JPH09184502A - ダイアフラムアクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ハウジング１の内部にダイアフラム７を架設
して圧力室８を形成し、この圧力室８に圧力を供給して
ダイアフラム７およびロッド１１を含む作動部を作動さ
せるダイアフラムアクチュエータについて、作動部の作
動を途中で一旦止めることが可能であって、二段式のス
トローク作動を実現する。 【解決手段】 圧力室８の内部に軸方向に移動可能に配
置されたスプリングガイド１５と、ダイアフラム７とス
プリングガイド１５の間に配置された第一のばね１６
と、スプリングガイド１５と圧力室８の内壁の間に配置
され、第一のばね１６よりばね力を小さく設定された第
二のばね１７と、スプリングガイド１５に設けられ、第
二のばね１７が先に縮んだときに圧力室８の内壁に当接
してスプリングガイド１５、第一のばね１６および作動
部の移動を停止させるストッパ部１８ｆと、が備えられ
ている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、流体圧アクチュエ
ータの一種であるダイアフラムアクチュエータに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来から、図１０に示すように、ハウジ
ング５１の内部にダイアフラム５２を架設して圧力室５
３を形成し、この圧力室５３に圧力を供給してダイアフ
ラム５２およびこのダイアフラム５２に接続したロッド
５４を含む作動部を作動させるとともに、復帰ばね５５
のばね力によって前記作動部を復帰動させるダイアフラ
ムアクチュエータが知られており、このアクチュエータ
は例えば、以下のように吸気制御弁（バタフライバル
ブ）を開閉させるものとして使用されている。

【０００３】すなわち、図示した初動姿勢から圧力室５
３に作動圧力として負圧が供給されると、ダイアフラム
５２およびロッド５４を含む作動部が図上右方向へ作動
し、ロッド５４の先端部に回転自在に接続されたレバー
５６が吸気制御弁のシャフト５７を中心としてこのシャ
フト５７と共に右回りに回転する。レバー５６およびシ
ャフト５７が右回りに回転すると、シャフト５７に固定
された弁体５８が吸気流路５９内で同じく右回りに回転
し、これによって吸気流路５９が閉じられる。弁体５８
が回り過ぎて吸気流路５９の内面に対して噛ることがな
いように、レバー５６、シャフト５７および弁体５８の
右回りの回転は、レバー５６の突起５６ａがストッパピ
ン６０に当接した時点で停止せしめられる。

【０００４】次いでこの閉弁状態から、圧力室５３内の
負圧が外部へ排出されると、復帰ばね５５のばね力によ
って作動部が左方向へ作動し、レバー５６およびシャフ
ト５７が左回りに回転する。レバー５６およびシャフト
５７が左回りに回転すると、弁体５８が同じく左回りに
回転し、これによって吸気流路５９が開かれる。弁体５
８が回り過ぎることがないよう、レバー５６、シャフト
５７および弁体５８の左回りの回転は、レバー５６の突
起５６ｂがストッパピン６０に当接した時点で停止せし
められる。

【０００５】このように上記構成のダイアフラムアクチ
ュエータは吸気制御弁（バタフライバルブ）を開閉させ
る駆動源として使用されるが、このアクチュエータにお
いては、ダイアフラム５２およびロッド５４を含む作動
部の作動を途中で一旦止めることができないために、作
動部の作動に関して一段式（一段階式）のストロークし
か得られない問題がある（吸気制御弁で言えば、全開お
よび全閉状態は実現できるが、半開状態を実現すること
ができない）。

【０００６】この問題に対処するため、本願出願人は先
に、実公平６−６２４８号公報に掲載された二段式アク
チュエータを提案している。しかしながらこのアクチュ
エータにおいては、ハウジングの内部にダイアフラムが
二つ設けられていて、一段目の作動時にこの二つのダイ
アフラムが同時に作動するために、この一段目の作動特
性におけるヒステリシスが大きい問題がある。

【０００７】また特公昭５７−４０９４９号公報に掲載
された負圧サーボモータによると、サーボモータを作動
させるために負圧源とサーボモータの間にサーボモータ
の圧力調整のためのリーク穴を設けたバルブを設置する
必要がある。したがってこの負圧サーボモータにおいて
は、構造が複雑であるとともに二つのダイアフラム（二
つのダイアフラム室）を作動させ、またリーク穴からの
負圧の消費もあるために、負圧を絶えず発生するような
エンジンの運転条件以外では使用に適さない問題があ
る。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明は以上の点に鑑
み、ダイアフラムおよびロッドを含む作動部の作動を途
中で一旦止めることが可能であって二段式（二段階式）
のストローク作動を実現することができ、しかも一段目
の作動特性におけるヒステリシスが比較的小さく、特殊
なバルブを必要としないとともに比較的小さな負圧で作
動可能なダイアフラムアクチュエータを提供することを
目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のダイアフラムアクチュエータは、ハウジン
グの内部にダイアフラムを架設して圧力室を形成し、前
記圧力室に圧力を供給して前記ダイアフラムおよび前記
ダイアフラムに接続したロッドを含む作動部を作動させ
るダイアフラムアクチュエータにおいて、前記圧力室の
内部に軸方向に移動可能に配置されたスプリングガイド
と、前記ダイアフラムと前記スプリングガイドの間に配
置された第一のばねと、前記スプリングガイドと前記圧
力室の内壁の間に配置され、前記第一のばねとは異なる
大きさのばね力を設定された第二のばねと、前記スプリ
ングガイドに設けられ、前記二つのばねのうち早く縮む
方のばねが縮んだときに前記圧力室の内壁または前記作
動部に当接して前記スプリングガイド、第一のばねおよ
び作動部の移動または前記作動部の移動を停止させるス
トッパ部と、を備えていることにした。

【００１０】

【作用】上記構成を備えた本発明のダイアフラムアクチ
ュエータにおいては、圧力室内にばね力の大きさを互い
に異にした二つのばねが配置されているために、圧力室
に供給される負圧が徐々に大きくなるのにしたがって
（負圧の絶対値が徐々に大きくなるのにしたがって）、
ばね力の小さい方のばねが先に縮み、ばね力の大きい方
のばねが後から縮む。したがって二つのばね双方が伸び
ている状態と、双方が縮んでいる状態との間に、一方の
ばねが伸びているとともに他方のばねが縮んでいるとい
う中間的な状態が実現されるために、これによって二段
式のストローク作動を実現することが可能である。また
上記構成のダイアフラムアクチュエータによれば、ダイ
アフラムが一つであり、特殊なバルブが不要であり、比
較的小さな負圧で作動が可能である。

【００１１】

【発明の実施の形態】ダイアフラムとスプリングガイド
の間に配置される第一のばねと、スプリングガイドと圧
力室の内壁の間に配置される第二のばねとのばね力の大
小関係には、前者の方が大きい場合と、後者の方が大き
い場合とがあり、それぞれにおいて本発明は以下のよう
に具体化される。

【００１２】 第一のばねの方がばね力が大きい場合 ハウジングの内部にダイアフラムを架設して圧力室を形
成し、この圧力室に圧力を供給してダイアフラムおよび
このダイアフラムに接続したロッドを含む作動部を作動
させるダイアフラムアクチュエータにおいて、圧力室の
内部に軸方向に移動可能に配置されたスプリングガイド
と、ダイアフラムとスプリングガイドの間に配置された
第一のばねと、スプリングガイドと圧力室の内壁の間に
配置され、第一のばねよりばね力を小さく設定された第
二のばねと、スプリングガイドに設けられ、第二のばね
が先に縮んだときに圧力室の内壁に当接してスプリング
ガイド、第一のばねおよび作動部の移動を停止させるス
トッパ部と、が備えられている。

【００１３】 第二のばねの方がばね力が大きい場合 ハウジングの内部にダイアフラムを架設して圧力室を形
成し、この圧力室に圧力を供給してダイアフラムおよび
このダイアフラムに接続したロッドを含む作動部を作動
させるダイアフラムアクチュエータにおいて、圧力室の
内部に軸方向に移動可能に配置されたスプリングガイド
と、ダイアフラムとスプリングガイドの間に配置された
第一のばねと、スプリングガイドと圧力室の内壁の間に
配置され、第一のばねよりばね力を大きく設定された第
二のばねと、スプリングガイドに設けられ、第一のばね
が先に縮んだときに作動部に当接してこの作動部の移動
を停止させるストッパ部と、が備えられている。

【００１４】

【実施例】つぎに本発明の実施例を図面にしたがって説
明する。

【００１５】第一実施例・・・図１に示すように、ハウ
ジング１を形成したボディ２とロアーカップ３の間にゴ
ム状弾性材製のダイアフラム７の周縁部が気密的に挟持
されていて、このダイアフラム７の図上右側に圧力室８
が形成されている。ハウジング１はボディ２およびロア
ーカップ３の他に、ボディ２の後端部に気密的に嵌着さ
れたアッパーカップ４を備えており、このアッパーカッ
プ４にセットスクリュー５が進退自在に装着され、ボデ
ィ２に圧力ポートとしてニップル６が取り付けられてい
る。ダイアフラム７の中央可撓部がダイアフラムリテー
ナ９およびスプリングリテーナ１０に挟持され、ここに
ロッド１１の基端部が接続され、これらによって作動部
が構成されている。ロッド１１はロアーカップ３に設け
られた孔３ａからハウジング１の外部に突出しており、
その先端部にナイロングロメット１２が取り付けられて
いる。符号１３は、ハウジング１の外側においてロアー
カップ３に固定されたブラケットである。

【００１６】圧力室８の内部において、スプリングリテ
ーナ１０の内側にセンターフック１４が嵌着されてい
る。このセンターフック１４は筒状部１４ａを備えてお
り、この筒状部１４ａの基端側に外周側へ張り出したば
ね座１４ｂが設けられ、先端側に内周側へ張り出したフ
ランジ部１４ｃが設けられている。

【００１７】圧力室８の内部に、略円盤形を呈するスプ
リングガイド１５が軸方向（図上左右方向）に移動自在
に配置されており、センターフック１４のばね座１４ｂ
とこのスプリングガイド１５に設けられた前側ばね座１
５ａとの間にコイル状の第一のばね１６が介装され、同
じくこのスプリングガイド１５に設けられた後側ばね座
１５ｂとアッパーカップ４に設けられたばね座４ａとの
間にコイル状の第二のばね１７が介装されている。第一
のばね１６と第二のばね１７とは、径寸法は互いに略同
じであるが、第一のばね１６の方が第二のばね１７より
ばね力が大きく設定されている（第一のばね１６の方が
硬い）。

【００１８】スプリングガイド１５の中央に透孔１５ｃ
が設けられており、この透孔１５ｃに図上左側からアッ
パーロッド１８が差し込まれている。このアッパーロッ
ド１８は、図上左側から、頭部１８ａ、第一の鍔部１８
ｂ、ロッド本体１８ｃ、第二の鍔部１８ｄ、雄ねじ部１
８ｅおよびストッパ部１８ｆを一体に備えており、第二
の鍔部１８ｄと平座金１９とでスプリングガイド１５を
挾んで雄ねじ部１８ｅに六角ナット２０をねじ込むこと
によって、このアッパーロッド１８がスプリングガイド
１５に固定されている。頭部１８ａは六角ナット２０を
締め込むための六面取り部であって、この頭部１８ａお
よび第一の鍔部１８ｂはセンターフック１４のフランジ
部１４ｃの図上左側に位置している。第一の鍔部１８ｂ
の外径寸法はフランジ部１４ｃの内径寸法より大きく設
定されており、これによって第一のばね１６がセンター
フック１４とスプリングガイド１５との間隔を押し広げ
ようとしても、第一の鍔部１８ｂとフランジ部１４ｃと
が図示したように互いに係合した時点で、間隔はそれ以
上に広がらないようになっている（間隔が縮小すること
は可）。

【００１９】上記構成を備えたダイアフラムアクチュエ
ータを吸気制御弁（バタフライバルブ）を開閉させる駆
動源として使用する場合には、図示したように、ロッド
１１の先端部をレバー５６に回転自在に接続する。図示
した初動姿勢において、レバー５６、シャフト５７およ
び弁体５８を備えた吸気制御弁は全開状態であり、当該
アクチュエータの圧力室８は大気圧状態である。またこ
の初動姿勢は、図４の作動グラフ図において、Ａ点に相
当する。

【００２０】図１の初動姿勢から圧力室８に作動圧力と
して負圧が供給されて、この負圧の大きさが所定値に達
すると、図２に示すように、先ず、ばね力の小さい方の
第二のばね１７が縮んで、スプリングガイド１５、アッ
パーロッド１８、第一のばね１６、センターフック１
４、スプリングリテーナ１０、ダイアフラム７、ダイア
フラムリテーナ９およびロッド１１が相互の位置関係を
変更することなく、図上右方向へ作動し、アッパーロッ
ド１８のストッパ部１８ｆが圧力室８の内壁の一部を形
成したセットスクリュー５の先端面に当接した時点で、
この作動が停止する。作動中、レバー５６がロッド１１
に引っ張られてシャフト５７を中心としてこのシャフト
５７と共に右回りに回転し、これに伴って弁体５８が吸
気流路５９内で同じく右回りに回転し、半開状態となっ
たところで停止する（図４の作動グラフ図において、Ａ
点→Ｂ点→Ｃ点）。以上が一段目のストローク動作であ
る。尚、この一段目のストローク動作の終了時点（終了
位置）は、セットスクリュー５によって微調整が可能で
ある。

【００２１】次いで、圧力室８内の負圧の大きさが更に
大きくなって別の所定値に達すると、図３に示すよう
に、今度は、ばね力の大きい方の第一のばね１６が縮ん
で、センターフック１４、スプリングリテーナ１０、ダ
イアフラム７、ダイアフラムリテーナ９およびロッド１
１よりなる作動部が各部品の位置関係を変更することな
く、更に右方向へ作動する。作動中、レバー５６が更に
ロッド１１に引っ張られてシャフト５７を中心としてこ
のシャフト５７と共に右回りに回転し、これに伴って弁
体５８が吸気流路５９内で同じく右回りに回転し、レバ
ー５６の突起５６ａがストッパピン６０に当接した時点
で、回転が停止するとともにセンターフック１４等の作
動が停止して、全閉状態が実現される（図４の作動グラ
フ図において、Ｃ点→Ｄ点→Ｅ点）。以上が二段目のス
トローク動作である。尚、ストッパピン６０が無くてセ
ンターフック１４等が右方向へ作動し続ければ、この作
動は、センターフック１４がスプリングガイド１５に当
接した時点で停止することになる。

【００２２】したがって以上に説明したように、上記構
成のダイアフラムアクチュエータによれば、ダイアフラ
ム７およびロッド１１を含む作動部の作動を途中で一旦
止めることが可能であり、これによって二段式のストロ
ーク作動を実現することができる。尚、圧力室８に供給
した負圧をハウジング１の外部へ排出し始めると、この
ときは第一のばね１６が先に伸び始める。

【００２３】また上記公報に記載された従来技術との比
較の上でも、以下の効果を奏する。すなわち、先ず第一
に、圧力室８内にダイアフラム７が一つしか設けられて
いないために、一段目の作動特性におけるヒステリシス
ｈ（図４参照）を比較的小さくすることができる。また
特殊なバルブを必要としないとともに、一つのダイアフ
ラム７を作動させれば良く、負圧消費が少ないことか
ら、比較的小さな負圧で作動可能である。

【００２４】また上記構成のダイアフラムアクチュエー
タは、以下のように構成を変更しても良い。 ボディ２、ニップル６およびアッパーカップ４を、
ガラス入りナイロンまたはＰＢＴ等の樹脂材で一体化す
ることにして、アクチュエータ全体をコンパクト化す
る。 ボディ２およびアッパーカップ４をＳＰＣで一体化
することにして、アクチュエータ全体をコンパクト化す
る。 本発明の第二実施例として図５に示すように、第一
のばね１６の径を比較的大きく、第二のばね１７の径を
比較的小さく設定するとともに第一のばね１６の内側に
第二のばね１７の一部を納め、これらに合うように各ば
ね座の形状を変更することにして、アクチュエータ全体
をコンパクト化し、特にアクチュエータの高さ（図上左
右方向の長さ）を小さくする。径寸法の大小関係は反対
であっても良い。 アッパーロッド１８のロッド本体１８ｃの外径寸法
と第二の鍔部１８ｄの外径寸法とを同じにして、アッパ
ーロッド１８の加工工数を減少させる（換言すると、第
二の鍔部１８ｄを省略して、その分、ロッド本体１８ｃ
を延長することになる）。

【００２５】第三実施例・・・図６に示すように、ハウ
ジング１を形成したロアーカップ３とアッパーカップ４
の間にゴム状弾性材製のダイアフラム７の周縁部が気密
的に挟持されていて、このダイアフラム７の図上右側に
圧力室８が形成されており、アッパーカップ４に、上記
第一実施例におけるセットスクリュー５およびニップル
６に代わるストッパ突起４ｂおよび圧力ポート４ｃが一
体成形されている。ダイアフラム７の中央可撓部がダイ
アフラムリテーナ９およびスプリングリテーナ１０に挟
持され、ここにロッド１１の基端部が接続され、これら
によって作動部が構成されている。ロッド１１はロアー
カップ３に設けられた孔３ａからハウジング１の外部に
突出しており、その先端部にナイロングロメット１２が
取り付けられている。

【００２６】圧力室８の内部において、スプリングリテ
ーナ１０の内側にセンターフック１４が嵌着されてい
る。このセンターフック１４は筒状部１４ａを備えてお
り、この筒状部１４ａの基端側に外周側へ張り出したば
ね座１４ｂが設けられ、先端側に内周側へ張り出したフ
ランジ部１４ｃが設けられている。

【００２７】圧力室８の内部に、略円盤形を呈するスプ
リングガイド１５が軸方向（図上左右方向）に移動自在
に配置されており、センターフック１４のばね座１４ｂ
とこのスプリングガイド１５に設けられた前側ばね座１
５ａとの間にコイル状の第一のばね１６が介装され、同
じくこのスプリングガイド１５に設けられた後側ばね座
１５ｂとアッパーカップ４に設けられたばね座４ａとの
間にコイル状の第二のばね１７が介装され、第一のばね
１６の方が第二のばね１７よりばね力が大きく設定され
ている（第一のばね１６の方が硬い）。またこの第一の
ばね１６と第二のばね１７とは、第一のばね１６の径が
比較的大きく、第二のばね１７の径が比較的小さく設定
されていて、第一のばね１６の図上右端部と第二のばね
１７の図上左端部とが互いに軸方向に重なり合うように
配置され、またスプリングガイド１５の断面形状がこれ
を可能とするように段付きに成形されており、これによ
ってアクチュエータ全体がコンパクト化され、特にアク
チュエータの高さ（図上左右方向の長さ）が小さくなる
ように構成されている。

【００２８】スプリングガイド１５の中央に透孔１５ｃ
が設けられており、この透孔１５ｃに図上右側からアッ
パーロッド１８が差し込まれている。このアッパーロッ
ド１８は、図上右側から、ストッパ部１８ｆ、ロッド本
体１８ｃおよび頭部１８ａを一体に備えており、ストッ
パ部１８ｆの外径寸法が透孔１５ｃの径寸法より大きい
ことにより、スプリングガイド１５がアッパーロッド１
８の右側へ抜け出ることがないようになっている。また
ロッド本体１８ｃがセンターフック１４のフランジ部１
４ｃの内周側に摺動自在に差し込まれ、フランジ部１４
ｃの左側においてアッパーロッド１８に平座金２２が取
り付けられている。平座金２２は、この平座金２２を頭
部１８ａに差し込んでから頭部１８ａの先端部をカシメ
る（潰す）ことにより、アッパーロッド１８に固定され
ている。平座金２２の外径寸法はフランジ部１４ｃの内
径寸法より大きく設定されており、これによって第一の
ばね１６がセンターフック１４とスプリングガイド１５
との間隔を押し広げようとしても、平座金２２とフラン
ジ部１４ｃとが図示したように互いに係合した時点で、
間隔はそれ以上に広がらないようになっている（間隔が
縮小することは可）。

【００２９】上記構成を備えたダイアフラムアクチュエ
ータは、上記第一実施例に係るダイアフラムアクチュエ
ータと同様、図７または図８に示すように、ダイアフラ
ム７およびロッド１１を含む作動部の作動を途中で一旦
止めることが可能であって二段式のストローク作動を実
現することができ、しかも一段目の作動特性におけるヒ
ステリシスｈが比較的小さく、特殊なバルブを必要とし
ないとともに比較的小さな負圧で作動可能である特徴を
有しており、またその構成から、以下の特有の効果を奏
することが可能である。

【００３０】 ハウジング１がロアーカップ３および
アッパーカップ４の二部材によって形成されており、し
かもアッパーカップ４にストッパ突起４ｂおよび圧力ポ
ート４ｃが一体成形されているために、ハウジング１の
部品点数が少なく、その形状が簡単であり、その製造が
容易である。 アッパーロッド１８が頭部１８ａ、ロッド本体１８
ｃおよびストッパ部１８ｆよりなるものであって、上記
第一実施例のように第二の鍔部１８ｄおよび雄ねじ部１
８ｅを備えていないために、その形状が簡単であり、そ
の製造が容易である。またこのアッパーロッド１８をス
プリングガイド１５に直接差込み固定するようにしたた
めに、固定構造が簡単である。

【００３１】また上記構成のダイアフラムアクチュエー
タは、以下のように構成を変更しても良い。すなわち、
本発明の第四実施例として図９に示すように、アッパー
カップ４の内部に設けたストッパ突起４ｂの端面部にゴ
ム状弾性材製の緩衝部材２１を取り付け、この緩衝部材
２１に対してアッパーロッド１８のストッパ部１８ｆを
当接させる。これにより当接時に発生する衝撃を吸収
し、アッパーカップ４ないしアッパーロッド１８の耐久
性を向上させることができる。また当接時に発生する衝
接音（異音）が低減されるため、当該アクチュエータが
自動車のエンジンに用いられる場合に、乗り心地を向上
させることができる。

【００３２】

【発明の効果】本発明は、以下の効果を奏する。

【００３３】すなわち、ダイアフラムと圧力室の内壁と
の間に、スプリングガイドを真ん中に挾んでばね力の大
きさを互いに異にした二つのばねが配置されていて、こ
の二つのばねが順次縮むように構成されているために、
ダイアフラムおよびロッドを含む作動部の作動を途中で
一旦止めることができ、これによって二段式のストロー
ク作動を実現することができる。また圧力室内にダイア
フラムが一つしか設けられていないために、一段目の作
動特性におけるヒステリシスを小さくすることができ
る。また特殊なバルブを必要としないとともに、一つの
ダイアフラムを作動させれば良く、負圧消費が少ないこ
とから、小さな負圧で作動可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一実施例に係るダイアフラムアクチ
ュエータの断面図

【図２】同ダイアフラムアクチュエータの作動状態を示
す断面図

【図３】同ダイアフラムアクチュエータの作動状態を示
す断面図

【図４】同ダイアフラムアクチュエータの作動特性を示
すグラフ図

【図５】本発明の第二実施例に係るダイアフラムアクチ
ュエータの断面図

【図６】本発明の第三実施例に係るダイアフラムアクチ
ュエータの断面図

【図７】同ダイアフラムアクチュエータの作動状態を示
す断面図

【図８】同ダイアフラムアクチュエータの作動状態を示
す断面図

【図９】本発明の第四実施例に係るダイアフラムアクチ
ュエータの断面図

【図１０】従来例に係るダイアフラムアクチュエータの
断面図

【符号の説明】

１ ハウジング ２ ボディ ３ ロアーカップ ３ａ 孔 ４ アッパーカップ ４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂ ばね座 ４ｂ ストッパ突起 ４ｃ 圧力ポート ５ セットスクリュー ６ ニップル ７ ダイアフラム ８ 圧力室 ９ ダイアフラムリテーナ １０ スプリングリテーナ １１ ロッド １２ ナイロングロメット １３ ブラケット １４ センターフック １４ａ 筒状部 １４ｃ フランジ部 １５ スプリングガイド １５ｃ 透孔 １６ 第一のばね １７ 第二のばね １８ アッパーロッド １８ａ 頭部 １８ｂ，１８ｄ 鍔部 １８ｃ ロッド本体 １８ｅ 雄ねじ部 １８ｆ ストッパ部 １９，２２ 平座金 ２０ 六角ナット ２１ 緩衝部材 ５６ レバー ５６ａ，５６ｂ 突起 ５７ シャフト ５８ 弁体 ５９ 吸気流路 ６０ ストッパピン

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成８年４月９日

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図６

【補正方法】変更

【補正内容】

【図 ６】

【手続補正２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図７

【補正方法】変更

【補正内容】

【図 ７】

【手続補正３】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図８

【補正方法】変更

【補正内容】

【図 ８】

【手続補正４】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図９

【補正方法】変更

【補正内容】

【図 ９】

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ハウジング（１）の内部にダイアフラム
   （７）を架設して圧力室（８）を形成し、前記圧力室
   （８）に圧力を供給して前記ダイアフラム（７）および
   前記ダイアフラム（７）に接続したロッド（１１）を含
   む作動部を作動させるダイアフラムアクチュエータにお
   いて、 前記圧力室（８）の内部に軸方向に移動可能に配置され
   たスプリングガイド（１５）と、前記ダイアフラム
   （７）と前記スプリングガイド（１５）の間に配置され
   た第一のばね（１６）と、前記スプリングガイド（１
   ５）と前記圧力室（８）の内壁の間に配置され、前記第
   一のばね（１６）とは異なる大きさのばね力を設定され
   た第二のばね（１７）と、前記スプリングガイド（１
   ５）に設けられ、前記二つのばね（１６）（１７）のう
   ち早く縮む方のばね（１７）が縮んだときに前記圧力室
   （８）の内壁または前記作動部に当接して前記スプリン
   グガイド（１５）、第一のばね（１６）および作動部の
   移動または前記作動部の移動を停止させるストッパ部
   （１８ｆ）と、を備えていることを特徴とするダイアフ
   ラムアクチュエータ。