JPH09190948A - Manufacture of stacked ceramic electronic element - Google Patents
Manufacture of stacked ceramic electronic elementInfo
- Publication number
- JPH09190948A JPH09190948A JP274296A JP274296A JPH09190948A JP H09190948 A JPH09190948 A JP H09190948A JP 274296 A JP274296 A JP 274296A JP 274296 A JP274296 A JP 274296A JP H09190948 A JPH09190948 A JP H09190948A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressing
- ceramic green
- sheet
- green sheets
- sheets
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、積層セラミック
電子部品の製造方法に関するもので、特に、積み重ねら
れた複数のセラミックグリーンシートをプレスする工程
における改良に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component, and more particularly to an improvement in a step of pressing a plurality of stacked ceramic green sheets.
【0002】[0002]
【従来の技術】たとえば積層セラミックコンデンサのよ
うな積層セラミック電子部品を製造しようとするとき、
複数のセラミックグリーンシートが用意され、これらセ
ラミックグリーンシートが積み重ねられ、次いでプレス
される。特定のセラミックグリーンシート上には、得よ
うとする積層セラミック電子部品の機能に応じて、コン
デンサ、抵抗、インダクタ、バリスタ、フィルタ等を構
成するための内部電極のような内部回路要素が形成され
ている。2. Description of the Related Art For example, when manufacturing a multilayer ceramic electronic component such as a multilayer ceramic capacitor,
A plurality of ceramic green sheets are prepared, these ceramic green sheets are stacked and then pressed. Internal circuit elements such as internal electrodes for forming capacitors, resistors, inductors, varistors, filters, etc. are formed on a specific ceramic green sheet according to the function of the monolithic ceramic electronic component to be obtained. There is.
【0003】図3には、たとえば積層セラミックコンデ
ンサを製造するために実施されるプレス工程が示されて
いる。図3に示すように、複数のセラミックグリーンシ
ート1および2が用意され、これらセラミックグリーン
シート1および2のうち、特定のセラミックグリーンシ
ート1上には、内部回路要素としての内部電極3が形成
される。これらセラミックグリーンシート1および2
は、内部電極3が形成された複数のセラミックグリーン
シート1を中間に配置し、かつ内部電極3が形成されて
いない複数のセラミックグリーンシート2を外側に配置
した状態で、積み重ねられ、それによって積層体4が得
られる。FIG. 3 shows a pressing process carried out for manufacturing a monolithic ceramic capacitor, for example. As shown in FIG. 3, a plurality of ceramic green sheets 1 and 2 are prepared, and an internal electrode 3 as an internal circuit element is formed on a specific ceramic green sheet 1 among these ceramic green sheets 1 and 2. It These ceramic green sheets 1 and 2
Are stacked with the plurality of ceramic green sheets 1 having the internal electrodes 3 arranged in the middle and the plurality of ceramic green sheets 2 having no internal electrodes 3 arranged on the outside, and thus stacked. Body 4 is obtained.
【0004】この積層体4を金型5内に挿入し、次いで
金型5にポンチ6を嵌合させ、このポンチ6を矢印7で
示すように金型5に向かって加圧する。これによって、
積層体4は厚み方向にプレスされる。次いで、プレスさ
れた積層体4は、個々の積層セラミックコンデンサのた
めの積層体チップを得るため、カットされ、これら積層
体チップは焼成され、さらに外部電極の形成のための工
程が実施されることによって、所望の積層セラミックコ
ンデンサが得られる。The laminated body 4 is inserted into the mold 5, and then the punch 6 is fitted into the mold 5, and the punch 6 is pressed toward the mold 5 as shown by an arrow 7. by this,
The laminated body 4 is pressed in the thickness direction. The pressed laminate 4 is then cut in order to obtain laminate chips for individual monolithic ceramic capacitors, these laminate chips are fired and the steps for forming external electrodes are carried out. A desired monolithic ceramic capacitor can be obtained.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たプレス工程において、以下のような問題に遭遇するこ
とがある。すなわち、積層体4において、内部電極3が
重なり合う部分が、そうでない部分に比べて、より厚い
ため、プレス工程におけるプレス作用は、内部電極3が
積層方向に重なり合う部分において、そうでない部分に
比べて、より強く積層体4に及ぼされる。その結果、プ
レス作用が積層体4の面方向に関して均一に及ぼされ
ず、これに応じて、プレス作用が強く及ぼされる部分の
材料をプレス作用の弱い部分へと移動させる力が積層体
4内において生じる。However, the following problems may be encountered in the above-mentioned pressing process. That is, in the stacked body 4, the portion where the internal electrodes 3 overlap is thicker than the portion where the internal electrodes 3 do not overlap. Therefore, the pressing action in the pressing process is greater in the portion where the internal electrodes 3 overlap in the stacking direction than in the portion that does not. , Is more strongly exerted on the laminate 4. As a result, the pressing action is not uniformly exerted in the plane direction of the laminate 4, and accordingly, a force for moving the material of the portion exerting a strong pressing action to the portion having a weak pressing action is generated in the laminate 4. .
