JPH09174442A - 平面研磨装置 - Google Patents
平面研磨装置Info
- Publication number
- JPH09174442A JPH09174442A JP34377196A JP34377196A JPH09174442A JP H09174442 A JPH09174442 A JP H09174442A JP 34377196 A JP34377196 A JP 34377196A JP 34377196 A JP34377196 A JP 34377196A JP H09174442 A JPH09174442 A JP H09174442A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lapping
- grinding wheel
- mounting plate
- plate
- grindstone
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Abstract
(57)【要約】
【課題】砥石の交換が容易で、かつ確実な装着が可能で
あり、それによって稼動率を大幅に向上させうる平面研
磨装置を提供する。 【解決手段】ラッピング定盤2に固形砥石4を装着した
構造のラッピング円盤1を備えてなる平面研磨装置にお
いて、上記定盤2面を上向けにし、かつその中心部分ま
たは内円を横切る線によって区画した複数個の区域とそ
れぞれ実質的に等しい平面形状を有する取付板分割片3
に固形砥石4を配設し、固形砥石4の砥石面に半径方向
の一側縁から半径方向の他側縁に向かって、回転方向の
前方の溝の端部より回転方向後方の溝の端部が回転中心
より遠くなるように斜めに延びる斜溝を形成し、この取
付板分割片3を前記ラッピング定盤2上に着脱自在に装
着した。
あり、それによって稼動率を大幅に向上させうる平面研
磨装置を提供する。 【解決手段】ラッピング定盤2に固形砥石4を装着した
構造のラッピング円盤1を備えてなる平面研磨装置にお
いて、上記定盤2面を上向けにし、かつその中心部分ま
たは内円を横切る線によって区画した複数個の区域とそ
れぞれ実質的に等しい平面形状を有する取付板分割片3
に固形砥石4を配設し、固形砥石4の砥石面に半径方向
の一側縁から半径方向の他側縁に向かって、回転方向の
前方の溝の端部より回転方向後方の溝の端部が回転中心
より遠くなるように斜めに延びる斜溝を形成し、この取
付板分割片3を前記ラッピング定盤2上に着脱自在に装
着した。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、被研磨体を、固
形砥石表面に当接し、固形砥石の作用により、研削また
は研磨を行うラッピング研磨機等の平面研磨装置に関す
るものである。
形砥石表面に当接し、固形砥石の作用により、研削また
は研磨を行うラッピング研磨機等の平面研磨装置に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】従来、ラッピング研磨機に固形砥石を装
着する場合には、円周方向に回動する金属製定盤表面に
接着剤,ホットメルト等を塗布し、固形砥石を接着する
方法が一般的であった。
着する場合には、円周方向に回動する金属製定盤表面に
接着剤,ホットメルト等を塗布し、固形砥石を接着する
方法が一般的であった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この方法で
は、大型のラッピング定盤を研磨装置から取り外すこと
なく、その表面に砥石を接着する作業にかなりの困難を
伴うため、接着力が弱かったり、一部接着されない部分
が生じたりして完全な接着ができず、研磨作業中に剥
離,脱落したりするトラブルが生じていた。また、破損
した砥石を交換したりする等の作業も極めて困難であっ
た。特に、研磨機の型式が、2枚のラッピング円盤の砥
面を対面させて組み合わせた両面ラッピング研磨機であ
る場合、この傾向が著しかった。
は、大型のラッピング定盤を研磨装置から取り外すこと
なく、その表面に砥石を接着する作業にかなりの困難を
伴うため、接着力が弱かったり、一部接着されない部分
が生じたりして完全な接着ができず、研磨作業中に剥
離,脱落したりするトラブルが生じていた。また、破損
した砥石を交換したりする等の作業も極めて困難であっ
た。特に、研磨機の型式が、2枚のラッピング円盤の砥
面を対面させて組み合わせた両面ラッピング研磨機であ
る場合、この傾向が著しかった。
【0004】さらに、研磨作業によって砥石が全て使い
つくされ、新しい砥石を装着する場合は、ラッピング定
盤の表面に残留した砥石片,接着剤等を完全に剥離除去
し、表面を均一に浄化してから装着する必要があるが、
大型の定盤の全面にこの作業を施すためには、装置を分
解して定盤を取り外してから行うという極めて大がかり
な作業になり、多くの労力と時間とを費やして行わなけ
ればならず、稼動率の大幅な低下と運転経費の増大とい
う事態を招いていた。
つくされ、新しい砥石を装着する場合は、ラッピング定
盤の表面に残留した砥石片,接着剤等を完全に剥離除去
し、表面を均一に浄化してから装着する必要があるが、
大型の定盤の全面にこの作業を施すためには、装置を分
解して定盤を取り外してから行うという極めて大がかり
な作業になり、多くの労力と時間とを費やして行わなけ
ればならず、稼動率の大幅な低下と運転経費の増大とい
う事態を招いていた。
【0005】本発明者らは、従来のラッピング研磨機の
有する上述の問題点を解決するために、鋭意研究を行
い、この発明を完成するに至ったものであり、その目的
とするところは、砥石の交換が容易で、かつ確実な装着
が可能であり、それによって稼動率を大幅に向上させう
る平面研磨装置を提供することにある。
有する上述の問題点を解決するために、鋭意研究を行
い、この発明を完成するに至ったものであり、その目的
とするところは、砥石の交換が容易で、かつ確実な装着
が可能であり、それによって稼動率を大幅に向上させう
る平面研磨装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明の平面研磨装置は、円形盤状または環形
盤状のラッピング定盤に固形砥石を装着した構造のラッ
ピング円盤を備えてなる平面研磨装置において、上記定
盤面を上向きにし、かつその中心部分または内円を横切
る線によって区画した複数個の区域とそれぞれ実質的に
等しい平面形状を有する取付板分割片に固形砥石を配設
し、固形砥石の砥石面に半径方向の一側縁から半径方向
の他側縁に向かって、回転方向の前方の溝の端部より回
転方向後方の溝の端部が回転中心より遠くなるように斜
めに延びる斜溝を形成し、この取付板分割片を前記ラッ
ピング定盤上に着脱自在に装着したという構成をとる。
めに、この発明の平面研磨装置は、円形盤状または環形
盤状のラッピング定盤に固形砥石を装着した構造のラッ
ピング円盤を備えてなる平面研磨装置において、上記定
盤面を上向きにし、かつその中心部分または内円を横切
る線によって区画した複数個の区域とそれぞれ実質的に
等しい平面形状を有する取付板分割片に固形砥石を配設
し、固形砥石の砥石面に半径方向の一側縁から半径方向
の他側縁に向かって、回転方向の前方の溝の端部より回
転方向後方の溝の端部が回転中心より遠くなるように斜
めに延びる斜溝を形成し、この取付板分割片を前記ラッ
ピング定盤上に着脱自在に装着したという構成をとる。
【0007】
【発明の実施の形態】つぎに、この発明の実施の形態を
実施例にもとづいて詳しく説明する。
実施例にもとづいて詳しく説明する。
【0008】
【実施例】図1はこの発明の一実施例を示している。図
において、1はラッピング円盤で、中心穴付きラッピン
グ定盤2に、取付板分割片3を介して略扇形の固形砥石
4を複数個螺着することにより構成されている。3aは
固形砥石4の間に放射状に形成された隙間で、研磨粉や
脱落砥粉を外部に排出する。この場合において、取付板
分割片3は、それぞれ、上記ラッピング定盤2を、その
中心を横切る複数の仮想線分によって区画して形成され
る複数個の区域(全て等面積)の平面形状(略扇形)と
等しい平面形状に構成されていて互換性を有しており、
それぞれに2個のねじ穴(隠れて見えない)が形成され
ている。この取付板分割片3の上には、その分割片3と
同形の略扇形の固形砥石4が、ねじ穴4aを取付板分割
片3のねじ穴に合わせて積重され、その状態で、ねじ
(隠れて見えない)をねじ穴4aに挿入してラッピング
定盤2に、取付板分割片3ごと螺着される。この固形砥
石4は、図1に示すように、その砥石面に、半径方向の
一側縁から半径方向の他側縁に向かって、回転方向の前
方の溝の端部より回転方向後方の溝の端部が回転中心よ
り遠くなるように斜めに延びる斜溝15bを有してい
る。このようなラッピング円盤1を備えた平面研磨装置
は、ラッピング円盤1および工作物(図示せず)を相対
的に回動させながら湿式法に基づいて工作物表面の研磨
を行う。
において、1はラッピング円盤で、中心穴付きラッピン
グ定盤2に、取付板分割片3を介して略扇形の固形砥石
4を複数個螺着することにより構成されている。3aは
固形砥石4の間に放射状に形成された隙間で、研磨粉や
脱落砥粉を外部に排出する。この場合において、取付板
分割片3は、それぞれ、上記ラッピング定盤2を、その
中心を横切る複数の仮想線分によって区画して形成され
る複数個の区域(全て等面積)の平面形状(略扇形)と
等しい平面形状に構成されていて互換性を有しており、
それぞれに2個のねじ穴(隠れて見えない)が形成され
ている。この取付板分割片3の上には、その分割片3と
同形の略扇形の固形砥石4が、ねじ穴4aを取付板分割
片3のねじ穴に合わせて積重され、その状態で、ねじ
(隠れて見えない)をねじ穴4aに挿入してラッピング
定盤2に、取付板分割片3ごと螺着される。この固形砥
石4は、図1に示すように、その砥石面に、半径方向の
一側縁から半径方向の他側縁に向かって、回転方向の前
方の溝の端部より回転方向後方の溝の端部が回転中心よ
り遠くなるように斜めに延びる斜溝15bを有してい
る。このようなラッピング円盤1を備えた平面研磨装置
は、ラッピング円盤1および工作物(図示せず)を相対
的に回動させながら湿式法に基づいて工作物表面の研磨
を行う。
【0009】この装置においては、1個のラッピング円
盤1に対して2組の取付板分割片3を用意し、常に1組
を予備としておく。そして、研磨装置が稼動中に、予備
の取付板分割片3の表面を清浄化したうえで、固形砥石
4を取り付けて、準備を整える。稼動中のラッピング円
盤1の砥石4が使いつくされた場合、または砥石の種
類,番手を交換する必要が生じた場合等は、ラッピング
円盤1より固形砥石4を取付板分割片3ごと取り外し、
予備の組と交換する。このようにすることにより、容易
迅速に運転を再開することができるようになる。
盤1に対して2組の取付板分割片3を用意し、常に1組
を予備としておく。そして、研磨装置が稼動中に、予備
の取付板分割片3の表面を清浄化したうえで、固形砥石
4を取り付けて、準備を整える。稼動中のラッピング円
盤1の砥石4が使いつくされた場合、または砥石の種
類,番手を交換する必要が生じた場合等は、ラッピング
円盤1より固形砥石4を取付板分割片3ごと取り外し、
予備の組と交換する。このようにすることにより、容易
迅速に運転を再開することができるようになる。
【0010】なお、取付板分割片3の材質は特に限定さ
れていが、軽量性,強度およびコスト面等から考えて、
アルミニウム合金等の軽金属,プラスチック板およびガ
ラス繊維補強プラスチック板等の軽量構造材料が好適で
ある。さらに、ラッピング定盤2の表面に取り付けられ
る取付板分割片3の数は、ラッピング円盤1の大きさに
より適宜変えることが望ましい。例えば外径1000m
m以上の大型円盤においては16〜24分割し、それ以
下の小型円盤では2〜16分割といった比較的少ない分
割で充分である。
れていが、軽量性,強度およびコスト面等から考えて、
アルミニウム合金等の軽金属,プラスチック板およびガ
ラス繊維補強プラスチック板等の軽量構造材料が好適で
ある。さらに、ラッピング定盤2の表面に取り付けられ
る取付板分割片3の数は、ラッピング円盤1の大きさに
より適宜変えることが望ましい。例えば外径1000m
m以上の大型円盤においては16〜24分割し、それ以
下の小型円盤では2〜16分割といった比較的少ない分
割で充分である。
【0011】図2は、上記ラッピング定盤2を詳しく説
明するための平面図である。図において、ラッピング定
盤2は、円形盤状または中央内円部分が透孔に形成され
ている環形盤状になっている。この定盤2はその中心J
または内円Kを横切る仮想線分a〜dによって複数個の
区域A〜Hに区画されている。この場合、上記仮想線分
a〜dは直線であり、区域A〜Hを全て同一形状,等面
積の略扇形に区画することが最も好ましい。上記定盤2
の各区域には、それぞれねじ穴5が穿設されている。上
記定盤2の定盤面の区画された区域には、図1に示すよ
うに、それぞれの区域と実質的に等しい平面形状を有す
る取付板分割片3が装着される。ここにいう「実質的に
等しい」とは、例えば略扇形の区域に対して台形の取付
板分割片を装着したり、隣接する取付板分割片の間に若
干の間隙を設ける必要がある場合等における僅少の誤差
が許容されることを意味するものである。この取付板分
割片3は、前記定盤面の略扇形区域に対応するもので、
前記ねじ穴5と合致するねじ穴を有している。取付板分
割片3の表面には、図3,4に示すように、固形砥石4
を接着固定することも行われる。図において、4aは、
固形砥石4を取付板分割片3ごとラッピング定盤に取り
付けるためのねじ穴、15bは、固形砥石4に形成され
た斜溝で、研磨粉や脱落砥粒を回転による遠心力によっ
て外部に排出する作用をする。
明するための平面図である。図において、ラッピング定
盤2は、円形盤状または中央内円部分が透孔に形成され
ている環形盤状になっている。この定盤2はその中心J
または内円Kを横切る仮想線分a〜dによって複数個の
区域A〜Hに区画されている。この場合、上記仮想線分
a〜dは直線であり、区域A〜Hを全て同一形状,等面
積の略扇形に区画することが最も好ましい。上記定盤2
の各区域には、それぞれねじ穴5が穿設されている。上
記定盤2の定盤面の区画された区域には、図1に示すよ
うに、それぞれの区域と実質的に等しい平面形状を有す
る取付板分割片3が装着される。ここにいう「実質的に
等しい」とは、例えば略扇形の区域に対して台形の取付
板分割片を装着したり、隣接する取付板分割片の間に若
干の間隙を設ける必要がある場合等における僅少の誤差
が許容されることを意味するものである。この取付板分
割片3は、前記定盤面の略扇形区域に対応するもので、
前記ねじ穴5と合致するねじ穴を有している。取付板分
割片3の表面には、図3,4に示すように、固形砥石4
を接着固定することも行われる。図において、4aは、
固形砥石4を取付板分割片3ごとラッピング定盤に取り
付けるためのねじ穴、15bは、固形砥石4に形成され
た斜溝で、研磨粉や脱落砥粒を回転による遠心力によっ
て外部に排出する作用をする。
【0012】
【発明の効果】この発明に係る平面研磨装置によれば、
ラッピング円盤への砥石の取り付けあるいは交換作業が
極めて容易迅速となり、作業者の負担を著しく軽減しう
ると同時に装置の稼動率を大幅に向上させることが可能
となる。すなわち、従来、ラッピング定盤に砥石を接着
するためには、少なくとも1日は稼動を休止し剥離,接
着作業をしなければならないところ、この発明の装置で
は、取付板分割片を別に1組準備しておき、これに予め
砥石を接着しておくことにより、砥石交換に要する時間
を著しく短縮しうる。さらに種類,番手を変えた砥石を
必要に応じて準備しておけば、随時交換も可能であり、
1台の研磨装置を多目的に使用することも可能となる。
また、何等かの事由により砥石の一つが破損したり異常
品質のものが混入した場合もその部分のみ容易に交換が
可能になり、経済的である。また、砥石の接着作業が比
較的軽量小型であって取り扱い容易な取付板分割片につ
いて行われるため、綿密丹念な作業が可能となり、接着
ミス,接着不良による事故が殆どなくなり、稼動率の向
上,労働力の節減と相俟って、運転経費を著しく低減す
ることができる等の顕著な効果が得られるものである。
そのうえ、この発明では、固形砥石の砥石面に、半径方
向の一側縁から半径方向の他側縁に向かって、回転方向
の前方の溝の端部より回転方向後方の溝の端部が、回転
中心より遠くなるように斜溝を形成している。そのた
め、砥石面で生じた研磨屑等は斜溝に入り、ラッピング
円盤回転時の遠心力により、回転方向の前方の溝の端部
から回転方向後方の溝の端部に向かって勢いよく移動
し、外部へ排出される。したがって、研磨屑等の目詰ま
りが生じず、その結果、砥石寿命を長くすることができ
るようになる。
ラッピング円盤への砥石の取り付けあるいは交換作業が
極めて容易迅速となり、作業者の負担を著しく軽減しう
ると同時に装置の稼動率を大幅に向上させることが可能
となる。すなわち、従来、ラッピング定盤に砥石を接着
するためには、少なくとも1日は稼動を休止し剥離,接
着作業をしなければならないところ、この発明の装置で
は、取付板分割片を別に1組準備しておき、これに予め
砥石を接着しておくことにより、砥石交換に要する時間
を著しく短縮しうる。さらに種類,番手を変えた砥石を
必要に応じて準備しておけば、随時交換も可能であり、
1台の研磨装置を多目的に使用することも可能となる。
また、何等かの事由により砥石の一つが破損したり異常
品質のものが混入した場合もその部分のみ容易に交換が
可能になり、経済的である。また、砥石の接着作業が比
較的軽量小型であって取り扱い容易な取付板分割片につ
いて行われるため、綿密丹念な作業が可能となり、接着
ミス,接着不良による事故が殆どなくなり、稼動率の向
上,労働力の節減と相俟って、運転経費を著しく低減す
ることができる等の顕著な効果が得られるものである。
そのうえ、この発明では、固形砥石の砥石面に、半径方
向の一側縁から半径方向の他側縁に向かって、回転方向
の前方の溝の端部より回転方向後方の溝の端部が、回転
中心より遠くなるように斜溝を形成している。そのた
め、砥石面で生じた研磨屑等は斜溝に入り、ラッピング
円盤回転時の遠心力により、回転方向の前方の溝の端部
から回転方向後方の溝の端部に向かって勢いよく移動
し、外部へ排出される。したがって、研磨屑等の目詰ま
りが生じず、その結果、砥石寿命を長くすることができ
るようになる。
【図1】この発明のラッピング円盤の斜視図である。
【図2】この発明の実施例に用いるラッピング円盤の組
立説明図である。
立説明図である。
【図3】この発明の実施例に用いるラッピング円盤の組
立説明図である。
立説明図である。
【図4】この発明の実施例に用いるラッピング円盤の組
立説明図である。
立説明図である。
1 ラッピング円盤 2 ラッピング定盤 3 取付板分割片 4 固形砥石
Claims (3)
- 【請求項1】 円形盤状または環形盤状のラッピング定
盤に固形砥石を装着した構造のラッピング円盤を備えて
なる平面研磨装置において、上記定盤面を上向きにし、
かつその中心部分または内円を横切る線によって区画し
た複数個の区域とそれぞれ実質的に等しい平面形状を有
する取付板分割片に固形砥石を配設し、固形砥石の砥石
面に半径方向の一側縁から半径方向の他側縁に向かっ
て、回転方向の前方の溝の端部より回転方向後方の溝の
端部が回転中心より遠くなるように斜めに延びる斜溝を
形成し、この取付板分割片を前記ラッピング定盤上に着
脱自在に装着したことを特徴とする平面研磨装置。 - 【請求項2】 中心部分または内円を横切る線が直線で
あって、定盤面が等面積の略扇形区域に区画されている
特許請求の範囲第1項記載の平面研磨装置。 - 【請求項3】 取付板分割片が、アルミニウム合金,プ
ラスチックスまたはガラス繊維補強プラスチックスから
なる軽量構造材料で構成されている請求項1または請求
項2記載の平面研磨装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8343771A JP2837661B2 (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | 平面研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8343771A JP2837661B2 (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | 平面研磨装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4258443A Division JPH0834737B2 (ja) | 1992-09-28 | 1992-09-28 | 平面研磨装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09174442A true JPH09174442A (ja) | 1997-07-08 |
JP2837661B2 JP2837661B2 (ja) | 1998-12-16 |
Family
ID=18364120
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8343771A Expired - Lifetime JP2837661B2 (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | 平面研磨装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2837661B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105234847A (zh) * | 2015-09-16 | 2016-01-13 | 丹阳市长平机械有限公司 | 复合磨轮 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS49117592U (ja) * | 1973-02-02 | 1974-10-08 | ||
JPS59232768A (ja) * | 1983-06-16 | 1984-12-27 | Kanebo Ltd | 平面研磨装置 |
-
1996
- 1996-12-24 JP JP8343771A patent/JP2837661B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS49117592U (ja) * | 1973-02-02 | 1974-10-08 | ||
JPS59232768A (ja) * | 1983-06-16 | 1984-12-27 | Kanebo Ltd | 平面研磨装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105234847A (zh) * | 2015-09-16 | 2016-01-13 | 丹阳市长平机械有限公司 | 复合磨轮 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2837661B2 (ja) | 1998-12-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
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EXPY | Cancellation because of completion of term |