JPH09174861A - インクジェットプリンタヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットプリンタヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH09174861A JPH09174861A JP34264995A JP34264995A JPH09174861A JP H09174861 A JPH09174861 A JP H09174861A JP 34264995 A JP34264995 A JP 34264995A JP 34264995 A JP34264995 A JP 34264995A JP H09174861 A JPH09174861 A JP H09174861A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive
- substrate
- viscosity
- top plate
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/10—Finger type piezoelectric elements
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板と天板とを接着する接着剤が、基板に形
成した溝に流れ込まないようにする。 【解決手段】 多数の溝８と側壁９とを形成した基板２
に天板３を接着する際に、基板２の接着面又は天板３の
接着面のいずれか一方に高粘度接着剤１７を薄く均一に
塗布し、基板２の接着面と天板３の接着面とを高粘度接
着剤１７を介在させて接合させた後に、恒温加圧装置内
に入れて高圧雰囲気下で高粘度接着剤１７を硬化させ
る。溝８内を含めた恒温加圧装置内の全体が高圧状態で
あるため、高粘度接着剤１７は、硬化時の発熱や硬化さ
せるための加熱によって一時的に粘度が低下しても流動
しにくく、溝８内への流れ込みを防止でき、流れ込んだ
高粘度接着剤１７による溝８の詰まりを防止できる。
成した溝に流れ込まないようにする。 【解決手段】 多数の溝８と側壁９とを形成した基板２
に天板３を接着する際に、基板２の接着面又は天板３の
接着面のいずれか一方に高粘度接着剤１７を薄く均一に
塗布し、基板２の接着面と天板３の接着面とを高粘度接
着剤１７を介在させて接合させた後に、恒温加圧装置内
に入れて高圧雰囲気下で高粘度接着剤１７を硬化させ
る。溝８内を含めた恒温加圧装置内の全体が高圧状態で
あるため、高粘度接着剤１７は、硬化時の発熱や硬化さ
せるための加熱によって一時的に粘度が低下しても流動
しにくく、溝８内への流れ込みを防止でき、流れ込んだ
高粘度接着剤１７による溝８の詰まりを防止できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、オンデマンド方式
のインクジェットプリンタヘッドの製造方法に関する。
のインクジェットプリンタヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、インク供給部に接続して並設した
多数の圧力室の先端にインク吐出口を有するノズル板を
固定し、印字指令に応じて圧力室内のインク圧を選択的
に高めてインク吐出口からインク滴として吐出させるよ
うにしたオンデマンド方式のインクジェットプリンタヘ
ッドが知られている。
多数の圧力室の先端にインク吐出口を有するノズル板を
固定し、印字指令に応じて圧力室内のインク圧を選択的
に高めてインク吐出口からインク滴として吐出させるよ
うにしたオンデマンド方式のインクジェットプリンタヘ
ッドが知られている。
【０００３】このようなインクジェットプリンタヘッド
の製造方法としては、少なくとも一部を圧電部材で形成
した基板に多数の溝を溝加工し、この基板に天板を接着
剤で接着する方法が知られている。しかし、溝が非常に
微細であるため、基板と天板とを接着する接着剤が溝内
に入り込むことにより溝が目詰まりし、インク滴の吐出
性能が低下するという欠点がある。
の製造方法としては、少なくとも一部を圧電部材で形成
した基板に多数の溝を溝加工し、この基板に天板を接着
剤で接着する方法が知られている。しかし、溝が非常に
微細であるため、基板と天板とを接着する接着剤が溝内
に入り込むことにより溝が目詰まりし、インク滴の吐出
性能が低下するという欠点がある。
【０００４】このような欠点を解決したインクジェット
プリンタヘッドの製造方法としては、特公昭６０−５２
９５１号公報に開示されたように、低粘度接着剤を平面
板上にゴムローラで均一に展延させ、溝を形成した基板
を平面板上に展延させた接着剤に押し付けてその接着剤
を基板に転写し、転写した接着剤を介して基板と天板と
を接合させて接着したものがある。
プリンタヘッドの製造方法としては、特公昭６０−５２
９５１号公報に開示されたように、低粘度接着剤を平面
板上にゴムローラで均一に展延させ、溝を形成した基板
を平面板上に展延させた接着剤に押し付けてその接着剤
を基板に転写し、転写した接着剤を介して基板と天板と
を接合させて接着したものがある。
【０００５】また、接着剤で２以上の部材を接着する方
法の一つに、オートクレーブと呼ばれる恒温加圧装置を
使用する方法があり、例えば、特開昭５７−１３９７２
０号公報、特開昭６２−２３１９２８号公報等に開示さ
れている。
法の一つに、オートクレーブと呼ばれる恒温加圧装置を
使用する方法があり、例えば、特開昭５７−１３９７２
０号公報、特開昭６２−２３１９２８号公報等に開示さ
れている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】特公昭６０−５２９５
１号公報に開示された製造法によれば、平面板上にゴム
ローラで接着剤を薄く均一に展延させるために低粘度接
着剤を用いているので、接合直後に毛管力により接着剤
が溝のエッジ等に入り込むという問題が十分に解決され
ていない。また、接着剤が硬化する時の発熱、又は、接
着剤を硬化させるための加熱により接着剤の粘度が一時
的に低下し、粘度が低下した接着剤が溝の中に流れ込む
という問題がある。
１号公報に開示された製造法によれば、平面板上にゴム
ローラで接着剤を薄く均一に展延させるために低粘度接
着剤を用いているので、接合直後に毛管力により接着剤
が溝のエッジ等に入り込むという問題が十分に解決され
ていない。また、接着剤が硬化する時の発熱、又は、接
着剤を硬化させるための加熱により接着剤の粘度が一時
的に低下し、粘度が低下した接着剤が溝の中に流れ込む
という問題がある。
【０００７】恒温加圧装置を用いる接着方法について
は、加圧により接着剤の中の気泡を消失させたり、加圧
による部材の破損を防止したり、部材の全体に対して均
等に加圧して部材間のギャップを均一にするものであ
る。従って、恒温加圧装置は、２部材を接着する接着剤
が微細構造の溝などに入り込むことを防止するという使
い方はされていない。
は、加圧により接着剤の中の気泡を消失させたり、加圧
による部材の破損を防止したり、部材の全体に対して均
等に加圧して部材間のギャップを均一にするものであ
る。従って、恒温加圧装置は、２部材を接着する接着剤
が微細構造の溝などに入り込むことを防止するという使
い方はされていない。
【０００８】そこで、請求項１記載の発明は、基板と天
板とを接着する高粘度接着剤が、硬化時の発熱や加熱に
よって一時的に粘度が低下しても、その高粘度接着剤が
基板に形成した溝内に流れ込んで溝を詰まらせたり溝の
流路面積を狭めることを防止できるインクジェットプリ
ンタヘッドの製造方法を提供する。
板とを接着する高粘度接着剤が、硬化時の発熱や加熱に
よって一時的に粘度が低下しても、その高粘度接着剤が
基板に形成した溝内に流れ込んで溝を詰まらせたり溝の
流路面積を狭めることを防止できるインクジェットプリ
ンタヘッドの製造方法を提供する。
【０００９】請求項２記載の発明は、加熱硬化時に粘度
が急激に低下する熱硬化型エポキシ系接着剤を使用した
場合においても、この加熱硬化型エポキシ系接着剤が基
板に形成した溝内に流れ込んで溝を詰まらせたり溝の流
路面積を狭めることを防止できるインクジェットプリン
タヘッドの製造方法を提供する。
が急激に低下する熱硬化型エポキシ系接着剤を使用した
場合においても、この加熱硬化型エポキシ系接着剤が基
板に形成した溝内に流れ込んで溝を詰まらせたり溝の流
路面積を狭めることを防止できるインクジェットプリン
タヘッドの製造方法を提供する。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
板厚方向に分極させた少なくとも１枚の圧電部材を含む
基板と、この基板に交互に形成した少なくとも一部が前
記圧電部材からなる多数の側壁と溝と、前記側壁に設け
た電極と、前記溝の上部を覆う天板と前記溝の正面部を
覆うノズル板とを前記基板に接着して形成した多数の圧
力室とを有するインクジェットプリンタヘッドの製造方
法において、前記基板と前記天板とを接着する一方の接
着面に高粘度接着剤を薄く均一に塗布し、前記基板と前
記天板とを高粘度接着剤を介在させて接合させた後に恒
温加圧装置内に入れて高圧雰囲気下で高粘度接着剤を硬
化させたので、基板と天板とを接着する高粘度接着剤は
硬化時の発熱や硬化させるための加熱によって一時的に
粘度が低下するが、溝内を含めた恒温加圧装置内が高圧
状態であるため、高粘度接着剤は粘度が低下しても流動
しにくく、溝内への流れ込みが起こらず、流れ込んだ高
粘度接着剤が溝を詰まらせたり溝の流路面積を狭めるこ
とを防止できる。
板厚方向に分極させた少なくとも１枚の圧電部材を含む
基板と、この基板に交互に形成した少なくとも一部が前
記圧電部材からなる多数の側壁と溝と、前記側壁に設け
た電極と、前記溝の上部を覆う天板と前記溝の正面部を
覆うノズル板とを前記基板に接着して形成した多数の圧
力室とを有するインクジェットプリンタヘッドの製造方
法において、前記基板と前記天板とを接着する一方の接
着面に高粘度接着剤を薄く均一に塗布し、前記基板と前
記天板とを高粘度接着剤を介在させて接合させた後に恒
温加圧装置内に入れて高圧雰囲気下で高粘度接着剤を硬
化させたので、基板と天板とを接着する高粘度接着剤は
硬化時の発熱や硬化させるための加熱によって一時的に
粘度が低下するが、溝内を含めた恒温加圧装置内が高圧
状態であるため、高粘度接着剤は粘度が低下しても流動
しにくく、溝内への流れ込みが起こらず、流れ込んだ高
粘度接着剤が溝を詰まらせたり溝の流路面積を狭めるこ
とを防止できる。
【００１１】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、高粘度接着剤を熱硬化型エポキシ系接着剤
としたので、加熱硬化型エポキシ系接着剤は加熱硬化時
に粘度が急激に低下するが、その場合であっても、この
加熱硬化型エポキシ系接着剤が基板に形成した溝内に流
れ込んで溝を詰まらせたり溝の流路面積を狭めることを
防止できる。
明において、高粘度接着剤を熱硬化型エポキシ系接着剤
としたので、加熱硬化型エポキシ系接着剤は加熱硬化時
に粘度が急激に低下するが、その場合であっても、この
加熱硬化型エポキシ系接着剤が基板に形成した溝内に流
れ込んで溝を詰まらせたり溝の流路面積を狭めることを
防止できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の第一の実施の形態を図１
ないし図５に基づいて説明する。インクジェットプリン
タヘッド１は図１に示すように、基板２に対して天板３
とノズル板４とを接着することにより形成している。
ないし図５に基づいて説明する。インクジェットプリン
タヘッド１は図１に示すように、基板２に対して天板３
とノズル板４とを接着することにより形成している。
【００１３】前記基板２は、それぞれ平板状の底板５と
圧電部材６，７とを接着して３層構造に形成する。前記
底板５は、剛性が高く熱変形の少ないセラミックスやガ
ラスを材料として形成し、前記圧電部材６，７は、板厚
方向に分極したものをその分極方向が逆向きとなるよう
に接着する。
圧電部材６，７とを接着して３層構造に形成する。前記
底板５は、剛性が高く熱変形の少ないセラミックスやガ
ラスを材料として形成し、前記圧電部材６，７は、板厚
方向に分極したものをその分極方向が逆向きとなるよう
に接着する。
【００１４】前記基板２に対してダイシングで溝加工す
ることにより、圧電部材７の上面から圧電部材６の内部
に達する互いに平行な多数の溝８と、これらの溝８を隔
てる多数の側壁９とを交互に形成する。この溝８の寸法
はインクジェットプリンタヘッド１の仕様により異なる
が、深さ寸法を、上部の圧電部材７の厚さ寸法の約２倍
の深さとなる０．２〜１ｍｍ、幅寸法を２０〜２００μ
ｍ、長さ寸法を５〜５０ｍｍとする。
ることにより、圧電部材７の上面から圧電部材６の内部
に達する互いに平行な多数の溝８と、これらの溝８を隔
てる多数の側壁９とを交互に形成する。この溝８の寸法
はインクジェットプリンタヘッド１の仕様により異なる
が、深さ寸法を、上部の圧電部材７の厚さ寸法の約２倍
の深さとなる０．２〜１ｍｍ、幅寸法を２０〜２００μ
ｍ、長さ寸法を５〜５０ｍｍとする。
【００１５】基板２に前記溝８と前記側壁９とを形成し
た後、無電解メッキ処理を施すことにより、側壁９の側
面に電極１０を形成し、及び、圧電部材７の上面にこれ
らの電極１０と連続する配線パターン１１を形成する。
さらに、この基板２を用いてインクジェットプリンタヘ
ッド１を完成させたときに、電極１０がインクと接触す
ることを防止するために、電極１０の上に絶縁膜１２を
被覆する。
た後、無電解メッキ処理を施すことにより、側壁９の側
面に電極１０を形成し、及び、圧電部材７の上面にこれ
らの電極１０と連続する配線パターン１１を形成する。
さらに、この基板２を用いてインクジェットプリンタヘ
ッド１を完成させたときに、電極１０がインクと接触す
ることを防止するために、電極１０の上に絶縁膜１２を
被覆する。
【００１６】このようにして溝８や側壁９、及び、電極
１０や配線パターン１１を形成した基板２に対し、溝８
の上部を覆うように前記天板３を接着し、及び、溝８の
正面部を覆うように前記ノズル板４を接着し、各溝８を
これらの天板３とノズル板４とで囲むことにより多数の
圧力室１３を形成する。前記ノズル板４には、各圧力室
１３に連通する多数のインク吐出口１４を形成し、前記
天板３の下面には、各圧力室１３に連通するとともにこ
れらの圧力室１３にインクを供給するためのインク供給
管（図示せず）を接続するインク供給路１５を形成す
る。
１０や配線パターン１１を形成した基板２に対し、溝８
の上部を覆うように前記天板３を接着し、及び、溝８の
正面部を覆うように前記ノズル板４を接着し、各溝８を
これらの天板３とノズル板４とで囲むことにより多数の
圧力室１３を形成する。前記ノズル板４には、各圧力室
１３に連通する多数のインク吐出口１４を形成し、前記
天板３の下面には、各圧力室１３に連通するとともにこ
れらの圧力室１３にインクを供給するためのインク供給
管（図示せず）を接続するインク供給路１５を形成す
る。
【００１７】ここで、前記基板２と前記天板３との接着
工程を説明する。可撓性を有するＰＥＴ（ポリエチレン
テレフタレート）フィルム１６の一方の面に高粘度接着
剤１７を薄く均一に塗布する。この高粘度接着剤１７と
しては、例えば、粘度が約８００００ｃｐｓである住友
スリーエム社製の二液性常温硬化型のＤＰ−４６０（商
品名）を使用し、この高粘度接着剤１７に溶剤として同
重量のトルエンを混合して希釈化し、粘度が数十〜百数
十ｃｐｓの混合液とする。この混合液をＰＥＴフィルム
１６上にスピンコート、ロールコート、ディップ等のコ
ーティング法で塗布し、塗布後にしばらく乾燥させてト
ルエンを揮発させ、ＰＥＴフィルム１６上に高粘度に戻
した接着剤を残留させる。スピンコートの場合には、回
転数を１０００〜５０００ｒｐｍとすることにより、高
粘度接着剤１７を１〜２０μｍの厚さに塗布することが
できる。
工程を説明する。可撓性を有するＰＥＴ（ポリエチレン
テレフタレート）フィルム１６の一方の面に高粘度接着
剤１７を薄く均一に塗布する。この高粘度接着剤１７と
しては、例えば、粘度が約８００００ｃｐｓである住友
スリーエム社製の二液性常温硬化型のＤＰ−４６０（商
品名）を使用し、この高粘度接着剤１７に溶剤として同
重量のトルエンを混合して希釈化し、粘度が数十〜百数
十ｃｐｓの混合液とする。この混合液をＰＥＴフィルム
１６上にスピンコート、ロールコート、ディップ等のコ
ーティング法で塗布し、塗布後にしばらく乾燥させてト
ルエンを揮発させ、ＰＥＴフィルム１６上に高粘度に戻
した接着剤を残留させる。スピンコートの場合には、回
転数を１０００〜５０００ｒｐｍとすることにより、高
粘度接着剤１７を１〜２０μｍの厚さに塗布することが
できる。
【００１８】ＰＥＴフィルム１６に高粘度接着剤１７を
塗布した後、図３に示すように、このＰＥＴフィルム１
６における高粘度接着剤１７を塗布した面を基板２にお
ける天板３との接着面に当接させ、ＰＥＴフィルム１６
の上からゴムローラ１８を押し当てて１〜数回転動さ
せ、高粘度接着剤１７を基板２の接着面に転写する。
塗布した後、図３に示すように、このＰＥＴフィルム１
６における高粘度接着剤１７を塗布した面を基板２にお
ける天板３との接着面に当接させ、ＰＥＴフィルム１６
の上からゴムローラ１８を押し当てて１〜数回転動さ
せ、高粘度接着剤１７を基板２の接着面に転写する。
【００１９】このようにして高粘度接着剤１７を転写し
た基板２の接着面に天板３を接合して図示しない恒温加
圧装置内に入れ、恒温加圧装置を４ｋｇ／ｃｍ2 の高圧
雰囲気に維持し、高粘度接着剤１７を硬化させる。高粘
度接着剤１７としてＤＰ−４６０を使用した場合には、
この高粘度接着剤１７は常温硬化型であるためにそのま
ま加熱せずに放置しても良いが、６５℃で２時間加熱す
れば、完全に硬化させることができる。
た基板２の接着面に天板３を接合して図示しない恒温加
圧装置内に入れ、恒温加圧装置を４ｋｇ／ｃｍ2 の高圧
雰囲気に維持し、高粘度接着剤１７を硬化させる。高粘
度接着剤１７としてＤＰ−４６０を使用した場合には、
この高粘度接着剤１７は常温硬化型であるためにそのま
ま加熱せずに放置しても良いが、６５℃で２時間加熱す
れば、完全に硬化させることができる。
【００２０】基板２と天板３とを接着した後は、接着し
た基板２と天板３との先端側端部をダイシングなどで切
断することによりノズル板４の接着面を形成し、ノズル
板４を接着する。ノズル板４は、周知の電鋳法、エッチ
ング法、レーザ加工法により形成することができ、その
材質は、ノズル板４の接着面に電極１０が露出している
ために絶縁物であることが望ましいが、導電物の場合に
は絶縁膜を設ければ良い。インク吐出口１４の吐出側径
を２０〜１００μｍとし、流体抵抗を考慮して先端部に
向かうにつれて次第に縮径するテーパ状に形成する。
た基板２と天板３との先端側端部をダイシングなどで切
断することによりノズル板４の接着面を形成し、ノズル
板４を接着する。ノズル板４は、周知の電鋳法、エッチ
ング法、レーザ加工法により形成することができ、その
材質は、ノズル板４の接着面に電極１０が露出している
ために絶縁物であることが望ましいが、導電物の場合に
は絶縁膜を設ければ良い。インク吐出口１４の吐出側径
を２０〜１００μｍとし、流体抵抗を考慮して先端部に
向かうにつれて次第に縮径するテーパ状に形成する。
【００２１】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド１では、圧力室１３内にインクを供
給した状態で配線パターン１１を介して電極１０へ電圧
を印加すると、図４に示すように、圧電部材６，７で形
成した側壁９が圧力室１３の容積を大きくする方向へシ
ェアモード変形し、やがて、側壁９が急激に初期位置に
復帰する。そして、側壁９が急激に初期位置に復帰した
際に、圧力室１３内のインクを加圧することによりその
インクの一部がインク吐出口１４からインク滴として吐
出する。
ットプリンタヘッド１では、圧力室１３内にインクを供
給した状態で配線パターン１１を介して電極１０へ電圧
を印加すると、図４に示すように、圧電部材６，７で形
成した側壁９が圧力室１３の容積を大きくする方向へシ
ェアモード変形し、やがて、側壁９が急激に初期位置に
復帰する。そして、側壁９が急激に初期位置に復帰した
際に、圧力室１３内のインクを加圧することによりその
インクの一部がインク吐出口１４からインク滴として吐
出する。
【００２２】つぎに、基板２と天板３とを高粘度接着剤
１７を介在させて接合させた後に恒温加圧装置内に入
れ、高圧雰囲気下で高粘度接着剤１７を硬化させる理由
を図５に基づいて説明する。図５（ａ）は、基板２と天
板３とを高粘度接着剤１７を介在させて接合した直後の
状態である。使用している接着剤が高粘度接着剤１７で
あるため、この時点では、毛管力などによる溝８内への
流れ込み量はほとんどない。図５（ｂ）は常圧雰囲気下
で高粘度接着剤１７を硬化させた状態である。図５
（ａ）に比べると、溝８内へ流れ込んだ高粘度接着剤１
７の量が多くなっている。これは、高粘度接着剤１７が
硬化する過程で発熱したり、又は、加熱されることによ
り粘度が一時的に低下し、粘度が低下したときに流れ込
むためである。
１７を介在させて接合させた後に恒温加圧装置内に入
れ、高圧雰囲気下で高粘度接着剤１７を硬化させる理由
を図５に基づいて説明する。図５（ａ）は、基板２と天
板３とを高粘度接着剤１７を介在させて接合した直後の
状態である。使用している接着剤が高粘度接着剤１７で
あるため、この時点では、毛管力などによる溝８内への
流れ込み量はほとんどない。図５（ｂ）は常圧雰囲気下
で高粘度接着剤１７を硬化させた状態である。図５
（ａ）に比べると、溝８内へ流れ込んだ高粘度接着剤１
７の量が多くなっている。これは、高粘度接着剤１７が
硬化する過程で発熱したり、又は、加熱されることによ
り粘度が一時的に低下し、粘度が低下したときに流れ込
むためである。
【００２３】これに対し、図５（ｃ）は、恒温加圧装置
内に入れて高圧雰囲気下で高粘度接着剤１７を硬化させ
た状態である。図５（ｂ）と比較すると、溝８内への高
粘度接着剤１７の流れ込みはほとんどない。これは、接
合させた状態の基板２と天板３とを高圧雰囲気下におく
ことにより溝８内も高圧状態となり、高粘度接着剤１７
が硬化する過程で一時的に粘度が低下しても流動しにく
く、溝８内に流れ込めないためである。
内に入れて高圧雰囲気下で高粘度接着剤１７を硬化させ
た状態である。図５（ｂ）と比較すると、溝８内への高
粘度接着剤１７の流れ込みはほとんどない。これは、接
合させた状態の基板２と天板３とを高圧雰囲気下におく
ことにより溝８内も高圧状態となり、高粘度接着剤１７
が硬化する過程で一時的に粘度が低下しても流動しにく
く、溝８内に流れ込めないためである。
【００２４】従って、基板２と天板３とを接着する高粘
度接着剤１７を硬化させるときに、高圧雰囲気下で硬化
させることにより、高粘度接着剤１７が硬化する過程で
一時的に粘度が低下しても溝８内に流れ込むということ
を防止でき、流れ込んだ高粘度接着剤１７によって溝８
が詰まったり溝８の流路面積を狭めるということがな
く、インク滴の吐出性能が良好な状態に維持される。高
粘度接着剤１７を硬化させる際の圧力の適正値は、溝８
の大きさや高粘度接着剤１７の種類によって異なるが、
１．５〜１０ｋｇ／ｃｍ2 が適当である。
度接着剤１７を硬化させるときに、高圧雰囲気下で硬化
させることにより、高粘度接着剤１７が硬化する過程で
一時的に粘度が低下しても溝８内に流れ込むということ
を防止でき、流れ込んだ高粘度接着剤１７によって溝８
が詰まったり溝８の流路面積を狭めるということがな
く、インク滴の吐出性能が良好な状態に維持される。高
粘度接着剤１７を硬化させる際の圧力の適正値は、溝８
の大きさや高粘度接着剤１７の種類によって異なるが、
１．５〜１０ｋｇ／ｃｍ2 が適当である。
【００２５】なお、本実施の形態では、高粘度接着剤１
７としてＤＰ−４６０の２液性常温硬化型を使用した
が、２液型の場合には作業時間の制限があるため、１液
加熱硬化型のほうが望ましい場合もある。このような場
合、粘度が２５０００ｃｐｓである田岡化学工業のＡＨ
３０４１Ｗ（商品名）を使用できる。このＡＨ３０４１
Ｗを使用する場合には、重量比３０％程度のトルエンと
混合することにより粘度を数十〜数百ｃｐｓとし、ＤＰ
−４６０と同様な方法でＰＥＴフィルム１６への塗布、
基板２への転写等を行う。
７としてＤＰ−４６０の２液性常温硬化型を使用した
が、２液型の場合には作業時間の制限があるため、１液
加熱硬化型のほうが望ましい場合もある。このような場
合、粘度が２５０００ｃｐｓである田岡化学工業のＡＨ
３０４１Ｗ（商品名）を使用できる。このＡＨ３０４１
Ｗを使用する場合には、重量比３０％程度のトルエンと
混合することにより粘度を数十〜数百ｃｐｓとし、ＤＰ
−４６０と同様な方法でＰＥＴフィルム１６への塗布、
基板２への転写等を行う。
【００２６】このような熱硬化型エポキシ系接着剤は一
般に、温度により急激に粘度が低下し、ＡＨ−３０４１
Ｗの場合には、約６０００ｃｐｓまで低下する。加熱硬
化性であるので、硬化の過程では必ず粘度の低下が起こ
り、急激な粘度低下は接着剤による溝４の詰まりの原因
となる。従って、恒温加圧装置を用いて高圧雰囲気中で
硬化させることにより、熱硬化型エポキシ系接着剤を用
いても接着剤による溝８の詰まりが起こらない。ＡＨ−
３０４１Ｗの場合には、３ｋｇ／ｃｍ2 の高圧雰囲気下
において１２０℃で２時間加熱する。
般に、温度により急激に粘度が低下し、ＡＨ−３０４１
Ｗの場合には、約６０００ｃｐｓまで低下する。加熱硬
化性であるので、硬化の過程では必ず粘度の低下が起こ
り、急激な粘度低下は接着剤による溝４の詰まりの原因
となる。従って、恒温加圧装置を用いて高圧雰囲気中で
硬化させることにより、熱硬化型エポキシ系接着剤を用
いても接着剤による溝８の詰まりが起こらない。ＡＨ−
３０４１Ｗの場合には、３ｋｇ／ｃｍ2 の高圧雰囲気下
において１２０℃で２時間加熱する。
【００２７】つぎに、基板２の接着面に高粘度接着剤１
７を塗布するときに、ＰＥＴフィルム１６を用いた理由
を説明する。転写効率だけを考えた場合には、接着剤の
付着しにくいフッ素樹脂などのほうが良いが、例えば、
テフロンフィルムに塗布する際には接着剤が玉状とな
り、均一に塗布することが困難である。逆に、塗布厚均
一性だけを考慮した場合には、親接着剤性の大きい材料
（例えば、ポリイミドフィルム）に塗布したほうが好ま
しいが、この場合には、フィルム側に残る接着剤が多く
なって転写効率が悪くなり、接着ムラの原因となる。Ｐ
ＥＴ、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＥ（ポリエチレン）
等のオレフィン系樹脂フィルムを用いることにより、転
写効率と塗布厚の均一性とがともに良好になる。
７を塗布するときに、ＰＥＴフィルム１６を用いた理由
を説明する。転写効率だけを考えた場合には、接着剤の
付着しにくいフッ素樹脂などのほうが良いが、例えば、
テフロンフィルムに塗布する際には接着剤が玉状とな
り、均一に塗布することが困難である。逆に、塗布厚均
一性だけを考慮した場合には、親接着剤性の大きい材料
（例えば、ポリイミドフィルム）に塗布したほうが好ま
しいが、この場合には、フィルム側に残る接着剤が多く
なって転写効率が悪くなり、接着ムラの原因となる。Ｐ
ＥＴ、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＥ（ポリエチレン）
等のオレフィン系樹脂フィルムを用いることにより、転
写効率と塗布厚の均一性とがともに良好になる。
【００２８】なお、本実施の形態では、高粘度接着剤１
７をＰＥＴフィルム１６に塗布するためにトルエンなど
の溶剤で希釈した場合を例に挙げて説明したが、希釈せ
ずにスクリーン印刷法で印刷してもよい。このスクリー
ン印刷法を用いれば、１０〜３０μｍの厚さに塗布する
ことができる。
７をＰＥＴフィルム１６に塗布するためにトルエンなど
の溶剤で希釈した場合を例に挙げて説明したが、希釈せ
ずにスクリーン印刷法で印刷してもよい。このスクリー
ン印刷法を用いれば、１０〜３０μｍの厚さに塗布する
ことができる。
【００２９】また、本実施の形態では、基板２の接着面
に高粘度接着剤１７を転写した場合を例に挙げて説明し
たが、天板３の接着面に転写してもよい。
に高粘度接着剤１７を転写した場合を例に挙げて説明し
たが、天板３の接着面に転写してもよい。
【００３０】つぎに、本発明の第二の実施の形態を図６
に基づいて説明する。前述した実施の形態と同一部分は
同一符号を付けて異なる部分について説明する。本実施
の形態のインクジェットプリンタヘッド１ａは、２枚の
圧電部材６ａ，７を接着して基板２ａを形成し、この基
板２ａに溝８を形成して天板３やノズル板を接着したも
のである。
に基づいて説明する。前述した実施の形態と同一部分は
同一符号を付けて異なる部分について説明する。本実施
の形態のインクジェットプリンタヘッド１ａは、２枚の
圧電部材６ａ，７を接着して基板２ａを形成し、この基
板２ａに溝８を形成して天板３やノズル板を接着したも
のである。
【００３１】基板２ａと天板３との接着は、前述した実
施の形態と同じに、高粘度接着剤１７を使用し、恒温加
圧装置内に入れて高圧雰囲気下で高粘度接着剤１７を硬
化させることにより行う。このようにして接着すること
により、溝８が高粘度接着剤１７で詰まったり溝８の流
路面積が狭められたりすることを防止できる。
施の形態と同じに、高粘度接着剤１７を使用し、恒温加
圧装置内に入れて高圧雰囲気下で高粘度接着剤１７を硬
化させることにより行う。このようにして接着すること
により、溝８が高粘度接着剤１７で詰まったり溝８の流
路面積が狭められたりすることを防止できる。
【００３２】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、基板と天
板とを接着する高粘度接着剤が、硬化時の発熱や加熱に
よって一時的に粘度が低下しても、その高粘度接着剤が
基板に形成した溝内に流れ込んで溝を詰まらせたり溝の
流路面積を狭めることを防止できる。
板とを接着する高粘度接着剤が、硬化時の発熱や加熱に
よって一時的に粘度が低下しても、その高粘度接着剤が
基板に形成した溝内に流れ込んで溝を詰まらせたり溝の
流路面積を狭めることを防止できる。
【００３３】請求項２記載の発明によれば、加熱硬化時
に粘度が急激に低下する熱硬化型エポキシ系接着剤を使
用した場合においても、この加熱硬化型エポキシ系接着
剤が基板に形成した溝内に流れ込んで溝を詰まらせたり
溝の流路面積を狭めることを防止できる。
に粘度が急激に低下する熱硬化型エポキシ系接着剤を使
用した場合においても、この加熱硬化型エポキシ系接着
剤が基板に形成した溝内に流れ込んで溝を詰まらせたり
溝の流路面積を狭めることを防止できる。
【図１】本発明の第一の実施の形態のインクジェットプ
リンタヘッドを一部を破断して示す斜視図である。
リンタヘッドを一部を破断して示す斜視図である。
【図２】その縦断正面図である。
【図３】基板の接着面に対する高粘度接着剤の転写工程
を示す正面図である。
を示す正面図である。
【図４】圧電部材のシェアモード変形状態を示す縦断正
面図である。
面図である。
【図５】高粘度接着剤が溝内に流れ込む状態を説明する
もので、（ａ）は基板と天板とを接合させた直後の状
態、（ｂ）は常圧雰囲気下で高粘度接着剤を硬化させた
状態、（ｃ）は恒温加圧装置内に入れて高圧雰囲気下で
高粘度接着剤を硬化させた状態である。
もので、（ａ）は基板と天板とを接合させた直後の状
態、（ｂ）は常圧雰囲気下で高粘度接着剤を硬化させた
状態、（ｃ）は恒温加圧装置内に入れて高圧雰囲気下で
高粘度接着剤を硬化させた状態である。
【図６】本発明の第二の実施の形態のインクジェットプ
リンタヘッドを示す縦断正面図である。
リンタヘッドを示す縦断正面図である。
１，１ａ インクジェットプリンタヘッド ２，２ａ 基板 ６，７，６ａ 圧電部材 ８ 溝 ９ 側壁 １０ 電極 １３ 圧力室 １７ 高粘度接着剤
Claims (2)
- 【請求項１】 板厚方向に分極させた少なくとも１枚の
圧電部材を含む基板と、この基板に交互に形成した少な
くとも一部が前記圧電部材からなる多数の側壁と溝と、
前記側壁に設けた電極と、前記溝の上部を覆う天板と前
記溝の正面部を覆うノズル板とを前記基板に接着して形
成した多数の圧力室とを有するインクジェットプリンタ
ヘッドの製造方法において、前記基板と前記天板とを接
着する一方の接着面に高粘度接着剤を薄く均一に塗布
し、前記基板と前記天板とを高粘度接着剤を介在させて
接合させた後に恒温加圧装置内に入れて高圧雰囲気下で
高粘度接着剤を硬化させたことを特徴とするインクジェ
ットプリンタヘッドの製造方法。 - 【請求項２】 高粘度接着剤が、熱硬化型エポキシ系接
着剤であることを特徴とする請求項１記載のインクジェ
ットプリンタヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34264995A JPH09174861A (ja) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34264995A JPH09174861A (ja) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09174861A true JPH09174861A (ja) | 1997-07-08 |
Family
ID=18355413
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34264995A Pending JPH09174861A (ja) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09174861A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001322284A (ja) * | 2000-05-15 | 2001-11-20 | Konica Corp | インクジェットヘッドの製造方法 |
| US6328434B1 (en) | 1999-07-01 | 2001-12-11 | Fujitsu Limited | Inkjet head, its manufacturing method and recording device |
| JP2002029049A (ja) * | 2000-07-14 | 2002-01-29 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
| JP2013006297A (ja) * | 2011-06-22 | 2013-01-10 | Konica Minolta Ij Technologies Inc | インクジェットヘッドの製造方法 |
| JP2015133491A (ja) * | 2009-01-28 | 2015-07-23 | フジフィルム ディマティックス， インコーポレイテッド | 接合微小電気機械アセンブリ |
| JP2017024373A (ja) * | 2015-07-28 | 2017-02-02 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、液体吐出ヘッド、および、電子デバイスの製造方法 |
-
1995
- 1995-12-28 JP JP34264995A patent/JPH09174861A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6328434B1 (en) | 1999-07-01 | 2001-12-11 | Fujitsu Limited | Inkjet head, its manufacturing method and recording device |
| JP2001322284A (ja) * | 2000-05-15 | 2001-11-20 | Konica Corp | インクジェットヘッドの製造方法 |
| JP2002029049A (ja) * | 2000-07-14 | 2002-01-29 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
| JP2015133491A (ja) * | 2009-01-28 | 2015-07-23 | フジフィルム ディマティックス， インコーポレイテッド | 接合微小電気機械アセンブリ |
| JP2013006297A (ja) * | 2011-06-22 | 2013-01-10 | Konica Minolta Ij Technologies Inc | インクジェットヘッドの製造方法 |
| JP2017024373A (ja) * | 2015-07-28 | 2017-02-02 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、液体吐出ヘッド、および、電子デバイスの製造方法 |
| US10377135B2 (en) | 2015-07-28 | 2019-08-13 | Seiko Epson Corporation | Electronic device, liquid ejection head, and method of manufacturing electronic device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10081186B2 (en) | Molded die slivers with exposed front and back surfaces | |
| US8142001B2 (en) | Ink jet print head manufacturing method and ink jet print head | |
| JPH09174861A (ja) | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 | |
| US10189259B2 (en) | Joining method, apparatus of manufacturing joined body, joined body, ink jet head unit, and ink jet type recording apparatus | |
| US5475407A (en) | Ink ejecting printer head | |
| US9925769B2 (en) | MEMS chip and method of manufacturing a MEMS chip | |
| JPH09141879A (ja) | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 | |
| JP2003191477A (ja) | インクジェットプリントヘッド及びその製造方法 | |
| JP6273901B2 (ja) | 接合方法、接合体の製造装置、接合体、インクジェットヘッドユニットおよびインクジェット式記録装置 | |
| JPH10157108A (ja) | インクジェットプリンタヘッド | |
| JP2003170590A (ja) | 液体噴射ヘッド、及び、その製造方法 | |
| JPH09141878A (ja) | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 | |
| JP2010058497A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JPH10128974A (ja) | インクジェットプリンタヘッド | |
| JPH06316073A (ja) | インクジェットプリンタヘッド | |
| JPH0957964A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP2015160387A (ja) | 接合方法、接合体の製造装置、接合体、インクジェットヘッドユニットおよびインクジェット式記録装置 | |
| JP2015160386A (ja) | 接合方法、接合体の製造装置、接合体、インクジェットヘッドユニットおよびインクジェット式記録装置 | |
| JPH07314697A (ja) | インクジェットプリンタヘッドの製作方法 | |
| JPH05318750A (ja) | インクジェットヘッド製造方法 | |
| JPH10128983A (ja) | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 | |
| JP2001113696A (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH05220966A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP3674262B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP6589431B2 (ja) | 接合体、接合方法および電子機器 |