【0006】このため、図4(a)または(b)に示す
ように、プレス後に得られた積層体チップ8において、
内部電極3が面方向に関して位置ずれ9または10を生
じ、得られた積層セラミックコンデンサの構造欠陥を招
くことがある。なお、このような問題を解決するため、
図3に示すように、積層体4と金型5およびポンチ6の
各々との間に、たとえばゴムからなる弾性シート11を
挿入して、上述したプレス作用の差を緩和することも行
なわれている。しかしながら、弾性シート11は、その
厚み方向に変形されたとき、面方向への変形も伴うの
で、上述したような内部電極3の面方向への位置ずれ9
または10を十分には抑制し得ない。Therefore, as shown in FIG. 4 (a) or (b), in the laminated chip 8 obtained after pressing,
The internal electrodes 3 may be misaligned 9 or 10 in the plane direction, which may lead to structural defects in the obtained monolithic ceramic capacitor. In addition, in order to solve such problems,
As shown in FIG. 3, an elastic sheet 11 made of, for example, rubber is inserted between the laminated body 4 and each of the mold 5 and the punch 6 to reduce the above-mentioned difference in pressing action. There is. However, when the elastic sheet 11 is deformed in the thickness direction, the elastic sheet 11 is also deformed in the surface direction. Therefore, the positional deviation 9 in the surface direction of the internal electrode 3 as described above is caused.
Or 10 cannot be suppressed sufficiently.
【0007】そこで、この発明の目的は、上述した問題
を解決し得る、積層セラミック電子部品の製造方法を提
供しようとすることである。Therefore, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a monolithic ceramic electronic component which can solve the above-mentioned problems.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】この発明は、複数のセラ
ミックグリーンシートを用意し、これら複数のセラミッ
クグリーンシートの特定のものの上に内部回路要素を形
成し、これら複数のセラミックグリーンシートを積み重
ねて積層体を得、この積層体を厚み方向にプレスする、
各工程を備える、積層セラミック電子部品の製造方法に
向けられるものであって、上述の技術的課題を解決する
ため、次のような構成を備えることを特徴としている。According to the present invention, a plurality of ceramic green sheets are prepared, internal circuit elements are formed on specific ones of the plurality of ceramic green sheets, and the plurality of ceramic green sheets are stacked. Obtain a laminate, press this laminate in the thickness direction,
The present invention is directed to a method for manufacturing a monolithic ceramic electronic component including each step, and is characterized by having the following configuration in order to solve the above technical problem.
【0009】すなわち、この発明では、面方向に比較し
て厚み方向の方がより大きい伸縮性を示すプレス用シー
トが用意され、これらプレス用シートが積層体の上下に
積み重ねられた状態で、上述したプレス工程が実施され
る。この発明において特徴となるプレス用シートとして
は、たとえば、面方向寸法が厚み方向寸法に比べてより
長い複数の空洞を内部に分布させた樹脂シートが用いら
れる。That is, according to the present invention, a press sheet having greater elasticity in the thickness direction than in the plane direction is prepared, and the press sheets are stacked above and below the laminate, The pressed step is performed. As the press sheet that is a feature of the present invention, for example, a resin sheet in which a plurality of cavities whose surface dimension is longer than that in the thickness direction are distributed is used.
