JPH09187933A

JPH09187933A - インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置

Info

Publication number: JPH09187933A
Application number: JP8001396A
Authority: JP
Inventors: Toru Yamane; 徹山根; Toshiaki Hirozawa; 稔明広沢
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1996-01-09
Filing date: 1996-01-09
Publication date: 1997-07-22

Abstract

(57)【要約】【課題】記録素子と駆動素子とを別個の基板上に形成
した記録ヘッドの圧接による記録素子基板と駆動素子基
板との電気的接続を、容易に且つ信頼性高く実施できる
長尺のインクジェット記録ヘッド、該ヘッドを具備する
記録装置の提供。【解決手段】複数個の記録素子と接続電極を有する記
録素子基板、複数個の駆動素子と接続電極を有する駆動
素子基板、各基板の接続電極同志を圧接させるための圧
接力発生部材、該部材からの圧接力を両基板の圧接面に
伝達する弾性部材を有するインクジェット記録ヘッド
の、弾性部材の圧接力を両基板のいずれか一方から他方
へ複数個の点で伝達させることを特徴とする記録ヘッ
ド。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、記録素子が形成さ
れた記録素子基板と、外部から入力される画信号に従っ
て記録素子を駆動させるための駆動素子基板を圧接して
なるインクジェット記録ヘッド及び該記録ヘッドを具備
するインクジェット記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、インクジェット記録装置等に用い
られる記録素子ユニットとしては、例えば、図４（ａ）
に示すような記録素子ユニットが知られており、同図
（ａ）のＡ−Ａ’断面における断面図を図４（ｂ）に示
す。

【０００３】図４（ａ）及び（ｂ）において、１５０１
は保持体、１５０２は発熱抵抗層としてのＨｆＢ₂ 層、
１５０３はＡｌの共通電極、１５０４はＡｌの個別電
極、１５０５ａ及び１５０５ｂはＡｌのパターン配線、
１５０６は耐酸化層及び絶縁層としてのＳｉＯ₂層、１
５０７は感光性ポリイミド層、１５０８は耐キャビテー
ション層としてのＴａ層である。

【０００４】図４（ａ）及び（ｂ）に示すような記録素
子ユニットは、発熱抵抗層としてのＨｆＢ₂ 層１５０２
に電流を流すことにより当該ＨｆＢ₂ 層より熱エネルギ
ーを発生させるものである。すなわち、駆動電流を、外
部より個別電極１５０４及びパターン配線１５０５ａを
介してＨｆＢ₂ 層１５０２へ流入させ、更にパターン配
線１５０５ｂ及び共通電極１５０３を介して外部へ流入
させることにより、ＨｆＢ₂ 層に熱エネルギーを発生さ
せることができる。なお、インクジェット記録装置にお
いては、この熱エネルギーを利用して記録液を吐出させ
ることにより記録が行われる。

【０００５】通常、このようなＨｆＢ₂ 層１５０２、個
別電極１５０４、パターン配線１５０５ａ、及び１５０
５ｂの組み合わせ（以下、発熱素子と称する。）は、図
４（ａ）に示すように、一個の記録素子ユニットに複数
個形成されている。このように、一個の記録素子ユニッ
トに複数の発熱素子を設けることにより、複数ドットの
記録を同時に行うインクジェット記録装置を得ることが
可能となり、記録の高速化を図ることができる。特に、
高密度・高速記録の要請が高い今日においては、一個の
主走査ラインの記録を同時に行うことが一般化してお
り、従って、多数の発熱素子を高密度に配置した記録素
子ユニットが登場している。

【０００６】一個の記録素子ユニットに複数の発熱素子
を配置して複数ドットの記録を同時に行う場合には、発
熱素子のそれぞれについて個別にＯＮ−ＯＦＦを制御し
なければならない。このような制御を行うための手段
（以下、駆動素子と称する。）は、記録素子ユニット内
に形成することも可能であるが、通常は、独立した基板
に形成（以下、この基板を駆動素子基板と称する。）さ
れ、記録素子ユニットと接続される。

【０００７】記録素子と駆動素子とを一体基板に形成し
た場合、記録素子ないし駆動素子のいずれか一部に不良
が生ずると全体が動作しなくなってしまうという問題が
あるからである。

【０００８】次に、前述の記録素子が形成された基板
（以下、記録素子基板と称する。）と駆動素子が形成さ
れた基板（駆動素子基板）を電気的に接続するための従
来の手段について説明する。

【０００９】記録素子基板と駆動素子基板とを電気的に
接続する技術としては、特開平３−１２１８５１号に開
示された方法がある。これは図４（ａ）及び（ｂ）とほ
ぼ同様の構成を有し、個別電極１５０４に基板上に隆起
するようにバンプ状電極を形成し、図５（ｃ）に示すよ
うに記録素子基板と駆動素子基板のそれぞれに形成され
たバンプ状電極を直接接続させ、圧接することにより接
合する方法である。

【００１０】また、特開平１−３０２８２９号に開示さ
れた電気的接続部材を用いて接続する方法もある。図５
（ａ）〜（ｄ）はこの方法を説明するための図である。

【００１１】同図において、１００１は記録素子基板、
１７１４及び１７１５は電極部、１７１９及び１７２０
は絶縁膜である。また、１７０３は電気的接続部材であ
り、１７１７は電気的導電部材、１７１８は電気的導電
部材１７１７を保持するための保持体である。ここで、
電気的導電部材１７１７のピッチは、電極１７１４及び
１７１５のピッチよりも狭く設定されている。

【００１２】記録素子基板１００１と駆動素子基板１０
０２、及び電気的接続部材１７０３は、まず図５（ａ）
に示すように配置され、次に同図（ｂ）に示すように互
いに圧着される。また、同（ｃ）は圧着後の全体図であ
り、１７０６は駆動素子を示す。また、同（ｄ）はこの
技術を利用したインクジェット記録ヘッドの分解斜視図
の一例である。

【００１３】次に、記録素子と駆動素子とをそれぞれ別
個の基板上に形成したヘッドの構造の従来例について説
明する。記録素子基板と駆動素子基板の電気的接続を行
う圧接部の構造は、駆動素子基板押圧型と記録素子基板
押圧型の２種類が従来知られている。

【００１４】図６（ａ）〜（ｃ）は、駆動素子基板押圧
型の記録ヘッドを説明するための図であり、同図（ａ）
は、駆動素子基板押圧型ヘッドの分解斜視図、同（ｂ）
は側面図、同（ｃ）は同ヘッドにインク供給系を配設し
た斜視図である。１００１は記録素子基板、１００２は
駆動素子基板、１００３は駆動素子、１００４は回路基
板、１００５は副基台、１００６は主基台、１００７は
圧着板、１００８は弾性部材、１００９はスペーサ、１
０１０は固定ネジ、１０１１は天板である。

【００１５】記録素子基板１００１と天板１０１１との
間にインク液室が配設されており、記録素子基板１００
１上に形成された不図示の記録素子によってインクは吐
出のエネルギーを供給される。記録素子基板１００１は
主基台１００６に接着等の方法で固定されている。ま
た、記録素子を駆動するための駆動素子基板１００２と
回路基板１００４は副基台１００５に接着等の方法で固
定されており、駆動素子基板１００２と回路基板１００
４とは、ワイヤボンディング等の方法で電気的に接続さ
れている。

【００１６】また、駆動素子基板１００２は圧着板１０
０７を固定ネジ１０１０で主基台に固定することによっ
て、記録素子基板１００１に圧接され、電気的に接続さ
れるものである。ここで、駆動素子基板１００２を記録
素子基板１００１に均一な力で押圧するため、駆動素子
基板１００２と圧着板１００７との間に天然ゴム、或い
はシリコンゴム等よりなる弾性部材１００８を挿入して
いる。この構造は、記録素子基板１００１に対し、駆動
素子基板１００２を圧着板１００７で押圧することによ
り、圧接力を発生することから、駆動素子基板押圧型の
構造と称されている。

【００１７】次に記録素子基板押圧型の記録ヘッドの構
造について説明する。

【００１８】図７（ａ）〜（ｃ）は、記録素子基板押圧
型の記録ヘッドを説明するための図であり、図７（ａ）
は、記録素子基板押圧型ヘッドの分解斜視図、同図
（ｂ）は側面図、同（ｃ）は同ヘッドにインク供給系を
配設した斜視図である。

【００１９】図７においても、図６と同様の構造につい
ては同符号を付して説明は割愛する。この構造は、駆動
素子基板１００２を主基台１００６に接着等の方法で固
定し、記録素子基板１００１は、圧着板１００７を固定
ネジ１０１０で主基台１００６に固定することによっ
て、駆動素子基板１００２に圧接され、電気的に接続さ
れるものである。この構造は、駆動素子基板１００２に
対し、記録素子基板１００１を圧着板１００７で押圧す
ることにより、圧接力を発生することから、記録素子基
板押圧型の構造と称されている。

【００２０】以上のように駆動素子基板押圧型記録ヘッ
ド、記録素子基板押圧型記録ヘッドのいずれの場合にお
いても、従来、電気的接続点を押圧板で押圧することに
より、記録素子基板１００１と駆動素子基板１００２と
を電気的に接続する方法においては、電気的接続部材１
７０３の使用の如何に関わらず、均一な加圧手段が必要
となり、圧着板１００７と駆動素子基板１００２との間
に図６及び図７に示すような平坦な形状の弾性部材１０
０８が挿入されていた。

【００２１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
接続形態には以下のような問題がある。

【００２２】記録素子の多数高密度配列化に伴い、長尺
の記録素子基板１００１と駆動素子基板１００２との接
続には、より広い範囲での均一な加圧が必要となるが、
上記した接続形態では、記録素子基板１００１、駆動素
子基板１００２のわずかな反りやうねりに起因する加圧
力の不均一化が生じ、確実な接続が困難となる、という
問題である。

【００２３】本発明の目的は、上記のような問題のな
い、記録素子と駆動素子とを別個の基板上に形成した記
録ヘッドにおいて、圧接による記録素子基板と駆動素子
基板との電気的接続を、より容易に且つ信頼性の高いも
のにすることができ、しかも従来製造困難であった記録
素子基板と駆動素子基板とを圧接してなる長尺のインク
ジェット記録ヘッド、及び該記録ヘッドを具備するイン
クジェット記録装置を提供することにある。

【００２４】

【課題を解決するための手段及び作用】上記の目的は以
下に示す本発明によって達成される。

【００２５】即ち本発明は、複数個の記録素子と接続電
極が配設された記録素子基板と、複数個の駆動素子と接
続電極が配設された駆動素子基板と、前記記録素子基板
の接続電極と駆動素子基板の接続電極とを圧接させるた
めの圧接力発生部材と、該圧接力発生部材で発生された
圧接力を前記記録素子基板と駆動素子基板との圧接面に
伝達するための弾性部材とを有するインクジェット記録
ヘッドにおいて、前記弾性部材の圧接力を前記記録素子
基板ないしは駆動素子基板に複数個の点で伝達させるこ
とを特徴とするインクジェット記録ヘッドを開示するも
のである。

【００２６】また本発明は、複数個の記録素子と接続電
極が配設された記録素子基板と、複数個の駆動素子と接
続電極が配設された駆動素子基板と、前記記録素子基板
の接続電極と駆動素子基板の接続電極とを接続するため
の電気的接続部材と、前記記録素子基板の接続電極と駆
動素子基板の接続のための圧接力発生部材と、該圧接力
発生部材で発生された圧接力を前記記録素子基板と駆動
素子基板との圧接面に伝達するための弾性部材とを有す
るインクジェット記録ヘッドにおいて、前記弾性部材の
圧接力を前記記録素子基板ないしは駆動素子基板に複数
個の点で伝達させることを特徴とするインクジェット記
録ヘッドを開示するものである。

【００２７】更にまた本発明は、インクジェット方式に
よるインクジェット記録装置が、前記本発明のインクジ
ェット記録ヘッドを具備するものである、インクジェッ
ト記録装置をも開示するものである。

【００２８】

【発明の実施の形態】本発明は、特に、インクジェット
記録方式のなかでも熱エネルギーを利用して液滴を飛翔
させて記録を行うインクジェット記録ヘッド及びインク
ジェット記録装置において優れた効果をもたらすもので
ある。

【００２９】これらの記録ヘッド及び記録装置の体表的
な構成や原理については、例えば、米国特許第４７２３
１２９号明細書、同第４７４０７９６号明細書に開示さ
れている基本的な原理を用いるものが好ましい。

【００３０】この原理を用いた方式は、オンデマンド型
及びコンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特にオンデマンド型の場合に有効である。オンデマ
ンド型方式は次の通りである。液体（インク）が保持さ
れているシートや液路に対応して配置されている電気熱
変換体に、記録情報に対応した、核沸騰を超える急速な
温度上昇を与える一つ以上の駆動信号を印加することに
よって、電気熱変換体に熱エネルギーを発生させ、記録
ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせて駆動信号に１対
１で対応した気泡を液体（インク）内に形成する。この
気泡の成長・収縮によってインク吐出口からインクを吐
出させて、１つ以上の液滴を形成・飛翔させる。

【００３１】このときの駆動信号をパルス形状とする
と、信号の印加に対して気泡の成長・収縮が瞬時・適切
に行われ、応答性に優れたインクの吐出が達成できる。
この駆動信号としては、米国特許第４４６３３５９号明
細書、同第４３４５２６２号明細書に記載されているよ
うなものが適している。

【００３２】また、米国特許第４３１３１２４号明細書
に記載の熱作用面の温度上昇率に関する発明の設定条件
を採用すると、更に優れた記録を行うことができる。

【００３３】本発明のインクジェット記録ヘッドの構成
としては、上記の各明細書に記載されているような吐出
口・液路・電気熱変換体を組み合わせた構成（直線状液
流路構成又は直角液流路構成）の他に、米国特許第４５
５８３３３号明細書及び同第４４５９６００号明細書に
開示された、熱作用部が屈曲する領域に配置されている
構成をとってもよい。

【００３４】上記構成に加えて、複数の電気熱変換体に
対して共通するスリットを電気熱変換体の吐出部とする
構成（特開昭５９−１２３６７０号公報に開示）や、熱
エネルギーの圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させ
る構成（特開昭５９−１３８４６１号公報に開示）に基
づいた構成としても本発明は有効である。

【００３５】更に、記録装置が記録可能な最大記録幅に
対応した長さを有するフルラインタイプの記録ヘッドを
用いてもよい。このフルラインタイプの記録ヘッドとし
ては、上記の明細書に開示されているような記録ヘッド
を、複数組み合わせた構成や、一体型の構成のいずれで
あってもよい。

【００３６】その他の記録ヘッドのタイプとして、記録
装置本体との電気的接続や記録装置本体からのインクの
供給が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッ
ド、又は記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設け
られたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いてもよ
い。

【００３７】本発明のインクジェット記録装置の構成ユ
ニットとして、記録ヘッドに対する回復手段や予備的な
補助手段等を付加することは、本発明の効果を一層安定
化するため好ましい。これらの手段を具体的に挙げれ
ば、記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニ
ング手段、加圧・吸引手段、予備加熱手段、予備吐出手
段等がある。

【００３８】更に、本発明の記録装置の記録モードとし
て、黒色等の主流色のみの記録モード以外に、異なる色
の複色カラーや、混色によるフルカラーのモードを備え
てもよい。

【００３９】以上に説明した本発明の記録ヘッド及び記
録装置においては、インクを液体として説明している
が、室温又はそれ以下で固化するインクであっても室温
以上で軟化又は液化するインクであれば本発明に用いる
ことができる。インクジェット方式では一般に、インク
自体を３０〜７０℃に調整してインクの粘性を安定吐出
範囲に温度制御するため、記録信号付与時に上記温度範
囲でインクが液状であればよい。このようなインクは、
記録信号に応じた熱エネルギーの付与によって液化し、
液状インクとして吐出され、記録媒体に到達時点で即座
に固化し始めるもの等が用いられる。インクの液化によ
っては過剰な熱エネルギーによる昇温を防止できたり、
インクが常温付近で固体であること又は吐出後に固化す
ることによってインクの蒸発を防止することができる。

【００４０】上記のインクは、多孔質シート等の凹部又
は貫通孔に液状又は固形物として保持され、これを電気
熱変換体に対向する位置に設けてもよい（特開昭５４−
５６８４７号及び同６０−７１２６０号に開示）。

【００４１】本発明においては、上述の各インクに対し
て膜沸騰方式が最も有効である。

【００４２】本発明のインクジェット記録装置は、ワー
ドプロセッサやコンピュータ等の情報処理機器の画像出
力端末として一体又は別体に設けられるものの他、リー
ダ等と組み合わせた複写装置や、送受信機能を有するフ
ァクシミリ装置の形態をとるものであってもよい。

【００４３】

【実施例】以下、図面を参照して実施例により本発明の
実施態様を詳細に説明するが、本発明がこれらによって
何ら限定されるものではない。

【００４４】［実施例１］図１は本発明のインクジェッ
ト記録ヘッドを説明するための図であり、図１（ａ）
は、分解組立図、同図（ｂ）は全体斜視図である。

【００４５】図１において、１００１は、不図示の記録
素子、配線、接続電極等が配設された記録素子基板、１
００３は記録素子を個別に駆動制御するためのＩＣ化さ
れた駆動素子、１００２は記録素子基板と電気的接続を
行うための接続電極と駆動素子１００３が配設された駆
動素子基板、１００４は外部からの画信号を駆動素子１
００３に入力するための回路基板、１００６は主基台、
１００７は圧着板、１００８は弾性部材であり、主要の
構成は図７とほぼ同一の構成である。

【００４６】本実施例では、弾性部材１００８が、多数
個に分割されていることに最大の特徴がある。本実施例
で使用する弾性部材１００８は、例えば直方体のブロッ
ク形状であり、これを圧着板１００７によって発生した
圧接力の伝達経路中に並べるものである。このため、圧
着板１００７によって発生した圧接力は弾性部材１００
８によって多数の点に加えられる力として駆動素子基板
１００２、記録素子基板１００１の圧接面に伝達され
る。その結果、長尺の記録素子基板１００１、駆動素子
基板１００２の圧接の場合に問題となる基板の反り、う
ねりが生じていても、従来手法に比べて非常に容易に、
信頼性の高い圧接ができるものである。

【００４７】なお、本実施例は記録素子基板押圧型記録
ヘッドについての構成を示したが、駆動素子基板押圧型
記録ヘッドについても同様の弾性部材１００８の適用が
可能であることは言うまでもない。

【００４８】［実施例２］図２は、本発明の第２の実施
例を説明するための図である。図２（ａ）は本実施例の
インクジェット記録ヘッドの全体斜視図であり、同図
（ｂ）は、本実施例で使用する弾性部材１００８を示す
模式図である。本実施例は第１の実施例と弾性部材１０
０８の形状以外は同一の構成であり、同一の符号を付
し、詳細の説明は割愛する。

【００４９】本実施例と第１の実施例との相違点は、弾
性部材１００８は、図２（ｂ）に示すように、複数の凹
凸形状を有する一体構造の弾性体である。このように弾
性体１００８が一体構造であるため、第１の実施例で
は、複数の弾性部材１００８を配列する必要があったの
に対し、本実施例においては弾性部材の配設が容易にな
る点が優れている。この弾性部材１００８の材質は第１
の実施例と同様に、天然ゴム、シリコンゴム、或いはそ
の他の弾性樹脂が好ましく、その表面の凹凸は、型押し
等の方法で容易に形成することができる。

【００５０】なお、本実施例も記録素子基板押圧型記録
ヘッドについての構成を示したが、駆動素子基板押圧型
記録ヘッドについても同様の弾性部材１００８の適用は
可能であることは言うまでもない。

【００５１】［実施例３］図３は、本発明の第３の実施
例を説明するための図である。図３（ａ）は本実施例の
インクジェット記録ヘッドの全体斜視図であり、同図
（ｂ）は本実施例で使用する弾性部材１００８を示す模
式図である。本実施例の図６と同一の構成については同
一の符号を付し、詳細の説明は割愛する。本実施例で
は、弾性部材１００８として金属板を図３（ｂ）に示す
ように、波型或いは山型等の凹凸を有する形状に加工し
て使用する点が第１及び第２の実施例と相違する点であ
る。

【００５２】この本実施例の弾性部材１００８は、プレ
ス等の手法によって容易に波型或いは山型に加工するこ
とができるため、記録ヘッドの生産コストも低く、この
ように金属部品を用いることによって、温度、湿度等の
環境変化、経時変化に強い記録ヘッドを構成することが
可能となる。

【００５３】なお、本実施例は駆動素子基板押圧型記録
ヘッドについての構成を示したが、記録素子基板押圧型
記録ヘッドについても同様の弾性部材１００８の適用は
可能であること言うまでもない。

【００５４】

【発明の効果】上記のように本発明によって、記録素子
と駆動素子とをそれぞれ別個の基板上に形成した記録ヘ
ッドにおいて、圧接による記録素子基板と、駆動素子基
板との電気的接続をより容易に、且つ信頼性の高いもの
にすることができる効果が奏される。

【００５５】更にこの結果、従来困難であった記録素子
基板と駆動素子基板とを圧接してなる長尺の記録ヘッド
を容易に得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施例におけるインクジェット記録ヘッ
ドを示す図。（但し（ａ）は分解組立図、（ｂ）は模式
的全体斜視図。）

【図２】第２の実施例におけるインクジェット記録ヘッ
ドを示す図。（但し（ａ）は模式的全体斜視図、（ｂ）
は弾性部材の模式的斜視図。）

【図３】第３の実施例におけるインクジェット記録ヘッ
ドを示す図。（但し（ａ）は模式的全体斜視図、（ｂ）
は弾性部材の模式的斜視図。）

【図４】インクジェット記録素子の従来例を示す図。
（但し（ａ）は模式的平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−
Ａ’断面における立面図。）

【図５】電気的接続部材を用いた圧接法の説明図。（但
し（ａ）は圧接前の平面図、（ｂ）圧接後の平面図、
（ｃ）は圧接後の側面図、（ｄ）は図分解組立。）

【図６】駆動素子基板から圧接する記録ヘッドを示す
図。（但し（ａ）は分解組立図、（ｂ）は模式的側面
図、（ｃ）は模式的斜視図。）

【図７】記録素子基板から圧接する記録ヘッドを示す
図。（但し（ａ）は分解組立図、（ｂ）は模式的側面
図、（ｃ）は模式的組立図。）

【符号の説明】

１００１記録素子基板１００２駆動素子基板１００３，１７０６駆動素子１００４回路基板１００５副基台１００６主基台１００７圧着板１００８弾性部材１００９スペーサ１０１０固定ネジ１０１１天板１０１２放熱板１０１３インク供給チューブ１０１４フィルタボックス１５０１，１７１８保持体１５０２発熱抵抗層としてのＨｆＢ₂ 層１５０３Ａｌの共通電極１５０４Ａｌの個別電極１５０５ａ，１５０５ｂＡｌのパターン配線１５０６耐酸化層及び絶縁層としてのＳｉＯ₂ 層１５０７耐インク層及び絶縁層としての感光性ポリ
イミド層１５０８耐キャビテーション層としてのＴａ層１７０３電気的接続部材１７１４，１７１５電極部１７１７電気的導電部材１７１９，１７２０絶縁膜

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数個の記録素子と接続電極が配設され
た記録素子基板と、複数個の駆動素子と接続電極が配設
された駆動素子基板と、前記記録素子基板の接続電極と
駆動素子基板の接続電極とを圧接させるための圧接力発
生部材と、該圧接力発生部材で発生された圧接力を前記
記録素子基板と駆動素子基板との圧接面に伝達するため
の弾性部材とを有するインクジェット記録ヘッドにおい
て、前記弾性部材の圧接力を前記記録素子基板ないしは
駆動素子基板に複数個の点で伝達させることを特徴とす
るインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】複数個の記録素子と接続電極が配設され
た記録素子基板と、複数個の駆動素子と接続電極が配設
された駆動素子基板と、前記記録素子基板の接続電極と
駆動素子基板の接続電極とを接続するための電気的接続
部材と、前記記録素子基板の接続電極と駆動素子基板の
接続のための圧接力発生部材と、該圧接力発生部材で発
生された圧接力を前記記録素子基板と駆動素子基板との
圧接面に伝達するための弾性部材とを有するインクジェ
ット記録ヘッドにおいて、前記弾性部材の圧接力を前記
記録素子基板ないしは駆動素子基板に複数個の点で伝達
させることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】前記弾性部材を複数個具備し、前記圧接
力を記録素子基板ないしは駆動素子基板に複数個の点で
伝達させることを特徴とする請求項１又は２記載のイン
クジェット記録ヘッド。
【請求項４】前記弾性部材に複数個の突起を配設し、
前記圧接力を突起を経由して前記記録素子基板ないしは
駆動素子基板に伝達させることを特徴とする請求項１又
は２記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】前記弾性部材を、凹凸形状を有する金属
性部材とし、前記圧接力を凹凸形状を経由して前記記録
素子基板ないしは駆動素子基板に伝達させることを特徴
とする請求項１又は２記載のインクジェット記録ヘッ
ド。
【請求項６】インクジェット方式によるインクジェッ
ト記録装置が、請求項６記載のインクジェット記録ヘッ
ドを具備することを特徴とするインクジェット記録装
置。