JPH09168118A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
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- JPH09168118A JPH09168118A JP7326922A JP32692295A JPH09168118A JP H09168118 A JPH09168118 A JP H09168118A JP 7326922 A JP7326922 A JP 7326922A JP 32692295 A JP32692295 A JP 32692295A JP H09168118 A JPH09168118 A JP H09168118A
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- 239000007787 solid Substances 0.000 title 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 11
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 claims description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 8
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
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- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ノイズの発生を抑制し長時間露光による高感
度化の性能を向上させた固体撮像装置を得る。 【解決手段】 パルス発生回路6が生成する信号電荷読
み出しパルス・駆動パルス・リセットパルスを、パルス
制御回路7の制御の下にゲート回路8、9、10が選択
的に伝達する。ドライバ11、12、13が、信号電荷
読み出しパルスを供給することにより信号電荷の読み出
しを開始させ、駆動パルスを供給することにより信号電
荷を水平および垂直方向に走査させ、リセットパルスを
供給することにより検出をリセットする。露光期間中で
あって信号電荷が読み出される時以外の期間にはパルス
の供給を停止することにより、水平および垂直レジスタ
および電荷検出の駆動が停止される。レジスタおよび電
荷検出器3の無駄な駆動による余分な発熱が抑えられ、
暗電流が低減し、S/N比が改善される。
度化の性能を向上させた固体撮像装置を得る。 【解決手段】 パルス発生回路6が生成する信号電荷読
み出しパルス・駆動パルス・リセットパルスを、パルス
制御回路7の制御の下にゲート回路8、9、10が選択
的に伝達する。ドライバ11、12、13が、信号電荷
読み出しパルスを供給することにより信号電荷の読み出
しを開始させ、駆動パルスを供給することにより信号電
荷を水平および垂直方向に走査させ、リセットパルスを
供給することにより検出をリセットする。露光期間中で
あって信号電荷が読み出される時以外の期間にはパルス
の供給を停止することにより、水平および垂直レジスタ
および電荷検出の駆動が停止される。レジスタおよび電
荷検出器3の無駄な駆動による余分な発熱が抑えられ、
暗電流が低減し、S/N比が改善される。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、固体撮像装置に関
し、特に、高感度駆動時の撮像性能を高めた固体撮像装
置に関する。
し、特に、高感度駆動時の撮像性能を高めた固体撮像装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、固体撮像装置の高感度化では、一
般的に各フォトダイオードから信号電荷を読み出す信号
電荷読み出しパルスを制御して、長時間露光(電荷蓄
積)を行い実現している。この長時間露光の期間中、固
体撮像装置の水平および垂直レジスタと電荷検出器は、
装置本体の駆動の簡素化のために連続約に動作させてい
る。
般的に各フォトダイオードから信号電荷を読み出す信号
電荷読み出しパルスを制御して、長時間露光(電荷蓄
積)を行い実現している。この長時間露光の期間中、固
体撮像装置の水平および垂直レジスタと電荷検出器は、
装置本体の駆動の簡素化のために連続約に動作させてい
る。
【0003】本願発明と技術分野が類似する先願発明と
して、特公平1−35548号「固体撮像装置」があ
る。本特許公報記載の発明は、固体撮像素子の雑音の大
きな要因であるリセットノイズと1/fノイズが撮像素
子出力信号の、1画素周期で信号のないノイズ期間と、
ノイズと信号の期間に分離する駆動を行い、ノイズのみ
信号周波数を2倍に変調させ、このノイズを例えば信号
周波数のみ通過するLPFで除去することにより、信号
成分のみを得るノイズ抑圧回路を備えた固体撮像装置に
関する。
して、特公平1−35548号「固体撮像装置」があ
る。本特許公報記載の発明は、固体撮像素子の雑音の大
きな要因であるリセットノイズと1/fノイズが撮像素
子出力信号の、1画素周期で信号のないノイズ期間と、
ノイズと信号の期間に分離する駆動を行い、ノイズのみ
信号周波数を2倍に変調させ、このノイズを例えば信号
周波数のみ通過するLPFで除去することにより、信号
成分のみを得るノイズ抑圧回路を備えた固体撮像装置に
関する。
【0004】さらに、特開昭62−57385号「固体
撮像装置」では、水平信号線数を行数以下にして光電変
換素子の開口面積を大きくとることにより、サンプリン
グによる色分離、1H遅延線による線順次処理が不要
で、カメラ全体の規模、消費電力を低減させ、色雑音と
折返し歪みが少なく、解像度に優れ且つ感度を高くする
ことができる、としている。
撮像装置」では、水平信号線数を行数以下にして光電変
換素子の開口面積を大きくとることにより、サンプリン
グによる色分離、1H遅延線による線順次処理が不要
で、カメラ全体の規模、消費電力を低減させ、色雑音と
折返し歪みが少なく、解像度に優れ且つ感度を高くする
ことができる、としている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の固体撮像装置では、いずれも予め定められた所定時
間よりも長い露光時でも常に水平および垂直レジス夕と
電荷検出器を動作させている。このため、配線等の抵抗
成分により熱が発生し、素子の温度を上昇させ、フォト
ダイオードや水平および垂直レジスタ内の暗電流を増加
させる。さらには暗電流のショットノイズによってS/
Nの劣化を引き起こす、等の問題点を伴う。
来の固体撮像装置では、いずれも予め定められた所定時
間よりも長い露光時でも常に水平および垂直レジス夕と
電荷検出器を動作させている。このため、配線等の抵抗
成分により熱が発生し、素子の温度を上昇させ、フォト
ダイオードや水平および垂直レジスタ内の暗電流を増加
させる。さらには暗電流のショットノイズによってS/
Nの劣化を引き起こす、等の問題点を伴う。
【0006】本発明は、ノイズの発生を抑制し長時間露
光による高感度化の性能を向上させた固体撮像装置を提
供することを目的とする。
光による高感度化の性能を向上させた固体撮像装置を提
供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め、本発明の固体撮像装置は、光電変換素子に蓄積され
た信号電荷の、読み出し開始用の信号電荷読み出しパル
ス・走査開始用の駆動パルス・検出リセット用のリセッ
トパルスのそれぞれを生成するパルス発生手段と、信号
電荷読み出しパルスを供給することにより信号電荷の読
み出しを開始させ、駆動パルスを供給することにより信
号電荷を水平および垂直方向に走査させ、リセットパル
スを供給することにより検出をリセットする駆動手段
と、この駆動手段への信号電荷読み出しパルスと、駆動
パルスおよびリセットパルスの供給の有無を制御する制
御手段とを具備し、信号電荷読み出しパルスの供給に対
応して駆動パルスおよびリセットパルスのパルス発生手
段から駆動手段への供給の有無を制御可能としたことを
特徴としている。
め、本発明の固体撮像装置は、光電変換素子に蓄積され
た信号電荷の、読み出し開始用の信号電荷読み出しパル
ス・走査開始用の駆動パルス・検出リセット用のリセッ
トパルスのそれぞれを生成するパルス発生手段と、信号
電荷読み出しパルスを供給することにより信号電荷の読
み出しを開始させ、駆動パルスを供給することにより信
号電荷を水平および垂直方向に走査させ、リセットパル
スを供給することにより検出をリセットする駆動手段
と、この駆動手段への信号電荷読み出しパルスと、駆動
パルスおよびリセットパルスの供給の有無を制御する制
御手段とを具備し、信号電荷読み出しパルスの供給に対
応して駆動パルスおよびリセットパルスのパルス発生手
段から駆動手段への供給の有無を制御可能としたことを
特徴としている。
【0008】また、上記の制御手段は、信号電荷読み出
しパルスと駆動パルスとリセットパルスのそれぞれの伝
達を開閉するゲート手段と、このゲート手段の開閉を制
御するパルス制御手段とにより構成するとよい。
しパルスと駆動パルスとリセットパルスのそれぞれの伝
達を開閉するゲート手段と、このゲート手段の開閉を制
御するパルス制御手段とにより構成するとよい。
【0009】さらに、上記の制御は、光電変換素子の蓄
積時間を所定の時間より長くし、信号電荷が読み出され
る時以外の期間においては、パルス発生手段から駆動手
段への駆動パルスおよびリセットパルスの供給を停止さ
せるとよい。
積時間を所定の時間より長くし、信号電荷が読み出され
る時以外の期間においては、パルス発生手段から駆動手
段への駆動パルスおよびリセットパルスの供給を停止さ
せるとよい。
【0010】
【発明の実施の形態】次に添付図面を参照して本発明に
よる固体撮像装置の実施の形態を詳細に説明する。図1
を参照すると本発明の固体撮像装置の一実施形態が示さ
れている。図1は、一実施形態を示すブロック図であ
る。また、図2〜図5は動作を説明するためのタイミン
グチャートであり、図2および図3が通常時、図4およ
び図5が本実施形態における動作時である。
よる固体撮像装置の実施の形態を詳細に説明する。図1
を参照すると本発明の固体撮像装置の一実施形態が示さ
れている。図1は、一実施形態を示すブロック図であ
る。また、図2〜図5は動作を説明するためのタイミン
グチャートであり、図2および図3が通常時、図4およ
び図5が本実施形態における動作時である。
【0011】本実施形態の固体撮像装置は、撮像領域1
と、不図示の垂直レジスタおよび水平レジスタ2と、信
号電荷の検出を行う電荷検出器3と、所定の映像信号に
変換する映像信号処理回路4と、映像信号を一時蓄積し
て所定のタイミングで外部へ出力するビデオメモリ回路
5と、信号電荷の読み出しを行うためのパルスを発生す
るパルス発生回路6と、予め定められた所定時間よりも
長い露光に必要な各種タイミングを生成するパルス制御
回路7と、パルス制御回路7の制御によりパルス発生回
路6からの水平駆動パルス・垂直駆動パルス・リセット
パルスをそれぞれに遮断するゲート回路8、9、10
と、リセットドライバ11と、水平ドライバ12と、垂
直ドライバ13と、から構成される。
と、不図示の垂直レジスタおよび水平レジスタ2と、信
号電荷の検出を行う電荷検出器3と、所定の映像信号に
変換する映像信号処理回路4と、映像信号を一時蓄積し
て所定のタイミングで外部へ出力するビデオメモリ回路
5と、信号電荷の読み出しを行うためのパルスを発生す
るパルス発生回路6と、予め定められた所定時間よりも
長い露光に必要な各種タイミングを生成するパルス制御
回路7と、パルス制御回路7の制御によりパルス発生回
路6からの水平駆動パルス・垂直駆動パルス・リセット
パルスをそれぞれに遮断するゲート回路8、9、10
と、リセットドライバ11と、水平ドライバ12と、垂
直ドライバ13と、から構成される。
【0012】上記によって構成される各部において、撮
像領域1は二次元状に配列されたフォトダイオード(図
示せず)より構成され、この像領域1の各垂直ラインに
沿って不図示の垂直レジスタが配列され、水平レジスタ
2は垂直レジスタの一端へ電気的に接続され、水平レジ
スタ2の一端と接続された電荷検出器3が信号電荷の検
出を行う。
像領域1は二次元状に配列されたフォトダイオード(図
示せず)より構成され、この像領域1の各垂直ラインに
沿って不図示の垂直レジスタが配列され、水平レジスタ
2は垂直レジスタの一端へ電気的に接続され、水平レジ
スタ2の一端と接続された電荷検出器3が信号電荷の検
出を行う。
【0013】映像信号処理回路4は、電荷検出器3から
受信した振幅変調信号の雑音除去を行うと同時に、所定
の映像信号へ変換を行う。ビデオメモリ回路5は、映像
信号処理回路4から受信した映像信号を一時蓄積し、所
定のタイミングで外部へ出力するメモリである。パルス
発生回路6は、信号電荷の読み出しを行うためのパルス
を生成する回路である。
受信した振幅変調信号の雑音除去を行うと同時に、所定
の映像信号へ変換を行う。ビデオメモリ回路5は、映像
信号処理回路4から受信した映像信号を一時蓄積し、所
定のタイミングで外部へ出力するメモリである。パルス
発生回路6は、信号電荷の読み出しを行うためのパルス
を生成する回路である。
【0014】パルス制御回路7は、予め定められた所定
時間よりも長い露光に必要な各種タイミングパルスを生
成する回路である。ゲート回路8、9、10は、パルス
発生回路6からの水平駆動パルス、垂直駆動パルス、リ
セットパルスのそれぞれを、パルス制御回路7の制御信
号に基づき遮断または伝達する回路である。
時間よりも長い露光に必要な各種タイミングパルスを生
成する回路である。ゲート回路8、9、10は、パルス
発生回路6からの水平駆動パルス、垂直駆動パルス、リ
セットパルスのそれぞれを、パルス制御回路7の制御信
号に基づき遮断または伝達する回路である。
【0015】リセットドライバ11、水平ドライバ1
2、垂直ドライバ13の各ドライバは、ゲート回路8、
9、10を通過した信号に基づきドライブ信号を出力す
る回路である。
2、垂直ドライバ13の各ドライバは、ゲート回路8、
9、10を通過した信号に基づきドライブ信号を出力す
る回路である。
【0016】上述したように構成される本実施形態の固
体撮像装置の動作について以下に説明する。図2および
図3は、通常駆動時の固体撮像装置のタイミングチャー
トであり、1フレームを1/30抄、1フィールドを1
/60秒とした場合を示す。図2に示すように、通常駆
動時には、各フィールド毎の垂直ブランキング信号V−
BLKに同期した信号電荷読み出しパルス14、垂直駆
動パルスφV、水平駆動パルスφHおよびリセットパル
スφRが印加されることにより、連続した映像信号が出
力される。また図3は、図2のA部の部分拡大図であ
り、水平走査単位の垂直駆動パルスφV、水平駆動パル
スφH、リセットパルスφRと、CCD出力の映像信号
との出力タイミングを示している。
体撮像装置の動作について以下に説明する。図2および
図3は、通常駆動時の固体撮像装置のタイミングチャー
トであり、1フレームを1/30抄、1フィールドを1
/60秒とした場合を示す。図2に示すように、通常駆
動時には、各フィールド毎の垂直ブランキング信号V−
BLKに同期した信号電荷読み出しパルス14、垂直駆
動パルスφV、水平駆動パルスφHおよびリセットパル
スφRが印加されることにより、連続した映像信号が出
力される。また図3は、図2のA部の部分拡大図であ
り、水平走査単位の垂直駆動パルスφV、水平駆動パル
スφH、リセットパルスφRと、CCD出力の映像信号
との出力タイミングを示している。
【0017】上記図2および図3の通常時の動作タイミ
ングに対し、図4および図5は、所定時間より長い露光
時の動作のタイミングを表している。本実施形態では、
電荷蓄積時間が1/30秒の場合、即ち感度が通常駆動
時の2倍におけるタイミングチャートである。
ングに対し、図4および図5は、所定時間より長い露光
時の動作のタイミングを表している。本実施形態では、
電荷蓄積時間が1/30秒の場合、即ち感度が通常駆動
時の2倍におけるタイミングチャートである。
【0018】本実施形態においては、図4に示すよう
に、予め定められた所定時間よりも長い露光時には、信
号電荷読み出しパルス15の間隔を広げてフォトダイオ
ード中に信号電荷を長時間蓄積させ、高感度化が図られ
ている。よって、垂直駆動パルスφV、水平駆動パルス
φH、リセットパルスφRおよびCCD出力信号は、図
2と比較して1/2となっている。また図5は、図4の
B部の部分拡大図であり、垂直駆動パルスφV、水平駆
動パルスφHおよびリセットパルスφRは出力されず、
CCD出力の映像信号も無出力の状態となる。
に、予め定められた所定時間よりも長い露光時には、信
号電荷読み出しパルス15の間隔を広げてフォトダイオ
ード中に信号電荷を長時間蓄積させ、高感度化が図られ
ている。よって、垂直駆動パルスφV、水平駆動パルス
φH、リセットパルスφRおよびCCD出力信号は、図
2と比較して1/2となっている。また図5は、図4の
B部の部分拡大図であり、垂直駆動パルスφV、水平駆
動パルスφHおよびリセットパルスφRは出力されず、
CCD出力の映像信号も無出力の状態となる。
【0019】よって、信号電荷が読み出される時以外の
期間、例えば期間Bでは、ゲート回路8、9、10によ
り、パルス発生回路6と水平ドライバ11、垂直ドライ
バ12、リセットドライバ13との間の信号伝達が遮断
され、パルス発生6から水平ドライバ11、垂直ドライ
バ12、リセットドライバ13へのパルスの供給が停止
される。それにより、水平ドライバ11における水平駆
動パルスφH、垂直ドライバ12における垂直駆動パル
スφVおよびリセットドライバ13におけるリセットパ
ルスφHは発生しない。
期間、例えば期間Bでは、ゲート回路8、9、10によ
り、パルス発生回路6と水平ドライバ11、垂直ドライ
バ12、リセットドライバ13との間の信号伝達が遮断
され、パルス発生6から水平ドライバ11、垂直ドライ
バ12、リセットドライバ13へのパルスの供給が停止
される。それにより、水平ドライバ11における水平駆
動パルスφH、垂直ドライバ12における垂直駆動パル
スφVおよびリセットドライバ13におけるリセットパ
ルスφHは発生しない。
【0020】しかし、信号電荷を読み出す期間には、パ
ルス制御回路7の制御によりパルス発生回路6からゲー
ト回路8、9、10を介して水平ドライバ11、垂直ド
ライバ12、リセットドライバ13へパルスの供給が行
れれ、CCD出力の映像信号の読出しが実行される。
ルス制御回路7の制御によりパルス発生回路6からゲー
ト回路8、9、10を介して水平ドライバ11、垂直ド
ライバ12、リセットドライバ13へパルスの供給が行
れれ、CCD出力の映像信号の読出しが実行される。
【0021】上記の実施形態によれば、予め定められた
所定時間よりも長い露光であっても、信号電荷が読み出
される時以外の期間において、パルス制御回路がパルス
発生回路から駆動パルスおよびリセットパルスの供給を
停止させる。このため、レジスタおよび電荷検出器の無
駄な駆動による余分な発熱を抑えることができる。さら
には、暗電流が低減し、暗電流のショットノイズによる
S/Nの低下を抑制することが可能となる。これによ
り、固体撮像装置の高感度化駆動時の性能を高めること
ができる。
所定時間よりも長い露光であっても、信号電荷が読み出
される時以外の期間において、パルス制御回路がパルス
発生回路から駆動パルスおよびリセットパルスの供給を
停止させる。このため、レジスタおよび電荷検出器の無
駄な駆動による余分な発熱を抑えることができる。さら
には、暗電流が低減し、暗電流のショットノイズによる
S/Nの低下を抑制することが可能となる。これによ
り、固体撮像装置の高感度化駆動時の性能を高めること
ができる。
【0022】
【発明の効果】以上の説明より明かなように、本発明の
固体撮像装置は、光電変換素子に蓄積された信号電荷
の、読み出し開始用の信号電荷読み出しパルス・走査開
始用の駆動パルス・検出リセット用のリセットパルスの
それぞれを生成し、信号電荷読み出しパルスを供給する
ことにより信号電荷の読み出しを開始させ、駆動パルス
を供給することにより信号電荷を水平および垂直方向に
走査させ、リセットパルスを供給することにより検出を
リセットする。これらの信号電荷読み出しパルスと、駆
動パルスおよびリセットパルスの供給の有無を制御する
ことにより、信号電荷読み出しパルスの供給に対応して
駆動パルスおよびリセットパルスの供給の有無を制御可
能としている。
固体撮像装置は、光電変換素子に蓄積された信号電荷
の、読み出し開始用の信号電荷読み出しパルス・走査開
始用の駆動パルス・検出リセット用のリセットパルスの
それぞれを生成し、信号電荷読み出しパルスを供給する
ことにより信号電荷の読み出しを開始させ、駆動パルス
を供給することにより信号電荷を水平および垂直方向に
走査させ、リセットパルスを供給することにより検出を
リセットする。これらの信号電荷読み出しパルスと、駆
動パルスおよびリセットパルスの供給の有無を制御する
ことにより、信号電荷読み出しパルスの供給に対応して
駆動パルスおよびリセットパルスの供給の有無を制御可
能としている。
【0023】故に、露光期間中であって信号電荷が読み
出される時以外の期間には、水平および垂直レジスタお
よび電荷検出の駆動を停止することができる。このた
め、レジスタおよび電荷検出器の無駄な駆動による余分
な発熱が抑えられ、ひいては暗電流が低減し、暗電流の
ショットノイズによるS/Nの低下が抑制される。
出される時以外の期間には、水平および垂直レジスタお
よび電荷検出の駆動を停止することができる。このた
め、レジスタおよび電荷検出器の無駄な駆動による余分
な発熱が抑えられ、ひいては暗電流が低減し、暗電流の
ショットノイズによるS/Nの低下が抑制される。
【図1】本発明の固体撮像装置の一実施形態を示すブロ
ック図である。
ック図である。
【図2】電荷蓄積時間が通常の場合の固体撮像素子のタ
イミングチャートである。
イミングチャートである。
【図3】図2のA部を拡大して示したタイミングチャー
トである。
トである。
【図4】電荷蓄積時間が通常の2倍の場合の固体撮像素
子のタイミングチャートである。
子のタイミングチャートである。
【図5】図4のB部を拡大して示したタイミングチャー
トである。
トである。
1 撮像領域 2 水平レジスタ 3 電荷検出器 4 映像信号処理回路 5 ビデオメモリ回路 8 パルス発生回路 7 パルス制御回路 8、9、10 ゲート回路 11 リセットドライバ 12 水平ドライバ 13 垂直ドライバ 14、15 信号電荷読み出しパルス
Claims (3)
- 【請求項1】 光電変換素子に蓄積された信号電荷の、
読み出し開始用の信号電荷読み出しパルス・走査開始用
の駆動パルス・検出リセット用のリセットパルスのそれ
ぞれを生成するパルス発生手段と、 前記信号電荷読み出しパルスを供給することにより前記
信号電荷の読み出しを開始させ、前記駆動パルスを供給
することにより前記信号電荷を水平および垂直方向に走
査させ、前記リセットパルスを供給することにより前記
検出をリセットする駆動手段と、 該駆動手段への前記信号電荷読み出しパルスと、前記駆
動パルスおよび前記リセットパルスの供給の有無を制御
する制御手段とを具備し、 前記信号電荷読み出しパルスの供給に対応して前記駆動
パルスおよびリセットパルスの前記パルス発生手段から
前記駆動手段への供給の有無を制御可能としたことを特
徴とする固体撮像装置。 - 【請求項2】 前記制御手段は、前記信号電荷読み出し
パルスと駆動パルスとリセットパルスのそれぞれの伝達
を開閉するゲート手段と、該ゲート手段の開閉を制御す
るパルス制御手段とにより構成されることを特徴とする
請求項1記載の固体撮像装置。 - 【請求項3】 前記制御は、前記光電変換素子の蓄積時
間を所定の時間より長くし、前記信号電荷が読み出され
る時以外の期間においては、前記パルス発生手段から前
記駆動手段への前記駆動パルスおよびリセットパルスの
供給を停止させることを特徴とする請求項1または2記
載の固体撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7326922A JPH09168118A (ja) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7326922A JPH09168118A (ja) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | 固体撮像装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09168118A true JPH09168118A (ja) | 1997-06-24 |
Family
ID=18193266
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7326922A Pending JPH09168118A (ja) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09168118A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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