【0010】[0010]
【発明の効果】この発明において用いられるプレス用シ
ートは、面方向に比較して厚み方向の方がより大きい伸
縮性を示すので、厚み方向に縮んでも、これに伴って面
方向に広がることが抑えられる。それゆえ、この発明に
従って、このようなプレス用シートをプレスすべき積層
体の上下に積み重ねて、プレス工程を実施すれば、内部
回路要素が重なり合う部分とそうでない部分との間での
厚みの差に基づくプレス作用の差を、プレス用シートに
より有利に吸収することができるようになるばかりでな
く、プレス用シートが面方向に広がることが抑制されて
いるので、積層体内においてプレス作用が強く及ぼされ
る部分の材料がプレス作用の弱い部分へと移動すること
も抑制することができる。Since the pressing sheet used in the present invention exhibits greater elasticity in the thickness direction than in the surface direction, it may expand in the surface direction with shrinkage in the thickness direction. It can be suppressed. Therefore, according to the present invention, by stacking such pressing sheets on the upper and lower sides of the laminate to be pressed and carrying out the pressing step, the difference in thickness between the portion where the internal circuit elements overlap and the portion where the internal circuit elements do not overlap is increased. Not only can the pressing sheet absorb the difference in the pressing action based on the above, but the pressing sheet can be prevented from spreading in the surface direction, so that the pressing action is strongly exerted in the laminate. It is also possible to prevent the material of the part to be moved from moving to a part where the pressing action is weak.
【0011】その結果、内部回路要素の位置ずれを抑制
することができ、得られた積層セラミック電子部品の良
品率を高めることができる。As a result, the displacement of the internal circuit elements can be suppressed, and the yield rate of the obtained monolithic ceramic electronic component can be increased.
【0012】[0012]
【発明の実施の形態】図1は、この発明の一実施形態に
よる積層セラミック電子部品の製造方法を説明するため
の図3に相当の図である。図1と図3との対比を容易に
するため、図1において、図3に示した要素に相当する
要素には同様の参照符号を付している。この実施形態
も、積層セラミック電子部品として、積層セラミックコ
ンデンサを製造しようとするものである。1 is a view corresponding to FIG. 3 for explaining a method of manufacturing a monolithic ceramic electronic component according to an embodiment of the present invention. In order to facilitate comparison between FIG. 1 and FIG. 3, in FIG. 1, elements corresponding to those shown in FIG. 3 are designated by similar reference numerals. This embodiment also intends to manufacture a monolithic ceramic capacitor as a monolithic ceramic electronic component.
【0013】図1を参照して、図3に示した場合と同
様、複数のセラミックグリーンシート1および2が用意
され、これらセラミックグリーンシート1および2のう
ち、特定のセラミックグリーンシート1上には、内部回
路要素としての内部電極3が形成される。これらセラミ
ックグリーンシート1および2は、内部電極3が形成さ
れた複数のセラミックグリーンシート1を中間に配置
し、かつ内部電極3が形成されていない複数のセラミッ
クグリーンシート2を外側に配置した状態で、積み重ね
られ、それによって積層体4が得られる。Referring to FIG. 1, as in the case shown in FIG. 3, a plurality of ceramic green sheets 1 and 2 are prepared. Of these ceramic green sheets 1 and 2, a particular ceramic green sheet 1 is placed on a specific ceramic green sheet 1. , The internal electrode 3 as an internal circuit element is formed. These ceramic green sheets 1 and 2 have a plurality of ceramic green sheets 1 having internal electrodes 3 arranged in the middle and a plurality of ceramic green sheets 2 having no internal electrodes 3 arranged outside. , Stacked, whereby a laminate 4 is obtained.
【0014】この積層体4は、次いで、金型5内に挿入
されるが、この挿入にあたって、プレス用シート12が
用意され、これらプレス用シート12が積層体4の上下
にそれぞれ積み重ねることが行なわれる。プレス用シー
ト12は、拡大されて図2に断面図で示されている。図
2を参照して、プレス用シート12は、たとえば合成樹
脂または天然ゴムのような樹脂材料からなる。プレス用
シート12は、面方向寸法が厚み方向寸法に比べてより
長い複数の空洞13を内部に分布させている。これら空
洞13は、プレス用シート12内において、いくつかの
層をなしている。このようにして、プレス用シート12
は、面方向に比較して厚み方向の方がより大きい伸縮性
を示す。The laminated body 4 is then inserted into the mold 5. For this insertion, a pressing sheet 12 is prepared, and these pressing sheets 12 are stacked above and below the laminated body 4, respectively. Be done. The pressing sheet 12 is enlarged and shown in a sectional view in FIG. With reference to FIG. 2, the press sheet 12 is made of a resin material such as synthetic resin or natural rubber. The press sheet 12 has a plurality of cavities 13 whose inner dimension in the plane direction is longer than that in the thickness direction. These cavities 13 form several layers in the press sheet 12. In this way, the press sheet 12
Shows greater elasticity in the thickness direction than in the plane direction.
