JPH09167309A - Machining method for magnetic head core member - Google Patents
Machining method for magnetic head core memberInfo
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- JPH09167309A JPH09167309A JP34775395A JP34775395A JPH09167309A JP H09167309 A JPH09167309 A JP H09167309A JP 34775395 A JP34775395 A JP 34775395A JP 34775395 A JP34775395 A JP 34775395A JP H09167309 A JPH09167309 A JP H09167309A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ヘッドのコア
用の難削材の対象部材を研削して、磁性膜を形成するた
めの対象面をこの対象部材に加工する磁気ヘッドのコア
用の部材の加工方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head core for grinding a target member of a difficult-to-cut material for a core of a magnetic head and processing the target surface for forming a magnetic film on the target member. The present invention relates to a method of processing a member.
【0002】[0002]
【従来の技術】このような磁気記録再生装置において
は、画質等を向上させるために信号をデジタル化して記
録するデジタル記録が進められており、これに対応して
記録の高密度化、記録周波数の高周波化がなされてい
る。ところで、磁気記録の高密度化、高周波化が進むに
つれ、記録再生に使用する磁気ヘッドには、高周波で出
力が高く、ノイズの少ないことが要求される。例えば、
従来VTR用磁気ヘッドとして多用されるフェライト材
に金属磁性膜を成膜し、巻き線を施した所謂複合型メタ
ル・イン・ギャップヘッドでは、インダクタンスが大き
く、インダクタンス当たりの出力低下のため、高周波領
域で出力が低く、高周波、高密度が必要とされるデジタ
ル画像記録に充分対処することが難しい。このような状
況から、磁気ヘッドを薄膜形成工程で作製する所謂薄膜
磁気ヘッドが、高周波対応の磁気ヘッドとして検討され
ている。2. Description of the Related Art In such a magnetic recording / reproducing apparatus, digital recording in which signals are digitized and recorded in order to improve image quality and the like is being advanced. The high frequency has been made. By the way, as the density and frequency of magnetic recording have increased, magnetic heads used for recording and reproduction are required to have high output at high frequency and low noise. For example,
In a so-called composite type metal-in-gap head in which a metal magnetic film is formed on a ferrite material, which is often used as a magnetic head for a VTR, and is wound, the inductance is large and the output per inductance is reduced, so that a high frequency region is generated. Therefore, it is difficult to sufficiently deal with digital image recording that requires low output, high frequency, and high density. Under such circumstances, so-called thin film magnetic heads, which are manufactured by a thin film forming process, have been studied as high frequency compatible magnetic heads.
【0003】薄膜磁気ヘッドは、セラミック基板のよう
な難削材にフォトリソグラフィ等の薄膜形成手法によっ
て渦巻き状にコイルを形成し、その上にアルミナ等の酸
化物で保護膜を形成して作製される。この難削材の対象
部材(セラミック基板)に対してコイルの磁路を形成す
るための磁性膜を、たとえばスパッタにより形成するこ
とがある。そのために、セラミックスのような難削材の
加工性の改善が要求されている。従来このような難削材
を研削加工する場合には、たとえば電鋳砥石等のボンド
材(結合材)の硬い砥石の使用の検討が行われている。
しかし、セラミックスを加工する場合に、フェライト並
の研削面粗度を確保しつつ、高速加工するのは容易では
ない。A thin film magnetic head is manufactured by forming a coil in a spiral shape on a difficult-to-cut material such as a ceramic substrate by a thin film forming method such as photolithography, and forming a protective film with an oxide such as alumina on the coil. It A magnetic film for forming a magnetic path of a coil may be formed on the target member (ceramic substrate) of the difficult-to-cut material by sputtering, for example. Therefore, improvement of workability of difficult-to-cut materials such as ceramics is required. Conventionally, when grinding such a difficult-to-cut material, use of a hard grindstone of a bond material (bonding material) such as an electroformed grindstone has been studied.
However, when processing ceramics, it is not easy to perform high-speed processing while securing a ground surface roughness similar to that of ferrite.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで、セラミック
スのような難削材を研削加工する場合には、セラミック
スの加工性の改善を図って、加工精度の向上および加工
効率の向上が望まれている。By the way, when grinding difficult-to-cut materials such as ceramics, it is desired to improve the workability of the ceramics to improve the processing accuracy and the processing efficiency. .
【0005】従来のフェライトを使用したビデオテープ
レコーダ用の磁気ヘッドのコア用の対象部材(基板)1
は、図14に示すように、複数本の溝3を、砥石2によ
り矢印X方向に研削していく必要がある。この溝3の傾
斜面4は、磁性膜5をスパッタ等により形成する面であ
る。この対象部材1は、後工程で縦方向および横方向に
切断されることで、コア6が多数作られるようになって
いる。このコア6の磁性膜5には、図示しないコイルを
薄膜で形成するようになっている。A target member (substrate) 1 for a core of a conventional magnetic head for a video tape recorder using ferrite.
As shown in FIG. 14, it is necessary to grind a plurality of grooves 3 by the grindstone 2 in the arrow X direction. The inclined surface 4 of the groove 3 is a surface on which the magnetic film 5 is formed by sputtering or the like. The target member 1 is cut in the longitudinal direction and the lateral direction in a subsequent process, so that a large number of cores 6 are produced. A coil (not shown) is formed on the magnetic film 5 of the core 6 as a thin film.
【0006】このような傾斜面4を対象部材1に対して
形成する場合には、図14の砥石2を用いる。この砥石
2は、予めθで形成された研削周囲面7を有しており、
この砥石2は、矢印Z方向に下げることにより、対象部
材1に対して溝3を形成するための溝入れを行い、且つ
対象部材1は、矢印X方向に直線移動される。この時の
対象部材1の矢印X方向の加工スピードは、たとえば3
50〜500mm/分で行っている。これに対して、セ
ラミックスで作られた対象部材1を用いる場合には、セ
ラミックスの加工性が悪いために、研削加工スピードを
上げると、砥石2の砥石摩耗が進んだり、あるいはセラ
ミックスの所謂むしれ現象が発生するために、加工スピ
ードはたとえば100mm/分程度にしか上げることが
できない。When the inclined surface 4 is formed on the target member 1, the grindstone 2 shown in FIG. 14 is used. This grindstone 2 has a grinding peripheral surface 7 formed in advance by θ,
By lowering the grindstone 2 in the arrow Z direction, grooving for forming the groove 3 is performed on the target member 1, and the target member 1 is linearly moved in the arrow X direction. The processing speed of the target member 1 in the arrow X direction at this time is, for example, 3
It is performed at 50 to 500 mm / min. On the other hand, when the target member 1 made of ceramics is used, since the workability of the ceramics is poor, the grinding wheel wear of the grindstone 2 progresses when the grinding processing speed is increased, or the so-called plucking of the ceramics. Due to the phenomenon, the processing speed can only be increased to about 100 mm / min.
