JPH09189664A - 透明体の外観検査方法 - Google Patents
透明体の外観検査方法Info
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- JPH09189664A JPH09189664A JP137496A JP137496A JPH09189664A JP H09189664 A JPH09189664 A JP H09189664A JP 137496 A JP137496 A JP 137496A JP 137496 A JP137496 A JP 137496A JP H09189664 A JPH09189664 A JP H09189664A
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＡＲコートのバラツキ（反射率、色目など）
に対しても、一定の投光照明下で、背面側に他の部品な
どが存在するガラスなどの透明体のワレや傷の有無、お
よび異物の付着の程度などを客観的に、かつ、正確に検
査をすることができる透明体の外観検査方法を提供す
る。 【解決手段】 背面側に他の部品が存在する透明体の外
観検査方法であって、前記透明体に垂直に照明を照射
し、その反射光によるカラー画像をカラー用カメラ１に
より読み取り、色差変換器５により前記カラー画像の明
るさＬ、赤みａ、青みｂを基準エリアのＬ、ａ、ｂとそ
れぞれ比較したのち、その違いの程度を白黒映像信号の
濃淡レベル差に変換して白黒濃淡画像を出力し、該白黒
濃淡画像を画像処理装置６により画像処理することによ
り透明体の欠陥の有無を検査する。
に対しても、一定の投光照明下で、背面側に他の部品な
どが存在するガラスなどの透明体のワレや傷の有無、お
よび異物の付着の程度などを客観的に、かつ、正確に検
査をすることができる透明体の外観検査方法を提供す
る。 【解決手段】 背面側に他の部品が存在する透明体の外
観検査方法であって、前記透明体に垂直に照明を照射
し、その反射光によるカラー画像をカラー用カメラ１に
より読み取り、色差変換器５により前記カラー画像の明
るさＬ、赤みａ、青みｂを基準エリアのＬ、ａ、ｂとそ
れぞれ比較したのち、その違いの程度を白黒映像信号の
濃淡レベル差に変換して白黒濃淡画像を出力し、該白黒
濃淡画像を画像処理装置６により画像処理することによ
り透明体の欠陥の有無を検査する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はキャンシール型レー
ザダイオードの窓ガラスなどの電子部品の組立体におけ
る透明体の外観検査方法に関する。さらに詳しくは、背
面側に他の部品などが存在する透明体の異物、傷、ワレ
などの欠陥を、画像処理による自動化により客観的に検
査をすることができる透明体の外観検査方法に関する。
ザダイオードの窓ガラスなどの電子部品の組立体におけ
る透明体の外観検査方法に関する。さらに詳しくは、背
面側に他の部品などが存在する透明体の異物、傷、ワレ
などの欠陥を、画像処理による自動化により客観的に検
査をすることができる透明体の外観検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】たとえば図６（ａ）〜（ｂ）に平面図お
よび断面図が示されるようなキャンシール型レーザダイ
オードにおいては、ステム２１と一体化されたヒートシ
ンク２１ａに、サブマウント２２を介してレーザチップ
２３がボンディングされている。このステム２１には、
リード２６、２７がステム２１と絶縁してハーメティッ
クシールされると共に、リード２８が溶接などにより接
続されている。レーザチップ２３の一方の電極端子がサ
ブマウント２２を介してリード２６と、図示しないモニ
ター用フォトダイオードの一方の電極がリード２７とそ
れぞれワイヤボンディングされている。また、レーザチ
ップ２３および図示しないフォトダイオードの他方の電
極がそれぞれヒートシンク２１ａを介してリード２８と
接続されている。この周囲にキャップ２４が溶接などに
より接着されてシールされている。キャップ２４の頂部
にはレーザチップ２３からの光を取り出すため貫通孔が
設けられ、内部を機密にするため、窓ガラス２５が低融
点ガラスなどにより溶着されている。このキャップ２４
と窓ガラス２５とはあらかじめ溶着された状態でキャッ
プ２４がステム２１に溶接される。そのため、窓ガラス
２５はあらかじめ検査されていても、キャップ２４とス
テム２１との溶接の際にストレスが加わり、窓ガラス２
５にクラックが入ったり、傷や異物などがつくおそれが
あり、最終的に窓ガラス２５の欠陥の有無を調べるた
め、外観検査をする必要がある。
よび断面図が示されるようなキャンシール型レーザダイ
オードにおいては、ステム２１と一体化されたヒートシ
ンク２１ａに、サブマウント２２を介してレーザチップ
２３がボンディングされている。このステム２１には、
リード２６、２７がステム２１と絶縁してハーメティッ
クシールされると共に、リード２８が溶接などにより接
続されている。レーザチップ２３の一方の電極端子がサ
ブマウント２２を介してリード２６と、図示しないモニ
ター用フォトダイオードの一方の電極がリード２７とそ
れぞれワイヤボンディングされている。また、レーザチ
ップ２３および図示しないフォトダイオードの他方の電
極がそれぞれヒートシンク２１ａを介してリード２８と
接続されている。この周囲にキャップ２４が溶接などに
より接着されてシールされている。キャップ２４の頂部
にはレーザチップ２３からの光を取り出すため貫通孔が
設けられ、内部を機密にするため、窓ガラス２５が低融
点ガラスなどにより溶着されている。このキャップ２４
と窓ガラス２５とはあらかじめ溶着された状態でキャッ
プ２４がステム２１に溶接される。そのため、窓ガラス
２５はあらかじめ検査されていても、キャップ２４とス
テム２１との溶接の際にストレスが加わり、窓ガラス２
５にクラックが入ったり、傷や異物などがつくおそれが
あり、最終的に窓ガラス２５の欠陥の有無を調べるた
め、外観検査をする必要がある。
【０００３】この窓ガラス２５の欠陥の有無を検査をす
る場合、窓ガラス２５の背面側にはレーザチップ２３や
サブマウント２２が存在し、表面側から窓ガラス２５を
見るとそれらも視野の中に入り、自動化による画像処理
により検査をしようとすると、傷などとの区別がつきに
くい。
る場合、窓ガラス２５の背面側にはレーザチップ２３や
サブマウント２２が存在し、表面側から窓ガラス２５を
見るとそれらも視野の中に入り、自動化による画像処理
により検査をしようとすると、傷などとの区別がつきに
くい。
【０００４】さらに、このような窓ガラス２５は、レー
ザチップ２３から発せられる光を効率よく外部に取り出
すため、その発振波長（たとえば７８０ｎｍ）に対する
透過率が９９％以上になるように非反射膜（ＡＲ膜）が
コーティング（以下、ＡＲコートという）されており、
そのコーティングの条件によりその波長より短い波長の
光の反射率が大幅に変化する。すなわち、発振波長以外
の波長領域における透過率は保証されていない場合が多
く、また逆に保証するための製造条件は歩留りを低下さ
せ、現実的ではない。一方、画像処理によく用いられる
ハロゲン光源は、可視光領域の全体に広がっているもの
の６００ｎｍ程度のところに光の強度のピークがあり、
その両側では光の強度が急速に弱くなる。そのため、６
００ｎｍ付近での反射率が大幅に変化すると画像データ
の読み取りの際の明暗の差が大きく、通常のＣＣＤカメ
ラとハロゲン照明（色フィルタ付）では帯域通過フィル
タを用いても欠陥部のコントラストが画像処理の可能な
レベルに保てない。その結果、一層傷などの欠陥と窓ガ
ラスの背面にある部品の境界との区別がつかず、画像認
識による自動化の検査を行うことができない。
ザチップ２３から発せられる光を効率よく外部に取り出
すため、その発振波長（たとえば７８０ｎｍ）に対する
透過率が９９％以上になるように非反射膜（ＡＲ膜）が
コーティング（以下、ＡＲコートという）されており、
そのコーティングの条件によりその波長より短い波長の
光の反射率が大幅に変化する。すなわち、発振波長以外
の波長領域における透過率は保証されていない場合が多
く、また逆に保証するための製造条件は歩留りを低下さ
せ、現実的ではない。一方、画像処理によく用いられる
ハロゲン光源は、可視光領域の全体に広がっているもの
の６００ｎｍ程度のところに光の強度のピークがあり、
その両側では光の強度が急速に弱くなる。そのため、６
００ｎｍ付近での反射率が大幅に変化すると画像データ
の読み取りの際の明暗の差が大きく、通常のＣＣＤカメ
ラとハロゲン照明（色フィルタ付）では帯域通過フィル
タを用いても欠陥部のコントラストが画像処理の可能な
レベルに保てない。その結果、一層傷などの欠陥と窓ガ
ラスの背面にある部品の境界との区別がつかず、画像認
識による自動化の検査を行うことができない。
【０００５】そのため、このような別の部品が透けて見
え、しかもＡＲコートがされてコーティング条件により
波長による反射率が大幅に変化するガラスなどの透明体
の傷などの有無を検査する場合、従来は目視検査により
行われている。
え、しかもＡＲコートがされてコーティング条件により
波長による反射率が大幅に変化するガラスなどの透明体
の傷などの有無を検査する場合、従来は目視検査により
行われている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、目視検査で透
明体の傷や異物などの欠陥を検査すると、主観的な判断
となり客観的な検査をすることができない。傷や異物な
どの大きさ、個数、位置などの組み合わせでスペックが
定められている場合はなおさらである。とくに長時間検
査を続けると同じ人間が行っていても、目の疲れなどに
よっても検査の基準が異なり、正確な検査をすることが
できない。
明体の傷や異物などの欠陥を検査すると、主観的な判断
となり客観的な検査をすることができない。傷や異物な
どの大きさ、個数、位置などの組み合わせでスペックが
定められている場合はなおさらである。とくに長時間検
査を続けると同じ人間が行っていても、目の疲れなどに
よっても検査の基準が異なり、正確な検査をすることが
できない。
【０００７】本発明はこのような状況に鑑み、ＡＲコー
トのバラツキ（反射率、色目など）に対しても、一定の
投光照明下で、背面側に他の部品などが存在するガラス
などの透明体のワレや傷の有無、および異物の付着の程
度などを客観的に、かつ、正確に検査をすることができ
る透明体の外観検査方法を提供することを目的とする。
トのバラツキ（反射率、色目など）に対しても、一定の
投光照明下で、背面側に他の部品などが存在するガラス
などの透明体のワレや傷の有無、および異物の付着の程
度などを客観的に、かつ、正確に検査をすることができ
る透明体の外観検査方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明による透明体の外
観検査方法は、背面側に他の部品が存在する場合の外観
検査方法であって、前記透明体に垂直に照明を照射し、
その反射光によりカラー画像を読み取り、該カラー画像
の明るさ、赤み、および青みを前記他の部品が背面側に
存在しない部分の透明体に設定した基準色エリアの明る
さ、赤み、および青みとそれぞれ比較し、前記カラー画
像の明るさ、赤み、および青みのいずれもが前記基準色
エリアの明るさ、赤み、および青みとそれぞれ異なる場
合にその違いの程度を白黒映像信号の濃淡レベル差に変
換して白黒濃淡画像を出力し、該白黒濃淡画像を画像処
理することにより透明体の欠陥の有無を検査することを
特徴とする。
観検査方法は、背面側に他の部品が存在する場合の外観
検査方法であって、前記透明体に垂直に照明を照射し、
その反射光によりカラー画像を読み取り、該カラー画像
の明るさ、赤み、および青みを前記他の部品が背面側に
存在しない部分の透明体に設定した基準色エリアの明る
さ、赤み、および青みとそれぞれ比較し、前記カラー画
像の明るさ、赤み、および青みのいずれもが前記基準色
エリアの明るさ、赤み、および青みとそれぞれ異なる場
合にその違いの程度を白黒映像信号の濃淡レベル差に変
換して白黒濃淡画像を出力し、該白黒濃淡画像を画像処
理することにより透明体の欠陥の有無を検査することを
特徴とする。
【０００９】前記検査の後にリング照明により前記透明
体に斜め上方から適当な帯域フィルタを通した照明を照
射し、その反射光により画像を読み取り、該画像データ
を画像処理することにより透明体の欠陥の有無をさらに
検査することが、透明体に垂直に入ったクラックなどを
も正確に検出することができるため好ましい。
体に斜め上方から適当な帯域フィルタを通した照明を照
射し、その反射光により画像を読み取り、該画像データ
を画像処理することにより透明体の欠陥の有無をさらに
検査することが、透明体に垂直に入ったクラックなどを
も正確に検出することができるため好ましい。
【００１０】
【発明の実施の形態】つぎに、本発明の透明体の外観検
査方法について図面を参照しながら説明をする。
査方法について図面を参照しながら説明をする。
【００１１】図１は本発明の外観検査方法に使用するカ
ラー画像を読み込んで処理する装置の構成図、図２はそ
の装置を用いて検査を行う手順を示すフローチャート、
図３は白黒濃淡画像を読み込んで処理する装置の構成
図、図４はカメラで読み取られる画像で、基準色エリア
とガラスを通して見える部品の状態を示す図、図５は読
み取られた画像を画像処理して現される図をそれぞれ示
している。
ラー画像を読み込んで処理する装置の構成図、図２はそ
の装置を用いて検査を行う手順を示すフローチャート、
図３は白黒濃淡画像を読み込んで処理する装置の構成
図、図４はカメラで読み取られる画像で、基準色エリア
とガラスを通して見える部品の状態を示す図、図５は読
み取られた画像を画像処理して現される図をそれぞれ示
している。
【００１２】図１において、１はカラー画像を読み取る
カメラで、たとえばソニー（株）製の商品名ＸＣ−００
３、２はレンズを組み合わせたマクロレンズで、たとえ
ば（株）モリテックス製の商品名ＭＭＬ２−６５Ｄ、３
は照明電源で、たとえば（株）モリテックス製の商品名
ＭＨＦ−Ｃ５０ＬＲ、４は照明電源３からマクロレンズ
２へ光を伝達する光ファイバで、たとえば（株）モリテ
ックス製の商品名ＭＳＰ４−１１００Ｓ、５は色差変換
器で、たとえばクラボウ（株）製の商品名ＫＡ−２００
を欠陥色と内部反射色とを区別できるように改造したも
ので、基準色エリア２０（図４参照）の明るさＬ、赤み
ａ、および青みｂと、読み込んだ画像データのこれらと
を比較してそれぞれが大幅に異なる場合に濃い出力とす
る白黒濃淡画像（０〜２５６）に変換し、出力する。
カメラで、たとえばソニー（株）製の商品名ＸＣ−００
３、２はレンズを組み合わせたマクロレンズで、たとえ
ば（株）モリテックス製の商品名ＭＭＬ２−６５Ｄ、３
は照明電源で、たとえば（株）モリテックス製の商品名
ＭＨＦ−Ｃ５０ＬＲ、４は照明電源３からマクロレンズ
２へ光を伝達する光ファイバで、たとえば（株）モリテ
ックス製の商品名ＭＳＰ４−１１００Ｓ、５は色差変換
器で、たとえばクラボウ（株）製の商品名ＫＡ−２００
を欠陥色と内部反射色とを区別できるように改造したも
ので、基準色エリア２０（図４参照）の明るさＬ、赤み
ａ、および青みｂと、読み込んだ画像データのこれらと
を比較してそれぞれが大幅に異なる場合に濃い出力とす
る白黒濃淡画像（０〜２５６）に変換し、出力する。
【００１３】ここで、基準色エリア２０とは、図４にカ
メラ１で透明体を観察した画像の例を示すように、レー
ザチップ２３やヒートシンク２１ａなどの他の部品が窓
ガラス２５を通して見えない位置で、中心に近い場所に
設定され、基準の色とするものである。もしこの基準色
エリア２０に欠陥がある場合は明るさなどの絶対値が大
きく異なるため判別され、他の場所に設定され直す。な
お、図４において、２４はキャップ、２９は溶着ガラス
部であり、サブマウントは先端部が斜めにカットされて
いるため、上部からの画像認識では認識されない。
メラ１で透明体を観察した画像の例を示すように、レー
ザチップ２３やヒートシンク２１ａなどの他の部品が窓
ガラス２５を通して見えない位置で、中心に近い場所に
設定され、基準の色とするものである。もしこの基準色
エリア２０に欠陥がある場合は明るさなどの絶対値が大
きく異なるため判別され、他の場所に設定され直す。な
お、図４において、２４はキャップ、２９は溶着ガラス
部であり、サブマウントは先端部が斜めにカットされて
いるため、上部からの画像認識では認識されない。
【００１４】６は画像処理装置で、たとえばパソコンと
多値化の機能を有する画像処理ボードを用い、白黒の濃
淡を２値化し、画面を走査して白黒が反転する特徴量を
抽出してその大きさを判定し、異物やワレなどの欠陥の
有無について判断をする。この画像処理がなされた状態
はテレビモニタ７（たとえばソニー（株）製の商品名Ｐ
ＵＭ−９０４１Ｑ）で観察されるが、その図形は、たと
えば図５に示されるような図形で表示され、異物３１や
ワレ３２が存在する場合は、不良品と判定され、その情
報が出力される。照明電源３から送られる光はマクロレ
ンズ２の下部に設けられたハーフミラー８により真下側
に反射され、半導体レーザ１０に真上から垂直に照射さ
れ、その反射光がハーフミラー８を介してカラー用カメ
ラ１に入射する。この照明方法を同軸落射といい、この
方法により、半導体レーザ１０の窓ガラスに映る画像が
読み取られる。
多値化の機能を有する画像処理ボードを用い、白黒の濃
淡を２値化し、画面を走査して白黒が反転する特徴量を
抽出してその大きさを判定し、異物やワレなどの欠陥の
有無について判断をする。この画像処理がなされた状態
はテレビモニタ７（たとえばソニー（株）製の商品名Ｐ
ＵＭ−９０４１Ｑ）で観察されるが、その図形は、たと
えば図５に示されるような図形で表示され、異物３１や
ワレ３２が存在する場合は、不良品と判定され、その情
報が出力される。照明電源３から送られる光はマクロレ
ンズ２の下部に設けられたハーフミラー８により真下側
に反射され、半導体レーザ１０に真上から垂直に照射さ
れ、その反射光がハーフミラー８を介してカラー用カメ
ラ１に入射する。この照明方法を同軸落射といい、この
方法により、半導体レーザ１０の窓ガラスに映る画像が
読み取られる。
【００１５】なお、図５において３３は窓ガラス部で、
透けて見える部分を示し、３４はそれより外周部を示
し、窓ガラスとキャップを溶着する低融点ガラスが窓ガ
ラスの中心方向に流れ、透けて見える部分はキャップの
貫通孔の径より小さくなると共に、真円でなくなってい
る。３５は貫通孔より内側で低融点ガラスが流れ出た部
分で局所的に光って見えるテカリ部である。また、範囲
Ａは周囲のワレを検査する範囲を示す。この画像処理装
置６による判定結果は図示しないメカ制御部に送られ、
良品と不良品との振り分けがなされる。
透けて見える部分を示し、３４はそれより外周部を示
し、窓ガラスとキャップを溶着する低融点ガラスが窓ガ
ラスの中心方向に流れ、透けて見える部分はキャップの
貫通孔の径より小さくなると共に、真円でなくなってい
る。３５は貫通孔より内側で低融点ガラスが流れ出た部
分で局所的に光って見えるテカリ部である。また、範囲
Ａは周囲のワレを検査する範囲を示す。この画像処理装
置６による判定結果は図示しないメカ制御部に送られ、
良品と不良品との振り分けがなされる。
【００１６】本発明は、カラー画像で認識し、基準色エ
リアの色と比較しているため、窓ガラスを通して見える
レーザチップやサブマウント、ヒートシンクなどはその
色調から傷などとは区別して観察される。そのため、レ
ーザチップやヒートシンクなどが窓ガラスを通して観察
されても、色差変換器５の出力からその部分は除外さ
れ、その境界などがワレなどと誤認されることはない。
その結果、これらの正規の部品の観察は除外され、それ
以外の部分の画像が白黒の濃淡による画像信号とされ、
画像処理装置により異物やワレ、カケなどの欠陥の有無
を確実に検査することができる。
リアの色と比較しているため、窓ガラスを通して見える
レーザチップやサブマウント、ヒートシンクなどはその
色調から傷などとは区別して観察される。そのため、レ
ーザチップやヒートシンクなどが窓ガラスを通して観察
されても、色差変換器５の出力からその部分は除外さ
れ、その境界などがワレなどと誤認されることはない。
その結果、これらの正規の部品の観察は除外され、それ
以外の部分の画像が白黒の濃淡による画像信号とされ、
画像処理装置により異物やワレ、カケなどの欠陥の有無
を確実に検査することができる。
【００１７】この装置で透明体の欠陥を検査する手順を
図２のフローチャートを参照しながらさらに詳細に説明
する。まず、カメラ１により画像の取り込みを開始する
（Ｓ１）。つぎに、色差変換器にそのカラー画像を取り
込む（Ｓ２）。ついで、色差変換器で、基準色エリアの
明るさＬ、赤みａ、および青みｂと画像データ内のそれ
ぞれＬ、ａ、ｂとを比較し、その差ΔＬ、Δａ、Δｂを
演算し、その結果を白黒映像信号の濃淡レベル差（０〜
２５６；たとえばΔＬ、Δａ、Δｂのすべてがプラスの
場合２５５を出力）に変換して白黒濃淡画像を出力する
（Ｓ３〜４）。この際、レーザチップとかサブマウント
などは透けて見えるため画像内に読み込まれるが、基準
色エリアの色調と差がないため、色差変換の結果はほと
んど０となり、白黒画像として現れなくなる。つぎに、
その白黒濃淡画像を画像処理装置に取り込む（Ｓ５）。
それから画面内での明るさを平準化する簡易シェーディ
ング処理をする（Ｓ６）。その後、明るさを２値化し、
雑音除去処理を行い（Ｓ７〜８）、濃淡に大きな変化の
ある特徴量を抽出し、その変化部分の大きさである開口
面積判定を行う（Ｓ９〜１０）。そしてその濃淡の変化
部分が異物であるか、ワレまたはカケであるかを判定す
る（Ｓ１１〜１２）。
図２のフローチャートを参照しながらさらに詳細に説明
する。まず、カメラ１により画像の取り込みを開始する
（Ｓ１）。つぎに、色差変換器にそのカラー画像を取り
込む（Ｓ２）。ついで、色差変換器で、基準色エリアの
明るさＬ、赤みａ、および青みｂと画像データ内のそれ
ぞれＬ、ａ、ｂとを比較し、その差ΔＬ、Δａ、Δｂを
演算し、その結果を白黒映像信号の濃淡レベル差（０〜
２５６；たとえばΔＬ、Δａ、Δｂのすべてがプラスの
場合２５５を出力）に変換して白黒濃淡画像を出力する
（Ｓ３〜４）。この際、レーザチップとかサブマウント
などは透けて見えるため画像内に読み込まれるが、基準
色エリアの色調と差がないため、色差変換の結果はほと
んど０となり、白黒画像として現れなくなる。つぎに、
その白黒濃淡画像を画像処理装置に取り込む（Ｓ５）。
それから画面内での明るさを平準化する簡易シェーディ
ング処理をする（Ｓ６）。その後、明るさを２値化し、
雑音除去処理を行い（Ｓ７〜８）、濃淡に大きな変化の
ある特徴量を抽出し、その変化部分の大きさである開口
面積判定を行う（Ｓ９〜１０）。そしてその濃淡の変化
部分が異物であるか、ワレまたはカケであるかを判定す
る（Ｓ１１〜１２）。
【００１８】図１に示される装置によれば、照明電源か
らの光が検査の対象物である透明体に垂直方向から入射
する同軸落射により照射されているため、窓ガラスなど
に斜めに入っているクラックや傷などに対してはそれら
による反射光が得られやすく、確実に欠陥を認識するこ
とができる。通常の傷やクラックなどはガラス板などに
対して垂直に入ることは殆どないため、前述の同軸落射
の照射方法で問題ないが、垂直に入るクラックに対して
は認識しにくい場合がある。このような問題が想定され
る場合、さらに図３に示されるようなリング照明による
光の照射により同様の画像処理による欠陥の有無の検査
を行うことが望ましい。
らの光が検査の対象物である透明体に垂直方向から入射
する同軸落射により照射されているため、窓ガラスなど
に斜めに入っているクラックや傷などに対してはそれら
による反射光が得られやすく、確実に欠陥を認識するこ
とができる。通常の傷やクラックなどはガラス板などに
対して垂直に入ることは殆どないため、前述の同軸落射
の照射方法で問題ないが、垂直に入るクラックに対して
は認識しにくい場合がある。このような問題が想定され
る場合、さらに図３に示されるようなリング照明による
光の照射により同様の画像処理による欠陥の有無の検査
を行うことが望ましい。
【００１９】図３において、１１は白黒用のカメラで、
たとえばソニー（株）製の商品名ＸＣ−７５、１２はレ
ンズが組み合わされたマクロレンズで、図１の構成と同
じものを使用することができる。１３は照明電源で、た
とえば（株）モリテックス製の商品名ＭＨＦ−Ｄ１００
ＬＲ、１４はファイバがリング状に並べられ、斜め下の
中心部に光を照射するリング照明１８を有するリング照
明ファイバで、たとえば（株）モリテックス製の商品名
ＭＲＰ１６−１５００Ｖ、１６はカメラ１１により読み
込んだ画像を処理する画像処理装置で、たとえば図１に
示されるものと同じもの、１７は画像処理をして異物な
どの欠陥を白黒で表示するテレビモニタで、たとえばソ
ニー（株）製の商品名ＰＶＳ−９６Ｊである。この装置
で、画像処理をした欠陥部を示す画像は、斜光照明を使
用しているため、図２の装置の場合と白黒が反転した画
像となる。なお、リング照明１８からの光は適当な帯域
フィルタ、たとえば中心波長が４００ｎｍ、半値幅が１
３ｎｍで透過率が５０％以上の帯域フィルタを通すこと
が好ましく、図示されていないが、リング照明１８また
は照明電源１３の出力側に入れられる。
たとえばソニー（株）製の商品名ＸＣ−７５、１２はレ
ンズが組み合わされたマクロレンズで、図１の構成と同
じものを使用することができる。１３は照明電源で、た
とえば（株）モリテックス製の商品名ＭＨＦ−Ｄ１００
ＬＲ、１４はファイバがリング状に並べられ、斜め下の
中心部に光を照射するリング照明１８を有するリング照
明ファイバで、たとえば（株）モリテックス製の商品名
ＭＲＰ１６−１５００Ｖ、１６はカメラ１１により読み
込んだ画像を処理する画像処理装置で、たとえば図１に
示されるものと同じもの、１７は画像処理をして異物な
どの欠陥を白黒で表示するテレビモニタで、たとえばソ
ニー（株）製の商品名ＰＶＳ−９６Ｊである。この装置
で、画像処理をした欠陥部を示す画像は、斜光照明を使
用しているため、図２の装置の場合と白黒が反転した画
像となる。なお、リング照明１８からの光は適当な帯域
フィルタ、たとえば中心波長が４００ｎｍ、半値幅が１
３ｎｍで透過率が５０％以上の帯域フィルタを通すこと
が好ましく、図示されていないが、リング照明１８また
は照明電源１３の出力側に入れられる。
【００２０】図３に示される装置は、半導体レーザに照
射する照明を同軸落射ではなく、リング照明１８により
斜めから照射していることと、カラーで画像を読み込む
のではなく、白黒で画像を読み込み画像処理をしてお
り、そのため、色差変換器を有していないことで図１の
装置と異なっている。その理由は、前述のように、窓ガ
ラスなどに垂直に入っているクラックなどを検出するの
が目的で、垂直のクラックなどで光が反射しやすくする
ように斜めから照射すると共に、他の部分の検査はすで
に終了しているため、カラー画像の処理をする必要がな
いからである。この場合、図１に示される装置で、照明
部分をリング照明に取り替えて同軸落射による検査と斜
め照射の両方の検査を行ってもよいが、高価なカラーの
画像処理システムの稼働率をあげるためには図３に示さ
れる装置を新たに設定することが好ましい。
射する照明を同軸落射ではなく、リング照明１８により
斜めから照射していることと、カラーで画像を読み込む
のではなく、白黒で画像を読み込み画像処理をしてお
り、そのため、色差変換器を有していないことで図１の
装置と異なっている。その理由は、前述のように、窓ガ
ラスなどに垂直に入っているクラックなどを検出するの
が目的で、垂直のクラックなどで光が反射しやすくする
ように斜めから照射すると共に、他の部分の検査はすで
に終了しているため、カラー画像の処理をする必要がな
いからである。この場合、図１に示される装置で、照明
部分をリング照明に取り替えて同軸落射による検査と斜
め照射の両方の検査を行ってもよいが、高価なカラーの
画像処理システムの稼働率をあげるためには図３に示さ
れる装置を新たに設定することが好ましい。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、カ
ラー画像を読み取り、色差変換器により基準色エリアの
明るさなどと比較してから白黒の濃淡画像に変換してい
るため、透明体を通して見える透明体の背面側にある部
品などによる影響や透明体のＡＲコートのバラツキに起
因する波長に対する反射率の変動の影響も受けることな
く、異物、傷、ワレなどの欠陥を正確に検出することが
できる。その結果、人間の目視に頼ることなく自動化に
より客観的に外観の検査をすることができ、外観検査の
信頼性が向上すると共に、検査工数を大幅に減少させる
ことができる。
ラー画像を読み取り、色差変換器により基準色エリアの
明るさなどと比較してから白黒の濃淡画像に変換してい
るため、透明体を通して見える透明体の背面側にある部
品などによる影響や透明体のＡＲコートのバラツキに起
因する波長に対する反射率の変動の影響も受けることな
く、異物、傷、ワレなどの欠陥を正確に検出することが
できる。その結果、人間の目視に頼ることなく自動化に
より客観的に外観の検査をすることができ、外観検査の
信頼性が向上すると共に、検査工数を大幅に減少させる
ことができる。
【図１】本発明の外観検査方法を行う装置の概要を示す
図である。
図である。
【図２】図１の装置で外観検査をする手順を示すフロー
チャートである。
チャートである。
【図３】本発明の外観検査方法の他の実施形態で、さら
に付加する検査の装置の一例の概要を示す図である。
に付加する検査の装置の一例の概要を示す図である。
【図４】カメラでキャンシール型半導体レーザを観察し
た状態を示す図である。
た状態を示す図である。
【図５】画像処理により傷やクラックが表示された状態
を示す図である。
を示す図である。
【図６】キャンシール型半導体レーザの構造を示す図で
ある。
ある。
１ カラー用カメラ ３ 照明電源 ５ 色差変換器 ６ 画像処理装置 ８ ハーフミラー １８ リング照明
Claims (2)
- 【請求項１】 背面側に他の部品が存在する透明体の外
観検査方法であって、前記透明体に垂直に照明を照射
し、その反射光によりカラー画像を読み取り、該カラー
画像の明るさ、赤み、および青みを前記他の部品が背面
側に存在しない部分の透明体に設定した基準色エリアの
明るさ、赤み、および青みとそれぞれ比較し、前記カラ
ー画像の明るさ、赤み、および青みのいずれもが前記基
準色エリアの明るさ、赤み、および青みとそれぞれ異な
る場合にその違いの程度を白黒映像信号の濃淡レベル差
に変換して白黒濃淡画像を出力し、該白黒濃淡画像を画
像処理することにより透明体の欠陥の有無を検査するこ
とを特徴とする透明体の外観検査方法。 - 【請求項２】 前記検査の後にリング照明により前記透
明体に斜め上方から照明を照射し、その反射光により画
像を読み取り、該画像のデータを画像処理することによ
り透明体の欠陥の有無をさらに検査する請求項１記載の
透明体の外観検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP137496A JPH09189664A (ja) | 1996-01-09 | 1996-01-09 | 透明体の外観検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP137496A JPH09189664A (ja) | 1996-01-09 | 1996-01-09 | 透明体の外観検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09189664A true JPH09189664A (ja) | 1997-07-22 |
Family
ID=11499724
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP137496A Pending JPH09189664A (ja) | 1996-01-09 | 1996-01-09 | 透明体の外観検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09189664A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1312454A2 (en) * | 2001-11-16 | 2003-05-21 | Towa Corporation | Apparatus and method for evaluating degree of adhesion of adherents to mold surface, apparatus and method for surface treatment of mold surface and method and apparatus for cleaning mold used for molding resin |
| JPWO2003010525A1 (ja) * | 2001-07-27 | 2004-11-18 | 日本板硝子株式会社 | 対象物表面の汚れ評価方法およびこの方法に使用する撮影ボックス |
| US7430485B2 (en) | 2003-08-22 | 2008-09-30 | Rohm And Haas Company | Method and system for analyzing coatings undergoing exposure testing |
| JP2013524167A (ja) * | 2010-03-26 | 2013-06-17 | ザ・ボーイング・カンパニー | 透明部材内の光学的欠陥の検出 |
| CN109827759A (zh) * | 2019-03-28 | 2019-05-31 | 歌尔股份有限公司 | 应用于光学模组的缺陷检测方法及检测装置 |
-
1996
- 1996-01-09 JP JP137496A patent/JPH09189664A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2003010525A1 (ja) * | 2001-07-27 | 2004-11-18 | 日本板硝子株式会社 | 対象物表面の汚れ評価方法およびこの方法に使用する撮影ボックス |
| EP1312454A2 (en) * | 2001-11-16 | 2003-05-21 | Towa Corporation | Apparatus and method for evaluating degree of adhesion of adherents to mold surface, apparatus and method for surface treatment of mold surface and method and apparatus for cleaning mold used for molding resin |
| EP1312454A3 (en) * | 2001-11-16 | 2003-06-25 | Towa Corporation | Apparatus and method for evaluating degree of adhesion of adherents to mold surface, apparatus and method for surface treatment of mold surface and method and apparatus for cleaning mold used for molding resin |
| EP1767326A1 (en) | 2001-11-16 | 2007-03-28 | Towa Corporation | Apparatus and method for evaluating degree of adhesion of adherents to mold surface |
| US7430485B2 (en) | 2003-08-22 | 2008-09-30 | Rohm And Haas Company | Method and system for analyzing coatings undergoing exposure testing |
| JP2013524167A (ja) * | 2010-03-26 | 2013-06-17 | ザ・ボーイング・カンパニー | 透明部材内の光学的欠陥の検出 |
| CN109827759A (zh) * | 2019-03-28 | 2019-05-31 | 歌尔股份有限公司 | 应用于光学模组的缺陷检测方法及检测装置 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20040608 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |