JPH09167020A - 認識駆動制御装置及び移動体の検出装置 - Google Patents
認識駆動制御装置及び移動体の検出装置Info
- Publication number
- JPH09167020A JPH09167020A JP34807095A JP34807095A JPH09167020A JP H09167020 A JPH09167020 A JP H09167020A JP 34807095 A JP34807095 A JP 34807095A JP 34807095 A JP34807095 A JP 34807095A JP H09167020 A JPH09167020 A JP H09167020A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体製造装置等における駆動系の稼働部の
位置確認センサを廃止し、機内配線の省略を目的とす
る。 【解決手段】 複数の移動体の移動をセンシングする移
動体の検出装置において、複数の移動体のそれぞれに認
識指標６ａ〜６ｄを付すとともに、移動体の水平移動と
垂直移動に対応し各々の認識指標６ａ〜６ｄの位置を認
識する複数の認識用カメラ３ａ，３ｂを備えたものであ
る。
位置確認センサを廃止し、機内配線の省略を目的とす
る。 【解決手段】 複数の移動体の移動をセンシングする移
動体の検出装置において、複数の移動体のそれぞれに認
識指標６ａ〜６ｄを付すとともに、移動体の水平移動と
垂直移動に対応し各々の認識指標６ａ〜６ｄの位置を認
識する複数の認識用カメラ３ａ，３ｂを備えたものであ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、特に半導体製造
装置において使用される駆動系の移動を検出し、さらに
当該駆動系を制御する装置に関するものである。
装置において使用される駆動系の移動を検出し、さらに
当該駆動系を制御する装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来の半導体製造装置の駆動系の
制御方式を示すもので、例としてバルブ駆動系に関する
ものである。図において、１は駆動系全体を制御してい
る制御コントローラであり、アクチュエータ駆動用バル
ブ４に駆動信号を出力し、当駆動用バルブ４は上記駆動
信号に基づいて稼働部５を駆動する。ＰＵＬＬ側センサ
７及びＰＵＳＨ側センサ８は例えばホトセンサ等により
構成され、稼働部５のＰＵＬＬ側又はＰＵＳＨ側位置を
確認する役割を果し、上記各センサ７，８からの検出信
号は制御コントローラ１に出力されている。
制御方式を示すもので、例としてバルブ駆動系に関する
ものである。図において、１は駆動系全体を制御してい
る制御コントローラであり、アクチュエータ駆動用バル
ブ４に駆動信号を出力し、当駆動用バルブ４は上記駆動
信号に基づいて稼働部５を駆動する。ＰＵＬＬ側センサ
７及びＰＵＳＨ側センサ８は例えばホトセンサ等により
構成され、稼働部５のＰＵＬＬ側又はＰＵＳＨ側位置を
確認する役割を果し、上記各センサ７，８からの検出信
号は制御コントローラ１に出力されている。
【０００３】次に、上記駆動系の動作を図５のフローチ
ャートに基づいて説明する。ステップ１０にて、制御コ
ントローラ４はアクチュエータ駆動用バルブ４に駆動信
号を出力し、稼働部５をＰＵＳＨ側に駆動する。次に、
ステップ１９にて、ＰＵＳＨ側センサ８がＯＮするかチ
ェックし、ＰＵＳＨ側センサ８がＯＮすれば動作完了と
する。ＰＵＳＨ側からＰＵＬＬ側の駆動制御も上記と同
様に行われる。また、半導体製造装置の全駆動系におい
ても同様の制御がなされる。
ャートに基づいて説明する。ステップ１０にて、制御コ
ントローラ４はアクチュエータ駆動用バルブ４に駆動信
号を出力し、稼働部５をＰＵＳＨ側に駆動する。次に、
ステップ１９にて、ＰＵＳＨ側センサ８がＯＮするかチ
ェックし、ＰＵＳＨ側センサ８がＯＮすれば動作完了と
する。ＰＵＳＨ側からＰＵＬＬ側の駆動制御も上記と同
様に行われる。また、半導体製造装置の全駆動系におい
ても同様の制御がなされる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体製造装置
は以上のように構成されていたので、駆動系の稼働部の
位置を確認するために複数のセンサを有し、そのため機
内配線ケーブルを多く必要としていた。
は以上のように構成されていたので、駆動系の稼働部の
位置を確認するために複数のセンサを有し、そのため機
内配線ケーブルを多く必要としていた。
【０００５】この発明は、上記のような問題点を解消す
るためになされたもので、駆動系の稼働部の位置確認セ
ンサを廃止し、機内配線の省略を目的としている。
るためになされたもので、駆動系の稼働部の位置確認セ
ンサを廃止し、機内配線の省略を目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る認識駆動
制御装置の発明は、認識指標が設けられた稼働部を駆動
する駆動手段（駆動バルブ等）と、少なくとも認識指標
の動作範囲の画像を取り込む撮像手段（カメラ）と、撮
像手段により取り込まれた認識指標の画像データと予め
準備された位置画像データとを比較し、認識指標の位置
を検出する認識コントローラと、認識コントローラによ
る位置検出に基づいて駆動手段を制御する制御コントロ
ーラとを備えたものである。
制御装置の発明は、認識指標が設けられた稼働部を駆動
する駆動手段（駆動バルブ等）と、少なくとも認識指標
の動作範囲の画像を取り込む撮像手段（カメラ）と、撮
像手段により取り込まれた認識指標の画像データと予め
準備された位置画像データとを比較し、認識指標の位置
を検出する認識コントローラと、認識コントローラによ
る位置検出に基づいて駆動手段を制御する制御コントロ
ーラとを備えたものである。
【０００７】請求項２の発明は、複数の移動体の移動を
センシングする移動体の検出装置において、複数の移動
体のそれぞれに認識指標を付すとともに、移動体の水平
移動と垂直移動に対応し認識指標の位置を認識する複数
の認識用カメラを備えたものである。
センシングする移動体の検出装置において、複数の移動
体のそれぞれに認識指標を付すとともに、移動体の水平
移動と垂直移動に対応し認識指標の位置を認識する複数
の認識用カメラを備えたものである。
【０００８】
実施の形態１．以下、この発明の実施の形態１を図につ
いて説明する。図１は実施の形態１における駆動系の制
御方式を示すもので、例としてバルブ駆動方式について
示したものである。図において、１は駆動系全体を制御
している制御コントローラであり、アクチュエータ駆動
用バルブ４に駆動信号を出力し、当駆動用バルブ４は上
記駆動信号により半導体製造装置の稼働部５を駆動す
る。認識指標部６は稼働部５の位置を認識判断するため
に該稼働部５に設置されたものであり、ＣＣＤカメラ３
は上記認識指標部６をその画像内に取り込む。ＣＣＤカ
メラ３内により取り込まれた画像は認識コントローラ２
により認識処理され、制御コントローラ１に出力され
る。
いて説明する。図１は実施の形態１における駆動系の制
御方式を示すもので、例としてバルブ駆動方式について
示したものである。図において、１は駆動系全体を制御
している制御コントローラであり、アクチュエータ駆動
用バルブ４に駆動信号を出力し、当駆動用バルブ４は上
記駆動信号により半導体製造装置の稼働部５を駆動す
る。認識指標部６は稼働部５の位置を認識判断するため
に該稼働部５に設置されたものであり、ＣＣＤカメラ３
は上記認識指標部６をその画像内に取り込む。ＣＣＤカ
メラ３内により取り込まれた画像は認識コントローラ２
により認識処理され、制御コントローラ１に出力され
る。
【０００９】図２は本実施の形態１を実現するための制
御フローチャートである。ステップ１０において、制御
コントローラ１からアクチュエータ駆動用バルブ４に対
し駆動出力信号（例えばＰＵＳＨ側への駆動信号）を送
信する。これにより稼働部５が例えばＰＵＳＨ側に動作
する。次にステップ１１において、認識コントローラ２
からの信号がＯＮするか否か（例えばＰＵＳＨ側がＯＮ
か否か）をチェックし、当該信号がＯＮすれば動作完了
とする。ＰＵＳＨ側からＰＵＬＬ側の駆動制御も上記と
同様に行われ、また、半導体製造装置の全駆動系におい
ても同様の制御がなされる。
御フローチャートである。ステップ１０において、制御
コントローラ１からアクチュエータ駆動用バルブ４に対
し駆動出力信号（例えばＰＵＳＨ側への駆動信号）を送
信する。これにより稼働部５が例えばＰＵＳＨ側に動作
する。次にステップ１１において、認識コントローラ２
からの信号がＯＮするか否か（例えばＰＵＳＨ側がＯＮ
か否か）をチェックし、当該信号がＯＮすれば動作完了
とする。ＰＵＳＨ側からＰＵＬＬ側の駆動制御も上記と
同様に行われ、また、半導体製造装置の全駆動系におい
ても同様の制御がなされる。
【００１０】認識側においては、まずステップ１２にお
いて、認識コントローラ２はＣＣＤカメラ３から稼働部
５（認識指標部６を含む）の画像を取り込む。次にステ
ップ１３において、取り込んだ画像データと元々準備さ
れている稼働部５の位置画像データとの比較を行い、稼
働部５（認識指標部６）の位置の検出を行う。そして、
認識指標部６の位置がＰＵＳＨ側であればＰＵＳＨ側信
号をＯＮし、ＰＵＳＨ側になければＰＵＳＨ側信号をＯ
ＦＦする。次に同様に、認識指標部６の位置がＰＵＬＬ
側にあるかどうかも検出し、認識指標部６の位置がＰＵ
ＬＬ側であればＰＵＬＬ側信号をＯＮし、ＰＵＬＬ側に
なければＰＵＬＬ側信号をＯＦＦする。次に、全駆動系
について同様の処理を行い信号を生成する。そして、上
記全ての位置検出処理が完了したら、再び画像取り込み
から繰り返す。
いて、認識コントローラ２はＣＣＤカメラ３から稼働部
５（認識指標部６を含む）の画像を取り込む。次にステ
ップ１３において、取り込んだ画像データと元々準備さ
れている稼働部５の位置画像データとの比較を行い、稼
働部５（認識指標部６）の位置の検出を行う。そして、
認識指標部６の位置がＰＵＳＨ側であればＰＵＳＨ側信
号をＯＮし、ＰＵＳＨ側になければＰＵＳＨ側信号をＯ
ＦＦする。次に同様に、認識指標部６の位置がＰＵＬＬ
側にあるかどうかも検出し、認識指標部６の位置がＰＵ
ＬＬ側であればＰＵＬＬ側信号をＯＮし、ＰＵＬＬ側に
なければＰＵＬＬ側信号をＯＦＦする。次に、全駆動系
について同様の処理を行い信号を生成する。そして、上
記全ての位置検出処理が完了したら、再び画像取り込み
から繰り返す。
【００１１】図３は、上記実施の形態１を現実の半導体
製造装置に適用したところを示すイメージ斜視図であ
る。図において、複数のＣＣＤカメラ３ａ,ｂは、それ
ぞれ駆動系によって動作する複数の認識指標部６ａ〜６
ｄの画像を取り込むようになっている。この場合、水平
方向に移動する指標部６ａ〜６ｃ及び垂直方向に移動す
る指標部６ｄは全てＣＣＤカメラ３ａ,ｂにより取り込
まれ、認識コントローラによりその位置が確認されるよ
うになっている。従って、従来のように多数の位置確認
センサを必要とせず、それに伴う機内配線ケーブル等も
不要となる。
製造装置に適用したところを示すイメージ斜視図であ
る。図において、複数のＣＣＤカメラ３ａ,ｂは、それ
ぞれ駆動系によって動作する複数の認識指標部６ａ〜６
ｄの画像を取り込むようになっている。この場合、水平
方向に移動する指標部６ａ〜６ｃ及び垂直方向に移動す
る指標部６ｄは全てＣＣＤカメラ３ａ,ｂにより取り込
まれ、認識コントローラによりその位置が確認されるよ
うになっている。従って、従来のように多数の位置確認
センサを必要とせず、それに伴う機内配線ケーブル等も
不要となる。
【００１２】実施の形態２．上記実施の形態１では、駆
動系が駆動用バルブ４のものにおいてＰＵＳＨ、ＰＵＬ
Ｌ側確認センサの代りに認識指標を使用したものを示し
たが、駆動系がパルス系モータ等の場合、（±）リミッ
トセンサ又は原点センサの代りに認識指標を使用しても
良い。
動系が駆動用バルブ４のものにおいてＰＵＳＨ、ＰＵＬ
Ｌ側確認センサの代りに認識指標を使用したものを示し
たが、駆動系がパルス系モータ等の場合、（±）リミッ
トセンサ又は原点センサの代りに認識指標を使用しても
良い。
【００１３】実施の形態３．また、上記実施の形態で
は、認識結果の稼働部位置をＯＮ，ＯＦＦ信号により出
力したが、制御コントローラのパラレル入力ポートに認
識コントローラが出力するように構成すれば、制御コン
トローラは通常のセンサ入力（ハードウエア）と同様の
取扱いとなるため、制御コントローラ内のソフトウエア
の変更は不要となる。
は、認識結果の稼働部位置をＯＮ，ＯＦＦ信号により出
力したが、制御コントローラのパラレル入力ポートに認
識コントローラが出力するように構成すれば、制御コン
トローラは通常のセンサ入力（ハードウエア）と同様の
取扱いとなるため、制御コントローラ内のソフトウエア
の変更は不要となる。
【００１４】実施の形態４．また、上記実施の形態では
認識指標を駆動系の稼働部に設置したが、製品・直材・
治具等に設けて、それらの位置及び搬送状況を管理して
も良い。
認識指標を駆動系の稼働部に設置したが、製品・直材・
治具等に設けて、それらの位置及び搬送状況を管理して
も良い。
【００１５】
【発明の効果】以上のように、請求項１の発明によれ
ば、認識指標が設けられた稼働部の移動の画像を撮像手
段により取り込み、当該認識指標の位置の検出に基づい
て稼働部を駆動制御するようにしたので、従来のような
位置検出のためのセンサが不要となり、個々の配線が不
要でかつ装置構成が簡単かつ安価となる効果がある。
ば、認識指標が設けられた稼働部の移動の画像を撮像手
段により取り込み、当該認識指標の位置の検出に基づい
て稼働部を駆動制御するようにしたので、従来のような
位置検出のためのセンサが不要となり、個々の配線が不
要でかつ装置構成が簡単かつ安価となる効果がある。
【００１６】請求項２の発明によれば、認識用カメラで
移動体の移動を検出するため、ホトセンサ等を用いた従
来装置のようにセンサ個々の配線が不要であり、装置構
成が簡単かつ安価となる効果がある。また、移動体の水
平移動と垂直移動に対応した複数の認識用カメラを備え
たので、複数の移動体の高さ等が異なっても移動体の移
動を確実に検出できる優れた効果がある。
移動体の移動を検出するため、ホトセンサ等を用いた従
来装置のようにセンサ個々の配線が不要であり、装置構
成が簡単かつ安価となる効果がある。また、移動体の水
平移動と垂直移動に対応した複数の認識用カメラを備え
たので、複数の移動体の高さ等が異なっても移動体の移
動を確実に検出できる優れた効果がある。
【図１】 この発明の実施の形態１における駆動系の制
御方式を示すブロック図である。
御方式を示すブロック図である。
【図２】 実施の形態１の駆動系の動作を示すフローチ
ャートである。
ャートである。
【図３】 実施の形態１を半導体製造装置に適用したも
のを示すイメージ斜視図である。
のを示すイメージ斜視図である。
【図４】 従来の半導体製造装置の駆動系の制御方式を
示すブロック図である。
示すブロック図である。
【図５】 図４の駆動系の動作を示すフローチャートで
ある。
ある。
１ 制御コントローラ、２ 認識コントローラ、３，３
ａ,３ｂ カメラ、４アクチュエータ駆動用バルブ、５
稼働部、６，６ａ〜ｄ 認識指標。
ａ,３ｂ カメラ、４アクチュエータ駆動用バルブ、５
稼働部、６，６ａ〜ｄ 認識指標。
Claims (2)
- 【請求項１】 認識指標が設けられた稼働部を駆動する
駆動手段と、少なくとも上記認識指標の動作範囲の画像
を取り込む撮像手段と、上記撮像手段により取り込まれ
た認識指標の画像データと予め準備された位置画像デー
タとを比較し、上記認識指標の位置を検出する認識コン
トローラと、上記認識コントローラによる位置検出に基
づいて上記稼働部駆動手段を制御する制御コントローラ
とを備えた認識駆動制御装置。 - 【請求項２】 複数の移動体の移動をセンシングする移
動体の検出装置において、前記移動体それぞれに認識指
標を付すとともに、前記移動体の水平移動と垂直移動に
対応し当該認識指標の位置を認識する複数の認識用カメ
ラを備えたことを特徴とする移動体の検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34807095A JPH09167020A (ja) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | 認識駆動制御装置及び移動体の検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34807095A JPH09167020A (ja) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | 認識駆動制御装置及び移動体の検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09167020A true JPH09167020A (ja) | 1997-06-24 |
Family
ID=18394547
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34807095A Pending JPH09167020A (ja) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | 認識駆動制御装置及び移動体の検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09167020A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016021492A (ja) * | 2014-07-14 | 2016-02-04 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
-
1995
- 1995-12-15 JP JP34807095A patent/JPH09167020A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016021492A (ja) * | 2014-07-14 | 2016-02-04 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
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