JPH09189891A - 角型ガラス基板用カセットのクランプ機構 - Google Patents
角型ガラス基板用カセットのクランプ機構Info
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- JPH09189891A JPH09189891A JP1812696A JP1812696A JPH09189891A JP H09189891 A JPH09189891 A JP H09189891A JP 1812696 A JP1812696 A JP 1812696A JP 1812696 A JP1812696 A JP 1812696A JP H09189891 A JPH09189891 A JP H09189891A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 カセット台に載置されたカセットを位置決め
して、寸法のバラツキにかかわらず確実にクランプす
る。 【解決手段】 カセット２の底部の、押圧される４隅の
各２辺の８点のうちの適当な３点、例えばｐ，ｑ，ｒを
位置決め基準点とし、各基準点に対する各押圧ローラー
311 の回動角度を一定として、各基準点を押圧してカセ
ット２を位置決めし、基準点以外の５点に対する各押圧
ローラー311 に対して、リンク機構３’のリンクバー33
1 に設けた弾性結合器34により、各押圧ローラーをこの
５点に弾性的に押圧し、カセット２の寸法のバラツキを
吸収して確実にクランプする。
して、寸法のバラツキにかかわらず確実にクランプす
る。 【解決手段】 カセット２の底部の、押圧される４隅の
各２辺の８点のうちの適当な３点、例えばｐ，ｑ，ｒを
位置決め基準点とし、各基準点に対する各押圧ローラー
311 の回動角度を一定として、各基準点を押圧してカセ
ット２を位置決めし、基準点以外の５点に対する各押圧
ローラー311 に対して、リンク機構３’のリンクバー33
1 に設けた弾性結合器34により、各押圧ローラーをこの
５点に弾性的に押圧し、カセット２の寸法のバラツキを
吸収して確実にクランプする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、検査装置の検査
台にローディングされる被検査の角型ガラス基板を収容
したカセット、または検査済みの角型ガラス基板を収納
するカセットを、カセット台にクランプするクランプ機
構に関する。
台にローディングされる被検査の角型ガラス基板を収容
したカセット、または検査済みの角型ガラス基板を収納
するカセットを、カセット台にクランプするクランプ機
構に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶パネルの素材の角型ガラス基板は、
傷や付着異物などの欠陥があると品質が低下するので、
検査装置により欠陥の有無が検査されている。被検査の
角型ガラス基板（以下単に角型基板または基板という）
はカセットに収容され、これから取出されて検査装置の
検査台にローディングされ、検査が終了すると再びカセ
ットに収納される。角型基板には種々のサイズがあっ
て、最大のものは３００ｍｍ×４００ｍｍあり、これら
は適合するサイズのカセットに収容される。各種のサイ
ズのカセットに収容された基板を検査台にローディング
し、検査の終了した基板をカセットに収納するローディ
ング装置が開発されており、これを図３と図４により説
明する。図３は、ローディング装置１０の概略構成の平
面図を示す。Ｂはベース板で、これがカセット台とされ
て、被検査の基板１を収容したカセット２(A) と検査済
み基板１’を収納するカセット２(B) とが所定の位置に
載置され、それぞれはクランプ機構３(A),３(B) の８組
の押圧機構31a 〜31h の押圧ローラー311 により、底部
の４隅の８点が押圧されてクランプされる。カセット２
(A) に収容されている基板１は、搬送機構４のロボット
ハンド42が伸縮して取出し、Ｘ方向に回動してガイドレ
ール41に沿って位置合せ機構５まで搬送して停止し、押
圧片51a,51b により２辺が押圧されてＹ方向が位置合せ
され、さらに検査装置の検査台６に搬送されて位置決め
具61a,61b の位置にローディングされる。検査が終了す
ると基板１はロボットハンド42によりアンローディング
され、上記と逆順に搬送されてカセット２(B) に収納さ
れる。
傷や付着異物などの欠陥があると品質が低下するので、
検査装置により欠陥の有無が検査されている。被検査の
角型ガラス基板（以下単に角型基板または基板という）
はカセットに収容され、これから取出されて検査装置の
検査台にローディングされ、検査が終了すると再びカセ
ットに収納される。角型基板には種々のサイズがあっ
て、最大のものは３００ｍｍ×４００ｍｍあり、これら
は適合するサイズのカセットに収容される。各種のサイ
ズのカセットに収容された基板を検査台にローディング
し、検査の終了した基板をカセットに収納するローディ
ング装置が開発されており、これを図３と図４により説
明する。図３は、ローディング装置１０の概略構成の平
面図を示す。Ｂはベース板で、これがカセット台とされ
て、被検査の基板１を収容したカセット２(A) と検査済
み基板１’を収納するカセット２(B) とが所定の位置に
載置され、それぞれはクランプ機構３(A),３(B) の８組
の押圧機構31a 〜31h の押圧ローラー311 により、底部
の４隅の８点が押圧されてクランプされる。カセット２
(A) に収容されている基板１は、搬送機構４のロボット
ハンド42が伸縮して取出し、Ｘ方向に回動してガイドレ
ール41に沿って位置合せ機構５まで搬送して停止し、押
圧片51a,51b により２辺が押圧されてＹ方向が位置合せ
され、さらに検査装置の検査台６に搬送されて位置決め
具61a,61b の位置にローディングされる。検査が終了す
ると基板１はロボットハンド42によりアンローディング
され、上記と逆順に搬送されてカセット２(B) に収納さ
れる。
【０００３】図４により、クランプ機構３の構成と機能
を説明する。(a) において、クランプ機構３(A),３(B)
は、カセット２(A),２(B) に対応して設けられ、前記し
た８組の押圧機構31a 〜31h と、エアシリンダ32、およ
びこれらを結合する多関節のリンクバー331 を有するリ
ンク機構33よりなり、エアシリンダ32の動作により各押
圧機構31の押圧ローラー311 は、それぞれ一定の回動角
度を回動してカセット２(A),２(B) は一挙動でクランプ
される。(b) において、押圧機構31は先端に押圧ローラ
ー311 を有する回動アーム312 と、その後端に固定さ
れ、共通軸315 に回転自由に軸支され、例えば４個の切
欠き溝ｍ1 〜ｍ4 を有するガイド板313 、および、いず
れかの切欠き溝ｍ挿入した結合ピンＰによりガイド板31
3 に結合し、共通軸315 に固定された結合円板314 とよ
りなり、共通軸315 はベース板Ｂに軸支され、これにリ
ンク機構33のリンクバー331 が結合されている。上記の
ガイド板313 の機能を説明すると、例えば、図示のよう
に結合ピンＰを切欠き溝ｍ2 に挿入すると、押圧ローラ
ー311 は実線の角度でカセット２を押圧するが、ｍ1 に
挿入すると点線の角度となる。このように切欠き溝ｍの
個数をカセットのサイズの種類数設け、結合ピンＰの挿
入位置を替えて押圧ローラー311の押圧角度を替えるこ
とにより、各種のサイズのカセット２をクランプするこ
とができる。
を説明する。(a) において、クランプ機構３(A),３(B)
は、カセット２(A),２(B) に対応して設けられ、前記し
た８組の押圧機構31a 〜31h と、エアシリンダ32、およ
びこれらを結合する多関節のリンクバー331 を有するリ
ンク機構33よりなり、エアシリンダ32の動作により各押
圧機構31の押圧ローラー311 は、それぞれ一定の回動角
度を回動してカセット２(A),２(B) は一挙動でクランプ
される。(b) において、押圧機構31は先端に押圧ローラ
ー311 を有する回動アーム312 と、その後端に固定さ
れ、共通軸315 に回転自由に軸支され、例えば４個の切
欠き溝ｍ1 〜ｍ4 を有するガイド板313 、および、いず
れかの切欠き溝ｍ挿入した結合ピンＰによりガイド板31
3 に結合し、共通軸315 に固定された結合円板314 とよ
りなり、共通軸315 はベース板Ｂに軸支され、これにリ
ンク機構33のリンクバー331 が結合されている。上記の
ガイド板313 の機能を説明すると、例えば、図示のよう
に結合ピンＰを切欠き溝ｍ2 に挿入すると、押圧ローラ
ー311 は実線の角度でカセット２を押圧するが、ｍ1 に
挿入すると点線の角度となる。このように切欠き溝ｍの
個数をカセットのサイズの種類数設け、結合ピンＰの挿
入位置を替えて押圧ローラー311の押圧角度を替えるこ
とにより、各種のサイズのカセット２をクランプするこ
とができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】さて、種々のサイズの
角型基板に適合するカセットは、これを製作するメーカ
などにより、寸法にバラツキがあり、甚だしいときはこ
れが±３ｍｍ以上に達する。このパラツキが＋側で大き
いときは、各押圧ローラー311 はカセット２の８点を十
分押圧せず、確実にクランプしない。クランプが不確実
であると、ロボットハンド42による被検査基板１の取出
しと、検査済み基板１’の収納が不安定となる。またバ
ラツキが−側で大きいときは、クランプ機構３の各部分
に無理な力がかかる。これらはいずれも不都合であり、
これを解決することがこの発明の課題である。
角型基板に適合するカセットは、これを製作するメーカ
などにより、寸法にバラツキがあり、甚だしいときはこ
れが±３ｍｍ以上に達する。このパラツキが＋側で大き
いときは、各押圧ローラー311 はカセット２の８点を十
分押圧せず、確実にクランプしない。クランプが不確実
であると、ロボットハンド42による被検査基板１の取出
しと、検査済み基板１’の収納が不安定となる。またバ
ラツキが−側で大きいときは、クランプ機構３の各部分
に無理な力がかかる。これらはいずれも不都合であり、
これを解決することがこの発明の課題である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の課題
を解決した角型ガラス基板用カセットのクランプ機構で
あって、カセット台に載置されたカセットの底部の、押
圧される４隅の各２辺の８点のうちの適当な３点を位置
決め基準点とし、各基準点に対する各押圧ローラーの回
動角度を一定とし、この一定の回動角度により各基準点
を押圧してカセットを位置決めする。基準点以外の５点
に対する各押圧ローラーに対して、リンク機構のリンク
バーに弾性結合器を設け、各押圧ローラーをこの５点に
弾性的に押圧し、カセットの寸法のバラツキを吸収して
確実にクランプするものである。
を解決した角型ガラス基板用カセットのクランプ機構で
あって、カセット台に載置されたカセットの底部の、押
圧される４隅の各２辺の８点のうちの適当な３点を位置
決め基準点とし、各基準点に対する各押圧ローラーの回
動角度を一定とし、この一定の回動角度により各基準点
を押圧してカセットを位置決めする。基準点以外の５点
に対する各押圧ローラーに対して、リンク機構のリンク
バーに弾性結合器を設け、各押圧ローラーをこの５点に
弾性的に押圧し、カセットの寸法のバラツキを吸収して
確実にクランプするものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】上記したこの発明のクランプ機構
においては、カセット台に載置されたカセットの底部の
押圧する４隅の各２辺の８点のうちの、適当な３点が位
置決め基準点とされ、各基準点は対応する各押圧ローラ
ーが一定の回動角度を回動して押圧され、カセットが位
置決めされる。また基準点以外の５点は、これらに対応
する各押圧ローラーが、リンク機構のリンクバーにそれ
ぞれ設けた弾性結合器により、弾性的に押圧されて、カ
セットは寸法のバラツキが吸収されてカセット台に確実
にクランプされる。
においては、カセット台に載置されたカセットの底部の
押圧する４隅の各２辺の８点のうちの、適当な３点が位
置決め基準点とされ、各基準点は対応する各押圧ローラ
ーが一定の回動角度を回動して押圧され、カセットが位
置決めされる。また基準点以外の５点は、これらに対応
する各押圧ローラーが、リンク機構のリンクバーにそれ
ぞれ設けた弾性結合器により、弾性的に押圧されて、カ
セットは寸法のバラツキが吸収されてカセット台に確実
にクランプされる。
【０００７】
【実施例】図１および図２はこの発明のクランプ機構
３’の一実施例を示し、図１はクランプ機構３’の構成
図、図２は弾性結合器34の構造を示す断面図である。図
１において、クランプ機構３’は、８組の押圧機構31a
〜31h とエアシリンダ32およびリンク機構33' よりな
り、各押圧機構31とエアシリンダ32は前記した図４(b)
と同一であるが、リンク機構33' は図４(a) のリンク機
構33と異なるものとする。いま、カセット２の押圧ロー
ラー311 により押圧される８点のうちの、例えば図示の
点ｐ，ｑ，ｒの３点を位置決め基準点とする。リンク機
構33' は、多関節のリンクバー331 の、各基準点ｐ，
ｑ，ｒに対応する押圧ローラー31e,31f,31bに対する部
分は、従来のまま直結として、結合ピンＰをカセット２
のサイズに対応する切欠き溝ｍ（図４(b) 参照）に挿入
して、各押圧ローラー31e,31f,31b を一定の回動角度に
設定する。リンクバー331 のその他の５点に対応する押
圧ローラー31a,31c,31d,,31g,31hに対する部分に、弾性
結合器34をそれぞれ設け、やはり結合ピンＰをカセット
２のサイズに対応する切欠き溝ｍに挿入して、各押圧ロ
ーラーをカセット２の寸法の規格値に対応する回動角度
に設定する。
３’の一実施例を示し、図１はクランプ機構３’の構成
図、図２は弾性結合器34の構造を示す断面図である。図
１において、クランプ機構３’は、８組の押圧機構31a
〜31h とエアシリンダ32およびリンク機構33' よりな
り、各押圧機構31とエアシリンダ32は前記した図４(b)
と同一であるが、リンク機構33' は図４(a) のリンク機
構33と異なるものとする。いま、カセット２の押圧ロー
ラー311 により押圧される８点のうちの、例えば図示の
点ｐ，ｑ，ｒの３点を位置決め基準点とする。リンク機
構33' は、多関節のリンクバー331 の、各基準点ｐ，
ｑ，ｒに対応する押圧ローラー31e,31f,31bに対する部
分は、従来のまま直結として、結合ピンＰをカセット２
のサイズに対応する切欠き溝ｍ（図４(b) 参照）に挿入
して、各押圧ローラー31e,31f,31b を一定の回動角度に
設定する。リンクバー331 のその他の５点に対応する押
圧ローラー31a,31c,31d,,31g,31hに対する部分に、弾性
結合器34をそれぞれ設け、やはり結合ピンＰをカセット
２のサイズに対応する切欠き溝ｍに挿入して、各押圧ロ
ーラーをカセット２の寸法の規格値に対応する回動角度
に設定する。
【０００８】図２において、弾性結合器34は中空の結合
ケース341 の両端より、リンクバー331 を挿入して、ス
プリング342 により互いに弾性結合して構成される。
ケース341 の両端より、リンクバー331 を挿入して、ス
プリング342 により互いに弾性結合して構成される。
【０００９】以上により構成されたリンク機構３’は、
被検査用カセット２(A) と検査済み用カセット２(B) に
対して、それぞれ設けられ、エアシリンダ32の動作によ
り、押圧ローラー31e,31f,31b が一定の回動角度を回動
し、カセット２(A) および２(B) の各基準点ｐ，ｑ，ｒ
を押圧してカセット２を位置決めし、これとともに、押
圧ローラー31a,31c,31d,,31g,31hが回動して５点を弾性
的に押圧し、両カセット２が確実にクランプされる。こ
れによりロボットハンド42による基板１の取出し、また
は基板１’の収納が安定になされる。
被検査用カセット２(A) と検査済み用カセット２(B) に
対して、それぞれ設けられ、エアシリンダ32の動作によ
り、押圧ローラー31e,31f,31b が一定の回動角度を回動
し、カセット２(A) および２(B) の各基準点ｐ，ｑ，ｒ
を押圧してカセット２を位置決めし、これとともに、押
圧ローラー31a,31c,31d,,31g,31hが回動して５点を弾性
的に押圧し、両カセット２が確実にクランプされる。こ
れによりロボットハンド42による基板１の取出し、また
は基板１’の収納が安定になされる。
【００１０】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明のクラン
プ機構によれば、カセット台に載置されたサイズの異な
る各種のカセットは、底部に設けた位置決め基準点によ
り位置決めされて、寸法のバツキにかかわらず確実にク
ランプされ、カセットに対する角型ガラス基板のアクセ
スが安定になされる効果には、大きいものがある。
プ機構によれば、カセット台に載置されたサイズの異な
る各種のカセットは、底部に設けた位置決め基準点によ
り位置決めされて、寸法のバツキにかかわらず確実にク
ランプされ、カセットに対する角型ガラス基板のアクセ
スが安定になされる効果には、大きいものがある。
【図１】 図１は、この発明のクランプ機構の一実施例
における構成図である。
における構成図である。
【図２】 図２は、弾性結合器の一実施例の構造を示す
断面図である。
断面図である。
【図３】 図３は、ローディング装置の概略構成の平面
図である。
図である。
【図４】 図４は、従来のクランプ機構の構成と機能の
説明図で、(a) はリンク機構の構成図、(b) は押圧機構
の構成図である。
説明図で、(a) はリンク機構の構成図、(b) は押圧機構
の構成図である。
１…角型ガラス基板、２…カセット、２(A) …被検査用
カセット、２(B) …検査済み用カセット、３…従来のク
ランプ機構、３’…この発明のクランプ機構、31…押圧
機構、311 …押圧ローラー、312 …回動アーム、313 …
溝付き円板、314 …結合円板、315 …共通軸、32…エア
シリンダ、33…従来のリンク機構、331 …多関節リンク
バー、33' …この発明のリンク機構、34…弾性結合器、
341 …結合ケース、342 …スプリング、４…搬送機構、
41…ガイドレール、42…ロボットハンド、５…位置合せ
機構、51a,51b …押圧片、６…検査台、61a,61b …位置
決め具、Ｂ…ベース板またはカセット台、Ｐ…結合ピ
ン、ｐ，ｑ，ｒ…カセットの位置決め基準点。
カセット、２(B) …検査済み用カセット、３…従来のク
ランプ機構、３’…この発明のクランプ機構、31…押圧
機構、311 …押圧ローラー、312 …回動アーム、313 …
溝付き円板、314 …結合円板、315 …共通軸、32…エア
シリンダ、33…従来のリンク機構、331 …多関節リンク
バー、33' …この発明のリンク機構、34…弾性結合器、
341 …結合ケース、342 …スプリング、４…搬送機構、
41…ガイドレール、42…ロボットハンド、５…位置合せ
機構、51a,51b …押圧片、６…検査台、61a,61b …位置
決め具、Ｂ…ベース板またはカセット台、Ｐ…結合ピ
ン、ｐ，ｑ，ｒ…カセットの位置決め基準点。
Claims (1)
- 【請求項１】カセット台に載置された角型ガラス基板用
のカセットを対象とし、該カセットの底部の４隅の各２
辺の８点に対して、エアシリンダにより動作するリンク
バーを有するリンク機構と、該リンクバーに結合されて
回動し、該８点をそれぞれ押圧する押圧ローラーを有す
る８組の押圧機構よりなるクランプ機構において、前記
押圧される８点のうちの適当な３点を位置決め基準点と
し、該各基準点に対する前記各押圧ローラーの回動角度
を一定とし、該一定の回動角度により該各基準点を押圧
して前記カセットを位置決めし、該基準点以外の５点に
対する前記各押圧ローラーに対して、前記リンク機構の
リンクバーに弾性結合器をそれぞれ設けて、該各押圧ロ
ーラーを該５点に弾性的に押圧し、該カセットの寸法の
バラツキを吸収して確実にクランプすることを特徴とす
る、角型ガラス基板用カセットのクランプ機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1812696A JPH09189891A (ja) | 1996-01-08 | 1996-01-08 | 角型ガラス基板用カセットのクランプ機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1812696A JPH09189891A (ja) | 1996-01-08 | 1996-01-08 | 角型ガラス基板用カセットのクランプ機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09189891A true JPH09189891A (ja) | 1997-07-22 |
Family
ID=11962918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1812696A Pending JPH09189891A (ja) | 1996-01-08 | 1996-01-08 | 角型ガラス基板用カセットのクランプ機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09189891A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002373925A (ja) * | 2001-06-14 | 2002-12-26 | Micronics Japan Co Ltd | 表示用基板の受け渡し装置 |
| US7621355B2 (en) * | 2006-12-28 | 2009-11-24 | Industrial Technology Research Institute | Omniwheel and vehicle using the same |
| CN104889953A (zh) * | 2015-05-13 | 2015-09-09 | 繁昌县江林广告设计制作有限公司 | 一种新型led显示屏检测用支架 |
| CN106630580A (zh) * | 2016-12-30 | 2017-05-10 | 无锡凯涵科技有限公司 | 用于玻璃屏幕取放的装置 |
| CN111065903A (zh) * | 2017-09-14 | 2020-04-24 | 日本电产三协株式会社 | 检查装置 |
-
1996
- 1996-01-08 JP JP1812696A patent/JPH09189891A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN104889953A (zh) * | 2015-05-13 | 2015-09-09 | 繁昌县江林广告设计制作有限公司 | 一种新型led显示屏检测用支架 |
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| CN111065903A (zh) * | 2017-09-14 | 2020-04-24 | 日本电产三协株式会社 | 检查装置 |
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