【0015】一例として、プレス用シート12は、ポリ
エチレンテレフタレートからなるシートによって構成さ
れ、その厚みは、たとえば200μm程度である。ま
た、1個の空洞13は、たとえば、厚み方向寸法が10
〜20μm程度であり、面方向寸法が100μm程度で
ある。また、プレス用シート12における空洞13の体
積率は、たとえば20%程度である。As an example, the pressing sheet 12 is made of a polyethylene terephthalate sheet and has a thickness of, for example, about 200 μm. Further, one cavity 13 has, for example, a dimension in the thickness direction of 10
It is about 20 μm, and the surface dimension is about 100 μm. The volume ratio of the cavities 13 in the pressing sheet 12 is, for example, about 20%.
【0016】なお、プレス用シート12は、プレス時に
おいてセラミックグリーンシート2と接触して密着する
可能性があるため、プレス後においてセラミックグリー
ンシート2から容易に剥離されることを可能にする離型
性を有していることが好ましい。そのため、プレス用シ
ート12は、優れた離型性を有する材料から構成された
り、優れた離型性を与えるように表面処理されたりする
ことが好ましい。Since the pressing sheet 12 may come into contact with and adhere to the ceramic green sheet 2 during pressing, it is possible to easily release the pressing sheet 12 from the ceramic green sheet 2 after pressing. It is preferable to have a property. Therefore, it is preferable that the press sheet 12 is made of a material having excellent mold releasability or is surface-treated so as to give excellent mold releasability.
【0017】再び図1を参照して、このようなプレス用
シート12によって上下から挟まれた状態で、金型5内
に挿入された積層体4は、矢印7で示すように、ポンチ
6を金型5に向かって加圧することによって、厚み方向
にプレスされる。このとき、プレス用シート12は、面
方向に比較して厚み方向の方がより大きい伸縮性を示す
ので、内部電極3が重なり合う部分とそうでない部分と
の間での厚みの差に基づくプレス作用の差を吸収すべ
く、厚み方向に縮みながらも、これに伴って面方向に広
がることが抑えられるので、積層体4内においてプレス
作用が強く及ぼされる部分の材料がプレス作用の弱い部
分へと移動することを抑制する。その結果、内部電極3
の位置ずれが有利に抑制される。Referring again to FIG. 1, the laminated body 4 inserted into the mold 5 in a state of being sandwiched from above and below by such a press sheet 12 has a punch 6 as shown by an arrow 7. By pressing toward the die 5, the die 5 is pressed in the thickness direction. At this time, since the pressing sheet 12 exhibits greater elasticity in the thickness direction than in the surface direction, the pressing action based on the difference in thickness between the portion where the internal electrodes 3 overlap and the portion where the internal electrode 3 does not overlap. In order to absorb the difference in the thickness, the material can be shrunk in the thickness direction, but the expansion in the surface direction can be suppressed accordingly, so that the material of the portion where the pressing action is strongly exerted in the laminated body 4 becomes a portion where the pressing action is weak. Suppress movement. As a result, the internal electrode 3
The positional deviation of is advantageously suppressed.
【0018】次いで、このようにプレスされた積層体4
は、前述した従来の場合と同様、個々の積層セラミック
コンデンサのための積層体チップを得るため、カットさ
れ、これら積層体チップは焼成され、さらに外部電極の
形成のための工程が実施されることによって、所望の積
層セラミックコンデンサが得られる。この発明の効果を
確認するため、以下のような実験を試みた。Next, the laminated body 4 pressed in this way
As in the conventional case described above, cutting is performed to obtain a laminated chip for each monolithic ceramic capacitor, these laminated chips are fired, and steps for forming external electrodes are performed. A desired monolithic ceramic capacitor can be obtained. In order to confirm the effect of this invention, the following experiment was tried.
【0019】図1において、セラミックグリーンシート
1および2として、厚さ18μmのものを用意した。こ
れらのうち、セラミックグリーンシート1上には、3μ
mの厚みをもって導電ペーストからなる内部電極3をス
クリーン印刷により形成した。内部電極3を形成した5
0枚のセラミックグリーンシート1とその外側にそれぞ
れ150μmの厚みとなるように内部電極3を形成しな
いセラミックグリーンシート2とを積み重ね、積層体4
を得た。In FIG. 1, ceramic green sheets 1 and 2 having a thickness of 18 μm were prepared. Of these, 3μ is on the ceramic green sheet 1.