【0007】またセラミックス製の対象部材1の傾斜面
4の面粗度を、フェライト製の対象部材1の傾斜面の面
粗度並にするためには、砥石粒度を微細化する必要があ
るが、このように微細化すると、砥石摩耗とむしれ現象
が更に発生してしまうために、セラミックス製の対象部
材1の研削する場合には、フェライト製の対象部材1を
研削する場合に比べて粗い砥石で加工する必要がある。
このために、セラミックス製の対象部材1の加工面の粗
度がフェライトの対象部材1の加工面粗度に比べて悪化
してしまうので、傾斜面4に対して磁性膜5を均一にス
パッタすることができなくなってしまう。この磁性膜
は、後工程で形成するコイルの磁路を構成するものであ
り、従って磁気ヘッドの特性の劣化が生じたり、あるい
は磁性膜の膜の付着強度の低下が生じ、磁性膜の膜が剥
がれてしまうという問題が発生する。In order to make the surface roughness of the inclined surface 4 of the ceramic target member 1 equal to the surface roughness of the inclined surface of the ferrite target member 1, it is necessary to make the grindstone grain size smaller. However, since the grinding wheel wear and the peeling phenomenon further occur when the size is reduced in this way, when the target object 1 made of ceramics is ground, a coarser whetstone is compared with the case where the target object 1 made of ferrite is ground. Need to be processed.
For this reason, the roughness of the processed surface of the ceramic target member 1 becomes worse than that of the ferrite target member 1, so that the magnetic film 5 is uniformly sputtered on the inclined surface 4. I will not be able to. This magnetic film constitutes a magnetic path of a coil which will be formed in a later step, and therefore, the characteristics of the magnetic head are deteriorated or the adhesion strength of the magnetic film is reduced, so that the magnetic film is not formed. The problem of peeling occurs.
【0008】そこで本発明は上記課題を解消するために
なされたものであり、難削材製のコア用の対象部材を効
率良く加工することができ、かつ対象部材の研削された
部分に磁性膜を均一に形成することができる磁気ヘッド
のコア用の部材の加工方法を提供することを目的として
いる。Therefore, the present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and it is possible to efficiently process a target member for a core made of a difficult-to-cut material, and a magnetic film is formed on the ground portion of the target member. It is an object of the present invention to provide a method for processing a member for a core of a magnetic head, which is capable of forming uniformly.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明にあ
っては、磁気ヘッドのコア用の難削材の対象部材を研削
して、磁性膜を形成するための対象面をこの対象部材に
加工する際に、回転砥石を回転して、回転砥石の切刃砥
粒の非転写部位で対象部材の対象面を研削加工する磁気
ヘッドのコア用の部材の加工方法により、達成される。
本発明では、対象部材に対して、磁性膜を形成するため
の対象面を加工する際に、回転砥石を回転して、回転砥
石の切刃砥粒の非転写部位を用いて、対象部位の対象面
を研削加工する。SUMMARY OF THE INVENTION In the present invention, the above object is achieved by grinding a target member of a difficult-to-cut material for a core of a magnetic head to form a target surface for forming a magnetic film. This is achieved by a method of processing a member for a core of a magnetic head, in which the rotating grindstone is rotated to grind the target surface of the target member at a non-transfer portion of the cutting edge abrasive grains of the rotating grindstone.
In the present invention, with respect to the target member, when processing the target surface for forming the magnetic film, by rotating the rotary grindstone, using the non-transferred part of the cutting edge abrasive grains of the rotary grindstone, the target part Grind the target surface.
【0010】これにより、回転砥石の切刃砥粒が、対象
部材の対象面には転写されないので、切刃砥粒の凹凸に
関係なく平滑な対象面を対象部材に加工することができ
る。従ってこの平滑な対象面に磁性膜が均一に形成で
き、膜付着強度の低下による膜剥がれの問題を解消する
ことができる。また切刃砥粒の非転写部位で対象部位の
対象面を研削加工するので、高速加工を行っても、対象
面の面粗度は良好に保つことができ、研削加工スピード
を上げることができる。。As a result, since the cutting edge abrasive grains of the rotary grindstone are not transferred to the target surface of the target member, a smooth target surface can be processed into the target member regardless of the irregularities of the cutting edge abrasive grains. Therefore, a magnetic film can be uniformly formed on this smooth target surface, and the problem of film peeling due to a decrease in film adhesion strength can be solved. Further, since the target surface of the target portion is ground by the non-transferred portion of the cutting edge abrasive grains, the surface roughness of the target surface can be kept good even if high-speed processing is performed, and the grinding processing speed can be increased. . .
【0011】[0011]
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述
べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、
技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明
の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨
の記載がない限り、これらの形態に限られるものではな
い。Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. Note that the embodiments described below are preferred specific examples of the present invention,
Although various technically preferable limitations are given, the scope of the present invention is not limited to these modes unless otherwise specified to limit the present invention.
【0012】図1は、本発明の磁気ヘッドのコア用の部
材の加工方法を実施するための研削加工装置の一例を示
している。磁気ヘッドのコア用の部材10は、研削をす
るための対象部材であり、図2に示すような平板状の部
材である。この対象部材10は、難削材であるセラミッ
クスにより作られている。セラミックスとしては、たと
えばMnO−NiO系のセラミックス等を採用すること
ができる。FIG. 1 shows an example of a grinding apparatus for carrying out the method for processing a core member of a magnetic head according to the present invention. The core member 10 of the magnetic head is a target member for grinding, and is a flat plate-shaped member as shown in FIG. The target member 10 is made of ceramics, which is a difficult-to-cut material. As the ceramics, for example, MnO—NiO ceramics or the like can be adopted.
【0013】図1の研削加工装置は、この対象部材10
に対して図2のように複数本の溝12を形成するための
加工装置である。各溝12は、傾斜面14と垂直面16
および底面18を備えている。図1の研削加工装置は、
テーブル20、研削部22および制御部24等を備えて
いる。テーブル20は、図2の対象部材10を水平面H
Lに対して所定の切込角度θで傾斜してしっかりと保持
するテーブルである。この所定の切込角度θは、たとえ
ば45度である。テーブル20は対象部材10を矢印X
方向および矢印Y方向に移動可能である。このテーブル
20は、Y方向に向いたレール26と、X方向に向いた
レール28と、保持部30等を備えている。レール26
は、レール28を矢印Y方向に案内するものであり、モ
ータ32を作動して送りネジ34を回すことで、この送
りネジ34と噛み合ったナット36とともにレール28
を矢印Y方向に移動および位置決め可能である。The grinding apparatus shown in FIG.
On the other hand, it is a processing apparatus for forming a plurality of grooves 12 as shown in FIG. Each groove 12 has an inclined surface 14 and a vertical surface 16
And a bottom surface 18. The grinding machine shown in FIG.
A table 20, a grinding unit 22, a control unit 24 and the like are provided. The table 20 includes the target member 10 shown in FIG.
The table is tilted at a predetermined cutting angle θ with respect to L and firmly held. The predetermined cutting angle θ is, for example, 45 degrees. The table 20 indicates the target member 10 with an arrow X.
Direction and arrow Y direction. The table 20 includes a rail 26 that faces the Y direction, a rail 28 that faces the X direction, and a holding portion 30. Rail 26
Guides the rail 28 in the direction of the arrow Y. By operating the motor 32 and rotating the feed screw 34, the rail 28 together with the nut 36 meshed with the feed screw 34 is operated.
Can be moved and positioned in the direction of arrow Y.
【0014】またレール28は保持部30を矢印X方向
に直線移動可能である。つまりモータ38を作動して送
りネジ40を回転することにより、送りネジ40に噛み
合ったナット42が保持部30とともに矢印X方向に移
動をするようになっている。この保持部30は対象部材
10を着脱可能に保持する。Further, the rail 28 can linearly move the holding portion 30 in the arrow X direction. That is, by operating the motor 38 and rotating the feed screw 40, the nut 42 meshed with the feed screw 40 moves together with the holding portion 30 in the arrow X direction. The holder 30 detachably holds the target member 10.
【0015】研削部22は、研削砥石50と、モータ5
2およびZ方向移動手段54等を備えている。モータ5
2は、この研削砥石50を矢印R方向に回転するもので
あり、Z方向移動手段54は、モータ52と研削砥石5
0を矢印Z方向に上下動及び位置決め可能になってい
る。制御部24は、上述したモータ32,38,52お
よびZ方向移動手段54の作動を制御する。The grinding unit 22 includes a grinding wheel 50 and a motor 5
2 and Z-direction moving means 54 and the like. Motor 5
2 is for rotating the grinding wheel 50 in the arrow R direction, and the Z-direction moving means 54 is for the motor 52 and the grinding wheel 5.
0 can be vertically moved and positioned in the arrow Z direction. The control unit 24 controls the operations of the motors 32, 38, 52 and the Z-direction moving means 54 described above.
【0016】次に、図1と図2の対象部材10に対し
て、図2の溝12を形成する研削加工例を図1と図3を
参照して説明する。図1のモータ52を作動して研削砥
石50を回転するとともに、Z方向移動手段54を作動
して、モータ52および研削砥石50を矢印Z1方向に
下降する。これにより、研削部22の断面ほぼV字型と
なったテーパ部22a,22aが、図3のようにして対
象部材10に対して垂直下方に切り込んでいく。これに
よりテーパ部22a,22aと一致した形状の溝12が
図3に示すように対象部材10に対して形成されること
になる。Next, an example of a grinding process for forming the groove 12 of FIG. 2 on the target member 10 of FIGS. 1 and 2 will be described with reference to FIGS. 1 and 3. The motor 52 of FIG. 1 is operated to rotate the grinding wheel 50, and the Z-direction moving means 54 is operated to lower the motor 52 and the grinding wheel 50 in the arrow Z1 direction. As a result, the tapered portions 22a, 22a having a substantially V-shaped cross section of the grinding portion 22 are cut vertically downward with respect to the target member 10 as shown in FIG. As a result, the groove 12 having a shape matching the tapered portions 22a, 22a is formed on the target member 10 as shown in FIG.
【0017】このテーパ部22a,22aは、図3に示
すように交差角αを有するように形成されているが、こ
の交差角αは、たとえば90度である。従って、溝12
は、図3と図2に示すように傾斜面14と垂直面16お
よび底面18から画成されることになる。詳細に言え
ば、垂直面16は一方のテーパ部22aにより研削さ
れ、底面18はもう一方のテーパ部22aにより研削さ
れる。そして後工程で研性膜を形成するのに重要な傾斜
面14は、研削砥石50の回転側面23により研削され
る。The tapered portions 22a, 22a are formed to have a crossing angle α as shown in FIG. 3, and the crossing angle α is 90 degrees, for example. Therefore, the groove 12
Will be defined by an inclined surface 14, a vertical surface 16 and a bottom surface 18 as shown in FIGS. In detail, the vertical surface 16 is ground by one taper portion 22a, and the bottom surface 18 is ground by the other taper portion 22a. Then, the inclined surface 14 which is important for forming the polishing film in the subsequent step is ground by the rotating side surface 23 of the grinding wheel 50.
【0018】このようにして回転側面23が回転しなが
ら研削砥石50の半径方向に切り込みながら矢印X方向
に傾斜面14を研削加工すると、砥石の摩耗が少なくし
かも傾斜面14の面粗度を、小さくすることができる。
この理由は、次の通りである。When the inclined surface 14 is ground in the direction of arrow X while cutting the grinding wheel 50 in the radial direction while the rotary side surface 23 rotates in this manner, the abrasion of the wheel is reduced and the surface roughness of the inclined surface 14 is reduced. Can be made smaller.
The reason is as follows.
【0019】図4は、通常の平型の回転型の研削砥石1
00の周囲面100aにより対象部材10を研削する場
合の例を示し、図5は、同じ研削砥石50の回転側面2
3により対象部材10を研削する例を示している。図4
の通常の研削砥石100の周囲面100aを構成してい
る各砥粒100cは対象部材10に対して矢印R方向に
回転しながら各砥粒100cのプロフィールをそのまま
対象部材10に対して転写して研削してしまう。従っ
て、対象部材10の研削面10aは、面粗度が大きくな
ってしまう。FIG. 4 shows an ordinary flat rotary grinding wheel 1
5 shows an example in which the target member 10 is ground by the peripheral surface 100a of No. 00, and FIG.
3 shows an example in which the target member 10 is ground by 3. FIG.
Each of the abrasive grains 100c forming the peripheral surface 100a of the ordinary grinding wheel 100 is transferred to the target member 10 without changing the profile of each of the abrasive grains 100c while rotating in the arrow R direction with respect to the target member 10. Will grind. Therefore, the ground surface 10a of the target member 10 has a large surface roughness.
【0020】これに対して、図5のように研削砥石50
の回転側面23を用いて、しかも矢印Z1方向にこの研
削砥石100を移動しながら対象部材10を研削する
と、最大の切刃砥粒22dの側方への砥粒高さが、対象
部材10の研削取り代Lを得るので、対象部材10の研
削面10eには他の切刃砥粒100dのプロフィールが
転写されにくく、所謂非転写部位となり、この研削面1
0eの面粗度は極めて小さいものになる。このような理
由から、図3の傾斜面14は、研削砥石50の回転側面
23により砥粒の非転写部位として研削することができ
る。図1の研削部22の研削砥石50が矢印Z1方向に
下がって、モータ38が作動することにより対象部材1
0は矢印X方向(図1の紙面から手前向かう方向)に移
動するので、図2に示すような溝12を形成することが
できる。On the other hand, as shown in FIG.
When the target member 10 is ground using the rotating side surface 23 of the target and while moving the grinding wheel 100 in the direction of the arrow Z1, the maximum abrasive grain height of the cutting edge abrasive grain 22d to the side of the target member 10 is the maximum. Since the grinding allowance L is obtained, the profile of the other cutting edge abrasive grains 100d is less likely to be transferred to the grinding surface 10e of the target member 10 and is a so-called non-transferred portion.
The surface roughness of 0e is extremely small. For this reason, the inclined surface 14 of FIG. 3 can be ground as a non-transferred portion of the abrasive grains by the rotating side surface 23 of the grinding wheel 50. The grinding wheel 50 of the grinding unit 22 shown in FIG. 1 moves down in the direction of arrow Z1 and the motor 38 is actuated to operate the target member 1
Since 0 moves in the direction of arrow X (direction toward the front of the paper surface of FIG. 1), the groove 12 as shown in FIG. 2 can be formed.
【0021】一本目の溝12が形成された後には、次に
研削砥石50は一旦上昇して、モータ32が作動して、
保持部30と対象部材10は、所定のピッチ分矢印Y
(矢印Y1方向)に所定のピッチ分移動する。これによ
り、上述したような動作を繰り返すと2本目の溝12が
1本目の溝12と平行に形成される。そして図2の3本
目の溝12は、同様な要領で1本目および2本目の溝1
2と平行に形成されることになる。各溝12の傾斜面1
4は、上述したように研削砥石50の回転側面23で形
成されるので、面粗度は小さくなり、しかも傾斜面14
上のむしれを極力小さくすることができる。この結果、
研削砥石50の研削加工速度を上げても、傾斜面の面粗
度を良好に保つことができる。After the first groove 12 is formed, the grinding wheel 50 is once raised, the motor 32 is operated, and
The holding portion 30 and the target member 10 have an arrow Y for a predetermined pitch.
A predetermined pitch is moved in the direction of arrow Y1. As a result, when the above-described operation is repeated, the second groove 12 is formed in parallel with the first groove 12. The third groove 12 in FIG. 2 is the same as the first and second grooves 1 in the same manner.
2 will be formed in parallel. Inclined surface 1 of each groove 12
Since No. 4 is formed by the rotating side surface 23 of the grinding wheel 50 as described above, the surface roughness becomes small and the inclined surface 14
The upper pluck can be minimized. As a result,
Even if the grinding speed of the grinding wheel 50 is increased, the surface roughness of the inclined surface can be kept good.
【0022】次に、図6と図7を参照する。図6は、従
来のフェライト製の対象部材に対して、45度の傾斜面
を傾斜した場合における傾斜面の面粗度の一例を示して
いる。また図7は、本発明のセラミックス製の対象部材
10に対して45度の傾斜面を形成した場合におけるそ
の傾斜面の面粗度の測定結果の一例を示している。図7
は、研削砥石50の回転側面23でセラミックスの対象
部材10を研削加工した時に、従来のフェライト製の対
象部材を研削した場合の面粗度と比較している。図7の
セラミックス製の対象部材を研削した例では、砥石粒度
を幾つか変えて、しかもストレート砥石(平面砥石)
と、図14のような従来の研削周囲面7を有する研削砥
石2を用いた場合の面粗度を比較示している。Next, please refer to FIG. 6 and FIG. FIG. 6 shows an example of the surface roughness of the inclined surface when the inclined surface of 45 degrees is inclined with respect to the conventional ferrite target member. Further, FIG. 7 shows an example of the measurement result of the surface roughness of the inclined surface when the inclined surface of 45 degrees is formed with respect to the ceramic target member 10 of the present invention. FIG.
Is compared with the surface roughness when a conventional ferrite target member is ground when the ceramic target member 10 is ground on the rotating side surface 23 of the grinding wheel 50. In the example of grinding the target member made of ceramics in FIG. 7, the grindstone grain size is changed several times, and moreover, a straight grindstone (plane grindstone)
And surface roughness in the case of using the grinding wheel 2 having the conventional grinding peripheral surface 7 as shown in FIG.
【0023】研削加工条件としては、セラミックス製の
対象部材が、MnO−NiO系セラミックスであるのに
対して、従来のフェライト製の対象部材は、MnZn単
結晶のフェライトである。使用する砥石は、電鋳砥石#
4000、#3000、#2500、#2000、#1
500、#800の砥石である。砥石の周速は、500
0m/分であり、対象部材の加工スピードは250mm
/分であって、切込量は0.15mmである。As a grinding condition, the target member made of ceramics is MnO—NiO ceramics, whereas the conventional target member made of ferrite is MnZn single crystal ferrite. The grindstone used is an electroformed grindstone #
4000, # 3000, # 2500, # 2000, # 1
It is a grindstone of 500 and # 800. The peripheral speed of the grindstone is 500
0m / min, processing speed of target material is 250mm
/ Min, and the cut amount is 0.15 mm.
【0024】図7を参照すると、#800のストレート
砥石によるセラミックスの対象部材の面粗度は、図6の
フェライトの対象部材の面粗度よりも悪くなっている
が、#1500のストレート砥石以上は、フェライト面
粗度よりも良いことから、ストレート砥石は#1500
以上を用いると、フェライトを研削する場合と同等以上
の面粗度で傾斜面を加工することができることが分かっ
た。これに対し、従来の45度の修正砥石(図14の研
削砥石2)を用いると、粒度が粗くなると面粗度も悪化
してしまい、使用できるのは#2500以上であること
が判明した。この原因は、既に述べたように砥石の側面
では砥粒の突き出しがすべて加工面に転写されないため
に砥粒粒度の影響を受けにくく(図5参照)、これに対
して図14のような45度の研削周囲面7で対象部材1
を研削すると各砥粒の突き出し量がすべて加工面に転写
されて、傾斜面4の面粗度が粒度の影響を受けることに
なるからである。Referring to FIG. 7, although the surface roughness of the ceramic target member by the # 800 straight grindstone is worse than the surface roughness of the ferrite target member of FIG. Is better than ferrite surface roughness.
By using the above, it was found that the inclined surface can be processed with a surface roughness equal to or higher than that in the case of grinding ferrite. On the other hand, when the conventional 45-degree correction grindstone (grinding grindstone 2 in FIG. 14) is used, the surface roughness deteriorates as the grain size becomes coarser, and it has been found that only # 2500 or more can be used. The reason for this is that the protrusion of the abrasive grains is not entirely transferred to the processed surface on the side surface of the grindstone, as described above, and thus is less affected by the abrasive grain size (see FIG. 5). Target surface 1 at the grinding surface 7
This is because, when is ground, the protrusion amount of each abrasive grain is entirely transferred to the processed surface, and the surface roughness of the inclined surface 4 is affected by the grain size.
【0025】本発明の加工方法は、このような結果を元
にして、図1と図3に示すような研削砥石50を用い、
かつその回転側面23が傾斜面14を研削するようにし
ている。そして、基板である対象部材10は、所定の角
度θ(たとえば45度)で傾けて、電鋳砥石#1500
以上で交差角α(たとえば90度)を有する研削砥石5
0を用いて傾斜面14を研削加工している。この結果、
従来より粒度の粗い研削砥石50を用いても、傾斜面1
4の面粗度は悪くならず、加工性が良くなり、従来電鋳
#2500の研削砥石で加工スピード100mm/分で
行っていた研削加工は、本発明の加工方法では加工スピ
ードは250mm/分で行っても、セラミックス製の対
象部材10の傾斜面14の面粗度は、従来のフェライト
製の対象部材の傾斜面の面粗度と同等の面粗度が得られ
る。しかもセラミックス製の対象部材10における砥石
摩耗の進行や傾斜面14におけるむしれの問題がないこ
とも確認できている。Based on these results, the processing method of the present invention uses a grinding wheel 50 as shown in FIGS. 1 and 3,
Moreover, the rotating side surface 23 grinds the inclined surface 14. Then, the target member 10 that is the substrate is tilted at a predetermined angle θ (for example, 45 degrees), and the electroformed grindstone # 1500.
With the above, the grinding wheel 5 having the intersection angle α (for example, 90 degrees)
0 is used to grind the inclined surface 14. As a result,
Even if a grinding wheel 50 with a coarser grain size is used, the inclined surface 1
The surface roughness of No. 4 is not deteriorated and the workability is improved. The grinding process which has been conventionally performed at the processing speed of 100 mm / min with the grinding wheel of electroformed # 2500 is 250 mm / min in the processing method of the present invention. Even if the above is performed, the surface roughness of the inclined surface 14 of the target member 10 made of ceramics is the same as the surface roughness of the inclined surface of the conventional target member made of ferrite. Moreover, it has been confirmed that there is no problem of progress of abrasion of the grindstone on the ceramic target member 10 and peeling of the inclined surface 14.
【0026】図8は、本発明の加工方法の別の例を示し
ている。図8の加工方法では、ストレート型の研削砥石
(平型の回転砥石)150を用いた後に、再びこの研削
砥石150を用いて、結果として図3に示したような傾
斜面14、垂直面16および底面18を有する溝を形成
するようになっている。研削砥石150は、やはり電鋳
砥石であって、#1500を使用している。まずセラミ
ックス製の対象部材10を図8(A)のように、所定の
角度θ(45度)で傾斜して保持し、図1の要領と同様
にして、第1の溝を研削砥石150をR方向に回転しな
がらZ1方向に下降して第1溝12aを形成する。これ
によって研削砥石150の回転側面123が傾斜面14
を形成する。FIG. 8 shows another example of the processing method of the present invention. In the processing method of FIG. 8, after using a straight type grinding wheel (flat type grinding wheel) 150, the grinding wheel 150 is used again, and as a result, the inclined surface 14 and the vertical surface 16 as shown in FIG. And a groove having a bottom surface 18 is formed. The grinding wheel 150 is also an electroformed wheel and uses # 1500. First, as shown in FIG. 8 (A), the target member 10 made of ceramics is held while being inclined at a predetermined angle θ (45 degrees), and the first groove is ground by the grinding wheel 150 in the same manner as in FIG. While rotating in the R direction, it descends in the Z1 direction to form the first groove 12a. As a result, the rotating side surface 123 of the grinding wheel 150 becomes the inclined surface 14
To form
【0027】次に、図8(B)のように、対象部材10
の傾斜角度θを0度にして、即ち対象部材10を水平に
おいて固定し、そして研削砥石150を更に回転しなが
ら第2溝12bを矢印Z1方向に下げて形成する。これ
によって、傾斜面14と垂直面16および底面18を有
する溝12が形成できることになる。図8の加工方法で
は、ストレート砥石である研削砥石150を二度対象部
材10に対して切り込むことで、所定の溝12を形成し
ている。つまり研削砥石150を二度用いることにより
溝12を最終的に形成することで各一回分の研削加工量
が減るので、加工スピードをそれぞれたとえば500m
m/分に更に上げることが確認できた。Next, as shown in FIG. 8B, the target member 10
Is set to 0 degree, that is, the target member 10 is fixed horizontally, and the second groove 12b is formed in the arrow Z1 direction while further rotating the grinding wheel 150. As a result, the groove 12 having the inclined surface 14, the vertical surface 16 and the bottom surface 18 can be formed. In the processing method of FIG. 8, the predetermined groove 12 is formed by cutting the grinding wheel 150, which is a straight grinding wheel, twice into the target member 10. That is, since the groove 12 is finally formed by using the grinding wheel 150 twice, the amount of grinding processing for each time is reduced, so that the processing speed is 500 m, for example.
It was confirmed that it could be further increased to m / min.
【0028】また平型の回転砥石である研削砥石150
自体の角度修正作業が不要であることから、研削砥石1
50のドレッシングを行った後に直ぐ対象部材10の加
工ができることも確認できている。またこの加工方法で
は、第2溝12bがヘッド摺動面にならないために、面
粗度をフェライト製の対象部材の傾斜面並にする必要が
ないことから、更に粗度を粗くして加工スピードを上げ
ることも勿論できる。Further, a grinding wheel 150 which is a flat type rotary wheel.
Grinding wheel 1
It has also been confirmed that the target member 10 can be processed immediately after 50 dressings. Further, in this processing method, since the second groove 12b does not serve as the head sliding surface, it is not necessary to make the surface roughness equal to the inclined surface of the target member made of ferrite. Of course you can raise it.
【0029】次に、図9の本発明の別の加工方法につい
て説明する。図9の加工方法では、対象部材10が、や
はり所定角度θ(45度)で傾斜して保持されている。
まず第1段階では、ストレート型の研削砥石150が対
象部材10に対して矢印Z1方向に切り込まれる。これ
により第1溝12aが形成されて、傾斜面14が回転側
面123により形成される。次に、対象部材10はやは
り所定の角度θで傾斜して保持されている状態で、図1
の研削砥石50を用いて、第2溝12bを形成する。但
し、この研削砥石50の回転側面23は既に所定の面粗
度で形成されている側面123を研削する必要がないこ
とから、破線で示すように少しずらして第2溝12bを
形成する。つまり研削砥石50の回転側面23が傾斜面
14に接触しないようにする必要がある。Next, another processing method of the present invention shown in FIG. 9 will be described. In the processing method of FIG. 9, the target member 10 is also held while being inclined at the predetermined angle θ (45 degrees).
First, in the first stage, the straight grinding wheel 150 is cut in the target member 10 in the Z1 direction. As a result, the first groove 12a is formed, and the inclined surface 14 is formed by the rotating side surface 123. Next, while the target member 10 is also held while being inclined at a predetermined angle θ,
The second groove 12b is formed by using the grinding wheel 50 of. However, since the rotating side surface 23 of the grinding wheel 50 does not need to grind the side surface 123 which is already formed with a predetermined surface roughness, the second groove 12b is formed with a slight shift as shown by the broken line. That is, it is necessary to prevent the rotating side surface 23 of the grinding wheel 50 from contacting the inclined surface 14.
【0030】以上説明したように、本発明の加工方法の
実施の形態では、図1のワークである対象部材10を水
平面に対して所定の角度、たとえば45度に傾けて研削
砥石50の回転側面23で傾斜面14を形成する。この
傾斜面14は、後工程で磁性膜をスパッタするための面
であり、傾斜面の面粗度はたとえセラミックス製の対象
部材10であっても、従来のフェライト製の対象部材1
0の傾斜面と同等以上の品質の面粗度加工する必要であ
るが、本発明の加工方法ではそれを達成することがで
き、しかも高速加工が可能である。As described above, in the embodiment of the processing method of the present invention, the target member 10 which is the work of FIG. 1 is tilted at a predetermined angle, for example, 45 degrees with respect to the horizontal plane, and the rotating side surface of the grinding wheel 50 is rotated. The inclined surface 14 is formed at 23. The inclined surface 14 is a surface for sputtering a magnetic film in a later step, and even if the surface roughness of the inclined surface is the ceramic target member 10, the conventional ferrite target member 1 is used.
Although it is necessary to machine the surface roughness with a quality equal to or higher than that of the inclined surface of 0, the machining method of the present invention can achieve that, and high-speed machining is possible.
【0031】また、図8のように、第1溝12aは、ス
トレート型の研削砥石150を用いて傾斜面14を形成
して従来のフェライト製の対象部材10の傾斜面と同等
の面粗度を確保し、そして対象部材10を水平にセット
し直して、同じストレート型の研削砥石150を用いて
第2溝12bを形成する。このような2度切り研削加工
により最終的に溝12を形成できるので、研削砥石15
0自体の角度の修正加工が不要であるとともに、特に第
2溝12bは、傾斜面14と関係がないので、高速加工
を行うことができる。Further, as shown in FIG. 8, the first groove 12a is formed with the inclined surface 14 by using the straight type grinding wheel 150, and has the same surface roughness as the inclined surface of the conventional ferrite target member 10. Then, the target member 10 is set horizontally again to form the second groove 12b using the same straight grinding wheel 150. Since the groove 12 can be finally formed by such a double-cut grinding process, the grinding wheel 15
It is not necessary to correct the angle of 0 itself, and since the second groove 12b is not particularly related to the inclined surface 14, high-speed processing can be performed.
【0032】従って、セラミックスのような難削材でで
きたコア用の部材(対象部材)を加工する場合において
その効果が発揮され、磁性膜をスパッタする必要のある
傾斜面は、研削砥石の側面で加工することで、加工速度
のアップによる加工効率の改善と、加工面の粗度の向上
によるヘッド特性の改善を同時に達成することができ
る。図2のように複数本の溝12が形成された対象部材
10は、後工程で必要な溝加工やガラスを融着させたり
あるいは切断等の工程、および図2の溝の傾斜面14に
対応してコイルを形成することにより、図13に示すよ
うな磁気ヘッドのチップを得ることができる。ここで、
後工程の一例について説明する。図10は、この後工程
の溝加工工程とガラスの融着工程を示しており、図10
(A)は、対象部材10に対して傾斜面14等を有する
溝12が複数本形成された状態を示している。図10
(B)は、これらの溝の傾斜面14等に磁性膜107等
が形成された状態を示し、図10(C)は、薄膜コイル
を形成するための溝110と、磁路を形成する上で不要
な磁性膜部分を除去する溝111を、溝12に直交して
形成した状態を示している。この傾斜面14上の磁性膜
107は、薄膜コイル用の磁路を形成するために必要な
部分であり、傾斜面14の面粗さは溝12を画成する他
の垂直面16と底面18(図2参照)よりも小さくなけ
ればならない。Therefore, the effect is exerted when a core member (target member) made of a difficult-to-cut material such as ceramics is processed, and the inclined surface on which the magnetic film needs to be sputtered is the side surface of the grinding wheel. By processing with, it is possible to simultaneously improve the processing efficiency by increasing the processing speed and improve the head characteristics by improving the roughness of the processed surface. The target member 10 in which a plurality of grooves 12 are formed as shown in FIG. 2 corresponds to a groove processing required in a later step, a step of fusing or cutting glass, and the inclined surface 14 of the groove of FIG. By forming the coil in this way, a chip of the magnetic head as shown in FIG. 13 can be obtained. here,
An example of the post process will be described. FIG. 10 shows a groove processing step and a glass fusing step which are subsequent steps.
(A) shows a state in which a plurality of grooves 12 having inclined surfaces 14 and the like are formed on the target member 10. FIG.
FIG. 10B shows a state in which the magnetic film 107 and the like are formed on the inclined surfaces 14 and the like of these grooves, and FIG. 10C shows a groove 110 for forming a thin film coil and a magnetic path. 2 shows a state in which the groove 111 for removing the unnecessary magnetic film portion is formed orthogonally to the groove 12. The magnetic film 107 on the inclined surface 14 is a portion necessary for forming a magnetic path for a thin film coil, and the surface roughness of the inclined surface 14 has another vertical surface 16 defining the groove 12 and a bottom surface 18. (See Figure 2).
【0033】次に、図10(D)のように各溝にガラス
112を充填して、図10(E)のようにトラック溝を
規制するための溝113を形成する。図10(F)のよ
うに溝113にガラス117を充填してから表面を平坦
にして、図10(G)のエッチングした窪み114に薄
膜コイルを成形する。図11(A)はギャップ膜をスパ
ッタし、図11(B)は端子を切り離すための溝440
を入れる。このように加工して得られる図12の対象部
材10,10は、向かい合わせで貼り付けられて、図1
1の切断線CCLに沿って切断することにより、図13
の磁気ヘッドのチップを得ることができる。Next, as shown in FIG. 10D, each groove is filled with glass 112 to form a groove 113 for regulating the track groove as shown in FIG. 10E. As shown in FIG. 10F, the groove 113 is filled with the glass 117, the surface is flattened, and the thin film coil is formed in the etched depression 114 in FIG. 10G. FIG. 11A shows a gap film sputtered, and FIG. 11B shows a groove 440 for separating terminals.
Insert The target members 10 and 10 of FIG. 12 obtained by processing in this manner are attached face to face, and
13 along the cutting line CCL of FIG.
The magnetic head chip can be obtained.
【0034】図13の磁気ヘッドのチップは、ビデオテ
ープレコーダのビデオテープに対して信号を記録したり
あるいは信号を再生することができる。ところで本発明
は上記実施の形態に限定されるものではない。本発明の
加工方法により得られる磁気ヘッドは、ビデオテープレ
コーダに限らず、ディジタルオーディオテープレコーダ
(DAT)等の他の情報記録装置の磁気ヘッドのコア用
の部材の加工方法にも適用することができる。The chip of the magnetic head shown in FIG. 13 can record a signal on or reproduce a signal from a video tape of a video tape recorder. The present invention is not limited to the above embodiment. The magnetic head obtained by the processing method of the present invention is not limited to a video tape recorder, but can be applied to a method of processing a member for a core of a magnetic head of another information recording device such as a digital audio tape recorder (DAT). it can.
【0035】[0035]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
解消するためになされたものであり、難削材製のコア用
の対象部材を効率良く加工することができかつ対象部材
の研削された部分に磁性膜を均一に形成することができ
る。As described above, according to the present invention,
This is done in order to solve the problem, and the target member for the core made of the difficult-to-cut material can be efficiently processed, and the magnetic film can be uniformly formed on the ground portion of the target member.
【図1】本発明の磁気ヘッドのコア用の部材の加工方法
を実現するための研削加工装置の一例を示す図。FIG. 1 is a diagram showing an example of a grinding apparatus for realizing a method of processing a core member of a magnetic head according to the present invention.
【図2】図1の研削加工装置の対象部材に対して溝が加
工された状態を示す図。FIG. 2 is a view showing a state in which a groove is formed on a target member of the grinding apparatus of FIG.
【図3】対象部材に対して溝を確保する様子を示す図。FIG. 3 is a diagram showing a manner of securing a groove for a target member.
【図4】従来の研削砥石の周囲面により対象物が研削さ
れていることで、研削砥石の砥粒のプロフィールが対象
物に対して転写された状態を示す図。FIG. 4 is a diagram showing a state in which the profile of the abrasive grains of the grinding wheel is transferred to the object by the object being ground by the peripheral surface of the conventional grinding wheel.
【図5】本発明の研削砥石を用いて傾斜面を研削する様
子を示す図。FIG. 5 is a view showing a manner of grinding an inclined surface using the grinding wheel of the present invention.
【図6】従来のフェライト製の傾斜面の面粗度の一例を
示す図。FIG. 6 is a view showing an example of surface roughness of a conventional ferrite inclined surface.
【図7】本発明の加工方法における面粗度の一例を示す
図。FIG. 7 is a diagram showing an example of surface roughness in the processing method of the present invention.
【図8】本発明の磁気ヘッドのコア用の部材の加工方法
の別の実施の形態を示す図。FIG. 8 is a diagram showing another embodiment of a method for processing a core member of a magnetic head according to the present invention.
【図9】本発明の磁気ヘッドのコア用の部材の加工方法
の更に別の実施の形態を示す図。FIG. 9 is a diagram showing still another embodiment of a method of processing a member for a core of a magnetic head of the present invention.
【図10】本発明の加工方法を行った後の加工手順の例
を示す図。FIG. 10 is a diagram showing an example of a processing procedure after performing the processing method of the present invention.
【図11】図10の加工の続きを示す図。11 is a view showing a continuation of the processing shown in FIG.
【図12】1つの半体ともう1つの半体を重ねる様子を
示す図。FIG. 12 is a diagram showing a state in which one half body and another half body are stacked.
【図13】得られた磁気ヘッドのチップの例を示す図。FIG. 13 is a diagram showing an example of a chip of the obtained magnetic head.
【図14】従来の加工方法を示す図。FIG. 14 is a diagram showing a conventional processing method.
10 対象部材 10e 研削面(非転写部位、傾斜面) 14 傾斜面(対象面) 22d 切刃砥粒 50 研削砥石(回転砥石) θ (所定の角度、切込角度) 10 Target Member 10e Grinding Surface (Non-Transfer Part, Slope) 14 Slope (Target Surface) 22d Cutting Edge Grain 50 Grinding Wheel (Rotating Wheel) θ (Predetermined Angle, Cutting Angle)
Claims (7)
を研削して、磁性膜を形成するための対象面をこの対象
部材に加工する際に、 回転砥石を回転して、 回転砥石の切刃砥粒の非転写部位で対象部材の対象面を
研削加工することを特徴とする磁気ヘッドのコア用の部
材の加工方法。1. When a target member of a hard-to-cut material for a core of a magnetic head is ground and a target surface for forming a magnetic film is processed into this target member, a rotary grindstone is rotated to rotate the grindstone. A method for processing a member for a core of a magnetic head, which comprises grinding a target surface of a target member at a non-transferred portion of the cutting edge abrasive grains.
の非転写部位は、回転砥石の回転側面であって、回転砥
石の切込方向は回転砥石の半径方向である請求項1に記
載の磁気ヘッドのコア用の部材の加工方法。2. The rotary grindstone is a flat grindstone, the non-transferred portion of the cutting edge abrasive grains is the rotating side surface of the rotary grindstone, and the cutting direction of the rotary grindstone is the radial direction of the rotary grindstone. 1. A method for processing a member for a core of a magnetic head according to 1.
薄膜である請求項1に記載の磁気ヘッドのコア用の部材
の加工方法。3. The method of processing a member for a core of a magnetic head according to claim 1, wherein the magnetic film is a magnetic thin film formed by sputtering.
部を備えている請求項2に記載の磁気ヘッドのコア用の
部材の加工方法。4. The method of processing a member for a core of a magnetic head according to claim 2, wherein a taper portion is provided in the vicinity of the rotating peripheral surface of the rotary grindstone.
向とは、所定の切込角度分傾斜している請求項4に記載
の磁気ヘッドのコア用の部材の加工方法。5. The method of processing a member for a core of a magnetic head according to claim 4, wherein the radial direction of the rotary grindstone and the arrangement direction of the target member are inclined by a predetermined cutting angle.
を研削して、磁性膜を形成するための対象面をこの対象
部材に加工する際に、 平型の回転砥石の半径方向を対象部材の配置方向に対し
て、所定の切込角度分傾けて、この平型の回転砥石の回
転側面で対象面を研削加工し、 次にテーパ部を有する回転砥石の半径方向を対象部材の
配置方向に対して、直交する方向に配置して、このテー
パ部を有する回転砥石で対象面付近の部位を研削加工す
ることを特徴とする磁気ヘッドのコア用の部材の加工方
法。6. When a target member of a hard-to-cut material for a core of a magnetic head is ground and a target surface for forming a magnetic film is processed into this target member, the radial direction of a flat type rotary grindstone is changed. With respect to the arrangement direction of the target member, the target surface is ground by the rotation side surface of this flat type rotary grindstone by inclining by a predetermined cutting angle, and then the radial direction of the rotary grindstone having the taper portion is set to the target member. A method for processing a member for a core of a magnetic head, characterized by arranging in a direction orthogonal to an arranging direction and grinding a portion in the vicinity of a target surface with a rotary grindstone having this taper portion.
6に記載の磁気ヘッドのコア用の部材の加工方法。7. The method for processing a member for core of a magnetic head according to claim 6, wherein the predetermined cutting angle is 45 degrees.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34775395A JPH09167309A (en) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | Machining method for magnetic head core member |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34775395A JPH09167309A (en) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | Machining method for magnetic head core member |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09167309A true JPH09167309A (en) | 1997-06-24 |
Family
ID=18392353
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34775395A Pending JPH09167309A (en) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | Machining method for magnetic head core member |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09167309A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111048122A (en) * | 2013-09-30 | 2020-04-21 | Hoya株式会社 | Fixed abrasive grain grinding stone and method for manufacturing substrate |
-
1995
- 1995-12-15 JP JP34775395A patent/JPH09167309A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN111048122A (en) * | 2013-09-30 | 2020-04-21 | Hoya株式会社 | Fixed abrasive grain grinding stone and method for manufacturing substrate |
CN111048122B (en) * | 2013-09-30 | 2021-08-03 | Hoya株式会社 | Fixed abrasive grain grinding stone and method for manufacturing substrate |
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