪みを起こしていた圧電側壁５は元の状態に
戻る。インクジェットヘッド１が備えられる記録装置の
ＣＰＵ及びインクジェットヘッドドライバ（不図示）
が、ホストコンピュータ等から送られてくる印字データ
に基づいて、インクジェットヘッド１の上記動作、即
ち、電圧印加を制御することにより、記録媒体に対して
印字動作が行われる。
【００２０】次に、インクジェットヘッド１の製造方法
及びその製造装置について図３，図４を参照して説明す
る。図３はインクジェットヘッド１の製造装置の構成を
示す概略ブロック図、図４はこの製造装置及びインクジ
ェットヘッド１の断面図であり、（ａ）はこの製造装置
によりインク供給口からインク室内に純水を流入する状
態を示す図、（ｂ）はこの製造装置によりノズルプレー
ト４のノズル４ａからインク室内に純水を流入する状態
を示す図である。インクジェットヘッド１の製造装置２
０は、インクジェットヘッド１のインク室内に純水を供
給する純水供給源（供給手段）２１と、この純水供給源
２１からインク室内へ任意の流速で純水を送るポンプ２
２と、インクジェットヘッド１に密着し、ポンプ２２に
より純水供給源２１から送られてきた純水をインク室内
に流し込む洗浄部２３と、洗浄が行われているときにイ
ンクジェットヘッド１の圧電側壁５に設けられている電
極６１，６２に電圧を印加し、圧電側壁５を駆動する駆
動回路（電気エネルギー供給手段）２４とからなる。
及びその製造装置について図３，図４を参照して説明す
る。図３はインクジェットヘッド１の製造装置の構成を
示す概略ブロック図、図４はこの製造装置及びインクジ
ェットヘッド１の断面図であり、（ａ）はこの製造装置
によりインク供給口からインク室内に純水を流入する状
態を示す図、（ｂ）はこの製造装置によりノズルプレー
ト４のノズル４ａからインク室内に純水を流入する状態
を示す図である。インクジェットヘッド１の製造装置２
０は、インクジェットヘッド１のインク室内に純水を供
給する純水供給源（供給手段）２１と、この純水供給源
２１からインク室内へ任意の流速で純水を送るポンプ２
２と、インクジェットヘッド１に密着し、ポンプ２２に
より純水供給源２１から送られてきた純水をインク室内
に流し込む洗浄部２３と、洗浄が行われているときにイ
ンクジェットヘッド１の圧電側壁５に設けられている電
極６１，６２に電圧を印加し、圧電側壁５を駆動する駆
動回路（電気エネルギー供給手段）２４とからなる。
【００２１】製造装置２０の洗浄部２３は、図４に示す
ように、Ｏリング２５を介してインクジェットヘッド１
のカバープレート８又はノズルプレート４に密着するキ
ャップ部２３ａと、純水供給源２１から送られてくる純
水を流す供給管２３ｂとからなる。インクジェットヘッ
ド１のインク供給口７（図１（ａ））から純水をインク
室内に流し込む場合は、図４（ａ）に示すように、キャ
ップ部２３ａをカバープレート８に密着させる。この場
合、インク室内に純水を流し込むと共に、駆動回路２４
により圧電側壁５の電極６１，６２に電圧を印加し、圧
電側壁５を駆動させる。これにより、インク室内、イン
ク供給口７、及びノズルプレート４に付着していた切削
粉等の異物を離脱しやすくし、離脱した異物はノズルプ
レート４のノズル４ａから純水と共に排出される。
ように、Ｏリング２５を介してインクジェットヘッド１
のカバープレート８又はノズルプレート４に密着するキ
ャップ部２３ａと、純水供給源２１から送られてくる純
水を流す供給管２３ｂとからなる。インクジェットヘッ
ド１のインク供給口７（図１（ａ））から純水をインク
室内に流し込む場合は、図４（ａ）に示すように、キャ
ップ部２３ａをカバープレート８に密着させる。この場
合、インク室内に純水を流し込むと共に、駆動回路２４
により圧電側壁５の電極６１，６２に電圧を印加し、圧
電側壁５を駆動させる。これにより、インク室内、イン
ク供給口７、及びノズルプレート４に付着していた切削
粉等の異物を離脱しやすくし、離脱した異物はノズルプ
レート４のノズル４ａから純水と共に排出される。
【００２２】ノズルプレート４のノズル４ａから純水を
インク室内に流し込む場合は、図４（ｂ）に示すよう
に、キャップ部２３ａをノズルプレート４に密着させ
る。この場合も、インク室内に純水を流し込むと共に、
駆動回路２４により圧電側壁５の電極６１，６２に電圧
を印加し、圧電側壁５を駆動させる。これにより、上述
と同様にして異物を取り除き、インク供給口７から純水
と共に排出する。
インク室内に流し込む場合は、図４（ｂ）に示すよう
に、キャップ部２３ａをノズルプレート４に密着させ
る。この場合も、インク室内に純水を流し込むと共に、
駆動回路２４により圧電側壁５の電極６１，６２に電圧
を印加し、圧電側壁５を駆動させる。これにより、上述
と同様にして異物を取り除き、インク供給口７から純水
と共に排出する。
【００２３】このように、本実施の形態のインクジェッ
トヘッド１の製造方法及び製造装置２０によれば、純水
供給源２１から、ポンプ２２により任意の流速の純水を
インク室内に流し込み、それと共に、駆動回路２４によ
り圧電側壁５を駆動させることによってインクジェット
ヘッド１を洗浄するので、圧電側壁５やノズルプレート
４、さらにインク供給口７に付着した切削粉等の異物が
離脱しやすくなり、単にインク室内に純水を流し込むだ
けによる洗浄よりも効果的に異物を取り除くことができ
る。
トヘッド１の製造方法及び製造装置２０によれば、純水
供給源２１から、ポンプ２２により任意の流速の純水を
インク室内に流し込み、それと共に、駆動回路２４によ
り圧電側壁５を駆動させることによってインクジェット
ヘッド１を洗浄するので、圧電側壁５やノズルプレート
４、さらにインク供給口７に付着した切削粉等の異物が
離脱しやすくなり、単にインク室内に純水を流し込むだ
けによる洗浄よりも効果的に異物を取り除くことができ
る。
【００２４】なお、本発明は上記実施の形態の構成に限
られず種々の変形が可能である。例えば、上記実施の形
態では、製造装置２０の純水供給源２１により、インク
ジェットヘッド１のインク室内に純水が流し込まれるよ
うになっているが、他の供給源を用いて、洗浄液又は、
任意の風速の気体が流入されるものであってもよい。ま
た、本発明の実施の形態に係るインクジェットヘッド１
の製造方法は、必ずしも、製造装置２０を用いて洗浄を
行うものである必要はなく、上記実施の形態と同様にし
てインクジェットヘッド１のインク室内を洗浄できる装
置であれば、どのような構成のものであっても構わな
い。
られず種々の変形が可能である。例えば、上記実施の形
態では、製造装置２０の純水供給源２１により、インク
ジェットヘッド１のインク室内に純水が流し込まれるよ
うになっているが、他の供給源を用いて、洗浄液又は、
任意の風速の気体が流入されるものであってもよい。ま
た、本発明の実施の形態に係るインクジェットヘッド１
の製造方法は、必ずしも、製造装置２０を用いて洗浄を
行うものである必要はなく、上記実施の形態と同様にし
てインクジェットヘッド１のインク室内を洗浄できる装
置であれば、どのような構成のものであっても構わな
い。
【００２５】また、本実施の形態では、一方向（矢印Ｂ
方向）に分極された圧電側壁５の上半分に電極６を設
け、圧電側壁５の上半分の圧電厚みすべり変形によっ
て、インクを噴射するインクジェットヘッド１であった
が、分極方向が異なる２種の圧電素子で構成された圧電
側壁の側面全面に電極を設け、圧電側壁の上半分及び下
半分の圧電厚みすべり変形によって、インクを噴射する
インクジェットヘッドであってもよい。
方向）に分極された圧電側壁５の上半分に電極６を設
け、圧電側壁５の上半分の圧電厚みすべり変形によっ
て、インクを噴射するインクジェットヘッド１であった
が、分極方向が異なる２種の圧電素子で構成された圧電
側壁の側面全面に電極を設け、圧電側壁の上半分及び下
半分の圧電厚みすべり変形によって、インクを噴射する
インクジェットヘッドであってもよい。
【００２６】また、本実施の形態では、圧電側壁５の圧
電厚みすべり変形によって、インクを噴射するインクジ
ェットヘッド１であったが、周知のカイザー型のインク
ジェットヘッドであってもよい。
電厚みすべり変形によって、インクを噴射するインクジ
ェットヘッド１であったが、周知のカイザー型のインク
ジェットヘッドであってもよい。
【００２７】また、本実施の形態では、圧力チャンバー
３の容積を自然状態から減少させてインクを噴射させる
インクジェットヘッド１であったが、圧力チャンバー３
の容積を自然状態から増大させた後、自然状態に戻して
インクを噴射するものであってもよい。
３の容積を自然状態から減少させてインクを噴射させる
インクジェットヘッド１であったが、圧力チャンバー３
の容積を自然状態から増大させた後、自然状態に戻して
インクを噴射するものであってもよい。
【００２８】また、本実施の形態では、インクジェット
ヘッド１の製造が完成された後に洗浄していたが、イン
クジェットヘッド１の製造途中においての洗浄時に圧力
チャンバーの側壁を駆動しながら洗浄してもよい。
ヘッド１の製造が完成された後に洗浄していたが、イン
クジェットヘッド１の製造途中においての洗浄時に圧力
チャンバーの側壁を駆動しながら洗浄してもよい。
【００２９】
【発明の効果】以上のように請求項１に記載の発明に係
るインクジェットヘッドの製造方法によれば、インク供
給口から液体又は気体をインク室内に流入すると共に、
圧電素子を変形させ、インク吐出口から液体又は気体を
排出することによってインク室内及びインク吐出口の洗
浄を行うので、単に液体等をインク室内に流し込むだけ
の洗浄による場合に比べ、インク室内及びインク吐出口
に付着した異物をより効果的に取り除くことができる。
従って、インクジェットヘッドの使用中に、インク吐出
口の目詰まりや、吐出不良を引き起こすことを解消する
ことができ、高品質印字が可能となる。
るインクジェットヘッドの製造方法によれば、インク供
給口から液体又は気体をインク室内に流入すると共に、
圧電素子を変形させ、インク吐出口から液体又は気体を
排出することによってインク室内及びインク吐出口の洗
浄を行うので、単に液体等をインク室内に流し込むだけ
の洗浄による場合に比べ、インク室内及びインク吐出口
に付着した異物をより効果的に取り除くことができる。
従って、インクジェットヘッドの使用中に、インク吐出
口の目詰まりや、吐出不良を引き起こすことを解消する
ことができ、高品質印字が可能となる。
【００３０】また、請求項２に記載の発明に係るインク
ジェットヘッドの製造方法によれば、インク吐出口から
液体又は気体をインク室内に流入すると共に、圧電素子
を変形させ、インク供給口から液体又は気体を排出する
ことによってインク室内及びインク吐出口の洗浄を行う
ので、単に液体等をインク室内に流し込むだけの洗浄に
よる場合に比べ、インク室内及びインク吐出口に付着し
た異物をより効果的に取り除くことができる。従って、
インクジェットヘッドの使用中に、インク吐出口の目詰
まりや、吐出不良を引き起こすことを解消することがで
き、高品質印字が可能となる。
ジェットヘッドの製造方法によれば、インク吐出口から
液体又は気体をインク室内に流入すると共に、圧電素子
を変形させ、インク供給口から液体又は気体を排出する
ことによってインク室内及びインク吐出口の洗浄を行う
ので、単に液体等をインク室内に流し込むだけの洗浄に
よる場合に比べ、インク室内及びインク吐出口に付着し
た異物をより効果的に取り除くことができる。従って、
インクジェットヘッドの使用中に、インク吐出口の目詰
まりや、吐出不良を引き起こすことを解消することがで
き、高品質印字が可能となる。
【００３１】また、請求項３に記載の発明に係るインク
ジェットヘッドの製造方法によれば、インク室に流入す
る液体を純水又は洗浄液としたので、インク室及びイン
ク吐出口を汚染することなく洗浄し、インク室内及びイ
ンク吐出口に付着した異物を取り除くことができる。
ジェットヘッドの製造方法によれば、インク室に流入す
る液体を純水又は洗浄液としたので、インク室及びイン
ク吐出口を汚染することなく洗浄し、インク室内及びイ
ンク吐出口に付着した異物を取り除くことができる。
【００３２】また、請求項４に記載の発明に係るインク
ジェットヘッドの製造方法によれば、切削加工により形
成されたインク室の洗浄を行うので、液体等をインク室
内に流し込むだけでは取り除くことができなかったイン
ク室内及びインク吐出口に付着した切削粉等の異物を取
り除くことができる。
ジェットヘッドの製造方法によれば、切削加工により形
成されたインク室の洗浄を行うので、液体等をインク室
内に流し込むだけでは取り除くことができなかったイン
ク室内及びインク吐出口に付着した切削粉等の異物を取
り除くことができる。
【００３３】また、請求項５に記載の発明に係るインク
ジェットヘッドの製造装置によれば、供給手段によって
インク吐出口及びインク室に液体又は気体が流入されて
いる時に、電気エネルギー供給手段が圧電素子に電気エ
ネルギーを与え、圧電素子を変形させるので、液体等を
インク室内に流し込むだけでは取り除くことができなか
った、インク室内及びインク吐出口に付着した異物を取
り除くことができる。従って、インクジェットヘッドの
使用中に、インク吐出口の目詰まりや、吐出不良を引き
起こすことを解消することができ、高品質印字が可能に
なる。
ジェットヘッドの製造装置によれば、供給手段によって
インク吐出口及びインク室に液体又は気体が流入されて
いる時に、電気エネルギー供給手段が圧電素子に電気エ
ネルギーを与え、圧電素子を変形させるので、液体等を
インク室内に流し込むだけでは取り除くことができなか
った、インク室内及びインク吐出口に付着した異物を取
り除くことができる。従って、インクジェットヘッドの
使用中に、インク吐出口の目詰まりや、吐出不良を引き
起こすことを解消することができ、高品質印字が可能に
なる。
【００３４】また、請求項６に記載の発明に係るインク
ジェットヘッドの製造装置によれば、インク室に流入す
る液体を純水又は洗浄液としたので、インク室及びイン
ク吐出口を汚染することなく洗浄でき、インク室内及び
インク吐出口に付着した異物を取り除くことができる。
ジェットヘッドの製造装置によれば、インク室に流入す
る液体を純水又は洗浄液としたので、インク室及びイン
ク吐出口を汚染することなく洗浄でき、インク室内及び
インク吐出口に付着した異物を取り除くことができる。
【図１】（ａ）は本発明に係るインクジェットヘッドの
製造方法及びその装置によって製造されるインクジェッ
トヘッドの分解斜視図、（ｂ）は同インクジェットヘッ
ドと電極との接続状況を示す図である。
製造方法及びその装置によって製造されるインクジェッ
トヘッドの分解斜視図、（ｂ）は同インクジェットヘッ
ドと電極との接続状況を示す図である。
【図２】（ａ）は上記インクジェットヘッドの縦断面
図、（ｂ）は上記インクジェットヘッドの圧電側壁の電
極に電圧が印加されることにより、圧電側壁が歪みを起
こした状態を示す図である。
図、（ｂ）は上記インクジェットヘッドの圧電側壁の電
極に電圧が印加されることにより、圧電側壁が歪みを起
こした状態を示す図である。
【図３】上記インクジェットヘッドの製造装置の構成を
示す概略ブロック図である。
示す概略ブロック図である。
【図４】上記製造装置及びインクジェットヘッドの断面
図であり、この製造装置によりインク室内に純水を流入
する状態を示した図である。
図であり、この製造装置によりインク室内に純水を流入
する状態を示した図である。
１ インクジェットヘッド ２ 圧電基板 ３ 圧力チャンバー（インク室） ４ ノズルプレート ４ａ ノズル（インク吐出口） ５ 圧電側壁 ６，６１，６２ 電極 ７ インク供給口 ２０ 製造装置 ２１ 純水供給源（供給手段） ２３ 洗浄部 ２４ 駆動回路（電気エネルギー供給手段）
Claims (6)
- 【請求項１】 圧電素子の変形により容積が変化する複
数のインク室と、インクが供給されるインク供給口と、
前記インク室と連通し、インクが吐出されるインク吐出
口とを有し、前記圧電素子の変形により、インク室内に
圧力を与えてインクを噴射するインクジェットヘッドの
製造方法において、 前記インク吐出口及びインク室を形成した後、 液体又は気体を前記インク供給口より前記インク室内に
流入すると共に、前記圧電素子を変形させ、前記インク
吐出口から前記液体又は気体を排出することによって前
記インク室内及びインク吐出口の洗浄を行うことを特徴
とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項２】 圧電素子の変形により容積が変化する複
数のインク室と、インクが供給されるインク供給口と、
前記インク室と連通し、インクが吐出されるインク吐出
口とを有し、前記圧電素子の変形により、インク室内に
圧力を与えてインクを噴射するインクジェットヘッドの
製造方法において、 前記インク吐出口及びインク室を形成した後、 液体又は気体を前記インク吐出口より前記インク室内に
流入すると共に、前記圧電素子を変形させ、前記インク
供給口から前記液体又は気体を排出することによって前
記インク室内及びインク吐出口の洗浄を行うことを特徴
とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項３】 前記インク室に前記液体を流入する場
合、前記液体は純水又は洗浄液であることを特徴とする
請求項１又は請求項２に記載のインクジェットヘッドの
製造方法。 - 【請求項４】 切削加工により形成された前記インク室
の洗浄を行うことを特徴とする請求項１乃至請求項３の
いずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項５】 圧電素子の変形により容積が変化する複
数のインク室と、インクが供給されるインク供給口と、
前記インク室と連通して一体的に設けられ、インクが吐
出されるインク吐出口とを有し、前記圧電素子の変形に
より、インク室内に圧力を与えてインクを噴射するイン
クジェットヘッドの製造装置において、 形成された後の前記インク吐出口及びインク室に、前記
インク供給口又は前記インク吐出口から液体又は気体を
流入する供給手段と、 前記供給手段によって前記インク吐出口及びインク室に
液体又は気体が流入されている時に、前記圧電素子に電
気エネルギーを与え、前記圧電素子を変形させる電気エ
ネルギー供給手段とを備えたことを特徴とするインクジ
ェットヘッドの製造装置。 - 【請求項６】 前記インク室に前記液体を流入する場
合、前記液体が純水又は洗浄液であることを特徴とする
請求項５に記載のインクジェットヘッドの製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8021897A JPH09193379A (ja) | 1996-01-11 | 1996-01-11 | インクジェットヘッドの製造方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8021897A JPH09193379A (ja) | 1996-01-11 | 1996-01-11 | インクジェットヘッドの製造方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09193379A true JPH09193379A (ja) | 1997-07-29 |
Family
ID=12067910
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8021897A Pending JPH09193379A (ja) | 1996-01-11 | 1996-01-11 | インクジェットヘッドの製造方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09193379A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0916504A1 (en) * | 1997-11-18 | 1999-05-19 | Lexmark International, Inc. | Ink cartridge manufacturing method. |
| JP2001038890A (ja) * | 1999-07-30 | 2001-02-13 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド、インクジェット記録ヘッド内のゴミ除去方法、インクジェット記録ヘッド製造方法、およびインクジェット記録ヘッド回復方法 |
| JP2007317747A (ja) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Seiko Epson Corp | 基板分割方法及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
| US7396112B2 (en) | 2004-03-24 | 2008-07-08 | Fujifilm Corporation | Inkjet recording head and inkjet recording apparatus |
| US7829446B2 (en) | 2006-11-09 | 2010-11-09 | Seiko Epson Corporation | Method for dividing wafer, method for manufacturing silicon devices, and method for manufacturing liquid ejecting heads |
-
1996
- 1996-01-11 JP JP8021897A patent/JPH09193379A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0916504A1 (en) * | 1997-11-18 | 1999-05-19 | Lexmark International, Inc. | Ink cartridge manufacturing method. |
| JP2001038890A (ja) * | 1999-07-30 | 2001-02-13 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド、インクジェット記録ヘッド内のゴミ除去方法、インクジェット記録ヘッド製造方法、およびインクジェット記録ヘッド回復方法 |
| JP4553329B2 (ja) * | 1999-07-30 | 2010-09-29 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッド内のゴミ除去方法と、インクジェット記録装置の製造方法および回復方法 |
| US7396112B2 (en) | 2004-03-24 | 2008-07-08 | Fujifilm Corporation | Inkjet recording head and inkjet recording apparatus |
| JP2007317747A (ja) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Seiko Epson Corp | 基板分割方法及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
| US7829446B2 (en) | 2006-11-09 | 2010-11-09 | Seiko Epson Corporation | Method for dividing wafer, method for manufacturing silicon devices, and method for manufacturing liquid ejecting heads |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Effective date: 20040113 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
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