An internal electrode 3 made of a conductive paste having a thickness of m was formed by screen printing. Internal electrode 3 formed 5
0 ceramic green sheets 1 and ceramic green sheets 2 not having the internal electrodes 3 formed thereon, each having a thickness of 150 μm, are stacked on the outside thereof to form a laminated body 4
I got
【0020】金型5に、まず、空洞13の体積率が20
%で厚み200μmのポリエチレンテレフタレートから
なるプレス用シート12を挿入し、次いで、上述の積層
体4を挿入し、さらに、同じプレス用シート12を挿入
した後、ポンチ6を嵌合させ、プレス工程を実施した。
他方、比較例として、上述のプレス用シート12を用い
ないことを除いて、同様のプレス工程を実施した。In the mold 5, first, the volume ratio of the cavity 13 is 20.
%, A pressing sheet 12 made of polyethylene terephthalate having a thickness of 200 μm is inserted, then the above-mentioned laminate 4 is inserted, and further, the same pressing sheet 12 is inserted, and then the punch 6 is fitted to perform the pressing step. Carried out.
On the other hand, as a comparative example, the same pressing process was performed except that the above-mentioned pressing sheet 12 was not used.
【0021】これらのプレス工程を経て得られた積層体
チップ8に関して、図4(a)または(b)に示した内
部電極3の位置ずれ9または10を測定したところ、比
較例では、位置ずれの平均値が92μm、最大値が16
5μmであったのに対し、この発明に従ってプレス用シ
ート12を用いた場合には、位置ずれの平均値が31μ
m、最大値が75μmにまでそれぞれ低減された。The positional deviation 9 or 10 of the internal electrode 3 shown in FIG. 4A or 4B was measured for the laminated chip 8 obtained through these pressing steps. In the comparative example, the positional deviation was found. Average value is 92μm, maximum value is 16
The average value of the positional deviation was 31 μm when the pressing sheet 12 was used according to the present invention.
m, and the maximum value was reduced to 75 μm.
【0022】以上、この発明を特に積層セラミックコン
デンサの製造方法に関連して主として説明したが、この
発明は、積層セラミックコンデンサに限らず、抵抗、イ
ンダクタ、バリスタ、フィルタ等として機能する積層セ
ラミック電子部品にも、さらには、これら機能素子が複
合された積層セラミック電子部品にも適用することがで
きる。The present invention has been described above mainly with reference to the method for manufacturing a monolithic ceramic capacitor. However, the present invention is not limited to monolithic ceramic capacitors, and monolithic ceramic electronic parts functioning as resistors, inductors, varistors, filters, etc. Moreover, the present invention can be applied to a monolithic ceramic electronic component in which these functional elements are combined.
【0023】したがって、内部回路要素についても、種
々の態様が考えられ、内部電極のような良好な導電性を
有する回路要素である以外に、たとえば比較的大きな電
気抵抗性あるいは他の電気的特性を有する回路要素であ
ることもある。Therefore, various modes are conceivable for the internal circuit element, and in addition to the circuit element having good conductivity such as the internal electrode, for example, a relatively large electric resistance or other electric characteristics can be obtained. It may be a circuit element that it has.
【図1】この発明の一実施形態による積層セラミック電
子部品としての積層セラミックコンデンサの製造におい
て実施されるプレス工程を示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing a pressing step performed in manufacturing a monolithic ceramic capacitor as a monolithic ceramic electronic component according to an embodiment of the present invention.
【図2】図1に示したプレス用シート12の一部を拡大
して示す断面図である。FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view showing a part of the press sheet 12 shown in FIG.
【図3】積層セラミックコンデンサの従来の製造におい
て実施されるプレス工程を示す、図1に相当の図であ
る。FIG. 3 is a view corresponding to FIG. 1, showing a pressing step performed in conventional manufacturing of a laminated ceramic capacitor.
【図4】積層体チップ8において、内部電極3に位置ず
れ9または10が生じた状態を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state in which a positional deviation 9 or 10 occurs in an internal electrode 3 in a laminated body chip 8.
1,2 セラミックグリーンシート 3 内部電極 4 積層体 5 金型 6 ポンチ 12 プレス用シート 13 空洞 1, 2 Ceramic green sheet 3 Internal electrode 4 Laminated body 5 Mold 6 Punch 12 Press sheet 13 Cavity
Claims (2)
し、 前記複数のセラミックグリーンシートの特定のものの上
に内部回路要素を形成し、 前記複数のセラミックグリーンシートを積み重ねて積層
体を得、 前記積層体を厚み方向にプレスする、各工程を備える、
積層セラミック電子部品の製造方法において、 面方向に比較して厚み方向の方がより大きい伸縮性を示
すプレス用シートを用意し、 前記積層体の上下にそれぞれ前記プレス用シートを積み
重ねる、各工程をさらに備え、 前記プレスする工程は、前記積層体の上下にそれぞれ前
記プレス用シートを積み重ねた状態で実施されることを
特徴とする、積層セラミック電子部品の製造方法。1. A plurality of ceramic green sheets are prepared, internal circuit elements are formed on specific ones of the plurality of ceramic green sheets, and the plurality of ceramic green sheets are stacked to obtain a laminated body. Pressing in the thickness direction, each step is provided,
In the method for manufacturing a monolithic ceramic electronic component, a pressing sheet having greater elasticity in the thickness direction than in the surface direction is prepared, and the pressing sheets are stacked above and below the laminated body. Further, the method of manufacturing a laminated ceramic electronic component is characterized in that the pressing step is performed in a state in which the pressing sheets are stacked above and below the laminated body.
み方向寸法に比べてより長い複数の空洞を内部に分布さ
せた樹脂シートを含む、請求項1に記載の積層セラミッ
ク電子部品の製造方法。2. The method for manufacturing a monolithic ceramic electronic component according to claim 1, wherein the pressing sheet includes a resin sheet in which a plurality of cavities having a planar dimension longer than a thickness dimension are distributed inside. .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP00274296A JP3275683B2 (en) | 1996-01-11 | 1996-01-11 | Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP00274296A JP3275683B2 (en) | 1996-01-11 | 1996-01-11 | Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09190948A true JPH09190948A (en) | 1997-07-22 |
JP3275683B2 JP3275683B2 (en) | 2002-04-15 |
Family
ID=11537810
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP00274296A Expired - Lifetime JP3275683B2 (en) | 1996-01-11 | 1996-01-11 | Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3275683B2 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108288542A (en) * | 2017-01-10 | 2018-07-17 | 株式会社村田制作所 | The manufacturing method of laminated electronic component |
US11355286B2 (en) | 2018-11-19 | 2022-06-07 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Method of manufacturing capacitor component |
-
1996
- 1996-01-11 JP JP00274296A patent/JP3275683B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108288542A (en) * | 2017-01-10 | 2018-07-17 | 株式会社村田制作所 | The manufacturing method of laminated electronic component |
KR20180082342A (en) | 2017-01-10 | 2018-07-18 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | Method of manufacturing multilayer electronic component |
US11355286B2 (en) | 2018-11-19 | 2022-06-07 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Method of manufacturing capacitor component |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3275683B2 (en) | 2002-04-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3502988B2 (en) | Multi-terminal multilayer ceramic electronic components | |
JP2976717B2 (en) | Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component | |
JP2004022859A (en) | Laminated ceramic capacitor and its manufacturing method | |
JPH09129487A (en) | Manufacture of laminated ceramic electronic part | |
JPH09190948A (en) | Manufacture of stacked ceramic electronic element | |
JP2001244138A (en) | Laminated electronic component and manufacturing method thereof | |
JP4667701B2 (en) | Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component | |
JPH10270283A (en) | Manufacture of multilayer ceramic electronic component | |
JPH05190373A (en) | Manufacture of laminated ceramic capacitor | |
JPH10112417A (en) | Laminated electronic component and its manufacture | |
JPH09129486A (en) | Manufacture of laminated ceramic electronic part | |
JP2001217140A (en) | Laminated electronic component and manufacturing method thereof | |
JPH09115765A (en) | Manufacture of layered ceramic electronic component | |
JPH05304042A (en) | Layered ceramic capacitor and manufacture thereof | |
JP3521774B2 (en) | Manufacturing method of multilayer ceramic capacitor | |
JP2001143965A (en) | Composite electronic component | |
JPH01208824A (en) | Manufacture of laminated ceramic electronic part | |
JP2004281749A (en) | Solid electrolytic capacitor | |
JP3882515B2 (en) | Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component | |
JP3523548B2 (en) | Multilayer electronic component and manufacturing method thereof | |
JP2000100655A (en) | Manufacture of laminated ceramic electronic component | |
JPH09129485A (en) | Manufacture of laminated ceramic electronic component | |
JPH07120600B2 (en) | Manufacturing method of multilayer capacitor | |
JPH07120599B2 (en) | Manufacturing method of multilayer capacitor | |
JPH0254505A (en) | Laminate type inductor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090208 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090208 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100208 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110208 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110208 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120208 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130208 Year of fee payment: 11 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |